JP2004020306A

JP2004020306A - マスフローコントローラの校正方法及びその装置

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Publication number: JP2004020306A
Application number: JP2002173811A
Authority: JP
Inventors: Kiyoshi Yagihara; 八木原　潔; Takao Goto; 後藤　崇夫
Original assignee: Hitachi Metals Ltd
Current assignee: Proterial Ltd
Priority date: 2002-06-14
Filing date: 2002-06-14
Publication date: 2004-01-22
Anticipated expiration: 2022-06-14
Also published as: JP4092684B2

Abstract

【課題】本発明のマスフローコントローラの校正方法及びその装置は、ＭＦＣが高い供給精度と応答性を有するよう、効率的に校正できるＭＦＣの校正方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】本発明のマスフローコントローラの校正方法は、ガス流体を流す流体通路に介設され、駆動信号により弁開度を制御する流量制御弁と該ガス流体の流量を流量信号として出力するセンサ部を備えたマスフローコントローラの校正方法であって、該ガス流体の流量を流量信号として出力する流量計の流量信号に基づいて所定のガス流量となるように駆動信号を調整し、得られたマスフローコントローラの流量特性に基づいて駆動信号の出力パターンを制御する制御定数を算出する工程と、流量計とマスフローコントローラのセンサ部で所定のガス流量を測定し、得られた流量計とマスフローコントローラの検出特性に基づいて、マスフローコントローラの検出特性の補正量を算出する工程とを有することを特徴としている。
【選択図】　　　　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はマスフローコントローラの校正方法および装置に関わり、例えば半導体製造プロセスで使用される処理ガスの質量流量制御用に好適なマスフローコントローラの校正方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に半導体製造においては、半導体ウエハに対し成膜やエッチングのプロセスが繰り返して行われる。これらのプロセスで用いられる処理用のガス流体（以下ガスと称する。）の供給手段には、ガス流量を精密に制御できる高度な供給精度と、プロセスの要求に応じ迅速にかつ時間遅れなくガスを供給できる高い応答性が要求される。それらの要求を満足させることが可能な流体制御装置として質量流量制御装置、いわゆるマスフローコントローラ（以下特に明記しない限りＭＦＣと称する。）が従来より用いられてきた。
【０００３】
従来のＭＦＣの概略構成図を図８に示す。ＭＦＣ１は、例えばステンレス鋼などで形成された流体通路４に介設されるガスの流量を検出するセンサ部１１、流量制御弁１２及びこれらを制御する制御回路部１３とを備えている。
センサ部１１は、全ガス量の一部が流れるセンサ管１１１と、残りの大部分が流れるバイパス５と、そのセンサ管１１１に一対の電熱線１１４が巻回されてなるセンサ１１２と、センサ１１２の出力を制御するセンサ制御回路１１３からなる。センサ部１１は、流体通路４のガスの流れによる熱移動に伴って発生する電熱線１１４の電気抵抗の変化を、電熱線１１４が組み込まれたセンサ制御回路１１３のブリッジ回路により検出し、ガス流量を流量信号、例えば０〜５Ｖの電圧として出力するものである。
流量制御弁１２は、弁体としてのダイアフラム１２１と、ダイアフラム１２１を操作するアクチュエーター１２２と、アクチュエーター１２２を駆動するバルブ電圧を印加するバルブ駆動部１２３を備えている。アクチュエーター１２２は、例えば積層型圧電素子などで形成されており、バルブ駆動部１２３より印加されるバルブ電圧により駆動され、ダイアフラム１２１を操作するものである。
【０００４】
ＭＦＣ１はアナログ−デジタル制御のＭＦＣであり、制御回路部１３はデジタル回路系ＤＥとアナログ回路系ＡＮからなる。
デジタル回路系ＤＥは、例えばマイクロコンピュータからなるデジタル演算回路１３１を中心とした回路系であり、アナログ回路系ＡＮの応答性に関する制御と外部装置との信号の入出力を主として行うものである。外部装置、例えば半導体製造装置から入力される設定ガス流量に対応する設定信号は、アナログ−デジタル変換器（以下Ａ／Ｄ変換器と称する。）１３３を介してデジタル演算回路１３１へ入力される。その設定信号には、後述するようにセンサ部１１の検出特性に応じた補正が加えられる。補正されたその設定信号は、デジタル−アナログ変換器（以下Ｄ／Ａ変換器と称する。）１３５を介して比較部１３７へ出力され、後述するようにセンサ部１１の流量信号と比較する信号とされる。また、デジタル演算回路１３１は、後述する制御定数切替部１３８へ制御定数の切替を指示する信号を出力し、Ａ／Ｄ変換器１３２を介して入力されるセンサ部１１の流量信号を補正し、その補正された流量信号をＤ／Ａ変換器１３４を介して外部装置へ出力するものである。外部装置とデジタル演算回路１３１で行われる設定信号および流量信号の受け渡しは、インターフェース１３６を用いてデジタル信号により行うことも可能である。
【０００５】
アナログ回路系ＡＮは、前記流量信号をフィードバック信号として流量制御弁１２の弁解度を制御するものである。すなわち、アナログ回路系ＡＮは、センサ部１１の流量信号をＡ／Ｄ変換器１３２を介してデジタル演算回路１３１へ出力すると共に、その流量信号を比較部１３７へも出力するセンサ制御回路１１３と、前記デジタル演算回路１３１で補正された設定信号、流量信号および後述する制御定数に基づいてバルブ電圧の印加量を制御する駆動信号を設定し、その駆動信号をバルブ駆動部１２３へ出力する比較部１３７と、前記バルブ駆動部１２３と、比較部１３７と連結する、制御定数が格納された制御定数切替部１３８とを備えている。
上記の構成により、流量制御弁１２の弁開度は、センサ制御回路１１３、比較部１３７とバルブ駆動部１２３によりクローズドループで制御されることとなる。すなわち、センサ制御回路１１３は、センサ１１２で検出されたガス流量を流量信号として出力する。比較部１３７は、フィードバック信号である流量信号、目標値である設定信号および後述する制御定数に基づいて駆動信号を設定すると共にバルブ駆動部１２３へ出力する。バルブ駆動部１２３は、その駆動信号によりバルブ電圧を印加してアクチュエータ１２２を操作し、もって流量制御弁１２の弁開度が制御されることとなる。
【０００６】
高度な供給精度を有するＭＦＣ１とするためには、流量信号とガス流量との関係、つまり検出特性のゼロ点シフトと直線性が流量制御の誤差を抑制する上で重要となる。すなわち、図５において破線で示すように、ＭＦＣ１の検出特性は原点を通る直線（理想特性）となることが望ましい。しかしながら、一般的にその検出特性は、図５において実線で示されるようにゼロ点が原点からずれた曲線状となる。また、その検出特性は、個々のセンサ部１１やＭＦＣ１によっても異なる。
理想特性に対するＭＦＣ１の検出特性のズレを補正するため、ゼロ点補正と直線補正がデジタル演算回路１３１で行われる。実際にはセンサ部１１から出力される流量信号に対し都度補正を加えると制御に時間遅れが発生するため、デジタル演算回路１３１に入力された設定信号に対し上記の補正が行われることとなる。そのゼロ点補正量と直線補正量を得るためＭＦＣ１の初期校正が必要となる。
【０００７】
高い応答性を有するＭＦＣ１とするためには、弁開度を制御する駆動信号の出力パターンの制御が時間遅れを抑制する上で重要となる。
図７に、ＭＦＣ１の制御特性を示す。図７（ａ）に示すように、例えばガスの設定流量が規格の流量の最大量と５％の量、つまり１００％流量と５％流量となるよう、駆動信号が同一の出力パターンで流量制御弁１２の弁開度を制御する。その場合、図７（ｂ）に示すように、１００％流量に比べ５％流量の場合には、弁開が指示されてからガスが流れ始めるまでの立上り開始の時間が遅れ、流れ始めから設定流量に達するまでの立上り時間も長くなるため、ガス流量が設定流量に到達するまでに時間遅れが発生する。これは、図４において実線で示されるように、駆動信号とガス流量との関係つまり流量特性が直線とならず、指数関数的な曲線状となるためである。よって、駆動信号の出力パターンは設定流量により最適化される必要がある。
駆動信号の出力パターンの最適化のためには、例えば比例、微分、積分定数などの制御定数により出力パターンを制御できるＰＩＤ制御が用いられる。上述したように比較部１３７は、設定信号と流量信号とを比較して駆動信号の大きさを設定する。その際、駆動信号の出力パターンが最適化されるよう設定流量に応じた制御定数が駆動信号へ算入される。その制御定数を得るためＭＦＣ１の初期校正が必要となる。
また、ＭＦＣ１の検出特性や流量特性は、そのセンサ１１２やダイアフラム１２１の劣化や流体通路内壁への反応物付着などにより経時的に変化するため、初期のみならずその後の使用中においても定期的な校正作業が必要とされる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
従来、ＭＦＣ１の校正は、ＭＦＣ１単体に、または流体通路４に介設されたＭＦＣ１に例えば重量式の流量計を接続し、実際に使用されるガスあるいは校正用ガスを流し、流量を測定し、その測定値に基づいてＭＦＣ１の検出特性と流量特性を確認し、上述した補正量や制御定数を回路制御部１３に入力するという作業を人手で行っていた。そのため校正には時間がかかり、流体通路４にＭＦＣ１を介設した状態で校正する場合には半導体製造ラインのクリーン度をその作業により低下させるという問題があった。
【０００９】
従来のＭＦＣの校正方法の一例が特開平７−２６３３５０号公報に開示されている。この校正方法は、ガスが流れる流体通路にＭＦＣとＭＦＣの下流側に流量計を介設し、流量計の検出値に基づいて校正器によりＭＦＣの校正を行うものであり、前記のような人手の校正作業による半導体製造ラインのクリーン度の低下を防止することができるものである。しかしながら、特開平７−２６３３５０号公報の段落１６には、「…測定流量ｘが規定誤差範囲外であれば、校正器５によりＭＦＣ１のガス流量を自動的または半自動的に校正する。…」と記載されているのみであり、ＭＦＣ１の検出特性の校正方法については具体的に言及がなく、ＭＦＣ１が高度な供給精度を有するよう、効率的に校正することができないという問題がある。また、高い応答性を有するＭＦＣ１とするためには、上述のようにＭＦＣ１の流量特性に基づいて制御定数を求める必要がある。しかし、特開平７−２６３３５０号公報に記載の校正器はガス流量を校正するものであり、制御定数を設定することはできず、ＭＦＣ１が高い応答性を有するよう、効率的に校正することができないという問題がある。
本発明は上記の課題を鑑みてなされたものであり、ＭＦＣが高い供給精度と応答性を有するよう、効率的に校正できるＭＦＣの校正方法及び装置を提供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決した本発明のマスフローコントローラの校正方法は、ガス流体を流す流体通路に介設され、駆動信号により弁開度を制御する流量制御弁と該ガス流体の流量を流量信号として出力するセンサ部を備えたマスフローコントローラの校正方法であって、該ガス流体の流量を流量信号として出力する流量計の流量信号に基づいて所定のガス流量となるように駆動信号を調整し、得られたマスフローコントローラの流量特性に基づいて駆動信号の出力パターンを制御する制御定数を算出する工程と、流量計とマスフローコントローラのセンサ部で所定のガス流量を測定し、得られた流量計とマスフローコントローラの検出特性に基づいて、マスフローコントローラの検出特性の補正量を算出する工程とを有することを特徴としている。
【００１１】
また本発明のマスフローコントローラの校正装置は、ガス流体を流す流体通路に介設され、駆動信号により弁開度が制御される流量制御弁と該ガス流体の流量を流量信号として出力するセンサ部を備えたマスフローコントローラの校正装置であって、該ガス流体の流量を流量信号として出力する流量計と、その流量計の流量信号に基づき前記マスフローコントローラを制御する校正器を有し、該校正器は、流量計の流量信号に基づき所定のガス流量となるように駆動信号を調整し前記マスフローコントローラの流量特性を得る第１の演算回路と、得られたマスフローコントローラの流量特性に基づいて駆動信号の出力パターンを制御する制御定数を算出する第２の演算回路を備えたバルブ校正部と、　流量計とマスフローコントローラのセンサ部で所定のガス流量を測定し前記マスフローコントローラの検出特性を得る第３の演算回路と、得られた流量計とマスフローコントローラの検出特性に基づいてマスフローコントローラの検出特性の補正量を算出する第４の演算回路を備えたセンサ校正部とを有することを特徴としている。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態の一例を図１〜図６に基づいて説明する。図１は、本発明のＭＦＣの校正装置の一実施態様を示したものである。図２はＭＦＣの流量特性の校正方法、図３はＭＦＣの検出特性の校正方法のフローを示したものである。図４は、ＭＦＣの流量特性の校正方法を説明するための、駆動信号とガス流量の関係を示したものである。図５は、ＭＦＣの検出特性の校正方法を説明するための、ガス流量と流量信号の関係を示したものである。図６は、制御定数の算出方法を説明するための、流量特性の傾き量と比例定数の関係を示したものである。
なお下記の本実施態様の説明では、上述したアナログ−デジタル制御のＭＦＣの校正について述べているが、本発明のＭＦＣの校正方法及びその装置はそれに限ることなく、例えばデジタル制御のＭＦＣや外部にデジタル制御回路を有するアナログ制御のＭＦＣに適用することも可能である。
【００１３】
図１に示すように、本実施態様のＭＦＣの校正装置は、ガスが流れる流体通路４に介設されたＭＦＣ９と、ＭＦＣ９の下流に介設された流量計２と、ＭＦＣ９および流量計２を制御する校正器３からなる。図１において左側である上流側には図示しないガス発生手段とその下流側に開閉弁が配設されている。また、図１において右側である下流側には図示しない半導体製造プロセス、例えば成膜装置やエッチング装置が配設されている。なお図１において、図８と同一構成部分については同一符号を付して説明を省略する。
【００１４】
ＭＦＣ９は、前記した従来のＭＦＣ１に本発明に係る校正要素ならびに校正機能を追加したものであり、センサ部１１、流量制御弁１２及びそれらを制御する制御回路部９３からなる。その制御回路部９３はデジタル回路系ＤＥとアナログ回路系ＮＡからなり、デジタル回路系ＤＥは、デジタル演算回路９３１と回路切替部９３９を備えている。
デジタル演算回路９３１は、前記した従来のＭＦＣ１のデジタル演算回路１３１の動作に加え、Ａ／Ｄ変換器１３３を介して校正器３より入力される駆動信号をＤ／Ａ変換器１３５を介してバルブ駆動部１２３へ出力し、Ａ／Ｄ変換器１３２を介してセンサ部１１より入力される流量信号をＤ／Ａ変換器１３４を介して校正器３へ出力し、後述する回路切替部９３９へ回路を切替える信号を出力するものである。
回路切替部９３９は、流量信号の影響なくバルブ駆動部１２３へ駆動信号を直接出力するために設けられるものである。つまり、回路切替部９３９は、例えばＤ／Ａ変換器１３５と比較部１３７を結ぶ回路中に設けられ、校正の際にはデジタル演算回路９３１の信号により回路が切替えられ、比較部１３７を介することなくバルブ駆動部１２３へ駆動信号を出力するものである。
【００１５】
流量計２は、基本的には前記した従来のＭＦＣ１より流量制御弁１２を除いたものであり、センサ部２１と制御回路部２３を有している。センサ部２１の構造は、前記ＭＦＣ１のセンサ部１１と同様であり、センサ管２１１と、バイパス６と、センサ管２１１に一対の電熱線２１４が巻回されてなるセンサ２１２と、センサ２１２の出力を制御するセンサ制御回路２１３からなる。制御回路部２３は、Ａ／Ｄ変換器２３２を介して入力されたセンサ部２２の流量信号を後述するように補正し、校正器３へＤ／Ａ変換器２３４を介して出力する例えばマイクロコンピュータからなるデジタル演算回路２３１と、インターフェース２３６を有している。
【００１６】
流量計２は、例えば重量式流量計などの原器により精密に校正されたものである。すなわち、その原器により流量計２のセンサ部２２の検出特性を測定すると、図５において実線で示されるような曲線状の検出特性を得ることができる。その検出特性のゼロ点補正を行うため、そのゼロ点を矢印Ａで示すように原点へ移動させ、その移動量をゼロ点補正量とする。次に、一点鎖線で示されるゼロ点補正後の検出特性と破線で示される理想特性とのずれを矢印Ｂで示すような変位量として求め、その変位量をシフト補正量とする。
Ａ／Ｄ変換器２３２を介してデジタル回路２３１へ入力されたセンサ部２２の流量信号は、上記ゼロ点補正量とシフト補正量により補正され、Ｄ／Ａ変換器２３４を介して校正器３へ出力されることとなる。なお、デジタル回路２３１で補正された流量信号は、インターフェース２３６を用いてデジタル信号として出力することも可能である。
なお、本実施態様における流量計２は、熱的効果を利用してガス流量を測定するものであるが、例えば電磁気的効果を利用したものや、電磁波を利用したものなど種々の流量計２を使用することができる。
【００１７】
例えばマイクロコンピュータからなる校正器３は、流量計２の流量信号に基づいてＭＦＣ９の流量特性と検出特性を校正するものである。校正器３は、流量計２の流量信号に基づいて所定のガス流量となるように駆動信号を調整し、得られたガス流量と駆動信号の関係よりＭＦＣ９の流量特性を算出し、そのＭＦＣ９の流量特性に基づいて制御定数を算出するバルブ校正部３１と、流量計２とＭＦＣ９で所定のガス流量を測定し、それぞれの流量信号とガス流量の関係より流量計２とＭＦＣ９の検出特性を算出し、その流量計２とＭＦＣ９の検出特性に基づいてＭＦＣ９の検出特性の補正量を算出するセンサ校正部３２を有している。
【００１８】
以上で述べたような本実施態様のＭＦＣ９の校正装置による、ＭＦＣ９の校正方法について以下説明する。
本実施態様のＭＦＣ９の校正方法は、
１）流量計の流量信号に基づいて所定のガス流量となるように駆動信号を調整し、得られたマスフローコントローラの流量特性に基づいて駆動信号の出力パターンを制御する制御定数を算出する工程と、
２）流量計とマスフローコントローラのセンサ部で所定のガス流量を測定し、得られた流量計とマスフローコントローラの検出特性に基づいて、マスフローコントローラの検出特性の補正量を算出する工程と
を有している。
【００１９】
最初に、上記の１）項の制御定数を算出する工程について説明する。この工程は、校正器３のバルブ校正部３１により行われるものであり、図２に示すように、ＭＦＣ９の上流側に配置された開閉弁を開き（Ａ）、流量制御弁１２のバルブ駆動部１２３へ１００％流量となると想定される駆動信号を与え（Ｂ）、流体通路４を流れるガスの流量を流量計２で測定し（Ｃ）、そのガス流量と所定の１００％流量とを比較し（Ｄ）、その差が基準値から外れていれば、所定の１００％流量となるよう駆動信号の大きさを調整する（Ｅ）。同様な操作を１００％流量から０％流量まで例えば１０％流量ごとに複数回繰り返すことにより（Ｆ）、図４において実線で示すような規格のガス流量範囲におけるガス流量と駆動信号の関係、つまり流量制御弁１２の流量特性を得ることができる。
次に、その流量制御弁１２の流量特性に基づいて制御定数が算出される（Ｇ）。本実施態様では、下記で詳細に説明するように、図４において実線で示されるその流量特性の所定の流量に対する接線の傾き量を求め、その傾き量により制御定数を算出するものである。
【００２０】
制御定数、ここでは比例定数の算出方法について図４，７に基づき説明する。図７は、前記ＭＦＣ９の流量特性の接線の傾き量と比例定数の関係を示したものであり、比例定数は１００％流量時の比例定数を１として相対的に表示されている。図４において、５０％流量時のその接線の傾き量を算出する。次に図７に示されるような流量特性の接線の傾き量と比例定数の関係に、その５０％流量時の傾き量を算入し比例定数を算出する。なお、図７で示したような流量特性の接線の傾き量と制御定数の関係は、第２の演算回路に数式または数表として格納されており、例えば流量特性を微分して求められた傾き量がその数式または数表に代入され、制御定数が求められる。算出された制御定数は、ＭＦＣ９の制御定数切替部１３８へ転送され、格納されることとなる。
【００２１】
次に、上記２）項の補正量を算出する工程について説明する。この工程は、校正器３のセンサ校正部３１により行われるものであり、図３に示すように、開閉弁を閉じて（Ａ）、ガスを流さない状態で流量計２とＭＦＣ９で測定し（Ｂ，Ｃ）。開閉弁を開き（Ｄ）、所定のガス流量が１０％流量となるような流量制御弁１２の弁開度とし（Ｅ）、そのガス流量を流量計２とＭＦＣ９で測定し（Ｆ，Ｇ）、そのサイクルを１０％流量〜１００％流量まで１０％流量ごとに複数回繰り返すことにより（Ｈ）、図５において実線で示される曲線状のＭＦＣ９の検出特性と、破線で示される原点を通る直線状の流量計２の検出特性を得ることができる。
次に、それぞれの検出特性に基づいてＭＦＣ９の検出特性の補正量が下記のように算出される（Ｉ）。
【００２２】
図５に示すように、実線で示されるＭＦＣ９の検出特性のゼロ点補正を行うため、そのゼロ点を矢印Ａで示すように原点へ移動させ、その移動量をゼロ点補正量とする。次に、一点鎖線で示されるゼロ点補正したＭＦＣ９の検出特性と破線で示される流量計２の検出特性とのずれを矢印Ｂで示すような変位量として求め、その変位量をシフト補正量とする。設定されたゼロ点補正量とシフト補正量は、ＭＦＣ９のデジタル演算回路９３１に転送され、格納されることとなる。
【００２３】
なお上述の説明では、ＭＦＣ９の流量特性と検出特性の校正はそれぞれ単独に実施しているが、同時に実施することも可能である。また上述の説明では、初期校正について述べているが、その後の使用中の校正についても同様な方法で実施することが可能である。
【００２４】
【発明の効果】
上記で説明したように、本発明のＭＦＣの校正方法及びその装置においては、ＭＦＣ９の検出特性の補正量とＭＦＣ９の流量特性に基づく制御定数の算出を、ＭＦＣ９と流量計２を制御する校正器３により自動的に行うことが可能であり、高度な供給精度と高い応答性を有するＭＦＣ９となるよう、極めて効率的に校正を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のマスフローコントローラの校正装置の一実施態様を示す図である。
【図２】マスフローコントローラの流量特性を補正するフローを示す図である。
【図３】マスフローコントローラの検出特性を補正するフローを示す図である。
【図４】ガス流量とマスフローコントローラの駆動信号の関係を示す図である。
【図５】ガス流量とマスフローコントローラの流量信号の関係を示す図である。
【図６】マスフローコントローラの流量特性から求めた接線の傾きの大きさと比例定数の関係を示す図である。
【図７】マスフローコントローラの制御特性を示す図である。
【図８】従来のマスフローコントローラの概略構成図である。
【符号の説明】
１、９：マスフローコントローラ、１１：センサ部、１２：流量制御弁、１３、９３：制御回路部
２：流量計、２１：センサ部、２３：制御回路部
３：校正器、３１：バルブ校正部、３２：センサ校正部
４：流体通路
５：バイパス

Claims

ガス流体を流す流体通路に介設され、駆動信号により弁開度を制御する流量制御弁と該ガス流体の流量を流量信号として出力するセンサ部を備えたマスフローコントローラの校正方法であって、
該ガス流体の流量を流量信号として出力する流量計の流量信号に基づいて所定のガス流量となるように駆動信号を調整し、得られたマスフローコントローラの流量特性に基づいて駆動信号の出力パターンを制御する制御定数を算出する工程と、
流量計とマスフローコントローラのセンサ部で所定のガス流量を測定し、得られた流量計とマスフローコントローラの検出特性に基づいて、マスフローコントローラの検出特性の補正量を算出する工程と
を有することを特徴とするマスフローコントローラの校正方法。
ガス流体を流す流体通路に介設され、駆動信号により弁開度を制御する流量制御弁と該ガス流体の流量を流量信号として出力するセンサ部を備えたマスフローコントローラの校正装置であって、
該ガス流体の流量を流量信号として出力する流量計と、その流量計の流量信号に基づきマスフローコントローラを制御する校正器を有し、
該校正器は、
流量計の流量信号に基づき所定のガス流量となるように駆動信号を調整し、得られたガス流量と駆動信号の関係よりマスフローコントローラの流量特性を算出し、そのマスフローコントローラの流量特性に基づいて駆動信号の出力パターンを制御する制御定数を算出するバルブ校正部と、
流量計とマスフローコントローラのセンサ部で所定のガス流量を測定し、それぞれの流量信号とガス流量の関係により流量計とマスフローコントローラの検出特性を算出し、その流量計とマスフローコントローラの検出特性に基づいてマスフローコントローラの検出特性の補正量を算出するセンサ校正部と
を有することを特徴としたマスフローコントローラの校正装置。