JP3734025B2 - 熱式流量計 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体の計測精度の低下を招来することなしにその消費電力を抑えることのできる熱式流量計に関する。
【0002】
【関連する背景技術】
熱式流量計を構成するマイクロフローセンサは、例えば図5に示すようにシリコン基台B上に設けた発熱抵抗体からなるヒータ素子Rhを間にして、流体の通流方向Fに測温抵抗体からなる一対の温度センサRu,Rdを設けた素子構造を有する。そして熱式流量計は、上記ヒータ素子Rhから発せられる熱の拡散度合い(温度分布)が前記流体の通流によって変化することを利用し、前記温度センサRu,Rdの熱による抵抗値変化から前記流体の流量Qを検出する如く構成される。
【0003】
具体的にはヒータ素子Rhから発せられた熱が流体の流量Qに応じて下流側の温度センサRdに加わることで、該温度センサRdの熱による抵抗値の変化が上流側の温度センサRuよりも大きくなること利用して上記流量Qを計測するものとなっている。尚、図中Rrは、前記ヒータ素子Rhから離れた位置に設けられた測温抵抗体からなる温度センサであって、周囲温度の計測に用いられる。
【0004】
図6は上述したマイクロフローセンサを用いた熱式流量計の概略構成を示している。即ち、ヒータ素子Rhの駆動回路は、該ヒータ素子Rhと周囲温度計測用の温度センサRr、および一対の固定抵抗R1,R2を用いてブリッジ回路1を形成し、所定の電源から供給される電圧VccをトランジスタQを介して前記ブリッジ回路1に印加すると共に、該ブリッジ回路1のブリッジ出力電圧を差動増幅器2にて求め、そのブリッジ出力電圧がゼロ(0)となるように前記トランジスタQを帰還制御して前記ブリッジ回路1に加えるヒータ駆動電圧を調整するように構成される。このように構成されたヒータ駆動回路により、前記ヒータ素子Rhの発熱温度が、その周囲温度よりも常に一定温度差ΔTだけ高くなるように制御される。
【0005】
一方、前記一対の温度センサRu,Rdの熱による抵抗値変化から前記マイクロフローセンサに沿って通流する流体の流量Qを検出する流量検出回路は、上記一対の温度センサRu,Rdと一対の固定抵抗Rx,Ryを用いて流量計測用のブリッジ回路3を形成し、温度センサRu,Rdの抵抗値の変化に応じたブリッジ出力電圧(温度差に相当する出力)を差動増幅器4を介して検出するように構成される。そして前記ヒータ駆動回路によりヒータ素子Rhの発熱量を一定化した条件下において、差動増幅器4を介して検出されるブリッジ出力電圧から前記マイクロフローセンサに沿って通流する流体の流量Qを求めるものとなっている。
【0006】
この流量Qの算出は、例えば上記ブリッジ出力電圧(センサ出力)を演算処理装置(CPU)に取り込むことによって行われる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところでこの種の熱式流量計を家庭用ガスメータとして用いた場合、その省電力化を図ることが重要な課題となる。特にその駆動源として電池を用いるような場合、長時間に亘る安定した流量計測を保証する上で、その消費電力が大きな問題となる。しかしながら従来の熱式流量計(ガスメータ)においては、専ら、前記ヒータ素子Rhをその周囲温度よりも常に一定温度ΔTだけ高い温度で発熱駆動しているだけなので、ヒータ素子Rhでの消費電力が大きくなることが否めない。
【0008】
本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、その目的は、流量計測の精度に悪影響を与えることなしに、ヒータ素子Rhでの消費電力を大幅に低減してその省電力化を図ることのできる熱式流量計を提供することにある。
【0009】
【関連する背景技術】
上述した目的を達成するべく本発明に係る熱式流量計は、流量センサには、その仕様に応じて高流量域計測用の高速流量センサと低流量域計測用の低速流量センサとがあり、一般的に高速流量センサにおけるヒータ素子での消費電力が低速流量センサに比較して少ないことに着目してなされている。
【0010】
即ち、本発明に係る熱式流量計は、
▲1▼ ヒータ素子と、このヒータ素子を間にして流体の通流方向にそれぞれ設けられた第1および第2の温度センサとをそれぞれ備え、所定の流路にそれぞれ組み込まれた高流量域計測用の高速流量センサおよび低流量域計測用の低速流量センサと、
▲2▼ これらの高速流量センサおよび低速流量センサのヒータ素子を択一的に駆動するセンサ切替手段と
▲3▼ このセンサ切替手段により択一的に駆動された前記高速流量センサまたは低速流量センサの前記第1および第2の温度センサによりそれぞれ検出される温度の差から該流量センサを通流する流体の流量を算出する流量算出手段と
を具備したものであって、
▲4▼ 特に前記センサ切替手段として、前記流量算出手段にて求められた前記流体の流量の変動がないとき、択一的に駆動する流量センサとして前記高速流量センサを選択指定する手段を備えることを特徴としている。
【0011】
具体的には前記センサ選択手段は、請求項2に記載するように前記流量算出手段にて求められた流量が高流量域にあるときには前記高速流量センサを選択指定すると共に、前記流量算出手段にて求められた流量が低流量域にあるときには前記低速流量センサを選択指定し、更に前記流量算出手段にて求められた流量の変動がないときには前記高速流量センサを選択指定するように構成される。或いは請求項3に記載するように前記センサ選択手段は、前記流量算出手段にて求められた流量の変動がないときには前記高速流量センサを選択指定し、それ以外のときには前記低速流量センサを選択指定するように構成される。
【0012】
本発明の好ましい態様は、前記センサ選択手段は、例えば前記低速流量センサを用いて計測される流量が一定時間に亘って所定の変動幅の範囲内に維持されるとき、流量の変動がないと判断して前記高速流量センサを選択し、更に前記高速流量センサを駆動して低速流量域の流量を計測しているときには、前記流量算出手段にて求められる流量の変動を監視して、流量の変動が検出されたときには前記低速流量センサを選択するように構成される。
【0013】
更に本発明の好ましい態様は、前記流量算出手段は、低速流量域の流量を計測する際、前記高速流量センサを選択する直前に前記低速流量センサを用いて計測された流量を積算するように構成される。更に前記センサ選択手段は、前記高速流量センサを駆動して低速流量域の流量を計測しているとき、所定のタイミング毎に一時的に前記低速流量センサを選択するように構成される。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明に係る熱式流量計について、家庭用ガスメータとして用いる場合を例に説明する。
図1はこの実施形態に係る熱式流量計の要部概略構成を示している。この熱式流量計は、図5に示した素子構造を有してその計測流量域を異にする2種類のマイクロフローセンサ、即ち、高流量域計測用の高速流量センサ10と低流量域計測用の低速流量センサ20とを用いて構成される。
【0015】
ちなみに高速流量センサ10および低速流量センサ20は、例えばヒータ素子Rhの発熱による熱拡散の度合いが流体の流量(流速)の違いによって異なることを利用し、ヒータ素子Rhと温度センサRu,Rdとの離間距離を異ならせることでその流量計測域を異ならせたものからなる。具体的には前記高速流量センサ10はヒータ素子Rhと温度センサRu,Rdとの離間距離L1を短く設定して実現され、また前記低速流量センサ20はヒータ素子Rhと温度センサRu,Rdとの離間距離L2を長く設定して実現される。これ故、高速流量センサ10の方が低速流量センサ20に比較してヒータ素子Rhと温度センサRu,Rdとの熱結合の度合いが強く、両流量センサ10,20において同じ検出感度を実現する場合におけるヒータ素子Rhの発熱温度、ひいてはその駆動電力が低く抑えられている。
【0016】
この実施形態に係る熱式流量計は、上述した2種類の高速流量センサ10と低速流量センサ20とを同じ流体通流路にそれぞれ設けてなり、これらの流量センサ10,20を択一的に駆動するように構成される。即ち、その制御装置としてのCPU(演算処理装置)30は、前記各流量センサ10,20のヒータ駆動回路11,21をスイッチ31を介して選択的に駆動するセンサ選択手段32を備える。更にCPU30は上記センサ選択手段32による前記各流量センサ10,20の択一的な駆動に連動して、各流量センサ10,20の検出回路12,22を介してそれぞれ検出されるセンサ出力Vout1,Vout2を選択的に取り込むスイッチ(セレクタ)33を備える。そしてこのスイッチ(セレクタ)33を介して取り込んだセンサ出力Vout1,Vout2から、流量算出手段34にて該センサ出力Vout1,Vout2にそれぞれ相当する流量Qを算出するように構成される。
【0017】
ちなみに流量算出手段34は、前記センサ選択手段32により選択された流量センサ10,20の情報を入力し、選択された流量センサ10,20に応じて前記スイッチ(セレクタ)33を介して選択的に取り込んだセンサ出力Vout1,Vout2に相当する流量Qを算出する。この流量Qの算出は、前記各流量センサ10,20にそれぞれ対応して設けられた、例えば図2に示すような流量Qとセンサ出力Voutとの関係を示す流量変換テーブル(図示せず)を参照する等して実行される。
【0018】
ところで前記流量算出手段34にて算出された流量Qは、前記センサ選択手段32と共に、流量有無判定手段35にそれぞれ与えられている。センサ選択手段32は、基本的には、例えば前記流量Qが所定の流量Qrefを境として設定される高流量域(大流量域)である場合には前記高速流量センサ10を選択し、逆に前記流量Qが低流量域(小流量域)である場合には前記低速流量センサ20を選択して、これらの流量センサ10,20を択一的に駆動する役割を担う。また前記流量有無判定手段35は、流量Qがゼロであるか否か、つまり流体が流れているか否かを検出する機能を備えたもので、流量Qがゼロである場合、前記センサ選択手段32に対して強制的に高速流量センサ10を選択する旨の指示を与える役割を担っている。
【0019】
また前記センサ選択手段32は、更に前記流量算出手段34にて逐次算出される流量Qから、その流量変動の有無を監視する流量変動監視手段36を備えている。この流量変動監視手段36は、例えば逐次検出される流量Qが一定時間に亘って所定の変動幅の範囲内に維持されるとき、流量Qの変動がないと判断するものである。
【0020】
このような流量変動監視手段36を備えた前記センサ選択手段36は、前記低速流量センサ20を選択的に駆動して低流量域の流量Qを計測しているときに上記流量変動監視手段36により流量Qの変動がないと判断されたとき、強制的に高速流量センサ10を選択して省電力モードを設定する機能を備える。更に省電力モードを設定し、高速流量センサ10を駆動して低速流量域の流量を計測しているときに流量Qの変動が検出されたときには、上記省電力モードを解除して再び前記低速流量センサ20を選択するように構成される。
【0021】
即ち、センサ選択手段32は、前記流量算出手段34にて求められた流量Qが高流量域にあるときには前記高速流量センサ10を選択すると共に、前記流量算出手段34にて求められた流量Qが低流量域にあるときには前記低速流量センサ20を選択し、更に前記流量算出手段32にて求められた流量Qの変動がないときには前記高速流量センサ10を選択するように構成される。
【0022】
尚、家庭用のガスメータにあっては、一般的にガスの使用量が少ないことが殆どであり、その計測範囲が低流量域に限られることから、前記流量算出手段32にて求められた流量Qの変動がないときには前記高速流量センサ10を強制的に選択し、それ以外のときには前記低速流量センサ20を選択指定するように構成しても良い。
【0023】
そしてCPU30においては、上述したセンサ選択手段32の制御の下で高速流量センサ10と低速流量センサ20とを択一的に駆動する条件下において、各流量センサ10,20によりそれぞれ検出されるセンサ出力Vout1,Vout2に応じてその流量Qを算出するものとなっている。この際、流量算出手段34においては、省電力モードを設定して強制的に高速流量センサ10を駆動するとき、図3にその概念を示すように、省電力モードの設定直前に低速流量センサ20を用いて計測された流量Qをそのときの計測流量Qとして求め、この流量Qを積算するように構成される。更に省電力モードの設定時には、一時復帰手段37により所定の時間毎に一時的に低速流量センサ20を選択してその流量Qを高精度に求めている。
【0024】
即ち、流量が少ないにも拘わらず高速流量センサ10を用いてその流量計測を行った場合、図2に流量Qに対するセンサ出力Vout1の関係を示したようにその検出精度が悪くなることが否めない。そこで一時復帰手段37においては省電力モードを設定した場合であっても所定の時間毎に一時的に低流量センサ20を選択している。そして低流量センサ20を用いて低流量域の流量Qを高精度に計測することで、流量変動がないことを前提として設定される省電力モード時であってもその流量を高精度に計測するものとなっている。そして省電力モードを設定した場合には、高速流量センサ10を用いて計測される流量Qからその流量変動を監視することで、流量変動が生じた場合には速やかに低速流量センサ20に切り替え、これによって変動した流量を高精度に求めるものとなっている。
【0025】
図4は上述した処理機能を備えた熱式流量計における全体的な処理手順の一例を示している。この処理手順を簡単に説明すると、先ず高速流量センサ10または低速流量センサ20を用いて計測される流量が低流量域であるか否かを判定する[ステップS1]。そして流量が高流量域にある場合には高速流量センサ10を選択し[ステップS2]、この高速流量センサ10を用いて流量の計測を行う[ステップS3]。
【0026】
これに対して流量が低流量域である場合には[ステップS1]、次にその流量計測を高速流量センサ10を用いて実行しているか否か、換言すれば低速流量センサ20を用いて計測しているか否かを判定する[ステップS4]。そして低流量域の流量を低速流量センサ20を用いて検出していることが確認された場合には、そのときの流量Qを計測値として求める[ステップS5]。
【0027】
次いで計測された流量Qが安定しているか否かを判定し[ステップS6]、流量Qが安定していない場合、つまり流量が変動している場合には、その動作モードを変更することなくステップS1からの処理に戻る。尚、流量Qが安定しているか否かは、前回計測された流量と今回計測した流量との差(変動量)が所定の判定閾値を越えるか否かを判定することによって行われる。
【0028】
これに対して流量Qが安定している場合には、次にその流量Qの変動が所定の時間に亘って所定の範囲内に収まっているか否かを調べることで流量変動があるか否かを判定する[ステップS7]。そして流量変動がゼロでない場合には、そのまま前述したステップS1からの処理に復帰する。これに対して流量変動がゼロである場合には、低速流量センサ20から高速流量センサ10に切り替えて省電力モードを設定し[ステップS8]、この省電力モードの設定直前に低速流量センサ20を用いて検出されている流量Qを、省電力モード時の計測流量と看做して検出する[ステップS9]。
【0029】
一方、低流量域の流量を高速流量センサ10を用いて検出している場合、つまり省電力モードが設定されている場合には[ステップS4]、先ず流量Qの確認を行うか否かを判断する[ステップS10]。ちなみに省電力モード時の流量確認処理は、例えば流量計測を所定の周期でサンプリングして実行する場合には、2〜10サンプリングに1回の割合で実行すれば十分である。そして流量確認を実行しない場合には、前回検出されている流量Qを今回の検出流量として検出する[ステップS11]。しかし流量確認を行う場合には、現在設定されている省電力モードを一時的に解除して低速流量センサ20に切り替えて駆動し[ステップS12]、この低速流量センサ20を用いて高精度に流量計測を実行する[ステップS13]。
【0030】
しかる後、そのときの流量が安定しているか否かを調べ[ステップS14]、この時点においても流量が安定している場合には、再び高速流量センサ10を選択することで省電力モードを継続して設定する[ステップS15]。しかし流量に変動がある場合には、前述した省電力モードを解除して低速流量センサ20を選択し[ステップS16]、低速流量センサ20を用いた流量の計測を行う[ステップS17]。
【0031】
このように本発明に係る熱式流量計によれば、低速流量センサ20を用いて流量計測を行っている場合であっても、その流量変動がないときには高速流量センサ20に切り替えて省電力モードを設定するものとなっている。従って低速流量センサ20に比較して高速流量センサ10の消費電力が小さい分、その省電力化を図ることが可能となる。しかも省電力モードの設定時には、低流量域における検出精度の悪い高速流量センサ10を駆動するといえども、その切り替え直前に低速流量センサ20を用いて求められる流量Qを、省電力モード時に計測される流量Qと看做して積算するので、その計測信頼性を十分に高く維持することが可能となる。更にはこの省電力モードの設定時には、上述した如く所定の時間毎に一時的に低速流量センサ20を用いて流量を計測し直すので、流量変動がないと看做し得る僅かな範囲で流量が変動した場合であっても、その流量を正確に計測することが可能となる。従って消費電力の少ない高速流量センサ10を用いて省電力化を図っても、省電力モード時における計測精度を十分に高くすることができ、全体としてその計測精度を損なうことがない。
【0032】
特に家庭用のガスメータにおいては、ガスの流量が一定時間に亘って殆ど変動しないことが多いので、上述した高速流量センサ10の選択による省電力モードの設定による省電力効果が大きい。更には深夜等においては一般的にガスが長時間に亘って使用されることがないので、この点でも大きな省電力効果を期待することができる等の実用上多大なる効果が奏せられる。
【0033】
尚、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。例えばガスの使用量(流量)がゼロである場合にも高速流量センサ10を駆動するようにすれば良い。この場合には、高速流量センサ10による流量計測は、ガスの使用が再開されたか否かの監視にだけ用いることになるが、ヒータ素子Rhによる消費電力を減らし、熱式流量計の省電力化を図る上で好都合である。しかも高速流量センサ10によって流量がゼロであるか否かだけを検出すればよいので、高速流量センサ10自体の発熱温度を低く抑えることも可能であり、更にその省電力化を図ることが可能となる。その他、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【0034】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、流量の変動がないとき、ヒータ素子の駆動電力の小さい高速流量センサを用いて流量の変動を監視しながら流量計測を実行するので、ヒータ素子の発熱駆動に要する電力を少なくすることができ、大幅にその省電力化を図り得る。しかも高速流量センサを用いて省電力化を図るばあいであっても、低速流量センサを用いて計測される流量を該省電力モード時の計測値として用いるので、その計測精度を高く維持することができる。また高速流量センサと低速流量センサとを、その流量域に応じて選択的に用いるようにすれば、この点でもその消費電力を低減することができる等、実用上多大なる効果が奏せられる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る熱式流量計の要部概略構成図。
【図2】図1に示す熱式流量計における高速流量センサおよび低速流量センサの流量に対するセンサ出力の変化の様子を示す図。
【図3】省電力モードの設定時における流量計測の概念を示す図。
【図4】図1に示す熱式流量計における概略的な処理動作の一例を示す図。
【図5】マイクロフローセンサの概略構成図。
【図6】従来の一般的なヒータ駆動回路と流量検出回路の構成例を示す図。
【符号の説明】
Rh ヒータ素子
Ru 温度センサ(上流側)
Rd 温度センサ(下流側)
Rr 温度センサ(周囲温度計測用)
1 ブリッジ回路(ヒータ駆動用)
2 差動増幅器(ヒータ駆動回路)
3 ブリッジ回路(流量計測用)
4 差動増幅器
10 高速流量センサ
20 低速流量センサ
30 CPU
31 スイッチ
32 センサ選択手段
33 スイッチ(セレクタ)
34 流量算出手段
35 流量有無判定手段
36 流量変動監視手段
37 一時復帰手段
Claims (7)
- ヒータ素子と、このヒータ素子を間にして流体の通流方向にそれぞれ設けられた第1および第2の温度センサとをそれぞれ備え、所定の流路にそれぞれ組み込まれた高流量域計測用の高速流量センサおよび低流量域計測用の低速流量センサと、
これらの高速流量センサおよび低速流量センサのヒータ素子を択一的に駆動するセンサ選択手段と
このセンサ選択手段により択一的に駆動された前記高速流量センサまたは低速流量センサの前記第1および第2の温度センサによりそれぞれ検出される温度の差から該流量センサを通流する流体の流量を算出する流量算出手段とを具備し、前記センサ選択手段は、前記流量算出手段にて求められた前記流体の流量の変動がないとき、択一的に駆動する流量センサとして前記高速流量センサを選択指定する手段を備えることを特徴とする熱式流量計。 - 前記センサ選択手段は、前記流量算出手段にて求められた流量が高流量域にあるときには前記高速流量センサを選択すると共に、前記流量算出手段にて求められた流量が低流量域にあるときには前記低速流量センサを選択し、更に前記流量算出手段にて求められた流量の変動がないときには前記高速流量センサを選択するものである請求項1に記載の熱式流量計。
- 前記センサ選択手段は、前記流量算出手段にて求められた流量の変動がないときには前記高速流量センサを選択し、それ以外のときには前記低速流量センサを選択するものである請求項1に記載の熱式流量計。
- 前記センサ選択手段は、前記低速流量センサを用いて計測される流量が一定時間に亘って所定の変動幅の範囲内に維持されるとき、流量の変動がないと判断して前記高速流量センサを選択するものである請求項2または3に記載の熱式流量計。
- 前記センサ選択手段は、前記高速流量センサを駆動して低速流量域の流量を計測しているとき、前記流量算出手段にて求められる流量の変動を監視し、流量の変動が検出されたときには前記低速流量センサを選択するものである請求項1に記載の熱式流量計。
- 前記流量算出手段は、低速流量域の流量を計測する際、前記高速流量センサを選択する直前に前記低速流量センサを用いて計測された流量を積算するものである請求項1に記載の熱式流量計。
- 前記センサ選択手段は、前記高速流量センサを駆動して低速流量域の流量を計測しているとき、所定のタイミング毎に一時的に前記低速流量センサを選択するものである請求項1に記載の熱式流量計。
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