JP2002307687A - インク吐出装置及びその製造方法 - Google Patents
インク吐出装置及びその製造方法Info
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- JP2002307687A JP2002307687A JP2001109894A JP2001109894A JP2002307687A JP 2002307687 A JP2002307687 A JP 2002307687A JP 2001109894 A JP2001109894 A JP 2001109894A JP 2001109894 A JP2001109894 A JP 2001109894A JP 2002307687 A JP2002307687 A JP 2002307687A
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- nozzle plate
- adhesive
- ink ejection
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ノズルプレートの接着力や密着力を向上させ、
かつ、インク流路に入り込む接着量を抑制し、接着剤に
よってインク吐出孔が塞がれるような不具合の発生を防
止したインク吐出装置を提供する。 【解決手段】インク吐出孔4─を有するノズルプレート
1と、そのインク吐出孔4─に連通状態に対応する互い
に平行な複数のインク流路を有し、インクに対して噴射
エネルギーを付与するヘッド部と、が接着・一体化され
てなるインク吐出装置において、ノズルプレート1また
はへツド部の接着面に、インク流路を囲むように空溝5
を形成する。
かつ、インク流路に入り込む接着量を抑制し、接着剤に
よってインク吐出孔が塞がれるような不具合の発生を防
止したインク吐出装置を提供する。 【解決手段】インク吐出孔4─を有するノズルプレート
1と、そのインク吐出孔4─に連通状態に対応する互い
に平行な複数のインク流路を有し、インクに対して噴射
エネルギーを付与するヘッド部と、が接着・一体化され
てなるインク吐出装置において、ノズルプレート1また
はへツド部の接着面に、インク流路を囲むように空溝5
を形成する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はノズルプレートのイ
ンク吐出孔からインクを噴射して記録動作を行うインク
吐出装置及びその製造方法に関する。
ンク吐出孔からインクを噴射して記録動作を行うインク
吐出装置及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、プリンタにおいては、インパクト
印字装置に代わって、カラー化、多階調化に対応し易い
インクジェット方式などのノンインパクト印字装置が急
速に普及しつつある。これに用いるインク吐出装置とし
ては、特に、印字に必要なインク滴のみを吐出するドロ
ップ・オン・デマンド型がインク吐出効率の良さ、低コ
スト化の容易さなどから注目されている。
印字装置に代わって、カラー化、多階調化に対応し易い
インクジェット方式などのノンインパクト印字装置が急
速に普及しつつある。これに用いるインク吐出装置とし
ては、特に、印字に必要なインク滴のみを吐出するドロ
ップ・オン・デマンド型がインク吐出効率の良さ、低コ
スト化の容易さなどから注目されている。
【0003】ドロップ・オン・デマンド型では、カイザ
ー方式やサーマルジェット方式が主流となっている。し
かし、カイザー方式は、小型化が困難であるために高密
度化に不向きである。また、サーマルジェット方式は、
インクを高温にして噴射する必要があるため、インクの
耐熱性が要求され、また、エネルギー効率が悪いため省
エネの観点から好ましいものではなかった。
ー方式やサーマルジェット方式が主流となっている。し
かし、カイザー方式は、小型化が困難であるために高密
度化に不向きである。また、サーマルジェット方式は、
インクを高温にして噴射する必要があるため、インクの
耐熱性が要求され、また、エネルギー効率が悪いため省
エネの観点から好ましいものではなかった。
【0004】このような各方式における欠点を解決する
ために、例えば、特開昭63−247051号公報に
は、圧電性基板材料からなるインク流路の両側の壁面に
電極膜を形成し、その電極に電位差を与えることでイン
ク流路壁面を変形させ、その際に生じる圧力波変動を利
用してインクを噴射する圧電駆動によるインク吐出方法
が提案されている。この方法はノズルの高密度化、省エ
ネ化に適している。
ために、例えば、特開昭63−247051号公報に
は、圧電性基板材料からなるインク流路の両側の壁面に
電極膜を形成し、その電極に電位差を与えることでイン
ク流路壁面を変形させ、その際に生じる圧力波変動を利
用してインクを噴射する圧電駆動によるインク吐出方法
が提案されている。この方法はノズルの高密度化、省エ
ネ化に適している。
【0005】上記方式を含むインクジェットヘッドは、
図4の斜視図に示すように、へツド部2に形成されたイ
ンク流路3に、ノズルプレート1に形成された直径20
μm程度のテーパー状のインク吐出孔4を対応させて、
ノズルプレート1がへツド部2に接着・一体化されてな
る。そのノズルプレート1の接着面(内面)は接着時に
おける気泡の混入などにより接着強度が低下しないよう
にする必要がある。
図4の斜視図に示すように、へツド部2に形成されたイ
ンク流路3に、ノズルプレート1に形成された直径20
μm程度のテーパー状のインク吐出孔4を対応させて、
ノズルプレート1がへツド部2に接着・一体化されてな
る。そのノズルプレート1の接着面(内面)は接着時に
おける気泡の混入などにより接着強度が低下しないよう
にする必要がある。
【0006】そのため、特開平11−227194号公
報には、へツド部2のノズルプレート1の接着面又はノ
ズルプレート1の内面のいずれかに、インク吐出孔4列
に沿って延びる複数の空構5を形成することでノズルプ
レート1とヘッド部2の間の接着力及び密着力を向上さ
せようとした構成が開示している。
報には、へツド部2のノズルプレート1の接着面又はノ
ズルプレート1の内面のいずれかに、インク吐出孔4列
に沿って延びる複数の空構5を形成することでノズルプ
レート1とヘッド部2の間の接着力及び密着力を向上さ
せようとした構成が開示している。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上述した特開平11−
227194号公報に記載のインクジェットヘッドで
は、インク吐出孔4列に沿ってヘッド部2のノズルプレ
ート1の接着面やノズルプレート1の内面に空溝5を形
成するようにしている。このような空溝5の形成によ
り、接着剤の増量が可能となり、接着時の余分な接着剤
が空溝5に入り込むことを利用してノズルプレート1の
接着力や密着力を向上させることができる。
227194号公報に記載のインクジェットヘッドで
は、インク吐出孔4列に沿ってヘッド部2のノズルプレ
ート1の接着面やノズルプレート1の内面に空溝5を形
成するようにしている。このような空溝5の形成によ
り、接着剤の増量が可能となり、接着時の余分な接着剤
が空溝5に入り込むことを利用してノズルプレート1の
接着力や密着力を向上させることができる。
【0008】しかし、接着剤を増量すると、余分な接着
剤が空溝5に入るだけでなく、インク流路3にもたれ込
むことがあり、そのために、インク流路3内で接着剤が
フィレット状となって凝固し、インク流路3を狭めてし
まうことがある。このような場合には、ヘッド部2に対
するノズルプレート1の取り付け位置精度が低下する
と、インク吐出孔4のインク流路3に対する僅かな位置
ずれによって、インク吐出孔4の一部または全部が閉塞
されてしまうこともあり、正常なインク噴射ができなく
なってしまう。
剤が空溝5に入るだけでなく、インク流路3にもたれ込
むことがあり、そのために、インク流路3内で接着剤が
フィレット状となって凝固し、インク流路3を狭めてし
まうことがある。このような場合には、ヘッド部2に対
するノズルプレート1の取り付け位置精度が低下する
と、インク吐出孔4のインク流路3に対する僅かな位置
ずれによって、インク吐出孔4の一部または全部が閉塞
されてしまうこともあり、正常なインク噴射ができなく
なってしまう。
【0009】本発明は、このような実情に鑑みてなさ
れ、ノズルプレートの接着力や密着力を向上させ、か
つ、インク流路に入り込む接着量を抑制し、接着剤によ
ってインク吐出孔が塞がれるような不具合の発生を防止
したインク吐出装置及びその製造方法を提供することを
目的とする。
れ、ノズルプレートの接着力や密着力を向上させ、か
つ、インク流路に入り込む接着量を抑制し、接着剤によ
ってインク吐出孔が塞がれるような不具合の発生を防止
したインク吐出装置及びその製造方法を提供することを
目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述の課題を
解決するための手段を以下のように構成している。
解決するための手段を以下のように構成している。
【0011】(1)インク吐出孔を有するノズルプレー
トと、前記インク吐出孔に連通状態に対応する互いに平
行な複数のインク流路を有し、インクに対して噴射エネ
ルギーを付与するヘッド部と、が接着・一体化されてな
るインク吐出装置において、前記ノズルプレートまたは
へツド部の接着面に、空溝を形成したことを特徴とす
る。
トと、前記インク吐出孔に連通状態に対応する互いに平
行な複数のインク流路を有し、インクに対して噴射エネ
ルギーを付与するヘッド部と、が接着・一体化されてな
るインク吐出装置において、前記ノズルプレートまたは
へツド部の接着面に、空溝を形成したことを特徴とす
る。
【0012】この構成によれば、空溝の形成により、接
着剤を増量することができ、接着力の強化と、密着性の
向上を図ることができる。
着剤を増量することができ、接着力の強化と、密着性の
向上を図ることができる。
【0013】(2)前記空溝が、少なくとも前記ヘッド
部のインク流路間の接着面に沿って形成されたことを特
徴とする。
部のインク流路間の接着面に沿って形成されたことを特
徴とする。
【0014】この構成によれば、余分の接着剤を、イン
ク流路間の空溝に導入することができるので、インク流
路内へのたれ込みを少なくすることができる。
ク流路間の空溝に導入することができるので、インク流
路内へのたれ込みを少なくすることができる。
【0015】(3)前記空溝が、インク流路を囲むよう
に形成されたことを特徴とする。
に形成されたことを特徴とする。
【0016】この構成によれば、空溝を、インク流路を
囲むように形成したので、余分の接着剤を、その空溝に
導入することができ、インク流路内へのたれ込みをより
少なくすることができる。
囲むように形成したので、余分の接着剤を、その空溝に
導入することができ、インク流路内へのたれ込みをより
少なくすることができる。
【0017】(4)前記空溝の深さが、5〜10μmに
設定されていることを特徴とする。
設定されていることを特徴とする。
【0018】この構成によれば、空溝の深さを適切な値
に設定することにより、インク流路への接着剤のたれ込
みを回避し、かつ、接着層中に気泡が混入するのを効果
的に防止することができる。
に設定することにより、インク流路への接着剤のたれ込
みを回避し、かつ、接着層中に気泡が混入するのを効果
的に防止することができる。
【0019】(5)請求項1ないし請求項4のいずれか
に記載のインク吐出装置を製造する方法において、前記
ノズルプレートの素材として合成樹脂材料を用い、レー
ザー加工によって、前記ノズルプレートの接着面に、空
溝を形成することを特徴とするこの構成によれば、空溝
の形成により、空溝がない場合より接着剤を増量するこ
とができるため、接着力の向上と密着性の向上を図るこ
とができる。また、接着工程で、空溝から気泡を押し出
すことができるため、ノズルプレートとヘッド部の界面
(接着層)への気泡の混入を防止することができる。
に記載のインク吐出装置を製造する方法において、前記
ノズルプレートの素材として合成樹脂材料を用い、レー
ザー加工によって、前記ノズルプレートの接着面に、空
溝を形成することを特徴とするこの構成によれば、空溝
の形成により、空溝がない場合より接着剤を増量するこ
とができるため、接着力の向上と密着性の向上を図るこ
とができる。また、接着工程で、空溝から気泡を押し出
すことができるため、ノズルプレートとヘッド部の界面
(接着層)への気泡の混入を防止することができる。
【0020】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施形態に係る
インク吐出装置及びその製造方法について説明する。
インク吐出装置及びその製造方法について説明する。
【0021】図1(a)、(b)にノズルプレート1の
内面(接着面)から見た斜視図を示し、図2にインクジ
ェットヘッドの斜視図を示す。尚、図2中のノズルプレ
ート1は半分のみを図示している。以下に、図1及び図
2に基づいて、圧電駆動で動作するインクジェットヘッ
ドを例として説明する。
内面(接着面)から見た斜視図を示し、図2にインクジ
ェットヘッドの斜視図を示す。尚、図2中のノズルプレ
ート1は半分のみを図示している。以下に、図1及び図
2に基づいて、圧電駆動で動作するインクジェットヘッ
ドを例として説明する。
【0022】インクジェットヘッドは、複数のインク吐
出孔4─を有するノズルプレート1と、インク吐出孔4
─に連通状態に対応する互いに平行な複数のインク流路
3─を有してインクに対して噴射エネルギーを付与する
ヘッド部2と、が接着・一体化されてなる。
出孔4─を有するノズルプレート1と、インク吐出孔4
─に連通状態に対応する互いに平行な複数のインク流路
3─を有してインクに対して噴射エネルギーを付与する
ヘッド部2と、が接着・一体化されてなる。
【0023】そのノズルプレート1は、素材として約5
0μm程度の厚さを有するポリイミドなどの合成樹脂材
料を用い、エキシマレーザーなどのレーザー加工装置を
用いてヘッド部2との接着面となるノズルプレート1の
片面にレーザーパワーを絞って深さ5〜10μm程度の
空溝5を形成する。なお、この程度に空溝5の深さを設
定することにより、インク流路3への接着剤のたれ込み
を回避し、かつ、接着層中に気泡が混入するのを効果的
に防止できることが確認されている。
0μm程度の厚さを有するポリイミドなどの合成樹脂材
料を用い、エキシマレーザーなどのレーザー加工装置を
用いてヘッド部2との接着面となるノズルプレート1の
片面にレーザーパワーを絞って深さ5〜10μm程度の
空溝5を形成する。なお、この程度に空溝5の深さを設
定することにより、インク流路3への接着剤のたれ込み
を回避し、かつ、接着層中に気泡が混入するのを効果的
に防止できることが確認されている。
【0024】その空溝5は、図1(a)に示すように、
前記インク流路3の壁部(接着面)31の中心線C(図
2に一点鎖線で示す両インク流路3,3の中間を通る
線)に沿う縦溝51─の上下が横溝52,52で連通状
態に連なり、その縦溝51と横溝52によって各インク
流路(溝)3を囲むように形成する。また、図1(b)
に示すように、前記空溝5の縦溝51と横溝52を、ノ
ズルプレート1の端部にまで引き延ばすように形成して
もよい。
前記インク流路3の壁部(接着面)31の中心線C(図
2に一点鎖線で示す両インク流路3,3の中間を通る
線)に沿う縦溝51─の上下が横溝52,52で連通状
態に連なり、その縦溝51と横溝52によって各インク
流路(溝)3を囲むように形成する。また、図1(b)
に示すように、前記空溝5の縦溝51と横溝52を、ノ
ズルプレート1の端部にまで引き延ばすように形成して
もよい。
【0025】次に、ノズルプレート1にインク吐出孔4
を形成する。該インク吐出孔4は上記空溝5と異なり、
ノズルプレート1を貫通する。このインク吐出孔4の形
成に際しては、前記空溝形成時よりもレーザーパワーを
上げ、内面側の方が径が大きくなるテーパー状となるよ
うに、かつ、インク流路3の中心部に孔の中心が対応す
るように、インク流路3の数に相応するだけインク吐出
孔4を形成する。
を形成する。該インク吐出孔4は上記空溝5と異なり、
ノズルプレート1を貫通する。このインク吐出孔4の形
成に際しては、前記空溝形成時よりもレーザーパワーを
上げ、内面側の方が径が大きくなるテーパー状となるよ
うに、かつ、インク流路3の中心部に孔の中心が対応す
るように、インク流路3の数に相応するだけインク吐出
孔4を形成する。
【0026】ヘッド部2は、ヘッド基板21と蓋22か
らなり、その製作方法について説明すると、まず、ヘッ
ド基板21は、分極処理を施したチタン酸ジルコン酸鉛
(PZT)やチタン酸鉛(PZ)などの圧電セラミック
材料からなる圧電性基板に、ダイヤモンドブレードを用
いて、溝深さ約300μm、幅約100μmで、お互い
に平行な複数の溝(インク流路3となる)(3)を形成
する。
らなり、その製作方法について説明すると、まず、ヘッ
ド基板21は、分極処理を施したチタン酸ジルコン酸鉛
(PZT)やチタン酸鉛(PZ)などの圧電セラミック
材料からなる圧電性基板に、ダイヤモンドブレードを用
いて、溝深さ約300μm、幅約100μmで、お互い
に平行な複数の溝(インク流路3となる)(3)を形成
する。
【0027】次に、蒸着装置、スパッタリング装置また
はプラズマCVD装置を用いて、Cu、Al、Cr、A
uといった導電性を有する金属膜を溝(3)の壁面に約
1μm程度の膜厚となるように時間を調節しながら成膜
し、圧電駆動用の電極膜6を形成することにより、ヘッ
ド基板21を製作する。
はプラズマCVD装置を用いて、Cu、Al、Cr、A
uといった導電性を有する金属膜を溝(3)の壁面に約
1μm程度の膜厚となるように時間を調節しながら成膜
し、圧電駆動用の電極膜6を形成することにより、ヘッ
ド基板21を製作する。
【0028】次いで、平板状の基板からなる蓋22の片
面を接着面として、研磨加工し、前記ヘッド基板21の
接着面上の不要な電極膜6を除去して平坦化を施した
後、そのヘッド基板21と蓋22とを接着することによ
り、溝(3)の上部を閉塞してインク流路3を形成する
(図2参照)。
面を接着面として、研磨加工し、前記ヘッド基板21の
接着面上の不要な電極膜6を除去して平坦化を施した
後、そのヘッド基板21と蓋22とを接着することによ
り、溝(3)の上部を閉塞してインク流路3を形成する
(図2参照)。
【0029】次に、前記製造したノズルプレート1のイ
ンク吐出孔4が、ヘッド基板21のインク流路3の中心
位置となるように位置合わせを行い、10μm程度の厚
さの接着剤によってノズルプレート1とへツド部2を加
圧接着する。
ンク吐出孔4が、ヘッド基板21のインク流路3の中心
位置となるように位置合わせを行い、10μm程度の厚
さの接着剤によってノズルプレート1とへツド部2を加
圧接着する。
【0030】この程度の厚さの接着剤を用いて加圧接着
することにより、余分な接着剤がノズルプレート1内面
に形成した空溝5(51+52)に入ることで、接着剤
のインク流路3内へのたれ込みを抑制することができ、
大きい接着剤のフィレットがインク流路部3に生じてイ
ンク吐出孔4が塞がれるような不具合の発生を回避する
ことができる。また、接着層中に気泡が混入するのを効
果的に防止することができる。従って、強力な接着力と
高い密着性を確保することができる。
することにより、余分な接着剤がノズルプレート1内面
に形成した空溝5(51+52)に入ることで、接着剤
のインク流路3内へのたれ込みを抑制することができ、
大きい接着剤のフィレットがインク流路部3に生じてイ
ンク吐出孔4が塞がれるような不具合の発生を回避する
ことができる。また、接着層中に気泡が混入するのを効
果的に防止することができる。従って、強力な接着力と
高い密着性を確保することができる。
【0031】ところで、図2に示すように、インク流路
3の形状は、一般にインク吐出孔4の列方向(図示では
横方向)が短辺となる。そのため、インク流路3に対す
るインク吐出孔4の位置ずれの影響で、ノズル吐出孔4
が塞がれる可能性(危険性)は、長辺方向に生じたフィ
レットによる場合が高い。
3の形状は、一般にインク吐出孔4の列方向(図示では
横方向)が短辺となる。そのため、インク流路3に対す
るインク吐出孔4の位置ずれの影響で、ノズル吐出孔4
が塞がれる可能性(危険性)は、長辺方向に生じたフィ
レットによる場合が高い。
【0032】そこで、ノズルプレート1内面に形成され
る空溝5の縦溝51─を、上述のように、インク流路
3,3間の中心線C(図2の一点鎖線参照)に沿って形
成することで、接着剤のインク流路3内へのたれ込みを
少なくし、長辺方向のフィレット発生量を少なくするこ
とができ、インク吐出孔4が塞がれるのを効果的に防止
することができる。
る空溝5の縦溝51─を、上述のように、インク流路
3,3間の中心線C(図2の一点鎖線参照)に沿って形
成することで、接着剤のインク流路3内へのたれ込みを
少なくし、長辺方向のフィレット発生量を少なくするこ
とができ、インク吐出孔4が塞がれるのを効果的に防止
することができる。
【0033】また、図1(b)で示すように空溝5(縦
溝51及び横溝52)をノズルプレート1の端部まで引
き伸ばすことで、ノズルプレート1とへツド部2の加圧
接着工程時において、空溝5を通して気泡を外部に押し
出すことができ、へツド部2に対するノズルプレート1
の密着力を高めることができる。
溝51及び横溝52)をノズルプレート1の端部まで引
き伸ばすことで、ノズルプレート1とへツド部2の加圧
接着工程時において、空溝5を通して気泡を外部に押し
出すことができ、へツド部2に対するノズルプレート1
の密着力を高めることができる。
【0034】以上本実施の形態ではノズルプレート1の
内面に空溝5を設け、ノズルプレート1の接着強度及び
密着強度を向上させたインク吐出装置について説明し
た。更に、ノズルプレート1への空構5の形成に代え
て、または、その空溝5に加えて、図3に示すようにへ
ツド部2の接着面側においても、インク流路3を囲むよ
うに空溝5を形成することにより、同様に、ノズルプレ
ート1の接着強度や密着強度を顕著に向上させることが
でき、かつ、インク流路3内への接着剤のたれ込みを効
果的に防ぐことができる。
内面に空溝5を設け、ノズルプレート1の接着強度及び
密着強度を向上させたインク吐出装置について説明し
た。更に、ノズルプレート1への空構5の形成に代え
て、または、その空溝5に加えて、図3に示すようにへ
ツド部2の接着面側においても、インク流路3を囲むよ
うに空溝5を形成することにより、同様に、ノズルプレ
ート1の接着強度や密着強度を顕著に向上させることが
でき、かつ、インク流路3内への接着剤のたれ込みを効
果的に防ぐことができる。
【0035】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明
は、以下の効果を奏する。
は、以下の効果を奏する。
【0036】請求項1によれば、ノズルプレートまたは
へツド部の接着面に、空溝を形成したので、接着剤を増
量することができ、接着力の強化と、密着性の向上を図
ることができる。
へツド部の接着面に、空溝を形成したので、接着剤を増
量することができ、接着力の強化と、密着性の向上を図
ることができる。
【0037】請求項2によれば、ヘッド部のインク流路
間の接着面に沿って空溝を形成したので、余分の接着剤
を、インク流路間の空溝に導入することができ、インク
流路内へのたれ込みを少なくすることができる。
間の接着面に沿って空溝を形成したので、余分の接着剤
を、インク流路間の空溝に導入することができ、インク
流路内へのたれ込みを少なくすることができる。
【0038】請求項3によれば、空溝を、インク流路を
囲むように形成するので、余分の接着剤を、その空溝に
導入することができ、インク流路内へのたれ込みをより
少なくすることができる。
囲むように形成するので、余分の接着剤を、その空溝に
導入することができ、インク流路内へのたれ込みをより
少なくすることができる。
【0039】請求項4によれば、空溝の深さを5〜10
μmに設定したので、インク流路への接着剤のたれ込み
を回避し、かつ、接着層中に気泡が混入するのを効果的
に防止することができる。
μmに設定したので、インク流路への接着剤のたれ込み
を回避し、かつ、接着層中に気泡が混入するのを効果的
に防止することができる。
【0040】請求項5によれば、ノズルプレートの素材
として合成樹脂材料を用い、レーザー加工によって、前
記ノズルプレートの接着面に、空溝を形成するので、空
溝の形成により、空溝がない場合より接着剤を増量する
ことができるため、接着力の向上と密着性の向上を図る
ことができる。
として合成樹脂材料を用い、レーザー加工によって、前
記ノズルプレートの接着面に、空溝を形成するので、空
溝の形成により、空溝がない場合より接着剤を増量する
ことができるため、接着力の向上と密着性の向上を図る
ことができる。
【0041】また、接着工程で、空溝から気泡を押し出
すことができるため、ノズルプレートとヘッド部の界面
(接着層)への気泡の混入を防止することができ、製品
品質を安定に向上させることができる。
すことができるため、ノズルプレートとヘッド部の界面
(接着層)への気泡の混入を防止することができ、製品
品質を安定に向上させることができる。
【図1】本発明の実施形態に係るノズルプレート内面の
斜視図である。
斜視図である。
【図2】同インクジェットヘッドの一部破断斜視図であ
る。
る。
【図3】同インクジェットヘッドの変形例を示す一部破
断斜視図である。
断斜視図である。
【図4】従来例のインクジェットヘッドの一例を示す組
立対応斜視図である。
立対応斜視図である。
1−ノズルプレート 2−ヘッド部 3−インク流路 4−インク吐出孔 5−空構
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 垣脇 成光 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 Fターム(参考) 2C057 AF65 AG12 AG89 AP23 AP25
Claims (5)
- 【請求項1】 インク吐出孔を有するノズルプレート
と、 前記インク吐出孔に連通状態に対応する互いに平行な複
数のインク流路を有し、インクに対して噴射エネルギー
を付与するヘッド部と、が接着・一体化されてなるイン
ク吐出装置において、 前記ノズルプレートまたはへツド部の接着面に、空溝を
形成したことを特徴とするインク吐出装置。 - 【請求項2】 前記空溝が、少なくとも前記ヘッド部の
インク流路間の接着面に沿って形成されたことを特徴と
する請求項1に記載のインク吐出装置。 - 【請求項3】 前記空溝が、インク流路を囲むように形
成されたことを特徴とする前請求項1または2に記載の
インク吐出装置。 - 【請求項4】 前記空溝の深さが、5〜10μmに設定
されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか
に記載のインク吐出装置。 - 【請求項5】 請求項1ないし請求項4のいずれかに記
載のインク吐出装置を製造する方法において、 前記ノズルプレートの素材として合成樹脂材料を用い、
レーザー加工によって、前記ノズルプレートの接着面
に、空溝を形成することを特徴とするインク吐出装置の
製造方法。
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---|---|---|---|
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