JP2011209152A - 流量計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】所定の流路2a内を流通する同一の被測定ガスの流量を検出するための複数の異なる熱式流れセンサ10A・10Bを備える流量計1であって、少なくとも1つの熱式流れセンサ10A(10B)のセンサ出力に基づいて被測定ガスの補正前流量を算出する流量演算部21と、2つの熱式流れセンサ10A・10Bのセンサ出力に基づいて算出した被測定ガスの補正前流量と各熱式流れセンサ固有の固定係数とに基づいて所定の基準ガスの温度拡散率に対する被測定ガスの温度拡散率の比と相関関係を有する補正係数を算出する補正係数演算部22と、流量演算部21で算出した補正前流量と補正係数演算部22で算出した補正係数とに基づいて被測定ガスの補正後流量を算出する出力補正部23と、を備える。
【選択図】図1
Description
(α/α0)=1+(QB―QA)/(KAQA―KBQB)
とに基づいて所定の基準ガスの温度拡散率α0に対する被測定ガスの温度拡散率αの比である特定比(α/α0)を算出する補正係数算出手段を採用することができる。ここで、固定係数KBは固定係数KAと異なる値とする。
CFA=1−KA(1−α/α0)
とに基づいて第一の補正係数CFAを算出する補正係数算出手段を採用することができる。かかる場合において、第一の補正前流量QAに第一の補正係数CFAを乗じることにより被測定ガスの補正後流量Qを算出する流量補正手段を採用することができる。
CFB=1−KB(1−α/α0)
とに基づいて第二の補正係数CFBを算出する補正係数算出手段を採用することができる。かかる場合において、第二の補正前流量QBに第二の補正係数CFBを乗じることにより被測定ガスの補正後流量Qを算出する流量補正手段を採用することができる。
最初に、図1〜図7を用いて、本発明の第一実施形態に係る流量計1について説明する。本実施形態に係る流量計1は、図1に示すように、ガスが流通する図示していない配管の一部に取り付けられる流路保持体2と、流路保持体2に一体的に接続される計測ユニット3と、を備えており、流路保持体2の内部には、被測定ガスが矢印の方向に流通する流路2aが形成されている。計測ユニット3は、流路2a内を流通する被測定ガスの流量を算出するものである。なお、図1は、流路保持体2の断面図と、計測ユニット3の機能的構成を説明するためのブロック図と、を複合的に示した構成図である。
CFA=1−KA(1−α/α0)
従って、実流量に相当する補正後流量Qは、特定比(α/α0)を用いた以下の算出式(第一の補正後流量算出式)で表される。
Q=CFA×QA={1−KA(1−α/α0)}×QA
KA=(QA−Q)/{QA(1−α/α0)}
この式に、既知の値(基準流量計で測定したQ、熱式流れセンサ10Aを用いた流量計で測定したQA、基準ガス(メタン)の温度拡散率α0、被測定ガス(二酸化炭素)の温度拡散率α)を代入することにより、KAを算出することができる。
CFB=1−KB(1−α/α0)
従って、実流量に相当する補正後流量Qは、特定比(α/α0)を用いた以下の算出式(第二の補正後流量算出式)で表される。
Q=CFB×QB={1−KB(1−α/α0)}×QB
(α/α0)=1+(QB―QA)/(KAQA―KBQB)
続いて、図8及び図9を用いて、本発明の第二実施形態に係る流量計1Aについて説明する。本実施形態に係る流量計1Aは、第一実施形態に係る流量計1と共通の構成を多く有している。このため、本実施形態においては、第一実施形態と異なる構成を中心に説明することとし、第一実施形態と共通の構成については第一実施形態と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
2a…流路・主流路
9…バイパス流路
10A・10B・10C…熱式流れセンサ
14…ヒータ(発熱素子)
15…上流側測温抵抗素子(抵抗素子)
16…下流側測温抵抗素子(抵抗素子)
20・20A…中央演算装置
21…流量演算部(流量算出手段)
22…補正係数演算部(補正係数算出手段)
23…出力補正部(流量補正手段)
Claims (10)
- 所定の流路内を流通する同一の被測定ガスの流量を検出するための複数の異なる熱式流れセンサを備えるとともに、
少なくとも1つの前記熱式流れセンサのセンサ出力に基づいて被測定ガスの補正前流量を算出する流量算出手段と、
少なくとも2つの前記熱式流れセンサのセンサ出力に基づいて算出した被測定ガスの補正前流量と前記少なくとも2つの熱式流れセンサ固有の固定係数とに基づいて、所定の基準ガスの温度拡散率に対する被測定ガスの温度拡散率の比と相関関係を有する補正係数を算出する補正係数算出手段と、
前記流量算出手段で算出した補正前流量と前記補正係数算出手段で算出した補正係数とに基づいて被測定ガスの補正後流量を算出する流量補正手段と、を備える、
流量計。 - 第一の発熱素子及び前記第一の発熱素子の近傍に配置された第一の抵抗素子を有し被測定ガスの運搬効果によって前記第一の抵抗素子の抵抗値が変化するように構成された第一の熱式流れセンサと、
第二の発熱素子及び前記第二の発熱素子の近傍に配置された第二の抵抗素子を有し被測定ガスの運搬効果によって前記第二の抵抗素子の抵抗値が変化するように構成された第二の熱式流れセンサと、を備える、
請求項1に記載の流量計。 - 前記流量算出手段は、
前記第一の抵抗素子の抵抗値に基づいて被測定ガスの第一の補正前流量QAを算出するとともに、前記第二の抵抗素子の抵抗値に基づいて被測定ガスの第二の補正前流量QBを算出するものであり、
前記補正係数算出手段は、
前記第一の補正前流量QAと前記第二の補正前流量QBと前記第一の熱式流れセンサ固有の固定係数KAと前記第二の熱式流れセンサ固有の固定係数KBと特定比算出式
(α/α0)=1+(QB―QA)/(KAQA―KBQB)
とに基づいて所定の基準ガスの温度拡散率α0に対する被測定ガスの温度拡散率αの比である特定比(α/α0)を算出するものである、
請求項2に記載の流量計。 - 前記補正係数算出手段は、
前記特定比(α/α0)と前記第一の熱式流れセンサ固有の固定係数KAと関係式
CFA=1−KA(1−α/α0)
とに基づいて第一の補正係数CFAを算出するものであり、
前記流量補正手段は、
前記第一の補正前流量QAに前記第一の補正係数CFAを乗じることにより被測定ガスの補正後流量Qを算出するものである、
請求項3に記載の流量計。 - 前記補正係数算出手段は、
前記特定比(α/α0)と前記第二の熱式流れセンサ固有の固定係数KBと関係式
CFB=1−KB(1−α/α0)
とに基づいて第二の補正係数CFBを算出するものであり、
前記流量補正手段は、
前記第二の補正前流量QBに前記第二の補正係数CFBを乗じることにより被測定ガスの補正後流量Qを算出するものである、
請求項3に記載の流量計。 - 前記第一の発熱素子と前記第一の抵抗素子の間の距離と、前記第二の発熱素子と前記第二の抵抗素子の間の距離と、が異なるように構成され、
前記固定係数KAは、前記第一の発熱素子と前記第一の抵抗素子の間の距離と相関関係を有し、
前記固定係数KBは、前記第二の発熱素子と前記第二の抵抗素子の間の距離と相関関係を有する、
請求項3から5の何れか一項に記載の流量計。 - 第三の発熱素子及び前記第三の発熱素子の近傍に配置された第三の抵抗素子を有し被測定ガスの運搬効果によって前記第三の抵抗素子の抵抗値が変化するように構成された第三の熱式流れセンサをさらに備える、
請求項1から6の何れか一項に記載の流量計。 - 前記第一の熱式流れセンサの測定可能流量域と前記第二の熱式流れセンサの測定可能流量域との重複流量域よりも、前記第三の熱式流れセンサの測定可能流領域と前記第一の熱式流れセンサの測定可能流量域との重複流量域が広くなるように設定される、
請求項7に記載の流量計。 - 前記第一の熱式流れセンサの測定可能流量域と前記第二の熱式流れセンサの測定可能流量域との重複流量域よりも、前記第三の熱式流れセンサの測定可能流領域と前記第二の熱式流れセンサの測定可能流量域との重複流量域が広くなるように設定される、
請求項7に記載の流量計。 - 主流路と、前記主流路をバイパスするバイパス流路と、前記主流路内を流通する被測定ガスの流量を検出するための主流路用熱式流れセンサと、前記バイパス流路内を流通する被測定ガスの流量を検出するための少なくとも2つの異なるバイパス流路用熱式流れセンサと、を備えるとともに、
前記主流路用熱式流れセンサのセンサ出力に基づいて前記主流路内を流通する被測定ガスの補正前流量を算出するとともに、前記少なくとも2つの異なるバイパス流路用熱式流れセンサのセンサ出力に基づいて前記バイパス流路内を流通する被測定ガスの補正前流量を算出する流量算出手段と、
前記少なくとも2つの異なるバイパス流路用熱式流れセンサのセンサ出力に基づいて算出した被測定ガスの補正前流量と、前記少なくとも2つの異なるバイパス流路用熱式流れセンサ固有の固定係数と、に基づいて、所定の基準ガスの温度拡散率に対する被測定ガスの温度拡散率の比と相関関係を有する補正係数を算出する補正係数算出手段と、
前記流量算出手段で算出した前記主流路内を流通する被測定ガスの補正前流量と、前記補正係数算出手段で算出した補正係数と、に基づいて被測定ガスの補正後流量を算出する流量補正手段と、を備える、
流量計。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013111777A1 (ja) * | 2012-01-23 | 2013-08-01 | Jx日鉱日石エネルギー株式会社 | 燃料供給システム、燃料電池システム、及びそれらの運転方法 |
WO2013111776A1 (ja) * | 2012-01-23 | 2013-08-01 | Jx日鉱日石エネルギー株式会社 | 燃料供給システム、燃料電池システム、及びそれらの運転方法 |
US20140360262A1 (en) * | 2012-01-10 | 2014-12-11 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Flow Rate Measuring Device |
WO2015029890A1 (ja) * | 2013-08-28 | 2015-03-05 | 株式会社堀場エステック | 流体分析装置、熱式流量計、マスフローコントローラ、流体性質特定装置、及び、流体分析装置用プログラム |
JP2020013720A (ja) * | 2018-07-19 | 2020-01-23 | アイシン精機株式会社 | 燃料電池システム、原燃料ガスの流量測定方法および原燃料ガスのガス種特定方法 |
JP2020143904A (ja) * | 2019-03-04 | 2020-09-10 | アズビル株式会社 | 熱式流量計および流量補正方法 |
WO2020216583A1 (de) * | 2019-04-26 | 2020-10-29 | Endress+Hauser Flowtec Ag | Verfahren zum betreiben einer sonde eines thermischen durchflussmessgeräts und ein thermisches durchflussmessgerät mit einer solchen sonde |
CN114993398A (zh) * | 2022-08-03 | 2022-09-02 | 四川中测流量科技有限公司 | 一种应用质量流量计的加氢机现场检定装置 |
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Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9599496B2 (en) * | 2012-01-10 | 2017-03-21 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Flow rate measuring device with first temperature sensor in a main passage and second temperature sensor in a sub-passage |
US20140360262A1 (en) * | 2012-01-10 | 2014-12-11 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Flow Rate Measuring Device |
WO2013111776A1 (ja) * | 2012-01-23 | 2013-08-01 | Jx日鉱日石エネルギー株式会社 | 燃料供給システム、燃料電池システム、及びそれらの運転方法 |
WO2013111777A1 (ja) * | 2012-01-23 | 2013-08-01 | Jx日鉱日石エネルギー株式会社 | 燃料供給システム、燃料電池システム、及びそれらの運転方法 |
WO2015029890A1 (ja) * | 2013-08-28 | 2015-03-05 | 株式会社堀場エステック | 流体分析装置、熱式流量計、マスフローコントローラ、流体性質特定装置、及び、流体分析装置用プログラム |
JPWO2015029890A1 (ja) * | 2013-08-28 | 2017-03-02 | 株式会社堀場エステック | 流体分析装置、熱式流量計、マスフローコントローラ、流体性質特定装置、及び、流体分析装置用プログラム |
KR20160048720A (ko) * | 2013-08-28 | 2016-05-04 | 가부시키가이샤 호리바 에스텍 | 유체 분석 장치, 열식 유량계, 매스 플로우 컨트롤러, 유체 성질 특정 장치, 및 유체 분석 장치용 프로그램을 기억한 유체 분석 장치용 프로그램 기억 매체 |
US10024700B2 (en) | 2013-08-28 | 2018-07-17 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Fluid analysis device |
KR102116751B1 (ko) | 2013-08-28 | 2020-06-01 | 가부시키가이샤 호리바 에스텍 | 유체 분석 장치, 열식 유량계, 매스 플로우 컨트롤러, 유체 성질 특정 장치, 및 유체 분석 장치용 프로그램을 기억한 유체 분석 장치용 프로그램 기억 매체 |
JP2020013720A (ja) * | 2018-07-19 | 2020-01-23 | アイシン精機株式会社 | 燃料電池システム、原燃料ガスの流量測定方法および原燃料ガスのガス種特定方法 |
JP7119690B2 (ja) | 2018-07-19 | 2022-08-17 | 株式会社アイシン | 燃料電池システム、原燃料ガスの流量測定方法および原燃料ガスのガス種特定方法 |
JP2020143904A (ja) * | 2019-03-04 | 2020-09-10 | アズビル株式会社 | 熱式流量計および流量補正方法 |
JP7248455B2 (ja) | 2019-03-04 | 2023-03-29 | アズビル株式会社 | 熱式流量計および流量補正方法 |
WO2020216583A1 (de) * | 2019-04-26 | 2020-10-29 | Endress+Hauser Flowtec Ag | Verfahren zum betreiben einer sonde eines thermischen durchflussmessgeräts und ein thermisches durchflussmessgerät mit einer solchen sonde |
CN114993398A (zh) * | 2022-08-03 | 2022-09-02 | 四川中测流量科技有限公司 | 一种应用质量流量计的加氢机现场检定装置 |
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