WO2015087155A1 - インクジェットヘッド - Google Patents

インクジェットヘッド Download PDF

Info

Publication number
WO2015087155A1
WO2015087155A1 PCT/IB2014/002882 IB2014002882W WO2015087155A1 WO 2015087155 A1 WO2015087155 A1 WO 2015087155A1 IB 2014002882 W IB2014002882 W IB 2014002882W WO 2015087155 A1 WO2015087155 A1 WO 2015087155A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
groove
nozzle plate
head chip
adhesive
channel
Prior art date
Application number
PCT/IB2014/002882
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
光 高松
勝哉 深谷
純 丸林
Original Assignee
コニカミノルタ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by コニカミノルタ株式会社 filed Critical コニカミノルタ株式会社
Publication of WO2015087155A1 publication Critical patent/WO2015087155A1/ja

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/1433—Structure of nozzle plates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14209—Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/1609—Production of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
    • B41J2/1642—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by CVD [chemical vapor deposition]
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14362—Assembling elements of heads

Definitions

  • the present invention relates to an inkjet head, and more specifically, it is possible to suppress the flow of adhesive into the nozzle even when the nozzle density is high, and to suppress the occurrence of a gap due to the adhesive surface of the nozzle plate floating from the head chip.
  • the present invention relates to an inkjet head.
  • An inkjet head in which a nozzle plate having nozzles for discharging liquid is bonded to the end face of the head chip with an adhesive is used when the nozzle plate and the head chip are bonded to each other as the nozzles become denser and multi-rowed.
  • the adhesive flows into the nozzle and causes nozzle clogging, or the gap between the nozzle plate and the head chip does not come into close contact.
  • the problem of nozzle clogging is influenced by the fact that the density of the pressure chamber provided in the head chip increases as the nozzle density increases, and the opening width of the pressure chamber becomes narrower.
  • the size of the head chip increases, making it difficult to uniformly apply the adhesive to the whole, and a portion where the amount of application increases partially tends to occur. It is thought that this also has an effect.
  • the problem of gaps is mainly due to the unevenness of the end face of the head chip to which the nozzle plate is bonded. This unevenness is generated by forming a partial protrusion on the end face of the head chip. Such partial protrusions may also occur due to the attachment of minute foreign matters such as dust, but in particular, the surface of the head chip is often coated with a parylene film for protecting the electrode member from ink. It can be seen. In general, since the parylene film is coated over the surface of the head chip including the surface of the electrode member, the parylene film is also formed on the end surface bonded to the nozzle plate.
  • parylene film may generate a 1 to 10 ⁇ m protrusion-like foreign material due to abnormal growth of parylene, and when this protrusion-like foreign material occurs on the end surface bonded to the nozzle plate, The nozzle plate is lifted from the surface of the head chip, and a gap is generated between the nozzle plate and the head chip.
  • the gap generated between the nozzle plate and the head chip can be eliminated by filling the gap by adding an adhesive between the end of the nozzle plate and the head chip, and this is not a problem.
  • the adhesive is poured from the end of the nozzle plate, it will flow into the pressure chambers and nozzles when crossing the nozzle rows. It is extremely difficult to make the adhesive reach the gap between them.
  • FIG. 15 shows a state where an ink jet head in which a convex portion is generated on the end face of the head chip between the nozzle rows is viewed from the surface of the nozzle plate.
  • 100 is a pressure chamber
  • 200 is a nozzle
  • 300 is a convex portion.
  • the convex part 300 has generate
  • the clearance gap 400 will be formed in the circumference
  • the adhesive cannot flow into the gap 400 due to the capillary force, so that the adhesive is insufficient and remains as a gap.
  • the pressure chambers 100, 100 may leak (communicate) with each other.
  • the ink in the pressure chamber 100 cannot be stably discharged, which causes a discharge failure.
  • Patent Document 1 a technique has been proposed in which an adhesive escape groove is formed on the adhesive surface of the nozzle plate so as to surround the nozzle, thereby preventing excess adhesive from entering the nozzle.
  • the pressure chamber is increased in density, and the interval between adjacent nozzles in the nozzle row direction is extremely narrow. For this reason, it is extremely difficult to form a groove between nozzles adjacent in the nozzle row direction.
  • the present invention can suppress the flow of the adhesive into the nozzle even when the nozzle density is high, and the convex portion formed on the end surface of the head chip to which the nozzle plate is bonded causes a gap between the pressure chamber rows. It is an object of the present invention to provide an ink jet head that can suppress the problem of occurrence of pressure and leakage between pressure chambers.
  • a head chip in which a plurality of rows of pressure chambers in which a plurality of pressure chambers are arranged are arranged side by side, and a nozzle plate bonded to an end surface of the head chip on which an opening on the outlet side of the pressure chamber is disposed by an adhesive.
  • the nozzle plate has a first groove formed along the row of pressure chambers at a portion corresponding to the space between the rows of pressure chambers on the bonding surface with the head chip.
  • An inkjet head in which a depth value of the first groove is equal to or greater than a roughness value of the end face of the head chip to which the nozzle plate is bonded.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a first embodiment of an ink jet head according to the present invention, developed left and right on an adhesive surface between a nozzle plate and a head chip.
  • 1 is an end view showing a cut end surface when the ink jet head shown in FIG. 1 is cut along line (ii)-(ii).
  • Partial rear view of nozzle plate Partial rear view of nozzle plate explaining leakage between groove and channel Rear view of nozzle plate
  • Partial end view of inkjet head The perspective view which shows 2nd Embodiment of the inkjet head which concerns on this invention, and expand
  • 9 is an end view showing a cut end surface when the ink jet head shown in FIG. 9 is cut along line (x)-(x). End view showing the same cut end surface as FIG.
  • Partial rear view of nozzle plate Rear view of nozzle plate Rear view of nozzle plate with 6 nozzle rows The figure explaining the state which the leak generate
  • FIG. 1 shows a first embodiment of an ink jet head according to the present invention, and is a perspective view showing left and right developed by an adhesive surface between a nozzle plate and a head chip.
  • FIG. 2 shows the ink jet head shown in FIG. ii) End view showing a cut end surface when cut along line (ii)
  • FIGS. 3 and 4 are partial rear views of the nozzle plate
  • FIG. 5 is a rear view of the nozzle plate showing another embodiment of the groove.
  • FIG. 6 is a partial sectional view of the nozzle plate.
  • the adhesive is not shown.
  • 1 is a head chip and 2 is a nozzle plate.
  • the head chip 1 has a hexahedral shape, and a plurality of channels 11 which are pressure chambers are arranged in parallel.
  • a partition between adjacent channels 11 and 11 includes a piezoelectric element such as PZT at least partially, and serves as a driving wall 12 that functions as a pressure applying unit.
  • One drive wall 12 is shared by the adjacent channels 11 and 11.
  • the channels 11 and the drive walls 12 are arranged in parallel so as to constitute one channel row.
  • the channel rows are arranged in two rows (first row and second row) in the vertical direction in the figure.
  • each channel 11 of the head chip 1 is 150 ⁇ m to 450 ⁇ m, and the shortest distance F between the first and second channel columns is 400 ⁇ m to 1500 ⁇ m. It is said that.
  • Each channel 11 opens to the end face 1a of the head chip 1 to which the nozzle plate 2 is bonded to form an opening 11a on the outlet side.
  • the other end opens to the end face of the head chip 1 opposite to the end face 1a to form an inlet side opening (not shown).
  • An ink manifold (not shown) is provided on the end surface side opposite to the end surface 1 a of the head chip 1, and ink is supplied in common to the opening portion on the inlet side of each channel 11.
  • a driving electrode (not shown) is formed on the surface of the driving wall 12 facing the channel 11.
  • a drive signal of a predetermined voltage is applied to a pair of drive electrodes sandwiching the drive wall 12 via a wiring on a wiring board (not shown) provided on the end face opposite to the end face 1a of the head chip 1, the drive wall 12 is sheared so as to expand or contract the volume of the channel 11, and operates to apply pressure for ejection to the ink in the channel 11.
  • the parylene film 3 is a resin film made of paraxylylene and its derivatives, and is formed by a vapor phase synthesis method (chemical vapor deposition: CVD method) using a solid diparaxylylene dimer or its derivative as an evaporation source. That is, paraxylylene radicals generated by vaporization and thermal decomposition of diparaxylylene dimer are adsorbed on the surface of the head chip 1 and undergo a polymerization reaction to form a film.
  • CVD method chemical vapor deposition: CVD method
  • parylene films there are various parylene films as the parylene film, and various parylene films or a multi-layered parylene film in which a plurality of these various parylene films are laminated can be applied depending on required performance and the like.
  • the thickness of the parylene film 3 is generally 1 ⁇ m to 10 ⁇ m, and is formed on the surface of the head chip 1 before the nozzle plate 2 is bonded.
  • nozzles 21 are formed so as to correspond to the respective channels 11 of the head chip 1. That is, the nozzle plate 2 also has two nozzle rows.
  • the nozzle plate 2 is bonded to the end surface 1a of the head chip 1 with an adhesive.
  • the end surface 1a of the head chip 1 to which the nozzle plate 2 is bonded is the parylene film 3 formed on the end surface 1a. Refers to the surface.
  • the thickness D (see FIG. 6) of the nozzle plate 2 is generally 20 ⁇ m to 300 ⁇ m.
  • the bonding surface 2a with the head chip 1 which is the back surface of the nozzle plate 2 has a portion corresponding to a position between two channel rows (first row and second row) arranged on the end surface 1a of the head chip 1 as 1 A groove (first groove) 22 is formed.
  • the groove 22 can function as a so-called glue guard that receives an excess of the adhesive applied between the head chip 1 and the nozzle plate 2.
  • the groove 22 is formed to extend linearly along the channel row direction (left-right direction in FIG. 3) with a predetermined width and depth so as not to overlap the channel 11 of each channel row.
  • the value C (see FIG. 6) of the depth 22 of the groove 22 of the nozzle plate 2 is equal to or greater than the value of the roughness Yp of the end face 1a of the head chip 1 to which the nozzle plate 2 is bonded.
  • the value of the roughness Yp of the end face 1a is a three-dimensional measurement of the surface roughness of the entire end face 1a excluding the opening 11a of the channel 11 of the head chip 1 (the height of the peak from the valley). It is a value obtained by measuring the height from the average height of the peak to the highest peak.
  • a shape measurement laser microscope Keyence: VK-X100
  • the value of the roughness Yp of the end surface 1a increases.
  • the end portion of the nozzle plate 2 Therefore, it is difficult to fill the gap even if the adhesive is poured, and conventionally, the gap is likely to remain.
  • the depth value C of the groove 22 arranged in the region between the two channel rows is equal to or greater than the roughness Yp of the end face 1a, as shown in FIG.
  • the convex portion 3 a generated at this portion can be accommodated in the groove 22. Thereby, the nozzle plate 2 is not partially lifted by the convex portion 3a, and the generation of a gap due to the rising of the nozzle plate 2 can be suppressed. Accordingly, it is possible to suppress a problem that a gap is generated between the channel rows due to the convex portion 3a and the channels 11 are leaked.
  • the depth value C of the groove 22 is 10 ⁇ m or more. If formed so as to be less than D, the convex portion 3 a generated at the portion where the groove 22 is disposed can be completely accommodated in the groove 22.
  • the grooves 22 do not overlap with the openings 11a of the channels 11 in any channel row, and are arranged at a distance from the edge 11b of the openings 11a, so that the grooves 22 and the grooves 22 as shown in FIG. Adhesive regions S1 and S1 are formed between the channel rows. For this reason, the groove 22 does not leak with the channel 11.
  • positioned in FIG. 3 was shown with the broken line.
  • the bonding regions S1 and S1 have a width corresponding to the shortest distance A from the edge 22a on the opening side (the bonding surface 2a side) of the groove 22 to the edge 11b of the opening 11a of the channel 11.
  • the grooves 22 are preferably arranged so that the shortest distance A is 50 ⁇ m or more.
  • the shortest distance A is less than 50 ⁇ m and the groove 22 and the channel 11 are close to each other, it is difficult for the adhesive to flow between the groove 22 and the channel 11 due to capillary force, and as shown in FIG. There is a possibility that an air portion X having no adhesive is easily generated between the groove 22 and the channel 11, and leakage occurs between the groove 22 and the channel 11.
  • the adhesive regions S1 and S1 can be wide enough to seal between the groove 22 and the channel 11 with an adhesive. For this reason, there is no possibility that the sealing failure of the channel 11 due to the shortage of the adhesion region will occur.
  • the groove 22 functions as a glue guard that receives surplus adhesive, the adhesive can be prevented from flowing into the nozzle 21. Since the groove 22 is arranged between the two channel rows of the head chip 1, even if the channel 11 becomes dense and the interval between the adjacent channels 11 and 11 in the same channel row becomes close, the surplus is provided. Grooves 22 can be formed with a volume sufficient to accept the adhesive. Therefore, even if the nozzle 21 becomes high density, it is possible to prevent the adhesive from flowing into the nozzle 21.
  • the groove width B on the opening side of the groove 22 is preferably as large as possible.
  • the shortest distance A is 50 ⁇ m or more and the groove width B is made as large as possible. Since the groove 22 can be widened and a large amount of surplus adhesive can be received at the same time, a region where the convex portion 3a can be accommodated can be widened, so that the nozzle plate 2 can be lifted by the convex portion 3a. The suppression effect can be enhanced.
  • the grooves 22 extend linearly along the channel row direction, and may be formed at least from the nozzle 21 at one end of the nozzle row to the nozzle 21 at the other end. As shown, the end 22 b of the groove 22 is preferably communicated to the outside at the end of the nozzle plate 2. As a result, the end 22b of the groove 22 opens to the end surface 2b intersecting the nozzle row direction of the nozzle plate 2 and the inside of the groove 22 communicates with the outside air, so that the air in the groove 22 can escape from the end 22b. As a result, the surplus adhesive can be easily introduced.
  • both end portions 22b and 22b of the groove 22 are communicated to the outside from the end surface 2b of the nozzle plate 2, respectively.
  • at least one end portion 22b of the groove 22 extends from the end surface 2b of the nozzle plate 2 to the outside. It only has to communicate.
  • FIG. 5 is a rear view of the nozzle plate 2 as viewed from the bonding surface 2a side, and a plurality of grooves 22, 22... Moreover, the site
  • the plurality of grooves 22, 22... are arranged between two channel rows along the channel row direction. Between the adjacent grooves 22, 22, connecting portions 221, 221... For connecting the adhesive surfaces 2 a, 2 a that are divided vertically in the figure with the grooves 22, 22. ing. The surfaces of the connecting portions 221, 221... Are also adhesive surfaces with the head chip 1. The widths of the connecting portions 221, 221... Are sufficiently narrow compared to the grooves 22.
  • a plurality of connecting portions 221, 221... are formed, so that the nozzle plate 2 is formed by the grooves 22 as compared with those shown in FIGS. An excessive bending can be prevented, and the effect of improving the handleability can be obtained. In addition, since the surfaces of the plurality of connecting portions 221, 221.
  • the groove 22 is formed in a tapered shape in which the groove width becomes narrower from the edge 22a, 22a on the opening side (adhesive surface 2a side) toward the bottom surface 22d of the groove 22. It is preferable to have wall surfaces 22c and 22c. By having the tapered side wall surfaces 22c and 22c in this manner, the angle ⁇ formed by the adhesive surface 2a and the side wall surfaces 22c and 22c across the edge 22a becomes a relatively obtuse angle of less than 90 °. The excess adhesive between 1 and the nozzle plate 2 can easily flow into the groove 22 from the edge portions 22a and 22a, and the effect of receiving the excess adhesive can be further enhanced.
  • the angle ⁇ is not particularly limited, but is preferably 110 ° to 150 °.
  • the tapered side wall surface 22c in the groove 22 may be in a portion adjacent to the bonding surface 2a across the edge portion 22a. Accordingly, as shown in FIG. 7A, the side of the bottom surface 22d further than the tapered side wall surfaces 22c, 22c does not necessarily have to be tapered.
  • the tapered side wall surface 22c is preferably formed on both side walls of the groove 22, but as shown in FIG. A tapered side wall surface 22c may be formed only on one side wall surface.
  • the bottom surface 22d side of the tapered side wall surface 22c may be formed to have a shape in which the groove width is larger than that of the tapered portion.
  • the nozzle plate 2 has a groove (second groove) 23 on the outer side of each channel row, 23 is formed.
  • This groove 23 can also function as a so-called glue guard that accepts an excess of the adhesive applied between the head chip 1 and the nozzle plate 2, and is a preferred embodiment in the present invention.
  • the groove 23 does not overlap the opening 11a of the channel 11, is disposed at a distance from the edge 11b of the opening 11a, and extends linearly along the channel row direction with a predetermined width and depth. Is formed.
  • the depth of the groove 23 is preferably the same as the depth of the groove 22 so that the convex portion can be received in the same manner as the groove 22, and the head chip extends from the edge 23 a on the opening side of the groove 23.
  • the shortest distance A ′ (see FIG. 3) to the edge 11b of the opening 11a of one channel 11 can also ensure sufficient adhesion regions S2 and S2 between them to ensure the sealing around the channel 11 From a viewpoint of making it, it is preferable that it is 50 micrometers or more.
  • the groove 23 also has at least one of both end portions 23b and 23b opened to the end surface 2b of the nozzle plate 2 and communicated with the outside.
  • channel 23 can also be formed so that it may notch over the end surface 2c along the nozzle row direction of the nozzle plate 2, as shown in FIG. Thereby, the area
  • the nozzle plate material a known material can be used as appropriate, but it is preferable that the nozzle plate material is made of resin from the viewpoint of easy groove processing. Generally, polyimide can be used as the resin.
  • the method of grooving the nozzle plate 2 is not particularly limited, and appropriately known methods such as laser processing and etching processing can be employed.
  • the adhesive used for bonding the head chip 1 and the nozzle plate 2 is not particularly limited, and either a thermosetting adhesive or a room temperature curing adhesive can be used.
  • a thermosetting adhesive or a room temperature curing adhesive
  • particles having a particle diameter of 1 ⁇ m to 3 ⁇ m may be mixed so that minute irregularities on the end surface 1 a of the head chip 1 can be absorbed.
  • the particles may be metal particles or resin particles.
  • the particle size is defined by the volume average particle size.
  • FIG. 9 shows a second embodiment of the ink jet head according to the present invention, and is a perspective view showing left and right developed on the adhesive surface between the nozzle plate and the head chip.
  • FIG. 10 shows the ink jet head shown in FIG.
  • FIG. 11 is an end view showing the cut end face when cut along the line x)-(x)
  • FIG. 11 is an end view showing the same cut end face as FIG. 10
  • FIG. 12 is a partial rear view of the nozzle plate. 1 and 2 have the same configuration, and therefore, the description of FIGS. 1 and 2 is used here and is omitted here. Note that the adhesive is not shown in FIGS.
  • This nozzle plate 2 is different from the first embodiment in that the first groove provided on the bonding surface 2a with the head chip 1 is formed by two parallel grooves 22, 22.
  • the grooves 22 and 22 can also function as a so-called glue guard that receives an excess of the adhesive applied between the head chip 1 and the nozzle plate 2. Therefore, as in the first embodiment, even if the nozzle 21 has a high density, an effect of suppressing the flow of the adhesive into the nozzle 21 can be obtained.
  • the grooves 22 and 22 have a predetermined width and a predetermined depth, extend linearly along the channel row direction, and are formed in parallel. None of the grooves 22 and 22 overlaps the opening 11a of the channel 11 of the channel row, and the groove 22 and 22 are disposed at a distance from the edge 11b of the opening 11a, thereby being bonded to the channel row. Regions S1 and S1 are formed.
  • the value of the depth C of each groove 22, 22 is also equal to or greater than the value of the roughness Yp of the end surface 1a of the head chip 1 to which the nozzle plate 2 is bonded.
  • the nozzle plate 2 since the nozzle plate 2 has the linear thin portions 2e and 2e formed along the grooves 22 and 22, the nozzle plate 2 can be easily bent along the thin portions 2e and 2e. For this reason, when the convex part 3a is located between the grooves 22 and 22, as shown in FIG. 11, only the nozzle plate part 2d between the grooves 22 and 22 in contact with the convex part 3a becomes the thin parts 2e and 2e. It bends along and is lifted so as to lift from the head chip 1. However, the adhesion regions S1, S1 between the grooves 22, 22 and the channel row can be in close contact with the head chip 1 without being affected at all by the rise of the nozzle plate portion 2d. Therefore, there is no problem that the groove 22 and the channel 11 leak.
  • the shortest distance A from the outer edge 22a on the opening side (adhesive surface 2a side) of the groove 22 to the edge 11b of the opening 11a of the channel 11 is also the first distance A.
  • the thickness is preferably 50 ⁇ m or more.
  • the portion where the channel 11 is arranged is indicated by a broken line.
  • At least one of the end portions 22b and 22b of the grooves 22 and 22 is open to the end surface 2b of the nozzle plate 2 and communicates with the outside in order to facilitate the reception of excess adhesive. .
  • FIG. 13 is a rear view of the nozzle plate 2 as viewed from the bonding surface 2a side, and the grooves 22, 22, the connecting groove 222, and the groove 23 are indicated by hatching. Moreover, the site
  • a plurality of connecting grooves 222 are formed with the same width and the same depth as the grooves 22 so as to connect the two grooves 22 and 22 with an interval in the channel row direction.
  • an independent island-like nozzle plate portion 2d surrounded by the grooves is formed between the adjacent connecting grooves 222, 222.
  • the nozzle plate portion 2 d between the two grooves 22, 22 is formed in an island shape, so even if it contacts the convex portion 3 a between the grooves 22, 22. Only the island-shaped nozzle plate portion 2 d in contact with the convex portion 3 a needs to be lifted from the head chip 1, and the other island-shaped nozzle plate portion 2 d is in close contact with the head chip 1. Therefore, the adhesive strength of the nozzle plate 2 can be improved.
  • the grooves 22 and 22 and the connecting groove 222 have a tapered side wall surface similar to the side wall surface 22c of the groove 22 shown in the first embodiment.
  • the same shape as that shown in FIGS. 6 and 7 can be applied.
  • the grooves 22 and 22 are not limited to the two illustrated, and may be formed to be three or more according to the space between the channel rows. It is possible to increase the amount of excess adhesive received.
  • the groove width of the groove 22 is B
  • the thickness of the nozzle plate 2 is D
  • the depth of the groove 22 is C
  • B> D ⁇ C It is preferable to satisfy the following condition. Since the thin portion 2e is sufficiently thin with respect to the groove width of the groove 22, the nozzle plate portion 2d between the grooves 22 and 22 can be more easily bent at the portions of the thin portions 2e and 2e. Sealing between the channel rows can be further ensured.
  • the parylene film 3 is formed on the surface of the head chip 1, but the parylene film 3 is not necessarily provided in the present invention. Even when the parylene film 3 is not coated, foreign matters such as dust adhere to the end surface 1a, or the cut surface when the head chip 1 is cut out becomes a rough surface, so that the end surface 1a has the same convexity as the convex portion 3a. There is a possibility that the nozzle plate 2 may float due to the occurrence of a portion, and the same effect as described above can be obtained by applying the present invention.
  • the ink jet head described above has been exemplified as having two channel rows (two nozzle rows), the ink jet head according to the present invention has three or more channel rows (nozzle rows). May be. Therefore, as shown in FIG. 14, for example, an inkjet head having six nozzle rows can be provided.
  • the grooves 22 shown in the first embodiment are formed between the nozzle rows, but it is needless to say that the plurality of grooves 24 shown in the second embodiment may be formed.
  • all the channels 11 of the head chip 1 are illustrated as drive channels for ejecting ink.
  • one channel row includes a drive channel for ejecting ink and a dummy channel for not ejecting ink. It may be arranged alternately.
  • the example having the head chip 1 in which the drive wall 12 between the adjacent channels 11 and 11 is deformed to eject ink is illustrated.
  • a plurality of pressure chambers are arranged.
  • An ink jet head having a head chip in which a plurality of rows of pressure chambers arranged in parallel and a nozzle plate bonded to the end surface of the head chip on the outlet side of the pressure chamber by an adhesive. That's fine.
  • one wall surface of the pressure chamber may be constituted by a vibration plate, and may have a head chip in which the vibration plate is vibrated by a piezoelectric material to discharge ink, and a heater is provided in the pressure chamber.
  • the heater may have a head chip that generates bubbles in the ink in the pressure chamber and discharges the ink by the bursting action of the bubbles.
  • the head chip has a hexahedron shape similar to that in FIG. 1, and channels and drive walls are alternately arranged to form one channel row, and the drive walls are sheared to discharge ink in the channels from the nozzles. It is a head chip.
  • the nozzle plate was made of polyimide, and nozzles were formed at positions corresponding to the respective channels.
  • Example 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 For Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 shown in Table 1, the same epoxy adhesive was applied to the adhesive surface of the head chip so as to have the same thickness, and then 10 inkjet heads were bonded to the nozzle plate. I got one by one.
  • a parylene film was formed on the surface of each head chip with a thickness of 10 ⁇ m before the nozzle plate was bonded. After the formation of the parylene film, for each head chip, the surface roughness of the entire bonding surface with the nozzle plate is measured three-dimensionally using a shape measurement laser microscope (Keyence: VK-X100). When the roughness Yp was determined, all the head chips were within the range of 6 ⁇ m to 10 ⁇ m.
  • NP dimension The dimensions of the nozzle plate (NP dimension) are: A: shortest distance from the edge of the groove to the edge of the opening on the outlet side of the channel, B: groove width, C: groove depth, D: nozzle plate (Both unit: ⁇ m).
  • Nozzle clogging was judged by visually inspecting the nozzle of each inkjet head with a microscope.
  • a parylene film was also formed on the surface of each head chip of Examples 3 to 6 with a thickness of 10 ⁇ m before adhering the nozzle plate. After the formation of the parylene film, for each head chip, the surface roughness of the entire bonding surface with the nozzle plate is measured three-dimensionally using a shape measurement laser microscope (Keyence: VK-X100). When the roughness Yp was determined, all the head chips were within the range of 6 ⁇ m to 10 ⁇ m.
  • Example 2 in addition to nozzle clogging and leakage due to foreign matter as described above, the leakage between the groove and channel formed in the nozzle plate is inspected, and the defect occurrence rate is similarly determined by the number of defective nozzles per head chip. evaluated. The results are shown in Table 2.
  • Examples 3 to 6 also have a low incidence of nozzle clogging and leakage due to foreign matter, but A (the shortest distance from the edge of the groove to the edge of the opening on the outlet side of the channel). In Examples 4 to 6 in which the distance) was 50 ⁇ m or more, no leakage between the groove and the channel was observed.
  • Example 7 to 12 For Examples 7 to 12 shown in Table 3, the same epoxy adhesive was applied to the bonding surface of the head chip so as to have the same thickness, and 10 inkjet heads each having a nozzle plate bonded thereto were obtained. In the nozzle plate, two parallel grooves were respectively formed at portions facing the channel rows in the same manner as in FIG. Table 3 shows the specifications of the grooves.
  • a parylene film was also formed on the surface of each head chip with a thickness of 10 ⁇ m before adhering the nozzle plate. After the formation of the parylene film, for each head chip, the surface roughness of the entire bonding surface with the nozzle plate is measured three-dimensionally using a shape measurement laser microscope (Keyence: VK-X100). When the roughness Yp was determined, all the head chips were within the range of 6 ⁇ m to 10 ⁇ m.
  • the present invention can be used for an inkjet head.
  • Head chip 1a End face 11: Channel (pressure chamber) 11a: Opening portion on the exit side 11b: Edge portion 12: Drive wall 2: Nozzle plate 2a: Adhesive surface 2b, 2c: End surface 2d: Nozzle plate portion 2e: Thin portion 21: Nozzle 22: Groove (first groove) 221: Connecting portion 222: Connecting groove 22a: Edge portion 22b: End portion 22c: Side wall surface 22d: Bottom surface 23: Groove (second groove) 23a: Edge part 3: Parylene film 3a: Convex part S1, S2: Adhesion area X: Air part

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

ノズルが高密度になっても接着剤のノズルへの流れ込みを抑制できると共に、ノズルプレートが接着されるへッドチップの端面に生じた凸部によって、圧力室の列間に隙間が生じて圧力室同士をリークさせしてしまう問題を抑制できるインクジェットへッドの提供を目的とし、複数の圧力室11が配列された圧力室の列が複数並設されたへッドチップ1と、ヘッドチップ1の圧力室11の出口側の開口部11aが配置された端面2b、2cに、接着剤によって接着されたノズルプレート2とを有するインクジェッ卜へッドにおいて、ノズルプレート2は、ヘッドチップ1との接着面2aの圧力室11の列間に対応する部位に、該圧力室11の列に沿って形成された第1の溝22を有し、第1の溝22の深さの値が、ノズルプレー卜2が接着されたへッドチップ1の端面の粗さの値以上であることを特徴とする。

Description

インクジェットヘッド
　本発明はインクジェットヘッドに関し、詳しくは、ノズルが高密度になっても、接着剤のノズルへの流れ込みを抑制できると共に、ノズルプレートの接着面がヘッドチップから浮き上がることによる隙間の発生を抑制できるようにしたインクジェットヘッドに関する。
　液体が吐出されるノズルを有するノズルプレートがヘッドチップの端面に接着剤を用いて接着されたインクジェットヘッドは、ノズルが高密度、多列になるに従って、ノズルプレートとヘッドチップとの接着時に、ノズルに接着剤が流れ込んでノズル詰りを起こしたり、ノズルプレートとヘッドチップとの間が密着しないで隙間が生じたりすることが問題となっている。
　ノズル詰りの問題は、ノズルが高密度になるに従ってヘッドチップに設けられる圧力室の密度が上がり、圧力室の開口幅が狭くなってきていることが影響している。また、圧力室の数の増加に伴ってヘッドチップサイズが大きくなってきており、接着剤を全体に均一に塗布することが難しくなって、部分的に塗布量が多くなる箇所が発生し易くなっていることも影響していると考えられる。
　一方、隙間が生じる問題は、ノズルプレートが接着されるヘッドチップの端面が凸凹になっていることが主な原因である。この凸凹は、ヘッドチップの端面に部分的な凸部が形成されることによって発生する。このような部分的な凸部は、ゴミ等の微小な異物の付着によっても発生するが、特にヘッドチップの表面にインクから電極部材を保護するためのパリレン膜が被覆処理されているものに多く見られる。一般にパリレン膜は、電極部材の表面を含むヘッドチップの表面に亘って被覆されるため、ノズルプレートと接着される端面にも形成されている。このようなパリレン膜は、パリレンの異常成長による１~１０μｍの突起状の異物を生じさせる場合があることが知られており、この突起状の異物がノズルプレートと接着される端面に生じると、ノズルプレートをヘッドチップ表面から浮き上がらせ、ヘッドチップとの間に隙間を生じさせてしまう。
　ノズルプレートとヘッドチップとの間に生じた隙間は、ノズルプレートの端部からヘッドチップとの間に接着剤を注ぎ足して隙間を埋めることで解消することができ、さほど問題とはならない。しかし、多列のノズル列の列間に隙間が生じていると、ノズルプレートの端部から接着剤を注ぎ足しても、ノズル列を越える際に圧力室内やノズル内に流れ込んでしまい、ノズル列間の隙間まで接着剤を到達させることが極めて困難である。
　図１５は、ノズル列間のヘッドチップの端面に凸部が発生しているインクジェットヘッドをノズルプレートの表面から見た状態を示している。図中、１００は圧力室、２００はノズル、３００は凸部である。このようにヘッドチップの端面に凸部３００が発生していると、ノズルプレートとヘッドチップとの間で凸部３００の周囲に隙間４００が形成されてしまう。隙間４００には接着剤が毛管力によって流入できず、接着剤不足となってそのまま空隙となって残ってしまう。
　このような隙間４００が図示するように隣接する圧力室１００、１００の両方に差しかかると、圧力室１００、１００同士をリーク（連通）させてしまうおそれがある。このようなリークが発生すると、圧力室１００内のインクを安定吐出させることができず、吐出不良を招く原因となる。ノズル２００が高密度になるほど、隣接する圧力室１００、１００の間隔が密になるため、このような隙間４００によってリークが発生する問題は顕著となる。
　従来、ノズルプレートの接着面に、ノズルを取り囲むように接着剤逃げ溝を形成することによって、余分な接着剤がノズルに侵入することを防止するようにした技術が提案されている（特許文献１）。
特開２００２−３０７６８７号公報
　特許文献１記載のように、ノズルプレートに接着剤逃げ溝を形成することで、余剰接着剤のノズル内への流れ込みを抑制することができる。しかし、本発明者が検討したところ、ノズルを取り囲むように接着剤逃げ溝を形成しても、ノズルの高密度化が進むにつれて十分に対応しきれなくなることがわかった。
　すなわち、ノズルの高密度化に伴って圧力室が高密度化し、ノズル列方向に隣り合うノズル間の間隔も極めて狭小となる。このため、ノズル列方向に隣り合うノズル間に溝を形成することは極めて困難である。
　また、単にノズルを取り囲むように接着剤逃げ溝を形成しても、ノズルプレートの浮き上がりによって発生した隙間が圧力室同士をリークさせてしまう問題を解消することはできない。
　そこで、本発明は、ノズルが高密度になっても接着剤のノズルへの流れ込みを抑制できると共に、ノズルプレートが接着されるヘッドチップの端面に生じた凸部によって、圧力室の列間に隙間が生じて圧力室同士をリークさせしてしまう問題を抑制できるインクジェットヘッドを提供することを課題とする。
　本発明の他の課題は、以下の記載により明らかとなる。
　上記課題は、以下の各発明によって解決される。
　１．複数の圧力室が配列された圧力室の列が複数並設されたヘッドチップと、前記ヘッドチップの前記圧力室の出口側の開口部が配置された端面に、接着剤によって接着されたノズルプレートとを有するインクジェットヘッドにおいて、
　前記ノズルプレートは、前記ヘッドチップとの接着面の前記圧力室の列間に対応する部位に、該圧力室の列に沿って形成された第１の溝を有し、
　前記第１の溝の深さの値が、前記ノズルプレートが接着された前記ヘッドチップの前記端面の粗さの値以上であるインクジェットヘッド。
　２．前記第１の溝は、該第１の溝の縁部から前記圧力室の出口側の開口部の縁部までの最短距離が５０μｍ以上である前記１記載のインクジェットヘッド。
　３．前記第１の溝は、前記圧力室の列方向に複数に分割されている前記１又は２記載のインクジェットヘッド。
　４．前記第１の溝は、前記圧力室の列間に対応する部位に、２本以上が前記圧力室の列に沿って延びるように設けられている前記１又は２記載のインクジェットヘッド。
　５．前記第１の溝の溝幅をＢ、前記第１の溝の深さをＣ、前記ノズルプレートの厚みをＤとしたとき、Ｂ＞Ｄ−Ｃである前記４記載のインクジェットヘッド。
　６．隣接する前記第１の溝間を連結する連結溝を有する前記４又は５記載のインクジェットヘッド。
　７．前記第１の溝は、前記ノズルプレートの端部で該ノズルプレートの外部に連通している前記１~６のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
　８．前記第１の溝は、テーパー状に形成された側壁面を有している前記１~７のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
　９．前記接着剤に、粒径１μｍ~３μｍの粒子が混入されている前記１~８のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
　１０．前記ヘッドチップは、前記ノズルプレートが接着された前記ヘッドチップの前記端面にパリレン膜が被覆処理されている前記１~９のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
　１１．前記ノズルプレートは樹脂製である前記１~１０のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
本発明に係るインクジェットヘッドの第１の実施形態を示し、ノズルプレートとヘッドチップとの接着面で左右に展開して示す斜視図 図１に示すインクジェットヘッドを（ｉｉ）−（ｉｉ）線に沿って切断した際の切断端面を示す端面図 ノズルプレートの部分背面図 溝とチャネル間のリークを説明するノズルプレートの部分背面図 ノズルプレートの背面図 ノズルプレートの部分断面図 （ａ）~（ｃ）はそれぞれ溝の断面形状を説明する図 インクジェットヘッドの部分端面図 本発明に係るインクジェットヘッドの第２の実施形態を示し、ノズルプレートとヘッドチップとの接着面で左右に展開して示す斜視図 図９に示すインクジェットヘッドを（ｘ）−（ｘ）線に沿って切断した際の切断端面を示す端面図 図１０と同じ切断端面を示す端面図 ノズルプレートの部分背面図 ノズルプレートの背面図 ６列のノズル列を有するノズルプレートの背面図 凸部によって隣接する圧力室間にリークが発生した状態を説明する図
　以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
（第１の実施形態）
　図１は、本発明に係るインクジェットヘッドの第１の実施形態を示し、ノズルプレートとヘッドチップとの接着面で左右に展開して示す斜視図、図２は、図１に示すインクジェットヘッドを（ｉｉ）−（ｉｉ）線に沿って切断した際の切断端面を示す端面図、図３、図４は、ノズルプレートの部分背面図、図５は溝の他の態様を示すノズルプレートの背面図、図６はノズルプレートの部分断面図である。なお、図１、図２において接着剤は図示省略している。
　図中、１はヘッドチップ、２はノズルプレートである。
　ヘッドチップ１は六面体形状を呈しており、圧力室であるチャネル１１が複数並設されている。隣接するチャネル１１、１１間の隔壁は、少なくとも一部にＰＺＴ等の圧電素子を含んでおり、圧力付与手段として機能する駆動壁１２となっている。１つの駆動壁１２は、隣接するチャネル１１、１１で共用されている。チャネル１１と駆動壁１２は交互となるように並設され、１列のチャネル列を構成している。ヘッドチップ１には、このチャネル列が図中の上下方向に２列（第１列、第２列）に並設されている。
　なお、図３に示すように、ヘッドチップ１の各チャネル１１の深さＥは、１５０μｍ~４５０μｍとされ、また、第１列と第２列のチャネル列間の最短距離Ｆは、４００μｍ~１５００μｍとされている。
　各チャネル１１は、ノズルプレート２が接着されるヘッドチップ１の端面１ａに開口して出口側の開口部１１ａを形成している。他端は、端面１ａと相反するヘッドチップ１の端面に開口して入口側の開口部（図示せず）を形成している。ヘッドチップ１の端面１ａと相反する端面側にはインクマニホールド（図示せず）が設けられ、各チャネル１１の入口側の開口部に共通にインクが供給されるようになっている。
　チャネル１１内に臨んでいる駆動壁１２の表面には、それぞれ駆動電極（図示せず）が形成されている。ヘッドチップ１の端面１ａと相反する端面に設けられる配線基板（図示せず）上の配線を介して、駆動壁１２を挟む一対の駆動電極に所定電圧の駆動信号が印加されると、駆動壁１２はチャネル１１の容積を膨張又は収縮させるようにせん断変形し、チャネル１１内のインクに吐出のための圧力を付与するように動作する。
　ここでは、チャネル１１内の駆動電極をインクから保護するために、表面にパリレン膜３が被覆形成されたヘッドチップ１を示している。パリレン膜３は、パラキシリレン及びその誘導体からなる樹脂被膜であり、固体のジパラキシリレンダイマー又はその誘導体を蒸着源とする気相合成法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｖａｐｏｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：ＣＶＤ法）により形成される。すなわち、ジパラキシリレンダイマーが気化、熱分解して発生したパラキシリレンラジカルが、ヘッドチップ１の表面に吸着して重合反応し、被膜を形成する。パリレン膜には、種々のパリレン膜があり、必要な性能等に応じて、各種のパリレン膜やそれら種々のパリレン膜を複数積層したような多層構成のパリレン膜等を適用することもできる。パリレン膜３の膜厚は、一般に１μｍ~１０μｍとされ、ノズルプレート２が接着される前のヘッドチップ１の表面に被覆形成される。
　ノズルプレート２には、ヘッドチップ１の各チャネル１１に対応するようにノズル２１が形成されている。すなわち、ノズルプレート２も２列のノズル列を有している。ノズルプレート２はヘッドチップ１の端面１ａに接着剤によって接着されている。なお、本実施形態ではヘッドチップ１にパリレン膜３が被覆形成されているため、ノズルプレート２が接着されたヘッドチップ１の端面１ａとは、該端面１ａに成膜されているパリレン膜３の表面のことを指す。
　ノズルプレート２の厚みＤ（図６参照）は、一般に２０μｍ~３００μｍとされる。
　ノズルプレート２の背面であるヘッドチップ１との接着面２ａには、ヘッドチップ１の端面１ａに配列される２つのチャネル列（第１列、第２列）の間に対応する部位に、１本の溝（第１の溝）２２が形成されている。
　この溝２２は、ヘッドチップ１とノズルプレート２との間に塗布された接着剤の余剰分を受け入れるいわゆるグルーガードとして機能することができる。溝２２は、各チャネル列のチャネル１１と重ならないように、所定幅、所定深さでチャネル列方向（図３の左右方向）に沿って直線状に延びるように形成されている。
　ノズルプレート２の溝２２の深さの値Ｃ（図６参照）は、このノズルプレート２が接着されたヘッドチップ１の端面１ａの粗さＹｐの値以上である。ここで、端面１ａの粗さＹｐの値とは、ヘッドチップ１のチャネル１１の開口部１１ａを除く端面１ａ全面の表面粗さ（谷部からの山部の高さ）を３次元測定し、その山部の平均高さから最も高い山頂までの高さを測定した値である。測定には、例えば形状測定レーザマイクロスコープ（キーエンス：ＶＫ−Ｘ１００）を用いることができる。
　このノズルプレート２との接着面であるヘッドチップ１の端面１ａに凸部３ａが生じていると、端面１ａの粗さＹｐの値は大きくなる。このような凸部３ａが２つのチャネル列（第１列、第２列）の間に発生し、ノズルプレート２がヘッドチップ１から部分的に浮き上がって隙間が生じると、ノズルプレート２の端部から接着剤を注ぎ足しても隙間を埋めることが困難となって、従来では隙間が残存し易いものであった。しかし、本発明によれば、２つのチャネル列の間の部位に配置される溝２２の深さの値Ｃが、端面１ａの粗さＹｐの値以上であることにより、図２に示すように、この部位に発生した凸部３ａを溝２２内に収容することができる。これにより、この凸部３ａによってノズルプレート２が部分的に浮き上がることはなく、ノズルプレート２の浮き上がりによる隙間の発生を抑制できる。従って、凸部３ａによってチャネル列間に隙間が生じてチャネル１１同士をリークさせてしまう問題を抑制できる。
　通常、パリレン膜３を成膜した際のヘッドチップ１の端面１ａの粗さＹｐの値は１０μｍ以上になることがほとんどないため、溝２２の深さの値Ｃを１０μｍ以上ノズルプレート２の厚みＤ未満となるように形成しておけば、溝２２が配置される部位に発生した凸部３ａを溝２２内に完全に収容することができる。
　溝２２は、いずれのチャネル列のチャネル１１の開口部１１ａにも重なることはなく、該開口部１１ａの縁部１１ｂから距離をおいて配置されることにより、図２に示すように溝２２とチャネル列との間に接着領域Ｓ１、Ｓ１が形成される。このため、溝２２がチャネル１１とリークしてしまうことはない。なお、図３中にチャネル１１が配置される部位を破線で示した。
　この接着領域Ｓ１、Ｓ１は、図３に示すように、溝２２の開口側（接着面２ａ側）の縁部２２ａからチャネル１１の開口部１１ａの縁部１１ｂまでの最短距離Ａだけの幅を有している。溝２２は、この最短距離Ａが５０μｍ以上となるように配置されることが好ましい。最短距離Ａが５０μｍ未満となって溝２２とチャネル１１とが近接すると、この溝２２とチャネル１１との間で毛管力による接着剤の流動が起きにくくなり、図４に示すように、溝２２とチャネル１１との間で接着剤がない空気部Ｘが生じ易くなって、溝２２とチャネル１１との間でリークが発生してしまうおそれがある。しかし、最短距離Ａを５０μｍ以上とすることにより、接着領域Ｓ１、Ｓ１を、溝２２とチャネル１１との間を接着剤によって封止するのに十分な広さとすることができる。このため、接着領域不足に起因するチャネル１１の封止不良が発生するおそれはない。
　溝２２は余剰接着剤を受け入れるグルーガードとして機能するため、ノズル２１への接着剤の流れ込みを抑制することができる。溝２２は、ヘッドチップ１の２つのチャネル列の間に配置されるため、チャネル１１が高密度になって同一チャネル列内で隣り合うチャネル１１、１１間の間隔が密になっても、余剰接着剤を十分に受け入れることができるだけの容積を持つ溝２２を形成することができる。従って、ノズル２１が高密度になっても接着剤のノズル２１への流込みを抑制できる。
　溝２２の開口側の溝幅Ｂ（図３、図６参照）は可及的に大きくすることが好ましい。好ましくは、上記最短距離Ａを５０μｍ以上確保し且つ溝幅Ｂを可及的に大きく形成することである。溝２２を広幅にすることができ、それだけ大量の余剰接着剤を受け入れることができると同時に、凸部３ａを収容し得る領域も広くとることができるため、凸部３ａによるノズルプレート２の浮き上がりを抑制する効果を高めることができる。
　溝２２は、チャネル列方向に沿って直線状に延び、少なくともノズル列の一方端部のノズル２１から他方端部のノズル２１に亘る長さで形成されればよいが、図１、図３に示すように、溝２２の端部２２ｂをノズルプレート２の端部で外部に連通させることが好ましい。これにより、溝２２の端部２２ｂはノズルプレート２のノズル列方向と交差する端面２ｂに開口し、溝２２内が外気と連通するため、溝２２内の空気を端部２２ｂから逃がすことができるようになり、余剰接着剤を流入させ易くすることができる。
　ここでは溝２２の両方の端部２２ｂ、２２ｂをそれぞれノズルプレート２の端面２ｂから外部に連通させているが、溝２２の少なくともいずれか一方の端部２２ｂがノズルプレート２の端面２ｂから外部に連通していればよい。
　また、溝２２は、チャネル列方向に沿って連続した１本の溝とするものに限らず、図５に示すように、チャネル列方向に複数の溝２２、２２・・・に分割されていてもよい。図５はノズルプレート２を接着面２ａ側から見た背面図であり、複数の溝２２、２２・・・、及び、溝２３の部位を斜線で示している。また、チャネル１１が配置される部位を破線で示した。
　複数の溝２２、２２・・・は、２つのチャネル列の間に、該チャネル列方向に沿って配列されている。隣接する溝２２、２２の間には、該溝２２、２２・・・を境にして図中上下に分断される接着面２ａ、２ａを連結する連結部２２１、２２１・・・がそれぞれ形成されている。この連結部２２１、２２１・・・の表面もヘッドチップ１との接着面である。連結部２２１、２２１・・・の幅は、溝２２に比べて十分に細幅に形成されている。
　このノズルプレート２によれば、上記効果に加え、複数の連結部２２１、２２１・・・が形成されているため、図１~図３に示したものに比べて、溝２２によってノズルプレート２が過度に屈撓してしまうことを防止することができ、取り扱い性が向上する効果が得られる。また、複数の連結部２２１、２２１・・・の表面もヘッドチップ１との接着面となるため、ノズルプレート２の接着強度も向上する。
　本発明において、溝２２は、図６に示すように、開口側（接着面２ａ側）の縁部２２ａ、２２ａから溝２２の底面２２ｄに向かうに従って溝幅が狭くなるテーパー状に形成された側壁面２２ｃ、２２ｃを有していることが好ましい。このようにテーパー状の側壁面２２ｃ、２２ｃを有することにより、縁部２２ａを挟んで接着面２ａと側壁面２２ｃ、２２ｃとがなす角度θが９０°未満の比較的鈍角になるため、ヘッドチップ１とノズルプレート２との間の余剰接着剤を縁部２２ａ、２２ａから溝２２内に流入させ易くでき、余剰接着剤の受け入れ効果をより高めることができる。
　この角度θは、特に限定されるものではないが、１１０°~１５０°とすることが好ましい。
　溝２２内のテーパー状の側壁面２２ｃは、縁部２２ａを挟んで接着面２ａと隣接する部分にあればよい。従って、図７（ａ）に示すように、テーパー状の側壁面２２ｃ、２２ｃよりも更に底面２２ｄ側は、必ずしもテーパー状に形成されていなくてもよい。
　また、余剰接着剤の受け入れ効果を高める観点からは、テーパー状の側壁面２２ｃは溝２２の両側壁面に形成されることが好ましいが、図７（ｂ）に示すように、溝２２のいずれか一方の側壁面のみにテーパー状の側壁面２２ｃが形成されているものであってもよい。
　更に、テーパー状の側壁面２２ｃよりも底面２２ｄ側は、図７（ｃ）に示すように、テーパー部分よりも溝幅が拡大した形状となるように形成してもよい。
　なお、図１~図３、図５に示したように、ノズルプレート２には溝２２の他に、各チャネル列の外側の部位にもそれぞれ１本ずつの溝（第２の溝）２３、２３が形成されている。この溝２３も、ヘッドチップ１とノズルプレート２との間に塗布された接着剤の余剰分を受け入れるいわゆるグルーガードとして機能することができ、本発明において好ましい態様である。溝２３は、チャネル１１の開口部１１ａに重なることはなく、該開口部１１ａの縁部１１ｂから距離をおいて配置され、所定幅、所定深さでチャネル列方向に沿って直線状に延びるように形成されている。
　溝２３の深さは、溝２２と同様に凸部を受け入れることができるようにするため、溝２２の深さと同一とすることが好ましく、また、溝２３の開口側の縁部２３ａからヘッドチップ１のチャネル１１の開口部１１ａの縁部１１ｂまでの最短距離Ａ’（図３参照）も、この間に充分な接着領域Ｓ２、Ｓ２を確保してチャネル１１の周囲の封止を確実にできるようにする観点から、５０μｍ以上であることが好ましい。
　この溝２３も、余剰接着剤の受け入れを容易にするために、その両方の端部２３ｂ、２３ｂのうちの少なくともいずれか一方がノズルプレート２の端面２ｂに開口し、外部に連通していることが好ましく、また、図６、図７（ａ）~（ｃ）に示した溝２２と同様に、余剰接着剤を流入し易くするためにテーパー状の側壁面を有していることも好ましい。
　また、溝２３は、図８に示すように、ノズルプレート２のノズル列方向に沿う端面２ｃにかけて切り欠くように形成することもできる。これにより、溝２３の領域を広くとることができる。ノズルプレート２の端面２ｃ側の端部は薄肉となるため、図示するように撓みながらヘッドチップ１の端面１ａに接着される。この場合、溝２３よりもノズル２１側には接着領域Ｓ２が確保されるため、チャネル１１の周囲の封止に影響はない。
　ノズルプレート材料は、適宜公知の材料を用いることができるが、溝加工が容易である点で樹脂製であることが好ましい。樹脂としては、一般にポリイミドを用いることができる。
　ノズルプレート２に溝加工する方法は特に問わず、レーザー加工、エッチング加工等の適宜公知の方法を採用することができる。
　ヘッドチップ１とノズルプレート２との接着に用いられる接着剤は特に問わず、熱硬化型接着剤、常温硬化型接着剤のいずれを用いることもできる。接着剤中には、ヘッドチップ１の端面１ａの微小な凸凹を吸収できるようにするために、粒径１μｍ~３μｍの粒子が混入されていてもよい。粒子は金属粒子、樹脂粒子のいずれでもよい。なお、粒径は体積平均粒径で定義される。
（第２の実施形態）
　図９は、本発明に係るインクジェットヘッドの第２の実施形態を示し、ノズルプレートとヘッドチップとの接着面で左右に展開して示す斜視図、図１０は、図９に示すインクジェットヘッドを（ｘ）−（ｘ）線に沿って切断した際の切断端面を示す端面図、図１１は、図１０と同じ切断端面を示す端面図、図１２は、ノズルプレートの部分背面図である。図１、図２と同一符号の部位は同一構成であるため、これらの説明は図１、図２の説明部分を援用し、ここでは省略する。なお、図９~図１１において接着剤は図示省略している。
　このノズルプレート２は、ヘッドチップ１との接着面２ａに設けられる第１の溝が２本の並列する溝２２、２２によって形成されている点で第１の実施形態とは相違している。
　これら２本の溝２２、２２も、ヘッドチップ１とノズルプレート２との間に塗布された接着剤の余剰分を受け入れるいわゆるグルーガードとして機能することができる。従って、第１の実施形態と同様に、ノズル２１が高密度になっても接着剤のノズル２１への流込みを抑制できる効果が得られる。溝２２、２２は、所定幅、所定深さでチャネル列方向に沿って直線状に延び、且つ、平行に形成されている。いずれの溝２２、２２も、チャネル列のチャネル１１の開口部１１ａにも重なることはなく、該開口部１１ａの縁部１１ｂから距離をおいて配置されることにより、チャネル列との間に接着領域Ｓ１、Ｓ１を形成している。各溝２２、２２の深さＣの値も、ノズルプレート２が接着されるヘッドチップ１の端面１ａの粗さＹｐの値以上である。
　このノズルプレート２では、凸部３ａが溝２２、２２内に位置している場合、図１０に示すように、凸部３ａを溝２２内に受け入れることができる。このため、図２の場合と同様に、この凸部３ａによってノズルプレート２が浮き上がることを防止でき、第１の実施形態と同様に、凸部３ａによってチャネル列間に隙間が生じてチャネル１１同士をリークさせてしまう問題を抑制できる効果を得ることができる。
　また、万一、ノズルプレート２の溝２２、２２間に凸部３ａが位置している場合でも、以下に説明するように、ノズル２１と溝２２とがリークしてしまう問題はない。
　すなわち、ノズルプレート２は、溝２２、２２に沿って直線状の薄肉部２ｅ、２ｅが形成されるため、この薄肉部２ｅ、２ｅに沿って容易に撓むことができる。このため、溝２２、２２間に凸部３ａが位置している場合、図１１に示すように、凸部３ａと接触する溝２２、２２間のノズルプレート部分２ｄのみが薄肉部２ｅ、２ｅに沿って撓み、ヘッドチップ１から浮き上がるように持ち上げられる。しかし、各溝２２、２２とチャネル列との間の接着領域Ｓ１、Ｓ１はノズルプレート部分２ｄの浮き上がりに全く影響を受けることなく、ヘッドチップ１に密着することができる。従って、溝２２とチャネル１１がリークしてしまう問題はない。
　このようにチャネル列間に複数本の溝２２を設けることにより、広幅の溝を１本だけ設ける場合に比べてノズルプレート２の強度低下を抑えることができる。また、薄肉部２ｅも細幅となるため、広幅の溝を１本だけ設ける場合に比べてノズルプレート２の取り扱い性も向上する。しかも、広幅の溝を１本だけ設ける場合に比べて、チャネル列間でのノズルプレート２の接着面積を大きくできるため、接着強度の低下を抑えることができる。更に、広幅の溝を形成するよりも溝加工が容易となる。
　図１２に示すように、溝２２の開口側（接着面２ａ側）の外側（チャネル列側）の縁部２２ａからチャネル１１の開口部１１ａの縁部１１ｂまでの最短距離Ａも、第１の実施形態と同様の理由から５０μｍ以上であることが好ましい。なお、図１２中にチャネル１１が配置される部位を破線で示した。
　この溝２２、２２も、余剰接着剤の受け入れを容易にするために、その端部２２ｂ、２２ｂの少なくともいずれか一方がノズルプレート２の端面２ｂに開口し、外部に連通していることが好ましい。
　また、図１３に示すように、並列する溝２２、２２同士を連結溝２２２によって連結してもよい。図１３はノズルプレート２を接着面２ａ側から見た背面図であり、溝２２、２２、連結溝２２２、及び、溝２３の部位を斜線で示している。また、チャネル１１が配置される部位を破線で示した。
　連結溝２２２は、２本の溝２２、２２間を繋げるように、溝２２と同一幅、同一深さで、チャネル列方向に間隔をおいて複数形成されている。これにより、隣接する連結溝２２２、２２２間に、溝によって囲まれた独立した島状のノズルプレート部分２ｄが形成されている。
　このノズルプレート２によれば、上記効果に加え、２本の溝２２、２２間のノズルプレート部分２ｄが島状に形成されているため、溝２２、２２間で凸部３ａと接触しても、該凸部３ａと接触している島状のノズルプレート部分２ｄのみがヘッドチップ１から浮き上がるだけで済み、他の島状のノズルプレート部分２ｄはヘッドチップ１に密着する。従って、ノズルプレート２の接着強度を向上させることができる。
　また、この溝２２、２２、連結溝２２２も、第１の実施形態に示した溝２２の側壁面２２ｃと同様のテーパー状の側壁面を有していることも好ましい。その形状は、図６、図７に示した形状と同様のものを適用することができる。
　溝２２、２２は、図示する２本に限らず、チャネル列間のスペースに応じて、３本以上となるように形成してもよい。それだけ余剰接着剤の受け入れ量を多くできる。
　このようにノズルプレート２に複数本の溝２２を形成する場合、該溝２２の溝幅をＢ、ノズルプレート２の厚みをＤ、溝２２の深さをＣとしたとき、Ｂ＞Ｄ−Ｃの条件を満たすことが好ましい。溝２２の溝幅に対して薄肉部２ｅが十分に薄くなるため、溝２２、２２間のノズルプレート部分２ｄを薄肉部２ｅ、２ｅの部位でより撓み易くすることができ、溝２２、２２とチャネル列との間の封止をより確実にすることができる。
（その他の実施形態）
　以上説明したインクジェットヘッドは、ヘッドチップ１の表面にパリレン膜３を被覆形成したが、本発明においてパリレン膜３は必ずしも設けられなくてもよい。パリレン膜３を被覆しない場合でも、端面１ａにゴミ等の異物が付着したり、ヘッドチップ１を切り出した際の切断面が粗面となることによって、端面１ａに上記凸部３ａと同様の凸部が発生してノズルプレート２が浮き上がるおそれがあり、本発明を適用することによって上記同様の効果を得ることができる。
　また、以上説明したインクジェットヘッドは２列のチャネル列（２列のノズル列）を有するものを例示したが、本発明に係るインクジェットヘッドは３列以上のチャネル列（ノズル列）を有するものであってもよい。従って、図１４に示すように、例えばノズル列が６列となるインクジェットヘッドとすることもできる。図１４では、各ノズル列間に第１の実施形態に示した溝２２をそれぞれ形成したが、第２の実施形態に示した複数の溝２４を形成してもよいことはもちろんである。
　以上の説明では、ヘッドチップ１の全てのチャネル１１がインクを吐出する駆動チャネルであるものを例示したが、１列のチャネル列は、インクを吐出する駆動チャネルとインクを吐出しないダミーチャネルとが交互に配置されるものであってもよい。
　更に、以上の説明では、隣り合うチャネル１１、１１間の駆動壁１２を変形させてインクを吐出させるようにしたヘッドチップ１を有するものを例示したが、本発明は、複数の圧力室が配列された圧力室の列が複数並設されたヘッドチップと、このヘッドチップの圧力室の出口側の開口部が配置された端面に、接着剤によって接着されたノズルプレートとを有するインクジェットヘッドであればよい。例えば、圧力室の一壁面が振動板によって構成され、該振動板を圧電材料によって振動させてインクを吐出するようにしたヘッドチップを有するものであってもよく、また、圧力室内にヒーターを備え、このヒーターのよって圧力室内のインクに気泡を発生させ、この気泡の破裂作用によってインクを吐出するようにしたヘッドチップを有するものであってもよい。
　以下に示す仕様のヘッドチップ及びノズルプレートを用意した。ヘッドチップは、図１と同様の六面体形状であり、チャネルと駆動壁とを交互に配置して１列のチャネル列を形成し、駆動壁をせん断変形させてチャネル内のインクをノズルから吐出させるヘッドチップである。ノズルプレートはポリイミド製とし、各チャネルに対応する位置にそれぞれノズルを形成した。
＜ヘッドチップ＞
　チャネル幅：６０μｍ
　チャネル深さＥ：２００μｍ
　Ｌ長さ（チャネルの吐出方向の長さ）：１．５ｍｍ
　チャネルピッチ：１２７μｍ
　チャネル列数：２列
　チャネル列間の距離Ｆ：９２８μｍ
　チャネル数／列：５９２個
＜ノズルプレート＞
　厚みＤ：７５μｍ
　ノズルの出口径：２２μｍ
（実施例１、２及び比較例１、２）
　表１に示す実施例１、２及び比較例１、２について、ヘッドチップの接着面に同一のエポキシ系接着剤を同一厚みとなるように塗布した後、ノズルプレートを接着したインクジェットヘッドをそれぞれ１０個ずつ得た。
　なお、各ヘッドチップの表面には、ノズルプレートを接着する前にパリレン膜を厚さ１０μｍで成膜した。パリレン膜の成膜後、各ヘッドチップについて、ノズルプレートとの接着面の全面の表面粗さを、形状測定レーザマイクロスコープ（キーエンス：ＶＫ−Ｘ１００）を用いて３次元測定し、該接着面の粗さＹｐを求めたところ、全てのヘッドチップで６μｍ~１０μｍの範囲に収まっていた。
　比較例１のインクジェットヘッド以外、ノズルプレートにはチャネル列間に対向する部位に、図１と同様に１本のみの溝をそれぞれ形成した。溝の仕様を表１に示す。
　なお、ノズルプレートのディメンジョン（ＮＰディメンジョン）は、Ａ：溝の縁部からチャネルの出口側の開口部の縁部までの最短距離、Ｂ：溝幅、Ｃ：溝の深さ、Ｄ：ノズルプレートの厚みである（いずれも単位：μｍ）。
　実施例１、２及び比較例１、２の各インクジェットヘッドについて、接着剤によるノズル詰りと、異物（凸部）によるチャネル同士のリークとを検査し、不良発生率を１ヘッドチップ当たりの不良ノズル数によって評価した。その結果を表１に示す。
　ノズル詰りは、各インクジェットヘッドのノズルを顕微鏡で目視検査して判断した。
　また、異物によるリークは、顕微鏡でノズルプレートとヘッドチップとの間の隙間（気泡）の有無を目視検査し、隙間有りの場合に隙間がチャネル同士を連通させているか否かを判別し、連通させている場合にリーク有りと判断した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　表１から、溝を全く形成しない比較例１に対し、溝を形成した実施例１、２では、接着剤のノズルへの流れ込みによるノズル詰りの発生は減少した。
　また、溝を全く形成しない比較例１及び深さＣが粗さＹｐ未満となる溝を形成した比較例２に対し、深さが粗さＹｐ以上となる溝を形成した実施例１、２では、いずれも異物によるリークの不良発生率が低下しており、本発明による効果が実証された。
（実施例２~６）
　上記した実施例２の他に、この実施例２におけるＮＰディメンジョン中のＡのみを表２に示すように変化させた実施例３~６のインクジェットヘッドを、それぞれ実施例２と同様に１０個ずつ得た。
　なお、実施例３~６の各ヘッドチップの表面にも、ノズルプレートを接着する前にパリレン膜を厚さ１０μｍで成膜した。パリレン膜の成膜後、各ヘッドチップについて、ノズルプレートとの接着面の全面の表面粗さを、形状測定レーザマイクロスコープ（キーエンス：ＶＫ−Ｘ１００）を用いて３次元測定し、該接着面の粗さＹｐを求めたところ、全てのヘッドチップで６μｍ~１０μｍの範囲に収まっていた。
　実施例２~６において、上記同様にノズル詰りと異物によるリークに加え、ノズルプレートに形成された溝とチャネル間のリークを検査し、同様に不良発生率を１ヘッドチップ当たりの不良ノズル数によって評価した。その結果を表２に示す。
　溝とチャネル間のリークは、顕微鏡で溝とチャネルとの間の気泡の有無を目視検査し、気泡有りの場合に気泡が溝とチャネルとを連通させているか否かを判別し、連通させている場合にリーク有りと判断した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
　表２から、実施例３~６も、ノズル詰りの発生及び異物によるリークの不良発生率は低くなっているが、Ａ（溝の縁部からチャネルの出口側の開口部の縁部までの最短距離）を５０μｍ以上にした実施例４~６では、溝とチャネル間のリークの発生は見られなかった。
（実施例７~１２）
　表３に示す実施例７~１２について、ヘッドチップの接着面に同一のエポキシ系接着剤を同一厚みとなるように塗布した後、ノズルプレートを接着したインクジェットヘッドをそれぞれ１０個ずつ得た。ノズルプレートにはチャネル列間に対向する部位に、図９と同様に平行な２本の溝をそれぞれ形成した。溝の仕様を表３に示す。
　なお、各ヘッドチップの表面にも、ノズルプレートを接着する前にパリレン膜を厚さ１０μｍで成膜した。パリレン膜の成膜後、各ヘッドチップについて、ノズルプレートとの接着面の全面の表面粗さを、形状測定レーザマイクロスコープ（キーエンス：ＶＫ−Ｘ１００）を用いて３次元測定し、該接着面の粗さＹｐを求めたところ、全てのヘッドチップで６μｍ~１０μｍの範囲に収まっていた。
　実施例７~１２の各インクジェットヘッドについて、上記と同様にしてノズル詰りと、異物によるリークと、溝とチャネル間のリークとを検査し、不良発生率を１ヘッドチップ当たりの不良ノズル数によって評価した。その結果を表３に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
　表３から、実施例７~１２も、ノズル詰り及び異物によるリークの不良発生率は低くなっているが、Ｂ＋Ｃ−Ｄ＞０を満たす実施例１０~１２では、これを満たさない実施例７~９に比較して、異物によるリークの不良発生率がより低下した。
　また、実施例７~１２のいずれも、Ａ（溝の縁部からチャネルの出口側の開口部の縁部までの最短距離）が５０μｍ以上であることにより、溝とチャネル間のリークの発生は見られなかった。
　本発明は、インクジェットヘッドに利用出来るものである。
　１：ヘッドチップ
　　１ａ：端面
　　１１：チャネル（圧力室）
　　１１ａ：出口側の開口部
　　１１ｂ：縁部
　　１２：駆動壁
　２：ノズルプレート
　　２ａ：接着面
　　２ｂ、２ｃ：端面
　　２ｄ：ノズルプレート部分
　　２ｅ：薄肉部
　　２１：ノズル
　　２２：溝（第１の溝）
　　２２１：連結部
　　２２２：連結溝
　　２２ａ：縁部
　　２２ｂ：端部
　　２２ｃ：側壁面
　　２２ｄ：底面
　　２３：溝（第２の溝）
　　２３ａ：縁部
　３：パリレン膜
　　３ａ：凸部
　Ｓ１、Ｓ２：接着領域
　Ｘ：空気部

Claims (11)

  1. 　複数の圧力室が配列された圧力室の列が複数並設されたヘッドチップと、前記ヘッドチップの前記圧力室の出口側の開口部が配置された端面に、接着剤によって接着されたノズルプレートとを有するインクジェットヘッドにおいて、
    　前記ノズルプレートは、前記ヘッドチップとの接着面の前記圧力室の列間に対応する部位に、該圧力室の列に沿って形成された第１の溝を有し、
    　前記第１の溝の深さの値が、前記ノズルプレートが接着された前記ヘッドチップの前記端面の粗さの値以上であるインクジェットヘッド。
  2. 　前記第１の溝は、該第１の溝の縁部から前記圧力室の出口側の開口部の縁部までの最短距離が５０μｍ以上である請求項１記載のインクジェットヘッド。
  3. 　前記第１の溝は、前記圧力室の列方向に複数に分割されている請求項１又は２記載のインクジェットヘッド。
  4. 　前記第１の溝は、前記圧力室の列間に対応する部位に、２本以上が前記圧力室の列に沿って延びるように設けられている請求項１又は２記載のインクジェットヘッド。
  5. 　前記第１の溝の溝幅をＢ、前記第１の溝の深さをＣ、前記ノズルプレートの厚みをＤとしたとき、Ｂ＞Ｄ−Ｃである請求項４記載のインクジェットヘッド。
  6. 　隣接する前記第１の溝間を連結する連結溝を有する請求項４又は５記載のインクジェットヘッド。
  7. 　前記第１の溝は、前記ノズルプレートの端部で該ノズルプレートの外部に連通している請求項１~６のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
  8. 　前記第１の溝は、テーパー状に形成された側壁面を有している請求項１~７のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
  9. 　前記接着剤に、粒径１μｍ~３μｍの粒子が混入されている請求項１~８のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
  10. 　前記ヘッドチップは、前記ノズルプレートが接着された前記ヘッドチップの前記端面にパリレン膜が被覆処理されている請求項１~９のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
  11. 　前記ノズルプレートは樹脂製である請求項１~１０のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
PCT/IB2014/002882 2013-12-13 2014-12-26 インクジェットヘッド WO2015087155A1 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013-258607 2013-12-13
JP2013258607A JP6252156B2 (ja) 2013-12-13 2013-12-13 インクジェットヘッド

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2015087155A1 true WO2015087155A1 (ja) 2015-06-18

Family

ID=53370683

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/IB2014/002882 WO2015087155A1 (ja) 2013-12-13 2014-12-26 インクジェットヘッド

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP6252156B2 (ja)
WO (1) WO2015087155A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111989222A (zh) * 2018-04-20 2020-11-24 柯尼卡美能达株式会社 喷嘴板的制造方法和喷墨头

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7110126B2 (ja) * 2019-01-10 2022-08-01 東芝テック株式会社 インクジェットヘッド、インクジェット装置、及びインクジェットヘッドの製造方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6125853A (ja) * 1984-07-16 1986-02-04 Canon Inc インクジエツトヘツド
JP2002307687A (ja) * 2001-04-09 2002-10-23 Sharp Corp インク吐出装置及びその製造方法
JP2009066797A (ja) * 2007-09-11 2009-04-02 Sharp Corp インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6125853A (ja) * 1984-07-16 1986-02-04 Canon Inc インクジエツトヘツド
JP2002307687A (ja) * 2001-04-09 2002-10-23 Sharp Corp インク吐出装置及びその製造方法
JP2009066797A (ja) * 2007-09-11 2009-04-02 Sharp Corp インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111989222A (zh) * 2018-04-20 2020-11-24 柯尼卡美能达株式会社 喷嘴板的制造方法和喷墨头
JPWO2019202723A1 (ja) * 2018-04-20 2021-05-13 コニカミノルタ株式会社 ノズルプレートの製造方法及びインクジェットヘッド
JP7020543B2 (ja) 2018-04-20 2022-02-16 コニカミノルタ株式会社 ノズルプレートの製造方法及びインクジェットヘッド
US11504967B2 (en) 2018-04-20 2022-11-22 Konica Minolta, Inc. Method of manufacturing nozzle plate, and inkjet head

Also Published As

Publication number Publication date
JP6252156B2 (ja) 2017-12-27
JP2015112848A (ja) 2015-06-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7137685B2 (en) Print head
JP6252156B2 (ja) インクジェットヘッド
US7332209B2 (en) Laminated structure formed of thin plates
TWI511886B (zh) 液體排出裝置
US20180326723A1 (en) Liquid ejecting head
US9421771B2 (en) Liquid ejection head and method of manufacturing the same
JP6439700B2 (ja) 液体吐出ヘッド
JP6171753B2 (ja) インクジェットヘッド及び配線基板
JP2005096171A (ja) インクジェットプリンタヘッド及びその検査方法
JP5738025B2 (ja) 液体吐出ヘッド
US10195850B2 (en) Element substrate and method for manufacturing the same
US9108406B2 (en) Device substrate, liquid ejection head, and method for manufacturing device substrate and liquid ejection head
WO2014083971A1 (ja) インクジェットヘッド
JP6631781B2 (ja) 流路部材の製造方法
CN109421374B (zh) 压电喷墨打印芯片及封装该压电喷墨打印芯片的封装结构
JP2019005906A (ja) 液体吐出ヘッド用基板
JP7455538B2 (ja) 流路形成基板の製造方法、及び液体吐出ヘッドの製造方法
JP2012240211A (ja) インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法
JP4983582B2 (ja) インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法
JP5888341B2 (ja) インクジェットヘッド
JP6066747B2 (ja) 液体吐出ヘッドの製造方法及びこの製造方法により製造された液体吐出ヘッド
JP2010269219A (ja) ノズル及び塗布膜形成方法
US7631959B2 (en) Ink jet head structure and adhering method thereof
JP6750843B2 (ja) 液体吐出ヘッド
JP6769042B2 (ja) インクジェットヘッドおよびインクジェット装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 14869396

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 14869396

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1