JP6066747B2

JP6066747B2 - 液体吐出ヘッドの製造方法及びこの製造方法により製造された液体吐出ヘッド

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Description

本発明は、インク等の液体を吐出し記録動作を行う液体吐出ヘッドの製造方法及びこの製造方法により製造された液体吐出ヘッドに関する。

従来、インクジェット記録装置に代表される液体吐出装置に用いられる液体吐出ヘッドは、図９、図１０に示されるように、記録素子基板１と、流路５と、支持部材６と、を備えている。記録素子基板１はインクの吐出口を備え、支持部材６はインクを供給する流路５を有する。記録素子基板１としては通常シリコンが用いられ、支持部材６は樹脂などで作られる。

図９に示されるように、記録素子基板１を支持部材６上に固定する方法として、接着剤２により接着固定する手法が用いられている。接着剤はディスペンスまたは転写等の方法で塗布される。

ここで、特に複数の流路５を有する記録素子基板１の場合を考える。記録素子基板１を接着固定する際に、接着剤２は記録素子基板１の裏面に押しつぶされて広がる。そのはみ出しによって流路５を狭め過ぎないよう接着剤２の高さを制御する必要がある。また、各部位における接着剤２の高さが不均一であると接着不良が発生し、接着剤２が外部または内部（色間）でリークしてしまう恐れがある。

特許文献１では、支持部材６の接着剤塗布部にＶ形溝を設けることで塗布直後のパターンを保持し、少量かつ均一な高さの塗布を可能にするとともに接着剤の広がりを防ぐ方法が開示されている。

特開２００６−２１２９０２号公報

ところが、特許文献１で開示された方法で接着剤塗布高さを安定させても、図１０（ｂ）に示すような状況では外部とのリークが発生してしまう場合がある。支持部材６はプラスチックの成形品であるため、色間壁４の幅を狭くしていくのに製造上限界があり、また流路５は泡抜け性（インク中の泡が自然に抜けるために必要な幅）の観点から一定の幅を確保する必要がある。

それぞれの理由で色間壁４及び流路５の幅を狭くするには限界があるが、支持部材６上に接着固定される記録素子基板１は、ヘッド原価率低減を目的として幅が狭小化されていく傾向にある。この狭小化技術が進んだ結果、図１０（ｂ）に示したように記録素子基板１の外周部が接着剤２と当接しない、外部リーク不良２１が発生する可能性が出てきた。ここで、図１０（ｂ）は図１０（ａ）のＡ−Ａ断面図である。

接着剤２の潰し量を増やせば外部リーク不良２１を抑制することはできるが、潰し過ぎるとはみ出した接着剤２が流路５を狭めてしまうことから、上記の泡抜け性を加味して接着剤潰し量を一定以上増やすことはできない。よって外部とのリーク無く液体吐出ヘッドを製造するには別の方法で外周の接着を保証することが求められる。

本発明の目的は、支持部材より幅が小さい記録素子基板を支持部材上に接着固定する際に流路内の液体のリークを抑制する液体吐出ヘッドの製造方法及びこの製造方法により製造された液体吐出ヘッドを提供することである。

本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、インクの吐出口を備えた主面を有する記録素子基板と、前記インクを前記記録素子基板へ供給する複数の流路を有する支持部材と、を備え、前記支持部材は色間壁と外周壁を有し、前記記録素子基板は前記支持部材より幅が狭く、前記記録素子基板の外側の側面の下辺を前記主面と垂直方向に平行移動してできる平面が前記外周壁の頂面の内縁から外側方向に所定の距離だけ離れた位置において前記外周壁の頂面と交線を有する、液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記交線における接着剤の表面高さ位置が前記色間壁の頂面の内縁から外側方向に前記所定の距離だけ離れた位置における接着剤の表面高さ位置よりも高くなるように前記外周壁及び前記色間壁の頂面上に前記接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、前記記録素子基板を前記支持部材に前記接着剤で接着固定する記録素子基板接着工程と、を含む。

本発明によれば、支持部材より幅が小さい記録素子基板を支持部材上に接着固定する際に外部とのリークが生じることがない液体吐出ヘッドの製造方法及びこの製造方法により製造された液体吐出ヘッドを提供することができる。

本発明の液体吐出ヘッドの分解斜視図である。本発明の第１の実施形態に係る記録素子基板接着部の断面図である。本発明の第２の実施形態に係る記録素子基板接着部の断面図である。本発明の第３の実施形態に係る記録素子基板接着部の断面図である。本発明の第４の実施形態に係る記録素子基板接着部の断面図である。本発明の第５の実施形態に係る記録素子基板接着部の断面図である。本発明の第６の実施形態に係る記録素子基板接着部の断面図である。本発明の第７の実施形態に係る記録素子基板接着部の断面図である。従来の液体吐出ヘッドの記録素子基板接着部の斜視図である。従来の液体吐出ヘッドの記録素子基板接着部の概略上面図、及び記録素子基板と外周壁上の接着剤が当接していない状態を示した模式的断面図である。

以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。

図１は、本発明における、インク等の液体を吐出する液体吐出ヘッド１００の分解斜視図であり、記録素子基板１と、電気配線基板７と、流路５と、支持部材６と、を備えている。記録素子基板１は液体を吐出する吐出口と、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子（不図示）と、エネルギー発生素子に液体を供給するための供給口２９（図２参照）を備える。電気配線基板７は記録素子基板１にリード端子で接続され電気信号を与える。支持部材６は異なる種類の液体を供給する流路５を複数並列して備え、記録素子基板１の供給口２９と流体的に連通している。記録素子基板１としては通常シリコンが用いられ、支持部材６はプラスチック等の樹脂で作られる。

図２は、本発明の第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド１００の記録素子基板接着部の一部の断面図である。流路５は隣接する流路５を仕切る色間壁４および端部の流路の外方側に形成される外周壁３により形成されている。図２、図３に示すように、複数の流路が配列される方向（図における左右方向）に関して、記録素子基板１は支持部材６より幅が狭い。記録素子基板１と支持部材６との相互配置は、記録素子基板１の、図における左右方向に関する外側の側面２０の下辺２８を記録素子基板１の主面２３と垂直方向に平行移動してできる平面が外周壁３の頂面２１と交線２５を有するような配置である。ここで、交線２５は外周壁３の頂面２１の内縁２４から外側方向に所定の距離ｄだけ離れた位置にある。記録素子基板１の外側の側面２０の下辺２８は、外周壁３の頂面２１と平行である。

交線２５の位置における接着剤の頂面２１に垂直な方向の表面高さ位置ｘが、色間壁４の頂面２２の内縁２６から外側方向に距離ｄだけ離れた直線２７上における接着剤の表面高さ位置ｙよりも高くなるように外周壁３及び色間壁４の頂面上に接着剤２を塗布する。つまり本実施形態においては、支持部材６の外周側に形成される外周壁の頂面に塗布する接着剤の厚みを、色間壁の頂面に塗布する接着剤の厚みよりも大きくする。それにより外周壁におけるｄの位置における頂面からの接着剤の高さが、色間壁におけるｄの位置における頂面からの接着剤の高さより高くなるようにしている。このように接着剤を塗布することで、支持部材の幅より小さい幅の記録素子基板１と支持部材を接着した際においても、流路５を流れる液体が外部とリークすることが抑制された液体吐出ヘッド１００を製造することができる。

図３は、本発明の第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド１００の記録素子基板接着部の断面図である。流路５は色間壁４および外周壁３により形成されている。本実施形態において、壁の幅は色間壁４を０．５５ｍｍ、外周壁３を０．７０ｍｍとした。色間壁の幅を広くすると記録素子基板１に形成された供給口２９との連通する領域が狭くなってしまうため、供給量を確保するためには限度があるが、外周壁はこのような制約がないため壁の幅を広くすることが可能である。このように色間壁４より外周壁３の幅を広くすることで、外周壁３上には色間壁４上より接着剤を高く塗布できる。必要に応じて外周壁３の幅を広くすれば、さらに接着剤を高く塗布できる。

支持部材６を構成する材料は、樹脂材料、あるいはＡｌ₂Ｏ₃（アルミナ）に代表されるセラミック材料など幅広く用いる事ができ、本実施形態では、変性ＰＰＥ（Ｐｏｌｙ−ＰｈｅｎｙｌｅｎｅＥｔｈｅｒ）を用いた。

記録素子基板１は、シリコン基板の一方の面側に、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する複数の熱エネルギー発生素子とその熱エネルギー発生素子に電力を供給する配線とが成膜技術により形成されたものである。各々の熱エネルギー発生素子上にはフォトリソグラフィー技術によりインク供給路と吐出口が形成されている。基板の他方の面には吐出口へインクを供給するための貫通孔である供給口の開口形成されている。この供給口は異方性エッチングにより形成される。

この液体吐出ヘッド１００の記録素子基板１と支持部材６との接着方法を以下に説明する。まず、支持部材６を位置決めし、外周壁３及び色間壁４の頂面上に接着剤２をディスペンス方式で塗布する。接着剤２は光硬化・熱硬化併用型エポキシ樹脂であり、本実施形態においては粘度１０〜１４Ｐａ・ｓｅｃ（２０ｒｐｍ、Ｅ型回転式粘度計、２５ °Ｃ）のものを用いた。ここで、接着剤２の塗布ニードルの移動速度（以下、塗布速度と記す）は色間壁上より外周壁上を遅くして行う。こうして外周壁の接着剤量を色間壁に対して増やすことにより、壁幅の広さに対応して色間壁４より外周壁３の接着剤を高く塗布できる。

外周壁の接着剤を高く塗布するには外周壁３に塗布する塗布ニードル径を、色間壁に塗布する塗布ニードルの径より太くしてもよい。この方法であれば塗布速度を変えることなく接着剤を外周壁のみ多く塗布出来る。またニードルから接着剤を塗布する際の圧力を、色間壁に比べて外周壁の方を大きくすることでも外周壁の接着剤の高さを色間壁より高くすることが可能である。また夫々の方法を適宜組み合わせても良い。

なお、例えば図３（ｂ）のように外周壁の頂面に凸部を形成し、頂面の中央部と周縁部を高さ位置の異なる平面とし、中央部の方が周縁部よりも高さ位置を高くすれば、中央の凸部の体積分だけ接着剤量が少なくても所望の接着剤高さで塗布することができる。また、塗布速度を上げることも出来る。このような凸部は図３（ｂ）に示す中央部でなく隣接する色間壁４側にオフセットして形成することも図１に示す距離ｄの接着剤の高さを高くできる点で好ましい。あるいは図３（ｃ）のように外周壁３が色間壁４より高さ位置の高い頂面を有するようにすることで、塗布速度を落とさず接着剤高さを確保しても良い。

このように接着剤の表面高さ位置が色間部より外周部の方が高い接着剤塗布を行い、記録素子基板１と支持部材６とを相対的に近接させて、記録素子基板１と接着剤２とを当接させ所定の位置で接着固定する。それにより支持部材６の流路５と記録配線基板１の供給口２９とが連通する外部に対して密閉が確保された液体供給路を形成することができる。より密閉性を確実にするために、記録素子基板１と支持部材６とを近接させる際に、まず外周壁の接着剤２と記録素子基板１とが接し、その後に色間壁４の接着剤２と記録素子基板１とが接する構成が好ましい。

以上の方法で、支持部材の幅より狭小化された記録素子基板１と支持部材６とを接着固定することにより、液体のリークが抑制された液体吐出ヘッド１００を製造することができる。

なお、本実施形態では記録素子基板１の供給口形成方法を異方性エッチングとしたが、図３（ｄ）に示すように供給口をレーザーなどによりストレートに近い形状で形成することでさらに基板を狭小化することもできる。

図４は本発明の第３の実施形態に係る液体吐出ヘッド１００の記録素子基板接着部の断面図である。図４（ａ）に示すように、外周壁３の頂面を内側（色間壁側）に向けて傾斜がついた構成とし、この傾斜した頂面に、光硬化・熱硬化併用型エポキシ樹脂であり粘度１０〜１４Ｐａ・ｓｅｃ（２０ｒｐｍ、Ｅ型回転式粘度計、２５ °Ｃ）の接着剤２を塗布する。外周壁３の頂面２１に傾斜が設けられていることで塗布された接着剤２の表面の高さ位置が最高になる点は外周壁３の幅方向における中心より内側へずれた状態で保持される。よって、外周壁３に塗布する接着剤の量を色間壁４と比べて多くしなくても、必要な部位の接着剤の高さを高くすることができる。これにより狭小化した記録素子基板１と支持部材６を外部とのリークを発生させずに接着固定することが可能になる。なお、傾斜の角度θは任意に選定することができる。本実施形態では２０°とした。このような斜面に塗布する接着剤は比較的粘度の高い接着剤を用いることが好ましい。

また、図４（ｂ）に示すように、外周壁３の内側にＶ字形状を形成するために傾斜面を設けるようにしてもよい。このようにＶ字状の溝（凹部）を形成する際には、図３（ｂ）に示すように幅方向の中心より内側寄りに溝の最深部（頂部）を形成することで、比較的少ない量の接着剤においても必要な部位の接着剤の高さを確保することが可能となる。またこの形態では接着剤の頂面部の保持力が高いため、接着剤の溢れを抑制できる。よって比較的低い粘度の接着剤においても適用可能である。

また、図４（ｃ）で示すように、外周壁３の頂面２１の内側と外側が高さ位置の異なる平面となるようにし、内側の方が外側よりも高さ位置が低くなるように段差をつけてもよい。この方法でも、図４（ａ）の場合と同様に、塗布された接着剤２の表面の高さ位置が最高になる点は外周壁３の中心より内側へずれた状態で保持されるため必要部位の接着剤の高さを確保することが可能となる。

このように図４（ａ）〜図４（ｃ）の各構成により、外周壁に塗布される接着剤の高さが最も高くなる位置を幅方向の中心より内側（色間壁側）に制御することが可能となる。このような構成により接着剤の量を比較的少なくすることができるので好ましい。

図５は、本発明の第４の実施形態に係る液体吐出ヘッド１００の記録素子基板接着部の一部の断面図である。液体吐出ヘッド１００は、記録素子基板１と支持部材６を有する。ここで、記録素子基板１は、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子（不図示）と、エネルギー発生素子に液体を供給するための、互いに並列する第１の供給口３１と第２の供給口３２と、を備える。また、支持部材６は、第１の供給口３１と連通する第１の開口部３４と、第２の供給口３２と連通する第２の開口部３５と、を備え、記録素子基板１を支持する。このような液体吐出ヘッド１００の製造方法として、まず支持部材６の、第１の開口部３４と第２の開口部３５との間の第１の領域３７と、第１の開口部３４より支持部材６の外周側の第２の領域３８と、に接着剤を塗布する（第１の工程）。次に、第１の供給口３１と第１の開口部３４、及び第２の供給口３２と第２の開口部３５とを夫々連通させるように、記録素子基板１と支持部材６とを接着剤２を介して接合する（第２の工程）。第１の工程において、第２の領域３８に塗布される接着剤の高さは、第１の領域３７に塗布される接着剤の高さより高くする。

また、支持部材６は、記録素子基板１に形成される第３の供給口３３と連通する第３の開口部３６を有し、第１の開口部３４と第３の開口部３６との間に第２の開口部３５が配されていてもよい。すなわち、支持部材６の一方の端部から順に、第１の開口部３４、第２の開口部３５、及び第３の開口部３６の順に夫々配されていてもよい。

また、第１の開口部３４と第２の開口部３５とが配列される方向４０に関して、第２の領域３８の長さは第１の領域３７の長さより長くてもよい。

また、第２の工程において、記録素子基板１の第１の供給口３１が形成される側の端面３９は、第２の領域３８の、第１の開口部と第２の開口部とが配列される方向４０に関しての中心より第２の開口部側に位置していてもよい。

図６は、本発明の第５の実施形態に係る液体吐出ヘッド１００の記録素子基板接着部の一部の断面図である。液体吐出ヘッド１００は記録素子基板１と支持部材６を有する。記録素子基板１は、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子（不図示）と、エネルギー発生素子に液体を供給するための、互いに並列する第１の供給口３１、第２の供給口３２、及び第３の供給口３３と、を備える。支持部材６は、第１の供給口３１と連通する第１の開口部３４と、第２の供給口３２と連通する第２の開口部３５と、第３の供給口３３と連通する第３の開口部３６と、を備え、接着剤２を介して記録素子基板１と接合される。液体吐出ヘッド１００は、支持部材６の一方の端部から他方の端部に向かう方向４０に、第１の開口部３４、第２の開口部３５、及び第３の開口３６の順に夫々配されている。支持部材６の、第１の開口部３４より端部側に接着剤が塗布されている第２の領域３８は、第２の開口部３５側が低くなる第１の傾斜面４１を備えている。

支持部材６の第２の領域３８は、第２の開口部３５側が高くなる第２の傾斜面４２を、第１の傾斜面４１よりも方向４０側に備える。第１の傾斜面４１と第２の傾斜面４２との交差部は、第２の領域３８の方向４０に関する中心より第２の開口部３５側に位置していてもよい。

図７は、本発明の第６の実施形態に係る液体吐出ヘッド１００の記録素子基板接着部の一部の断面図である。液体吐出ヘッド１００は記録素子基板１と支持部材６を有する。記録素子基板１は、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子（不図示）と、エネルギー発生素子に液体を供給するための、互いに並列する第１の供給口３１、第２の供給口３２、及び第３の供給口３３と、を備える。支持部材６は、第１の供給口３１と連通する第１の開口部３４と、第２の供給口３２と連通する第２の開口部３５と、第３の供給口３３と連通する第３の開口部３６と、を備え、接着剤２を介して記録素子基板１と接合される。液体吐出ヘッド１００は、支持部材６の一方の端部から他方の端部に向かう方向４０に、第１の開口部３４、第２の開口部３５、及び第３の開口３６の順に夫々配されている。支持部材６の、第１の開口部３４より端部側に接着剤が塗布されている第２の領域３８は、第２の開口部３５側が低くなる段差部を有する。

図８は、本発明の第７の実施形態に係る液体吐出ヘッド１００の記録素子基板接着部の一部の断面図である。液体吐出ヘッド１００は記録素子基板１と支持部材６を有する。記録素子基板１は、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子（不図示）と、エネルギー発生素子に液体を供給するための、互いに並列する第１の供給口３１、第２の供給口３２、及び第３の供給口３３と、を備える。支持部材６は、第１の供給口３１と連通する第１の開口部３４と、第２の供給口３２と連通する第２の開口部３５と、第３の供給口３３と連通する第３の開口部３６と、を備え、接着剤２を介して記録素子基板１と接合される。液体吐出ヘッド１００は、支持部材６の一方の端部から他方の端部に向かう方向４０に、第１の開口部３４、第２の開口部３５、及び第３の開口３６の順に夫々配されている。支持部材６の、第１の開口部３４より端部側に接着剤が塗布されている第２の領域３８には凸部が形成されている。

１記録素子基板
２接着剤
５流路
６支持部材
１００液体吐出ヘッド

Claims

インクの吐出口を備えた主面を有する記録素子基板と、前記インクを前記記録素子基板へ供給する複数の流路を有する支持部材と、を備え、前記支持部材は色間壁と外周壁を有し、前記記録素子基板は前記支持部材より幅が狭く、前記記録素子基板の外側の側面の下辺を前記主面と垂直方向に平行移動してできる平面が前記外周壁の頂面の内縁から外側方向に所定の距離だけ離れた位置において前記外周壁の頂面と交線を有する、液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記交線における接着剤の表面高さ位置が前記色間壁の頂面の内縁から外側方向に前記所定の距離だけ離れた位置における接着剤の表面高さ位置よりも高くなるように前記外周壁及び前記色間壁の頂面上に前記接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、前記記録素子基板を前記支持部材に前記接着剤で接着固定する記録素子基板接着工程と、を含む液体吐出ヘッドの製造方法。
前記接着剤塗布工程において、前記色間壁の頂面より前記外周壁の頂面における前記接着剤を塗布する塗布手段の移動速度を遅くする、請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
前記接着剤塗布工程において、前記色間壁の頂面より前記外周壁の頂面における前記接着剤の塗布ニードル径を太くする、請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
前記外周壁の頂面に内側に向けて傾斜をつける、請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
インクの吐出口を備えた主面を有する記録素子基板と、前記インクを前記記録素子基板へ供給する複数の流路を有する支持部材と、を備え、
前記支持部材は色間壁と外周壁を有し、前記記録素子基板は前記支持部材より幅が狭く、前記外周壁の頂面の内縁から外側方向へ所定の距離だけ離れた位置において前記記録素子基板の外側の側面の下辺を前記主面と垂直方向に平行移動してできる平面が前記外周壁の頂面と交線を有し、
前記外周壁及び前記色間壁の頂面上に塗布された接着剤によって、前記記録素子基板が前記支持部材に接着固定されており、
前記外周壁の頂面上に存在する前記接着剤の前記交線における表面高さ位置が、前記色間壁の頂面上に存在する前記接着剤の表面高さ位置と等しいかそれよりも高く、
前記外周壁の頂面上に存在する前記接着剤は、表面高さ位置が最も高い部分が前記交線よりも外側に位置し、前記交線から前記表面高さ位置が最も高い部分まで、前記接着剤の表面高さ位置が徐々に上昇している、液体吐出ヘッド。
前記色間壁より幅広い前記外周壁を有する、請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
前記外周壁が前記色間壁より高さ位置の高い頂面を有する、請求項５または６に記載の液体吐出ヘッド。
前記外周壁の頂面の中央部と周縁部が高さ位置の異なる平面であり、前記中央部の方が前記周縁部よりも高さ位置が高い、請求項５から７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記外周壁の頂面に内側を向いた傾斜を有する、請求項５から７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記外周壁の頂面の内側に、前記傾斜の幅よりも小さい幅の逆傾斜を有する、請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
前記外周壁の頂面の内側と外側が高さ位置の異なる平面であり、内側の方が外側よりも高さ位置が低い、請求項５から７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、前記エネルギー発生素子に液体を供給するための、互いに並列する第１の供給口と第２の供給口と、を備える記録素子基板と、
前記第１の供給口と連通する第１の開口部と、前記第２の供給口と連通する第２の開口部と、を備え、前記記録素子基板を支持する支持部材と、
を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記支持部材の、前記第１の開口部と前記第２の開口部との間の第１の領域と、前記第１の開口部より前記支持部材の外周側の第２の領域と、に接着剤を塗布する第１の工程と、
前記第１の供給口と前記第１の開口部、及び前記第２の供給口と前記第２の開口部とを夫々連通させるように、前記記録素子基板と前記支持部材とを接着剤を介して接合する第２の工程と、を有し、
前記第１の工程において、前記第２の領域に塗布される接着剤の高さは、前記第１の領域に塗布される接着剤の高さより高い、液体吐出ヘッドの製造方法。
前記支持部材は、前記記録素子基板に形成される第３の供給口と連通する第３の開口部を有し、前記第１の開口部と前記第３の開口部との間に前記第２の開口部が配される、請求項１２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
前記支持部材の一方の端部から順に、前記第１の開口部、前記第２の開口部、及び前記第３の開口部の順に夫々配されている、請求項１３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
前記第１の開口部と前記第２の開口部とが配列される方向に関して、前記第２の領域の長さは前記第１の領域の長さより長い、請求項１２から１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
前記第２の工程において、前記記録素子基板の前記第１の供給口が形成される側の端面は、前記第２の領域の、前記第１の開口部と前記第２の開口部とが配列される方向に関しての中心より前記第２の開口部側に位置する、請求項１２から１５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、前記エネルギー発生素子に液体を供給するための、互いに並列する第１の供給口、第２の供給口、及び第３の供給口と、を備える記録素子基板と、
前記第１の供給口と連通する第１の開口部と、前記第２の供給口と連通する第２の開口部と、前記第３の供給口と連通する第３の開口部と、を備え、接着剤を介して前記基板と接合される支持部材と、を有し、
前記支持部材の一方の端部から他方の端部に向かう方向に、前記第１の開口部、前記第２の開口部、及び前記第３の開口部の順に夫々配されている液体吐出ヘッドであって、
前記支持部材の、前記第１の開口部より前記一方の端部側に接着剤が塗布されている領域は、前記第２の開口部側が低くなる第１の傾斜面を備える、液体吐出ヘッド。
前記支持部材の前記領域は、前記第２の開口部側が高くなる第２の傾斜面を備え、前記第１の傾斜面と前記第２の傾斜面との交差部は、前記領域の前記方向に関する中心より前記第２の開口部側に位置する、請求項１７に記載の液体吐出ヘッド。
液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、前記エネルギー発生素子に液体を供給するための、互いに並列する第１の供給口、第２の供給口、及び第３の供給口と、を備える記録素子基板と、
前記第１の供給口と連通する第１の開口部と、前記第２の供給口と連通する第２の開口部と、前記第３の供給口と連通する第３の開口部と、を備え、接着剤を介して前記記録素子基板と接合される支持部材と、を有し、
前記支持部材の一方の端部から他方の端部に向かう方向に、前記第１の開口部、前記第２の開口部、及び前記第３の開口部の順に夫々配されている液体吐出ヘッドであって、
前記支持部材の、前記第１の開口部より前記一方の端部側に接着剤が塗布されている領域は、前記第２の開口部側が低くなる段差部を有し、前記支持部材の、前記第１の開口部と前記第２の開口部との間の接着剤が塗布されている領域は、段差部を有していない、液体吐出ヘッド。
液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、前記エネルギー発生素子に液体を供給するための、互いに並列する第１の供給口、第２の供給口、及び第３の供給口と、を備える記録素子基板と、
前記第１の供給口と連通する第１の開口部と、前記第２の供給口と連通する第２の開口部と、前記第３の供給口と連通する第３の開口部と、を備え、接着剤を介して前記記録素子基板と接合される支持部材と、を有し、
前記支持部材の一方の端部から他方の端部に向かう方向に、前記第１の開口部、前記第２の開口部、及び前記第３の開口部の順に夫々配されている液体吐出ヘッドであって、
前記支持部材の、前記第１の開口部より前記一方の端部側に接着剤が塗布されている領域には凸部が形成され、前記支持部材の、前記第１の開口部と前記第２の開口部との間の接着剤が塗布されている領域には凸部が形成されていない、液体吐出ヘッド。