JP4873736B2 - 有機発光素子の製造方法 - Google Patents
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Description
上部電極と下部電極との間に有機化合物層が挟持されてなる有機発光素子の製造方法において、
下部電極及び前記下部電極の周辺を覆う画素分離膜が形成された基板に、酸素を含む気体を雰囲気中に導入及び排気しながらUV光を照射する工程と、
前記画素分離膜の開口部から露出する下部電極の上に、有機化合物層を形成する工程と、
前記有機化合物層の上に、上部電極を形成する工程と、を有し、
前記基板にUV光を照射する工程は、
圧力(A)でUVオゾン処理する第1の工程と、
前記圧力(A)よりも低い圧力(B)でUVオゾン処理する第2の工程と、を有し、
前記第1の工程から前記第2の工程を経由することを特徴とする。
図1に示す有機発光素子を製造した。本実施例では、下部電極(陽極)12に、反射電極として機能するクロム(Cr)、上部電極(陰極)17に、透明な発光取り出し電極として機能するインジウム錫酸化物(ITO)を用い、トップエミッション型素子を製造した。
実施例2から実施例10及び比較例1から比較例4までは実施例1と第1の工程の処理圧力、処理時間及び第2の工程の処理圧力、処理時間、導入気体の条件を変化させることを除いては実施例1と同様に行った。
比較例5から比較例9までは第2の工程を行わず、第1の工程の終了後にUVランプの電源を切って、5×10-3Paまで排気を行い、成膜用のチャンバーへ搬送させることを除いては実施例1と同様に行った。
11 層間絶縁膜
12 下部電極(陽極)
13 正孔輸送層
14 発光層
15 電子輸送層
16 電子注入層
17 上部電極(陰極)
18 画素分離膜
Claims (7)
- 上部電極と下部電極との間に有機化合物層が挟持されてなる有機発光素子の製造方法において、
下部電極及び前記下部電極の周辺を覆う画素分離膜が形成された基板に、酸素を含む気体を雰囲気中に導入及び排気しながらUV光を照射する工程と、
前記画素分離膜の開口部から露出する下部電極の上に、有機化合物層を形成する工程と、
前記有機化合物層の上に、上部電極を形成する工程と、を有し、
前記基板にUV光を照射する工程は、
圧力(A)でUVオゾン処理する第1の工程と、
前記圧力(A)よりも低い圧力(B)でUVオゾン処理する第2の工程と、を有し、
前記第1の工程から前記第2の工程を経由することを特徴とする有機発光素子の製造方法。 - 前記第1の工程での圧力(A)は前記第2の工程での圧力(B)の5倍以上であることを特徴とする請求項1に記載の有機発光素子の製造方法。
- 前記第2の工程での圧力(B)は10Pa以上1×104Pa以下の範囲内であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の有機発光素子の製造方法。
- 前記第1の工程での圧力(A)は5×104Pa以上1×105Pa以下の範囲内であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の有機発光素子の製造方法。
- 前記第1の工程と第2の工程とは連続的に行うことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の有機発光素子の製造方法。
- 前記基板にUV光を照射する工程は、第2の工程で終了することを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の有機発光素子の製造方法。
- 前記基板にUV光を照射する工程の後に、画素分離膜の開口部から露出する下部電極の上に、有機化合物層を形成する工程と、前記有機化合物層の上に、上部電極を形成する工程とを行うことを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の有機発光素子の製造方法。
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