JP2007261216A - アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 - Google Patents
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 30
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 41
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 29
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims abstract description 9
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 14
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract description 10
- 239000010408 film Substances 0.000 description 72
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000018 DNA microarray Methods 0.000 description 1
- 208000016169 Fish-eye disease Diseases 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006092551A JP2007261216A (ja) | 2006-03-29 | 2006-03-29 | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006092551A JP2007261216A (ja) | 2006-03-29 | 2006-03-29 | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2007261216A true JP2007261216A (ja) | 2007-10-11 |
| JP2007261216A5 JP2007261216A5 (enExample) | 2009-04-23 |
Family
ID=38634668
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006092551A Pending JP2007261216A (ja) | 2006-03-29 | 2006-03-29 | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2007261216A (enExample) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2006
- 2006-03-29 JP JP2006092551A patent/JP2007261216A/ja active Pending
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