JP4883291B2 - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Description
かかる本発明では、流路形成基板と基板とを接合する際、余分な接着剤が、凹部内、特に、大気開放されている凹部内に流れ込む。このため、圧力発生室内への接着剤の流れ込み量を少量に抑えることができ、接着剤に起因する吐出不良を防止することができる。
また流路形成基板と基板とを接合する際、余分な接着剤が、傾斜面である側面部分から凹部内に流れ込む。このため、圧力発生室内への接着剤の流れ込み量が少量に抑えられ、接着剤に起因する吐出不良をより確実に防止することができる。
また本発明は、このような液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。かかる本発明では、信頼性及び耐久性に優れた液体噴射装置を実現することができる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及びA−A′断面図であり、図3は、流路形成基板の平面図及びそのB−B′断面図である。図示するように、第1の基板である流路形成基板10は、本実施形態では面方位(110)のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化によって形成された厚さ0.5〜2μmの二酸化シリコンからなる弾性膜50が設けられている。この流路形成基板10には、隔壁11によって画成された複数の圧力発生室(溝部)12が列設されている。各圧力発生室12は、面方位(110)の単結晶基板からなる流路形成基板10を異方性エッチングすることによって形成された結果、その開口形状が略平行四辺形となっている。
列設された圧力発生室の両端部外側及び圧力発生室の長手方向外側、すなわち、列設された圧力発生室の外側にこの列の三方を囲むように、複数の凹部からなる逃げ溝を設けた流路形成基板を作製し、この流路形成基板に、圧力発生室を「密封」状態とし、且つ逃げ溝である凹部を「大気開放」状態として、ノズルプレートを接着剤によって接合したものを実施例1のサンプルとした。
実施例1と同様に、列設された圧力発生室の外側にこの列の三方を囲むように複数の凹部からなる逃げ溝を設けた流路形成基板を作製し、この流路形成基板に、圧力発生室を「大気開放」状態とし、且つ逃げ溝である凹部も「大気開放」状態として、ノズルプレートを接着剤によって接合したものを実施例2のサンプルとした。
列設された圧力発生室の両端部外側のみに複数の凹部からなる逃げ溝を設けた流路形成基板を作製し、この流路形成基板に、圧力発生室を「大気開放」状態とし、且つ逃げ溝である凹部を「密封」状態として、ノズルプレートとを接着剤によって接合したものを比較例のサンプルとした。
以上、本発明の各実施形態を説明したが、インクジェット式記録ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、逃げ溝17、溝18及び連通路19を流路形成基板10に設けるようにしたが、これに限定されず、これら逃げ溝17、溝18及び連通路19は、流路形成基板10とノズルプレート20との何れに設けられていてもよい。例えば、図12に示すように、逃げ溝17及び溝18を流路形成基板10に設けて、連通路19Aをノズルプレート20に設けるようにしてもよい。また、上述の実施形態では、圧力発生室12に隣接する凹部15a,16aをそれぞれ溝18を介して連通させ、流路形成基板10の側端面に開口する連通路19を介して大気開放させるようにしたが、これに限定されず、勿論、各凹部15a,16aを連通させることなく、各凹部15a,16aのそれぞれと外部と連通する複数の連通路を設けるようにしてもよい。
Claims (6)
- ノズル開口に連通する複数の圧力発生室が列設された流路形成基板と、
前記流路形成基板に接着剤により接合された基板と、
前記圧力発生室に液滴を吐出するための圧力を付与する圧力発生手段と、を備えた液体噴射ヘッドであって、
前記流路形成基板には、
前記圧力発生室の長手方向外側の領域に、当該流路形成基板の厚さ方向の一部を除去した凹部が、前記圧力発生室の列設方向に沿って連続的に形成され、
前記圧力発生室の列設方向外側の領域に、当該流路形成基板の厚さ方向に貫通した貫通部が、前記圧力発生室の長手方向に亘って形成され、
前記凹部と前記貫通部は、前記流路形成基板に形成された溝を介して連通し、
前記貫通部は、連通路を介して外部と連通しており、
前記凹部の前記圧力発生室側の側面は、内側に向かって下り傾斜していると共に、
前記圧力発生室の前記凹部側には、鋭角に形成された隅部を有し、前記隅部は傾斜している前記側面と対向していることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記流路形成基板には、前記圧力発生室の長手方向外側の領域に、前記流路形成基板の厚さ方向の一部を除去した凹部が、各圧力発生室に対応してさらに形成されていることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記貫通部は、前記圧力発生室の列設方向に沿って複数形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記連通路は、列設された前記圧力発生室の両端部側にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記基板は、複数の前記ノズル開口が形成されたノズルプレートであることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜5の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
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