JP2003004496A - 流量測定装置 - Google Patents

流量測定装置

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JP2003004496A
JP2003004496A JP2001189859A JP2001189859A JP2003004496A JP 2003004496 A JP2003004496 A JP 2003004496A JP 2001189859 A JP2001189859 A JP 2001189859A JP 2001189859 A JP2001189859 A JP 2001189859A JP 2003004496 A JP2003004496 A JP 2003004496A
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Noboru Kitahara
昇 北原
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の技術では、吸気通路の逆流をも測定す
るために、流量検出温度センサの出力を脈動周波数より
も十分速い高周波数にてA/D変換処理して読み込む必
要があるため、他のセンサ類では要求し得ない高速なサ
ンプリングスピードや演算処理能力を、ただでさえ演算
負荷の高い受け側の装置に要求してしまう。 【解決手段】 流量測定装置3は、高応答センサ7によ
って空気通路内に生じる脈動や逆流による空気流量の変
化を読み取り、その脈動率や逆流比によって低応答セン
サ8の出力値を補正して出力している。このため、空気
通路内に脈動や逆流が生じても、空気の流れ方向に関わ
らず高精度に空気流量を測定することができる。また、
流量測定装置3の出力は補正された低応答センサ8の出
力であるため、出力の受け側(噴射燃料演算装置1)の
負荷を軽くできる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、内燃機関の吸気
系、例えば自動車用エンジンの吸気空気流量を温度特性
を利用して測定する流量測定装置に関するものであり、
特に、吸気脈動や空気の流れ方向に係わらず、空気通路
を流れる流量を高精度に検出する流量測定装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来、自動車等のエンジンの吸気流量を
測定する手段として熱式流量計が知られている。従来の
熱式流量計は、発熱抵抗体の発熱量から吸気流量を測定
するものであり、空気流量を高精度に測定することがで
きるが、空気の流れ方向を検出することができなかっ
た。4気筒以下のエンジンのように気筒数の少ないエン
ジンでは、低回転でかつ高負荷の時に空気脈動が大きく
なり、空気が逆流することがある。このため、空気の順
方向(燃焼室に向かう空気の流れ方向)および逆方向
(燃焼室とは異なる側に向かう空気の流れ方向)に関わ
らずに空気が流れた流量のみを検出している従来の熱式
流量計では、空気の逆流量も空気流量として測定するた
め、燃焼室に吸入される空気流量を正しく検出すること
ができなかった。
【0003】空気の流れ方向を考慮して空気流量を測定
する手段として特開2000−193505公報に開示
される技術が知られている。この公報に開示される流量
測定装置は、発熱抵抗体を、吸気温度センサによって測
定される吸気温度より一定温度高い基準温度に設定し、
流量を検出するための流量検出温度センサを発熱抵抗体
の上流部分(空気流れにおいて燃焼室とは異なる側)に
配置した構成を採用したものである。
【0004】このような構成を採用した流量測定装置
は、空気が順方向へ流れる場合、空気の流れによって発
熱抵抗体の上流部分に配置された流量検出温度センサが
冷却されるため、その温度と基準温度との差によって順
方向へ流れる空気流量を求めることができる。逆に、空
気が逆方向へ流れる場合、空気の流れによって発熱抵抗
体の上流部分に配置された流量検出温度センサが加熱さ
れるため、その温度と基準温度との差によって逆方向へ
流れる空気流量を求めることができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記公報に開
示された技術では、流量検出温度センサの出力を脈動周
波数よりも十分速い高周波数にてA/D変換処理を行っ
て読み込む必要がある。このため、他のセンサ類では要
求し得ない高速なサンプリングスピードや演算処理能力
等の高負荷を、ただでさえ演算負荷の高いエンジン制御
回路(例えば噴射量や噴射時期を算出する噴射燃料回
路)に要求してしまう。また、逆流を含む空気脈動に十
分応答する高応答センサが必要になる。しかし、このよ
うな高応答センサを用いると、空気通路内のわずかな空
気流の乱れも検出してしまうため、流量の計測精度の悪
化の要因になってしまう。
【0006】上記公報の不具合を回避する技術として、
特開平11−316145号公報、特開平11−337
382号公報に開示された技術が知られている。これら
の技術は、高応答センサの出力を線形化処理し、さらに
フィルタ処理した後に、非線形化処理を行って出力する
ものである。しかし、これらの技術では、線形化処理、
フィルタ処理、非線形化処理を行ったことにより、実際
の流量との間に誤差が生じてしまうため、検出精度の低
下を招いてしまう。
【0007】
【発明の目的】本発明は、上記の事情に鑑みてなされた
もので、その目的は、高応答な出力ではなく、低応答の
出力が可能であり、出力の受け側(エンジン制御回路
等)の負荷の増加を抑えることができるとともに、高応
答の流量検出によって低応答の流量値を補正することに
よって、空気の流れ方向に関わらず高精度に空気流量を
測定することができる流量測定装置を提供することにあ
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】〔請求項1の手段〕請求
項1の手段を採用することにより、高応答センサによっ
て脈動や逆流を含む空気流量を検出して低応答センサの
流量値を補正するため、空気の流れ方向に関わらず高精
度に空気流量を測定することができる。また、出力は補
正された低応答センサの出力であるため、出力の受け側
(エンジン制御回路等)の負荷の増加を抑えることがで
きる。
【0009】〔請求項2の手段〕高応答センサを、発熱
抵抗体の上流側と下流側の温度差から空気流量を検出す
る温度差検出手段、上下流に配置された2つの発熱抵抗
体の放熱量差から空気流量を検出する放熱差検出手段、
または発熱抵抗体の上流側あるいは下流側の温度から空
気流量を検出する温度検出手段のいずれかの構成とし、
空気通路内を流れる空気流量および空気の流れ方向を検
出できるように設けても良い。そして、高応答センサの
出力から空気通路内を流れる空気の脈動率と逆流比を求
める脈動率・逆流比算出手段を設け、補正値算出手段で
脈動率と逆流比から補正値を求めるようにしても良い。
【0010】〔請求項3の手段〕高応答センサを、発熱
抵抗体の放熱量から空気流量を検出する放熱検出手段と
しても良い。そして、高応答センサの出力から空気通路
内を流れる空気の逆流部分を判別して、逆流部分の空気
流を負の値にする逆流判別手段を設けるとともに、この
逆流判別手段の出力から空気通路内を流れる空気の脈動
率と逆流比を求める脈動率・逆流比算出手段を設け、補
正値算出手段で脈動率と逆流比から補正値を求めるよう
にしても良い。
【0011】〔請求項4の手段〕低応答センサを、発熱
抵抗体の上流側と下流側の温度差から空気流量を検出す
る温度差検出手段、上下流に配置された2つの発熱抵抗
体の放熱量差から空気流量を検出する放熱差検出手段、
発熱抵抗体の上流側あるいは下流側の温度から空気流量
を検出する温度検出手段のいずれかの構成とし、空気通
路内を流れる空気流量および空気の流れ方向を検出でき
るように設けても良い。そして、補正値算出手段で、高
応答センサの出力から脈動率を求め、その脈動率から補
正値を求めても良い。
【0012】〔請求項5の手段〕低応答センサは、発熱
抵抗体の放熱量から空気流量を検出するものであり、補
正値算出手段に高応答センサの出力から空気通路内を流
れる空気の脈動率と逆流比を求める脈動率・逆流比算出
手段を設け、補正値算出手段で脈動率と逆流比から補正
値を求めるようにしても良い。
【0013】〔請求項6の手段〕高応答センサと低応答
センサを一体に設けても良い。
【0014】〔請求項7の手段〕高応答センサと低応答
センサを別体に設けても良い。
【0015】〔請求項8の手段〕空気通路内に配置され
た少なくとも1つ以上の曲がりを有する副空気通路内に
低応答センサを設けても良い。これにより、低応答セン
サの脈動による特性誤差を低減することができ、残った
脈動および逆流による特性誤差を高応答センサから求め
た。脈動率と逆流比で補正値を求めて補正することによ
り、さらに測定される流量の精度を高めることができ
る。
【0016】〔請求項9の手段〕副空気通路の外部に高
応答センサを配置しても良い。
【0017】〔請求項10の手段〕エンジンのインテー
クマニホールド内に高応答センサを配置しても良い。こ
のように設けることにより、エンジンのシリンダに吸入
される流量を測定することができるため、測定流量の精
度を高めることができる。
【0018】〔請求項11の手段〕高応答センサと低応
答センサを熱的に絶縁して設けても良い。
【0019】〔請求項12の手段〕高応答センサの応答
遅れを演算によって補正しても良い。このように、高応
答センサの応答遅れを補正することにより、測定される
流量の精度を高めることができる。
【0020】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を、複数の実
施例を用いて説明する。 〔第1実施例の構成〕図1〜図3は第1実施例を示すも
のであり、図1は流量測定装置を用いた燃料噴射装置の
要部概略図、図2は流量測定装置における流量検出部の
平面図および断面図、図3は流量検出部の回路図を示す
ものである。
【0021】燃料噴射装置は、エンジンの各気筒に対し
て、車両の運転状態に適した噴射量と噴射時期を演算す
る噴射燃料演算装置1を備え、この噴射燃料演算装置1
で演算された結果に基づき、燃料噴射弁2が制御され
る。噴射燃料演算装置1は、車両の運転状態を検出する
手段の一つとして、エンジンに吸入される空気量を検出
するための流量測定装置3を搭載している。
【0022】この流量測定装置3は、吸気管4等の内部
の空気通路5(図10、図11参照)に配置した発熱抵
抗体6(図2参照)の発生する熱を利用して空気通路5
内を流れる空気流量(吸入空気量)を測定するものであ
って、図1に示すように、空気通路5内の空気流量を応
答性よく検出できる高応答センサ7と、この高応答セン
サ7に比較して応答性の低い低応答センサ8と、高応答
センサ7の出力を用いて補正値(脈動率や逆流比)を求
める補正値算出手段9と、低応答センサ8の出力を、補
正値算出手段9で求めた補正値で補正する流量算出手段
10とを備える。
【0023】発熱抵抗体6、高応答センサ7および低応
答センサ8は、空気通路5内に配置される流量検出部1
1に設けられるものである。この流量検出部11を、図
2、図3を参照して説明する。流量検出部11は、図2
(b)に示すように、シリコン等による半導体基板12
の表面に薄く形成された下層絶縁膜13の上に蒸着技術
等によって配置されたものであり、下層絶縁膜13の表
面に上流側から下流側に向かって低応答センサ用吸気温
度センサ14、発熱抵抗体用吸気温度センサ15、高応
答センサ用吸気温度センサ16、高応答センサ7、発熱
抵抗体6、低応答センサ8が並んで設けられている。さ
らに、各センサ類の表面は薄い上層絶縁膜17で覆われ
ており、各センサ類が保護されている。
【0024】なお、低応答センサ用吸気温度センサ1
4、発熱抵抗体用吸気温度センサ15、高応答センサ用
吸気温度センサ16、高応答センサ7、発熱抵抗体6
は、温度によって抵抗値が変化する感温抵抗体であり、
低応答センサ8は、放熱量により吸気流量を検出するた
めの発熱抵抗体である。
【0025】高応答センサ7および発熱抵抗体6の下面
に位置する半導体基板12には、図2(b)に示すよう
に、第1空洞部20が形成されており、高応答センサ7
および発熱抵抗体6の熱的変化の応答性を高めている。
この第1空洞部20が設けられた部分を第1ダイアフラ
ム部21とする。また、発熱抵抗体6と低応答センサ8
との間の半導体基板12にも、空気の流れ方向に対して
直交する方向に延びる第2空洞部22が形成されてお
り、低応答センサ8が上流側の高応答センサ7および発
熱抵抗体6に対して熱的に絶縁されている。この第2空
洞部22が設けられた部分を第2ダイアフラム部23と
する。なお、低応答センサ8の下面には半導体基板12
があり、低応答センサ8の熱的変化の応答性を下げてい
る。
【0026】低応答センサ用吸気温度センサ14、発熱
抵抗体用吸気温度センサ15、高応答センサ用吸気温度
センサ16、高応答センサ7、発熱抵抗体6、低応答セ
ンサ8の電気回路図を図3に示す。発熱抵抗体6は、発
熱抵抗体用吸気温度センサ15によって検出される吸気
温度に対して所定温度高い温度となるように制御され
る。
【0027】高応答センサ7は、発熱抵抗体6および低
応答センサ8とは異なる一定電圧Vccを受けており、
温度によって抵抗値が変化することによって変化する電
圧値をオペアンプ24で増幅し、「高応答出力」として
出力している。なお、この実施例の高応答センサ7は、
発熱抵抗体6の上流側の温度から空気流量を検出する温
度検出手段である。低応答センサ8は、低応答センサ用
吸気温度センサ14によって検出される吸気温度に対し
て所定温度だけ高い温度となるように制御される。ま
た、低応答センサ8は、放熱によって電力が変化するこ
とによって変化する電圧値を「低応答出力」として出力
している。
【0028】図1で示した補正値算出手段9は、上述し
たように高応答センサ7の出力を用いて補正値を求める
ものである。ここで、補正値は、空気通路5に発生した
脈動および逆流によって生じる低応答センサ8では測定
できない空気量から求められる。この補正値を算出する
ために、補正値算出手段9は、脈動周波数よりも十分速
い高周波数にて高応答センサ7をA/D変換処理して、
脈動率や逆流比による空気流量の変化を測定する。
【0029】流量算出手段10は、低応答センサ8の出
力を補正値算出手段9で求めた補正値で補正するもので
あり、流量算出手段10で補正された低応答センサ8の
出力は流量測定装置3から出て、噴射燃料演算装置1に
出力される。
【0030】この実施例の流量測定装置3は、高応答セ
ンサ7によって検出される脈動や逆流による空気流量の
変化によって、低応答センサ8の出力値を補正している
ため、空気通路5内に脈動や逆流が生じても、空気の流
れ方向に関わらず高精度に空気流量を測定することがで
きる。また、流量測定装置3の出力は補正された低応答
センサ8の出力であるため、出力の受け側(噴射燃料演
算装置1)の負荷の増加を抑えることができる。
【0031】〔第2実施例〕図4を参照して第2実施例
を説明する。この図4は流量測定装置3における流量検
出部11の平面図および断面図である。なお、この第2
実施例以降における第1実施例と同一符号は同一機能物
を示すものである。第2実施例の高応答センサ7は、発
熱抵抗体6の上流側と下流側の温度差から空気通路5内
を流れる空気流量および空気の流れ方向を検出する温度
差検出手段であり、第1ダイアフラム部21内における
発熱抵抗体6の上流側に配置された上流側高応答センサ
7aと、第1ダイアフラム部21内における発熱抵抗体
6の下流側に配置された下流側高応答センサ7bとから
なる。
【0032】なお、この実施例の上流側高応答センサ7
aおよび下流側高応答センサ7bは、温度変化によって
抵抗値が変化する感温抵抗体である。そして、この第2
実施例では、上流側高応答センサ7aによって検出され
る温度(抵抗値変化によって生じる電圧値)と、下流側
高応答センサ7bによって検出される温度(抵抗値変化
によって生じる電圧値)との差から、高応答に空気通路
5内の空気流量と流れ方向を検出し、脈動や逆流による
空気流量の変化を検出するものである。
【0033】〔第3実施例〕図5を参照して第3実施例
を説明する。なお、図5は流量測定装置3における流量
検出部11の平面図および断面図である。第3実施例の
高応答センサ7は、上下流に配置された2つの発熱抵抗
体(上流側発熱抵抗体6a、下流側発熱抵抗体6b)の
放熱量差から空気通路5内を流れる空気流量および空気
の流れ方向を検出する放熱差検出手段であり、第1ダイ
アフラム部21内の上流側に配置された上流側発熱抵抗
体6aと、第1ダイアフラム部21内における上流側発
熱抵抗体6aの下流に配置された下流側発熱抵抗体6b
とからなる。
【0034】なお、この実施例で高応答センサ7を構成
する上流側発熱抵抗体6aおよび下流側発熱抵抗体6b
は、放熱量によって空気流量を検出するための発熱抵抗
体であり、上流側発熱抵抗体6aは、上流側発熱抵抗体
用吸気温度センサ6cによって検出される吸気温度に対
して所定温度だけ高い温度となるように制御され、下流
側発熱抵抗体6bは、下流側発熱抵抗体用吸気温度セン
サ6dによって検出される吸気温度に対して所定温度だ
け高い温度となるように制御される。
【0035】また、上流側発熱抵抗体6aは、放熱によ
って消費電力が変化することによって変化する電圧値を
「上流側高応答放熱出力」として出力し、下流側発熱抵
抗体6bは、放熱によって消費電力が変化することによ
って変化する電圧値を「下流側高応答放熱出力」として
出力している。そして、この第3実施例では、上流側発
熱抵抗体6aによって出力される「上流側高応答放熱出
力」と、下流側発熱抵抗体6bによって出力される「下
流側高応答放熱出力」との差から、高応答に空気通路5
内の空気の流れおよび方向を検出し、脈動や逆流による
空気流量の変化を検出するものである。
【0036】〔第4実施例〕図6を参照して第4実施例
を説明する。なお、図6は、流量測定装置3を用いた燃
料噴射装置の要部概略図である。第4実施例の流量測定
装置3は、上記第1〜第3実施例で示した流量検出部1
1の何れかを用いるものであり、図6に示すように高応
答センサ7の出力から空気通路5内を流れる空気の脈動
率と逆流比を求める脈動率・逆流比算出手段25を設
け、補正値算出手段9は、脈動率・逆流比算出手段25
で求めた脈動率と逆流比から補正値を求めるものであ
る。このように設けることによって、第1実施例と同様
の効果を得ることができる。
【0037】〔第5実施例〕図7および図8を参照して
第5実施例を説明する。なお、図7は流量測定装置3に
おける流量検出部11の平面図および断面図、図8は流
量測定装置3を用いた燃料噴射装置の要部概略図であ
る。第5実施例の高応答センサ7は、発熱抵抗体(高応
答センサ7自身)の放熱量から空気流量を検出する放熱
検出手段であり、図7に示すように、第1ダイアフラム
部21内に高応答センサ7(発熱抵抗体)が配置されて
おり、この高応答センサ7は、高応答センサ用吸気温度
センサ16によって検出される吸気温度に対して所定温
度だけ高い温度となるように制御される。この高応答セ
ンサ7は、放熱によって消費電力が変化することによっ
て変化する電圧値を「高応答放熱出力」として出力して
いる。
【0038】一方、第5実施例の流量測定装置3は、図
8に示すように高応答センサ7の出力から空気通路5内
を流れる空気の逆流部分を判別して、逆流部分の空気流
を負の値にする逆流判別手段26と、この逆流判別手段
26の出力から空気通路5内を流れる空気の脈動率と逆
流比を求める脈動率・逆流比算出手段25とが設けられ
ており、補正値算出手段9は、脈動率・逆流比算出手段
25で求めた脈動率と逆流比から補正値を求めるもので
ある。このように設けることによって、第1実施例と同
様の効果を得ることができる。
【0039】〔第6実施例〕図9を参照して第6実施例
を説明する。なお、図9は、流量測定装置3を用いた燃
料噴射装置の要部概略図である。第6実施例の流量測定
装置3は、低応答センサ8によって空気通路5内を流れ
る空気流量および空気の流れ方向を検出できるものであ
り、この低応答センサ8の構成としては、発熱抵抗体6
の上流側と下流側の温度差から空気流量を検出する温度
差検出手段、上下流に配置された2つの発熱抵抗体6の
放熱量差から空気流量を検出する放熱差検出手段、発熱
抵抗体6の上流側あるいは下流側の温度から空気流量を
検出する温度検出手段のいずれかの構成を備えるもので
ある。
【0040】この場合、図9に示すように、補正値算出
手段9は、高応答センサ7の出力から補正値として脈動
率を求めるものであり、流量算出手段10は低応答セン
サ8の出力を補正値算出手段9で求めた補正値(脈動
率)で補正する。これによって、空気通路5内に脈動や
逆流が生じても、空気の流れ方向に関わらず高精度に空
気流量を測定することができる。つまり、第1実施例と
同様の効果を得ることができる。
【0041】〔第7実施例〕上記の各実施例では高応答
センサ7と低応答センサ8とを一体に設けた例を示した
が、高応答センサ7と低応答センサ8とを別体で設け、
空気通路5内に別々に配置しても良い。
【0042】〔第8実施例〕図10、図11を参照して
第8実施例を説明する。なお、図10、図11は低応答
センサ8が配置された空気通路5の断面図である。図1
0に示すように、空気通路5内に配置された少なくとも
1つ以上の曲がりを有する副空気通路27内に低応答セ
ンサ8を配置し、副空気通路27の外部に高応答センサ
7(符号は上記実施例参照)を配置しても良い。このよ
うに設けることによって、低応答センサ8の脈動による
特性誤差を低減することができ、残った脈動および逆流
による特性誤差を高応答センサ7から求めた脈動率と逆
流比から補正値を求めて補正することにより、さらに測
定される流量の精度を高めることができる。
【0043】〔第9実施例〕高応答センサ7をエンジン
のインテークマニホールド内に配置しても良い。このよ
うに設けることにより、エンジンのシリンダに吸入され
る流量を測定することができるため、測定流量の精度を
高めることができる。特に、第8実施例と組み合わせる
ことにより、流量の測定精度を高めることができる。
【0044】〔第10実施例〕高応答センサ7において
も若干の応答遅れが生じる。この応答遅れを演算回路に
て算出し、算出された応答遅れ分によって高応答センサ
7の出力を補正しても良い。この実施例では、高応答セ
ンサ7の応答遅れを補正するので、さらに流量の測定精
度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】流量測定装置を用いた燃料噴射装置の要部概略
図である。
【図2】流量測定装置における流量検出部の平面図およ
び断面図である。
【図3】流量検出部の回路図を示すものである。
【図4】流量測定装置における流量検出部の平面図およ
び断面図である。
【図5】流量測定装置における流量検出部の平面図およ
び断面図である。
【図6】流量測定装置を用いた燃料噴射装置の要部概略
図である。
【図7】流量測定装置における流量検出部の平面図およ
び断面図である。
【図8】流量測定装置を用いた燃料噴射装置の要部概略
図である。
【図9】流量測定装置を用いた燃料噴射装置の要部概略
図である。
【図10】低応答センサが配置された空気通路の断面図
である。
【図11】図10のE−E線に沿う断面図である。
【符号の説明】
1 噴射燃料演算装置(流量測定装置の出力の受け側) 3 流量測定装置 5 空気通路 6 発熱抵抗体 7 高応答センサ 8 低応答センサ 9 補正値算出手段 10 流量算出手段 25 脈動率・逆流比算出手段 26 逆流判別手段 27 副空気通路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G01F 1/72 G01F 1/68 201Z G01P 13/02 F02D 35/00 366E Fターム(参考) 2F030 CA10 CB07 CB09 CC14 CD05 CE04 CF09 2F034 DB09 DB15 2F035 AA02 EA03 EA04 EA05 EA08 EA09 3G084 AA03 BA04 DA00 EA04 EA11 FA02 FA08

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】空気通路に配置した発熱抵抗体を利用して
    前記空気通路内を流れる空気流量を測定する流量測定装
    置であって、 前記空気通路内の空気流量を応答性よく検出できる高応
    答センサと、 前記空気通路内の空気流量を検出するものであり、前記
    高応答センサに比較して応答性の低い低応答センサと、 前記高応答センサの出力を用いて補正値を求める補正値
    算出手段と、 前記低応答センサの出力を、前記補正値算出手段で求め
    た補正値で補正する流量算出手段とを備えることを特徴
    とする流量測定装置。
  2. 【請求項2】請求項1の流量測定装置において、 前記高応答センサは、前記発熱抵抗体の上流側と下流側
    の温度差から空気流量を検出する温度差検出手段、上下
    流に配置された2つの発熱抵抗体の放熱量差から空気流
    量を検出する放熱差検出手段、または前記発熱抵抗体の
    上流側あるいは下流側の温度から空気流量を検出する温
    度検出手段のいずれかの構成を備えて、前記空気通路内
    を流れる空気流量および空気の流れ方向を検出できるも
    のであり、 このような構成を採用する前記高応答センサの出力から
    前記空気通路内を流れる空気の脈動率と逆流比を求める
    脈動率・逆流比算出手段を備え、 前記補正値算出手段は、前記脈動率・逆流比算出手段で
    求めた脈動率と逆流比から補正値を求めることを特徴と
    する流量測定装置。
  3. 【請求項3】請求項1の流量測定装置において、 前記高応答センサは、前記発熱抵抗体の放熱量から空気
    流量を検出する放熱検出手段であり、 この構成を採用する前記高応答センサの出力から前記空
    気通路内を流れる空気の逆流部分を判別して、逆流部分
    の空気流を負の値にする逆流判別手段と、この逆流判別
    手段の出力から前記空気通路内を流れる空気の脈動率と
    逆流比を求める脈動率・逆流比算出手段とを備え、 前記補正値算出手段は、前記脈動率・逆流比算出手段で
    求めた脈動率と逆流比から補正値を求めることを特徴と
    する流量測定装置。
  4. 【請求項4】請求項1ないし請求項3のいずれかの流量
    測定装置において、 前記低応答センサは、前記発熱抵抗体の上流側と下流側
    の温度差から空気流量を検出する温度差検出手段、上下
    流に配置された2つの発熱抵抗体の放熱量差から空気流
    量を検出する放熱差検出手段、前記発熱抵抗体の上流側
    あるいは下流側の温度から空気流量を検出する温度検出
    手段のいずれかの構成を備えて、前記空気通路内を流れ
    る空気流量および空気の流れ方向を検出できるものであ
    り、 前記補正値算出手段は、前記高応答センサの出力から脈
    動率を求め、その脈動率から補正値を求めることを特徴
    とする流量測定装置。
  5. 【請求項5】請求項1ないし請求項3のいずれかの流量
    測定装置において、 前記低応答センサは、前記発熱抵抗体の放熱量から空気
    流量を検出するものであり、 前記補正値算出手段は、前記脈動率・逆流比算出手段で
    求めた脈動率と逆流比から補正値を求めることを特徴と
    する流量測定装置。
  6. 【請求項6】請求項1ないし請求項5のいずれかの流量
    測定装置において、 前記高応答センサと前記低応答センサは、一体で構成さ
    れていることを特徴とする流量測定装置。
  7. 【請求項7】請求項1ないし請求項5のいずれかの流量
    測定装置において、 前記高応答センサと前記低応答センサは、別体で構成さ
    れていることを特徴とする流量測定装置。
  8. 【請求項8】請求項1ないし請求項7のいずれかの流量
    測定装置において、 前記低応答センサは、前記空気通路内に配置された少な
    くとも1つ以上の曲がりを有する副空気通路内に設けら
    れたことを特徴とする流量測定装置。
  9. 【請求項9】請求項8の流量測定装置において、 前記高応答センサは、前記副空気通路の外部に配置され
    たことを特徴とする流量測定装置。
  10. 【請求項10】請求項7または請求項9のいずれかの流
    量測定装置において、 前記高応答センサは、エンジンのインテークマニホール
    ド内に配置されたことを特徴とする流量測定装置。
  11. 【請求項11】請求項1ないし請求項10のいずれかの
    流量測定装置において、 前記高応答センサと前記低応答センサは、熱的に絶縁さ
    れていることを特徴とする流量測定装置。
  12. 【請求項12】請求項1ないし請求項11のいずれかの
    流量測定装置において、 前記高応答センサの応答遅れを演算によって補正する遅
    れ補正手段を用いることを特徴とする流量測定装置。
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