JP2005096171A - インクジェットプリンタヘッド及びその検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 圧力室の列間の密閉漏れを、短時間で確実に検査できるインクジェットプリンタヘッド及びその検査方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】 ノズル４の列毎に対応して複数の列状に配置された複数の圧力室３６と、インクをインク供給口４７から複数の圧力室３６に分配しノズル４に供給するインク流通路とを有するインクジェットプリンタヘッド１００において、複数の圧力室３６が開口する平板面を有する第１のプレートと、各圧力室３６の開口を密閉するように第１のプレートの平板面に積層接着される第２のプレートとのいずれか一方または双方には、圧力室３６の列間においてこの圧力室３６の列に沿って延び且つ外部に連通する検査用流通溝５０が形成されている。インク供給口４７から圧縮空気を供給して検査用流通溝５０からの空気漏れを検出することで、圧力室の列間の漏れを検査する。
【選択図】 図２

Description

本発明は、圧電式のインクジェットプリンタヘッドの構成、及びその圧力室の列間の密閉漏れの検査方法に関するものである。

先行技術の圧電式インクジェットプリンタとしては、例えば、特許文献１に、接着剤を介して積層された複数枚のプレートからなるキャビティユニットの背面に、圧電アクチュエータを接合し、さらに圧電アクチュエータの背面に、外部機器との電気的接続のためにフレキシブルフラットケーブルが重ね接合された構成が記載されている。

特許文献１のキャビティユニットは、前面に複数個のノズルを備えたノズルプレートと、この各ノズル毎の圧力室を備えたベースプレートと、インク供給源に接続され且つ前記各圧力室に接続するインク流通路や共通インク室（マニホールド）を有するマニホールドプレート等とを積層して接着したものである。この構成では、任意の圧力室に対応する圧電アクチュエータの部分に、積層方向の歪みを発生させることにより、圧力室内のインクがノズルから液滴状に吐出して、所定の印字が行われる。

一方、近年、インクジェットプリンタの高速化や高密度化あるいはカラー化のために、キャビティユニットのノズルを複数の列状に配置してノズル数を増加させた構成が提案されている。図６は、ノズル列に対応させた複数列の（３列のみ図示）圧力室３６が積層方向に貫通形成されたベースプレート１７を上面側から平面視したものである。インク供給口６０には、キャビティユニットの長手方向に沿って長く形成された共通インク室７が接続され、複数の圧力室３６が共通インク室７の長手方向に沿って列状に配置されている。そして、インク供給口６０から共通インク室７に供給されたインクが、連通孔３８を通って圧力室３６の一端に入り、そして、図示しない圧電アクチュエータから圧力室３６に歪みが与えられると、圧力室３６の他端から貫通孔３７を介して、インクがノズル４から吐出するように構成されている。

従って、圧力室３６が形成されたベースプレート１７と、個々の圧力室３６を独立させるようにベースプレート１７の両面に接着されるプレート（この場合は、ベースプレート１７の下面側に配置されるプレート及び圧電アクチュエータの最下面のプレート）との間に接着不良があって、圧力室同士が連通している場合には、特定の圧力室に与えた圧力によって該圧力室内のインクが、圧力室外や隣接する圧力室に逃げる。その結果、指定したノズルからのインクの吐出量や吐出圧力が減少し、記録品質が低下するという問題を生じていた。そのため、製造工程において、圧力室３６が個々に独立して密閉されるようにプレート同士が積層接着されているか否かを検査する工程が設けられていた。

ベースプレートとその両面に対峙するプレートとの間の接着不良で生じるリーク（漏洩）としては、図６に示す圧力室３６ｃを例に説明すると、圧力室３６ｃからプレートの外周側端面に繋がるリークＡ（圧力室から外部へのリーク）と、圧力室３６ｃから列内で隣接する圧力室３６ｄへ繋がるリークＢ（列内で隣接する圧力室間の領域のリーク）と、圧力室３６ｃから列間で隣接する圧力室３６ｅへ繋がるリークＣ（列間で隣接する圧力室間の領域のリーク）とがある。一般的には、圧力室３６からプレートの外周側端面に繋がる領域は接着面積が広く、接着剤の流し込み溝や余分な接着剤の逃がし溝等も形成可能であるため、リークＡについての対策は十分に施すことができる。列内で隣接する圧力室間の領域では、仮にリークＢが生じても、隣接する圧力室間のピッチが小さく、また同色のインク同士のため、記録品質に与える影響は極めて小さい。ところが、列間で隣接する圧力室間の領域でリークＣが生じた場合には、隣接する圧力室の列間のピッチが大きく、また通常は圧力室の列毎に供給されるインク色が異なるため、この圧力室間のインク漏れは混色を引き起こすことになる。

そのため、前述した圧力室の検査工程では、キャビティユニットの上面に圧電アクチュエータを接合した（以下、キャビティユニットと圧電アクチュエータの接合体と記載する）段階で、全ノズル４を仮密閉し、例えば、インク供給口６０ａから圧縮空気を流入する。そして、インク供給口６０ａから共通インク室７を介して繋がる圧力室列６１ｅのいずれかの圧力室３６からリークが生じていれば、圧縮空気が圧力低下する現象が表れるため、一定時間経過後の圧縮空気の圧力を確認することで、圧力室の密閉漏れの有無を検査していた。そして、密閉漏れの不良が発見された場合には、そのキャビティユニットと圧電アクチュエータとの接合体を後工程に流さずに除外していた。
特開２００１−２６０３４９号公報（図１及び図５参照）

しかしながら、図６に示すように、複数のノズル列に対応して、圧力室も複数の列状に配置されている構成では、例えば、隣接する第１列（圧力室列６１ａ）及び第２列（圧力室列６１ｂ）の圧力室に対応するインク供給口６０ａ、６０ｂに同時に圧縮空気を流入すると、共通インク室７、７を介して各圧力室３６にも共通の圧縮空気が送られる。そのため、圧力室列６１ａと圧力室列６１ｂとの列間の領域Ｗに接着不良があってリークが生じていても、一方の列の圧力室から漏れた空気は隣の列の圧力室に逃げることになり、流入した圧縮空気全体には圧力低下の現象が表れない。

従って、検査時間の短縮のために、隣接するインク供給口に同時に圧縮空気を流入したり、全てのインク供給口に同時に圧縮空気を流入すると、圧力室の列間の領域Ｗにリーク通路ができる接着不良があっても、これを検査で発見することができなかった。そのため、圧力室の列毎に１列ずつ検査をするか、あるいは隣り合わない圧力室の列（例えば圧力室列６１ａ、６１ｃ）を組にして検査をする必要があるので、作業が煩雑となり検査工程に時間を要するという課題があった。

さらに、図７に示すように、１つのインク供給口６０ｄから分岐する共通インク室７、７を介して、隣接する圧力室列６１ｄ、６１ｅの各圧力室３６にインクが分配される構成の場合には、インク供給口６０ｄからは、圧力室列６１ｄ、６１ｅに別々に空気を流入することができないため、圧力室列６１ｄ、６１ｅをそれぞれ単独で検査することができない。すなわち、圧力室列６１ｄ、６１ｅには必ず同時に空気が流入されてしまうため、圧力室列６１ｄ、６１ｅの列間の領域Ｗにリーク通路ができる密閉漏れがあっても、流入した空気に圧力低下が表れず、この不良をキャビティユニットと圧電アクチュエータとの接合体の状態では発見することができないという課題を有していた。

本発明は、このような課題を解消し、圧力室の列間の密閉漏れを、短時間で確実に検査できるインクジェットプリンタヘッド及びその検査方法を提供することを目的とするものである。

前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明におけるインクジェットプリンタヘッドは、前面に複数の列状に配置された複数のノズルと、各ノズル毎に対応して複数の列状に配置された複数の圧力室と、インクをインク供給口から複数の圧力室に分配しノズルに供給するインク流通路とを有するキャビティユニットが備えられるインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記複数の圧力室が開口する平板面を有する第１のプレートと、前記各圧力室の開口を密閉するように前記第１のプレートの平板面に積層接着される第２のプレートとが備えられ、前記第１のプレートと第２のプレートのいずれか一方または双方には、前記圧力室の列間においてこの圧力室の列に沿って延び且つ外部に連通する検査用流通溝が形成されていることを特徴とするものである。

また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記検査用流通溝は、第１のプレートと第２のプレートとの接着界面に向かって開口するように凹設されていることを特徴とするものである。

また、請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記インク流通路のうち共通インク室は、隣接する列の各圧力室に、１つのインク供給口から分岐してインクを分配するように形成されていることを特徴とするものである。

また、請求項４に記載の発明におけるインクジェットプリンタヘッドの検査方法は、請求項１から３のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記ノズルを仮密閉した状態で、前記インク供給口からインク流通路に流体を流入し、前記検査用流通溝から流出する流体の有無により、圧力室の列間の密閉漏れを検査することを特徴とするものである。

請求項１の発明によれば、密閉漏れのために列間の圧力室同士を結ぶようなリーク通路ができている場合には、ノズルを塞いだ状態で前記インク供給口からインク流通路に流体を流入すると、圧力室から漏れた流体は、圧力室の列間に設けられた検査用流通溝を必ず横切るため、漏れた流体が検査用流通溝から外部に流出し、前記密閉漏れを容易に発見することができる。

請求項２の発明によれば、検査用流通溝は、第１のプレートまたは第２のプレートのその他の加工と同時に形成することができる。

請求項３の発明によれば、インク供給路のうちの共通インク室が、１つのインク供給口から分岐し、隣接する列の各圧力室にインクを分配するように形成されている場合には、列間の圧力室同士を結ぶようなリーク通路ができていても、検査用にインク供給口から流入した流体が、圧力室の列間で通じるのみで外部に逃げないため、従来は検査で発見できなかったが、検査用流通溝を設けることによって、容易に発見できるようになる。

請求項４の発明によれば、密閉漏れのために列間の圧力室同士を結ぶようなリーク通路ができている場合には、圧力室の列間に通じる検査用の流体が検査用流通溝から外部に流出するため、列間の密閉不良を容易に発見することができる。従って、キャビティユニットと圧電アクチュエータを接合した状態での不良を、後工程に流す前に除外でき、後工程での歩留まりを大幅に向上させることができる。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は実施形態の圧電式インクジェットプリンタヘッドを示す一部分解斜視図、図２はキャビティユニットの拡大分解斜視図、図３はキャビティユニットの一部拡大断面図、図４及び図５はベースプレートから下面側を見た部分的平面図である。

図１は、本発明の実施形態による圧電式のインクジェットヘッド１００におけるキャビティユニット１と圧電アクチュエータ２の斜視図であり、キャビティユニット１は分解した状態を示している。インクジェットヘッド１００は、金属板製のキャビティユニット１にプレート型の圧電アクチュエータ２が接合され、このプレート型の圧電アクチュエータ２の上面に外部機器との接続のためのフレキシブルフラットケーブル３（図３参照）が接着剤にて重ね接合されている。そして、最下層のキャビティユニット１の下面側に開口されたノズル４から、下向きにインクが吐出するものとする。

前記キャビティユニット１は、図１〜図３に示すように構成されている。すなわち、ノズルプレート１１、第１スペーサプレート１２、ダンパープレート１３、２枚のマニホールドプレート１４ａ、１４ｂ、第２スペーサプレート１５、第３スペーサプレート１６（請求項の第２のプレートに相当）、及びベースプレート１７（請求項の第１のプレートに相当）の合計８枚の薄い板をそれぞれ接着剤にて重ね接合した構造としている。

実施形態では、合成樹脂製のノズルプレート１１を除き、各プレート１２〜１７は、４２％ニッケル合金鋼板製で、５０〜１５０μｍ程度の厚さを有する。前記ノズルプレート１１には、微小径（実施形態では２５μｍ程度）のインク吐出用のノズル４が微小間隔で多数個穿設されている。このノズル４は、当該ノズルプレート１１における第１の方向（長辺方向、Ｘ方向）に沿って、千鳥配列状で５列に配列されている。

また、前記ベースプレート１７には、図１に示すように、複数の圧力室３６がベースプレート１７の長辺（前記Ｘ方向）に沿って千鳥配列状で５列に配列されている。実施形態では、図２に示すように、前記各圧力室３６は、前記ノズルと連通する一端（一端部）３６ａと後述する共通インク室７と連通する他端（他端部）３６ｂとを結ぶ方向をそれと直交する方向より長い長手方向とする。各圧力室３６は、その長手方向がベースプレート１７の短辺方向（Ｙ方向）に沿うようにして細幅に穿設されている。

各圧力室３６における先端部３６ａは、２枚のスペーサプレート１５、１６と２枚のマニホールドプレート１４ａ、１４ｂ、ダンパープレート１３、及び第１スペーサプレート１２に、同じく千鳥配列状にて穿設されているインク流通路としての微小径の貫通孔３７を介して、ノズルプレート１１における前記各ノズル４に連通している。

ベースプレート１７の下面に隣接する第３スペーサプレート１６には、各圧力室３６の他端部３６ｂに接続するために、前記各他端部３６ｂに対応する位置にインク流通路としての連通孔３８が穿設されている。

第３スペーサプレート１６の下面に隣接する第２スペーサプレート１５には、後述する共通インク室７から前記各圧力室３６へインクを供給するための接続流路４０が設けられる。そして各接続流路４０には、共通インク室７からインクが入る入口孔と、圧力室３６側（前記連通孔３８）に開口する出口孔と、入口孔と出口孔との間にあって、出口孔よりも接続流路４０中で最も大きな流路抵抗となるように断面積を小さくして形成された絞り部とが備えられている。

２枚のマニホールドプレート１４ａ，１４ｂには、その長辺方向（Ｘ方向）に沿って長い５つの共通インク室７が前記ノズル４の各列に沿って延びるように板厚さを貫通して形成されている。すなわち２枚のマニホールドプレート１４ａ、１４ｂを積層し、且つその上面を第２スペーサプレート１５にて覆い、下面をダンパープレート１３にて覆うことにより、合計５つの共通インク室（マニホールド室）７が密閉状に形成される。各共通インク室７は、各プレートの積層方向から平面視したときに、前記圧力室３６の一部と重なって圧力室３６の列方向に沿って長く延びている。

図２及び図３に示すように、マニホールドプレート１４ａの下面に隣接するダンパープレート１３の下面側には、共通インク室７と隔絶されたダンパ室４５が凹み形成されている。この各ダンパ室４５の位置および形状は、前記各共通インク室７と一致させている。このダンパプレート１３は、適宜弾性変形し得る金属素材であるため、ダンパ室４５の薄い板状の底板部は、共通インク室７側にも、ダンパ室４５側にも自由に振動することができる。インク吐出時に、圧力室３６で発生した圧力変動が共通インク室７に伝播しても、前記底板部が弾性変形して振動することにより、前記圧力変動を吸収減衰させるというダンパ効果を奏し、圧力変動が他の圧力室３６へ伝播するというクロストークを防止することができるものである。

また、図１に示すように、ベースプレート１７、第２スペーサプレート１５、及び第３スペーサプレート１６の一端部には、上下の位置を対応させて、それぞれ４つのインク供給口４７が穿設されている。これらインク供給口４７によって、外部等のインクタンクから供給されたインクが、共通インク室７の一端部に連通するようになっている。４つのインク供給口４７を、図１の左側から順に４７ａ、４７ｂ、４７ｃ、４７ｄと記載する。

インク供給口４７からノズル４に至るインク流通路では、インクは、インク供給口４７から共通インク室７に供給された後、図２に示すように、第２スペーサプレート１５の接続流路４０及び第３スペーサプレート１６の連通孔３８を経由して各圧力室３６の他端部３６ｂに分配供給される。そして、後述するように、圧電アクチュエータ２の駆動により、インクは各圧力室３６内から前記貫通孔３７を通って、その圧力室３６に対応するノズル４に至るという構成になっている。

この実施形態では、図１に示すように、インク供給口４７が４つ設けられているのに対して、共通インク室７が５つ設けられており、インク供給口４７ａには、図１における左側に配置された２つの共通インク室７，７が接続されている。インク供給口４７ａには、ブラックインクが供給されるように設定されており、ブラックインクがその他のカラーインクに比べて使用頻度が高いことを考慮したものである。他のインク供給口４７ｂ、４７ｃ、４７ｄには、イエロー、マゼンタ、シアンの各インクがそれぞれ単独に供給される。

また、ベースプレート１７と第３スペーサプレート１６のいずれか一方または双方には、前記圧力室の列間において、この圧力室の列（長辺方向、Ｘ方向）に沿って延び且つ外部に連通する検査用流通溝５０が形成されている。この実施形態では、検査用流通溝５０は、ベースプレート１７と第３スペーサプレート１６との接着界面に向かって開口するように第３スペーサプレート１６に凹設されている。そして、検査用流通溝５０は、圧力室の各列間にそれぞれ設けられており（計４本）、これら検査用流通溝５０の一端は、第３スペーサプレート１６の短辺側の一方の端面に開口した開口部５０ａとなっている（図４及び図５参照）。

前記各金属製のプレート１２〜１７の共通インク室７、貫通孔３７、連通孔３８、接続流路４０、ダンパ室４５、検査用流通溝５０等の凹み形成や貫通する孔等は、エッチング加工、放電加工、プラズマ加工、レーザ加工等により形成されている。

一方、前記圧電アクチュエータ２は、図示しないが複数枚の圧電シートと、トップシートとを積層した構造で、１枚の厚さが３０μｍ程度の各圧電シートのうち最下段の圧電シートの上面（広幅面）には、前記キャビティユニット１における各圧力室３６に対応した箇所ごとに細幅の個別電極が長辺方向（Ｘ方向）に沿って列状に形成され、各個別電極は前記長辺方向と直交するＹ方向に沿って各圧電シートの長辺の端縁部近傍まで延びている。下から偶数段目の圧電シートの上面（広幅面）には、複数個の圧力室３６に対して共通のコモン電極が形成されており、最上段のトップシートの上面には、表面電極２６として、前記個別電極の各々に対して電気的に接続される表面電極と、前記コモン電極に対して電気的に接続される表面電極とが設けられている。

圧電アクチュエータは、特開平４−３４１８５３号公報に開示されたものと同様に、より多くの圧電シートを積層した構造とすることもできる。

そして、このような構成のプレート型の圧電アクチュエータ２における下面（圧力室３６と対面する広幅面）全体に、接着剤としてのインク非浸透性の合成樹脂材からなる接着剤シート（図示せず）を予め貼着し、次いで、前記キャビティユニット１に対して、圧電アクチュエータ２が、その各個別電極を前記キャビティユニット１における各圧力室３６の各々に対応させて接着・固定される。また、この圧電アクチュエータ２における上側の表面には、前記フレキシブルフラットケーブル３が重ね押圧されることにより、このフレキシブルフラットケーブル３における各種の配線パターン（図示せず）が、前記各表面電極２６に電気的に接合される。

このように構成されるインクジェットプリンタヘッド１００においては、キャビティユニット１と圧電アクチュエータ２との接合体が形成された状態で、圧力室３６間の密閉漏れが検査される。まず、全てのノズル４が仮密閉された状態で、インク供給口４７ａ〜４７ｄからインク供給路に、流体としての圧縮空気を同時に流入する。そして、各圧力室の列間に設けられた検査用流通溝５０から空気の流出があるか否かが観察される。

圧力室３６の列間Ｗの領域に圧力室３６を結ぶリーク通路ができるような不完全な接着がなされている場合には、圧力室３６に満たされた圧縮空気が必ず検査用流通溝５０を横切るように漏れるため、圧縮空気は検査用流通溝５０を通って開口部５０ａから外部に逃げることになる。従って、開口部５０ａからの空気の流出あるいはインク供給口４７側での圧力低下を検出することで、圧力室３６の列間Ｗの領域における密閉漏れを検査することができる。

また、仮に圧力室から直接外部にリークするような不完全な接着がなされている場合には、開口部５０ａから空気が流出せずに、圧縮空気の圧力が低下する。そのため、この検査用流通溝５０の開口部５０ａでの空気の検出と同時に、各インク供給口４７に流入した圧縮空気が所定時間後に圧力低下するか否かも観察すれば、圧力室３６から外部へのリークについても同時に検査することができる。

そして、キャビティユニット１と圧電アクチュエータ２との接合体に不良が発見されなかった場合には、前記接合体にフレキシブルフラットケーブル３が接合される。

このように、前述したキャビティユニット１と圧電アクチュエータ２との接合体の検査では、インク供給口４７ａから分岐した共通インク室７、７を介して接続される圧力室３６の列間のように、従来は検査できなかった列間の密閉漏れも、検査用流通溝５０を形成することにより、不良を発見できるようになった。

また、全部のインク供給口４７に同時に圧縮空気を流入して、圧力室３６の密閉漏れを検査できるため、検査時間を大幅に短縮することができる。

そして、この検査で不良が発見された場合には、そのキャビティユニット１と圧電アクチュエータ２との接合体は、フレキシブルフラットケーブル３が接着される前に除外されるため、早期の不良発見により、後工程での歩留まりを向上させることができる。

なお、前記キャビティユニット１の検査に使用する流体は空気に限定するものではなく、液体であってもよい。

また、検査用流通溝５０の形状は、図示したような直線状に限定するものではなく、外部に連通していれば、圧力室３６の配列形状に応じて任意の形状（曲線、屈曲形状等）に形成することができる。そして、その断面積も流体が流出できる程度の小さいものでよい。

また、検査用流通溝５０の形成箇所は、図示したように、ベースプレート１７と第３スペーサプレート１６の接着界面だけでなく、ベースプレート１７と圧電アクチュエータ３の最下面との接着界面や、これら両方の接着界面に設けても良い。そして、その凹設加工は、第３スペーサプレート１６の上面側、ベースプレート１７の下面側、ベースプレート１７の上面側、及び圧電アクチュエータ２の最下面側のうちの任意の箇所に施すことができる。

さらに、上述の実施形態の検査用流通溝５０は、圧力室３６の全ての列間に形成されたが、インク供給口４７ａのように、１つのインク供給口４７から分岐した共通インク室７を介して隣接する圧力室列が接続される場合のその列間のみに形成されるようにしてもよい。

実施形態の圧電式インクジェットプリンタヘッドを示す一部分解斜視図である。 キャビティユニットの拡大分解斜視図である。 キャビティユニットの一部拡大断面図である。 ベースプレートから下面側を見た部分的平面図である。 ベースプレートから下面側を見た部分的平面図である。 従来のベースプレートから下面側を見た部分的平面図である。 従来のベースプレートから下面側を見た部分的平面図である。

符号の説明

１ キャビティユニット
２ 圧電アクチュエータ
３ フレキシブルフラットケーブル
４ ノズル
７ 共通インク室
１１ ノズルプレート
１２ 第１スペーサプレート
１３ ダンパープレート
１４ａ、１４ｂ マニホールドプレート
１５ 第２スペーサプレート
１６ 第３スペーサプレート
１７ ベースプレート
２６ 表面電極
３６ 圧力室
３７ 貫通孔
３８ 連通孔
４０ 接続流路
４５ ダンパ室
４７ インク供給口
５０ 検査用流通溝
１００ インクジェットヘッド

Claims (4)

1. 前面に複数の列状に配置された複数のノズルと、各ノズル毎に対応して複数の列状に配置された複数の圧力室と、インクをインク供給口から複数の圧力室に分配しノズルに供給するインク流通路とを有するキャビティユニットが備えられるインクジェットプリンタヘッドにおいて、
   前記複数の圧力室が開口する平板面を有する第１のプレートと、前記各圧力室の開口を密閉するように前記第１のプレートの平板面に積層接着される第２のプレートとが備えられ、
   前記第１のプレートと第２のプレートのいずれか一方または双方には、前記圧力室の列間においてこの圧力室の列に沿って延び且つ外部に連通する検査用流通溝が形成されていることを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
2. 前記検査用流通溝は、第１のプレートと第２のプレートとの接着界面に向かって開口するように凹設されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットプリンタヘッド。
3. 前記インク流通路のうち共通インク室は、隣接する列の各圧力室に、１つのインク供給口から分岐してインクを分配するように形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェットプリンタヘッド。
4. 請求項１から３のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記ノズルを仮密閉した状態で、前記インク供給口からインク流通路に流体を流入し、前記検査用流通溝から流出する流体の有無により、圧力室の列間の密閉漏れを検査することを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの検査方法。

Images