JP2007265880A - 有機elパネルの製造設備における湿度管理方法 - Google Patents
有機elパネルの製造設備における湿度管理方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】有機ELパネルの製造設備60は、クリーンルーム32内に有機材料保管ストッカ34、金属電極材料保管ストッカ36、封止材料保管ストッカ38、基板保管ストッカ40、基板前処理室42、発光材料蒸着室44、金属電極蒸着室46、封止室48などを有する。製造設備60は、清浄空気を除湿してドライエアにする除湿機62を備えている。除湿機62の吐出したドライエアは、給気配管64を介してクリーンルーム32内の各ストッカ、各室に供給できるようにしてある。各ストッカを開放して原材料の搬入出、または各室を開放して装置に原材料の搬入し若しくは装置の保守行なう際に、給気配管64、分岐管66a〜66hを介して対応するストッカ、室に周囲環境より露点の低いドライエアを供給する。
【選択図】図1
Description
また、本発明は、原材料の保管に要するランニングコストを削減できるようにする。
実施形態の場合、ストッカ34、36、38、40には、通常時においてもドライエアが供給され、各ストッカの内部がドライエアの雰囲気にしてあり、各ストッカに収納してある原材料が水分などで汚染されるのを防止している。各ストッカに供給されたドライエアは、矢印76のようにクリーンルーム32に流出する。このように、各ストッカ内をドライエアの雰囲気にしたことにより、各ストッカに保管してある原材料が周囲環境からの水分などによる汚染を防止でき、原材料の保管に要するランニングコストを低減することができる。また、ストッカ内が真空でないため、酸欠などの危険性もない。各ストッカに供給されたドライエアは、矢印76のようにクリーンルーム32に流出し、クリーンルーム32が準ドライルームになる。クリーンルーム32内の準ドライエアは、戻し配管74を介して除湿機62に戻される。このため、ドライエアを製造するための除湿機62の負荷を軽減することができる。
Claims (4)
- 有機ELパネルの製造に用いる各種原材料に対応して設けた複数の原材料保管部と、前記原材料を用いて行なう前記有機ELパネルの複数の製造工程に対応して設置した複数の装置とを、クリーンルーム内に備えた有機ELパネルの製造設備における湿度管理方法であって、
前記原材料保管部を開放して前記原材料の搬入出、または前記装置の設置部を開放して前記装置に前記原材料の搬入、若しくは前記装置の保守を行なう際に、前記原材料の搬入出に対応した前記原材料保管部、または前記原材料の搬入若しくは前記保守を行なう前記装置の設置部に、周囲環境より露点の低いドライエアを供給することを特徴とする有機ELパネルの製造設備における湿度管理方法。 - 請求項1に記載の有機ELパネルの製造設備における湿度管理方法において、
前記各原材料保管部は、通常時に前記ドライエアが供給されており、前記原材料の搬入出時に、前記ドライエアの供給量を前記通常時より増大することを特徴とする有機ELパネルの製造設備における湿度管理方法。 - 請求項1または2に記載の有機ELパネルの製造設備における湿度管理方法において、
前記ドライエアは、揮発性有機物を除去することを特徴とする有機ELパネルの製造設備における湿度管理方法。 - 請求項1ないし3のいずれか1に記載の有機ELパネルの製造設備における湿度管理方法において、
前記ドライエアは、露点が−20°以下であることを特徴とする有機ELパネルの製造設備における湿度管理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006091214A JP4378711B2 (ja) | 2006-03-29 | 2006-03-29 | 有機elパネルの製造設備における湿度管理方法および湿度管理システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006091214A JP4378711B2 (ja) | 2006-03-29 | 2006-03-29 | 有機elパネルの製造設備における湿度管理方法および湿度管理システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007265880A true JP2007265880A (ja) | 2007-10-11 |
JP4378711B2 JP4378711B2 (ja) | 2009-12-09 |
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ID=38638665
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006091214A Expired - Fee Related JP4378711B2 (ja) | 2006-03-29 | 2006-03-29 | 有機elパネルの製造設備における湿度管理方法および湿度管理システム |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4378711B2 (ja) |
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-
2006
- 2006-03-29 JP JP2006091214A patent/JP4378711B2/ja not_active Expired - Fee Related
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KR102539338B1 (ko) | 2017-09-14 | 2023-06-02 | 가부시키가이샤 세이부 기켄 | 가스 치환용 드라이룸 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP4378711B2 (ja) | 2009-12-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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