JP2009298108A - インクジェット記録ヘッドの製造方法およびインクジェット記録ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】支持部材と記録素子とを接着する接着剤の形状を制御することにより、記録素子を小型化した場合にも高いインクの吐出性能を維持できるインクジェット記録ヘッドの製造方法、およびインクジェット記録ヘッドを提供すること。
【解決手段】支持部材１００と記録素子３００との間に接着剤４００を介在させてから、その接着剤４００を引き伸ばしてから硬化させる。これにより、接着剤４００の形状を制御して、支持部材１００側のインク供給口１０１と記録素子３００側のインク導入口３０１との間に充分なインク流路を形成する。
【選択図】図３

Description

本発明は、インクを吐出可能な記録素子と、インクを供給可能な支持部材と、が接着剤により接着されたインクジェット記録ヘッドの製造方法、およびインクジェット記録ヘッドに関するものである。

インクジェット記録ヘッドとしては、図８のように、支持部材１００とチップ状の記録素子３００とを接着剤４００（図９参照）によって貼り合わせた構成のものがある。記録素子３００は、支持部材１００のインク供給口１０１の周辺領域に貼り合わされる。記録素子３００には、支持部材１００のインク供給口１０１から供給されるインクを吐出可能な吐出口が複数形成されており、インクを吐出するための吐出エネルギー発生素子として、電気熱変換体（ヒータ）やピエゾ素子などが備えられている。

図９のように、支持部材１００のインク供給口１０１の周辺領域に塗布された接着剤４００は、記録素子３００を貼り合わせる際に、記録素子３００の裏面に押し潰されて広がる。図９は、図８中の記録素子３００と、支持部材１００のインク供給口１０１の周辺領域と、の接着部分の拡大断面図であり、記録素子３００の図８中のＡ−Ａ線に沿う断面、およびインク供給口１０１の周辺領域の図８中のＢ−Ｂ線に沿う断面に相当する。１０１Ａは、インク供給口１０１が形成される支持部材１００の供給口形成面であり、３０１は、記録素子３００のインク導入口３０１が形成される導入口形成面である。Ｓ０は、接着剤４００のはみ出し部である。

接着剤４００のはみ出し部Ｓ０のはみ出し量が大きくなった場合には、そのはみ出し部Ｓ０によって、インク供給口１０１とインク導入口３０１との間の連通部が狭くなる可能性が大きくなる。その連通部が狭くなった場合には、インクの吐出不良により記録画像の品位低下を招くおそれがあり、記録ヘッドの生産の歩留まりを悪化させる要因ともなる。したがって、接着剤４００の潰れによるはみ出し量を制御する必要がある。

従来、このような接着剤４００のはみ出し量を制御するための方法として、例えば特許文献１および２には、接着面に設けた溝内に接着剤４００の余剰分を吸収させる方法が提案されている。

特開２００１−１６２８０２号公報 特開２００１−４７６２０号公報

ところで近年においては、インクジェット記録ヘッドの製造コストの中で一番高価な記録素子３００のコストを削減するために、記録素子３００のサイズをできる限り小さくすることが求められている。

図１０（ａ）は、比較的大きい既存サイズの記録素子３００の図８中Ａ−Ａ線に沿う断面図、図１０（ｂ）は、サイズを小さくした記録素子３００の図８中Ａ−Ａ線に沿う断面図である。図１０（ｃ）は、図１０（ａ）の既存の記録素子３００に対応する支持部材１００のインク供給口１０１の周辺領域の図８中Ｂ−Ｂ線に沿う断面図である。図１０（ｄ）は、図１０（ｂ）の小サイズの記録素子３００に対応する支持部材１００のインク供給口１０１の周辺領域の図８中Ｂ−Ｂ線に沿う断面図である。本例の記録素子３００には３つのインク導入口３０１が形成されており、それらのインク導入口３０１に対して、支持部材１００の３つのインク供給口１０１から色などが異なる３種のインクを供給することができる。記録素子３００には、それら異なるインク毎に対応する吐出口の列（吐出口列）が３組（３００Ａ，３００Ｂ，３００Ｃ）形成されている。記録素子３００における３つのインク導入口３０１間のピッチ４０は、支持部材１００の３つのインク供給口１０１間のピッチに対応する。以下、これらのピッチ４０を「色間ピッチ」ともいう。また、インク導入口３０１の幅Ｘは、インク供給口１０１の幅に対応する。

記録素子３００を小さくしていくと、図１０（ｂ）のように、記録素子３００の色間ピッチ４０が狭くなり、これに伴い、支持部材１００の色間ピッチ４０も図１０（ｄ）のように狭くなる。このように色間ピッチ４０が狭くなくことにより、インク供給口１０１およびインク導入口３０１の幅Ｘも狭くなる。これらの幅Ｘは、記録素子３００にインクをスムーズに供給するために必要な幅であるため、インクを適確に吐出して高い記録品位を維持するためには、適正な大きさを確保する必要がある。

既存の記録素子３００の場合には、図１１（ａ）のように、インク供給口１０１およびインク導入口３０１の内側にはみ出る接着剤４００のはみ出し幅Ｓに対して、充分な幅Ｘが確保できる。そのため、多少の接着剤４００のはみ出しでは、記録品位を悪化させる程、インク供給口１０１とインク導入口３０１との連通部を狭くするおそれは少なかった。

しかし、図１１（ｂ）のように、小サイズの記録素子３００の場合には、幅Ｘが狭くなるため、接着剤３００のはみ出し幅Ｓに対して充分な幅Ｘを確保することが困難となる。そのため、接着剤４００のはみ出しが多少であっても、インク供給口１０１とインク導入口３０１とのインク流路が狭くなりやすく、記録品位に影響を及ぼすおそれがあった。

このような問題の解決策としては、上述した特許文献１および２のように、接着剤４００の余剰分を溝内に吸収させる方法を採用することが考えられる。しかし、図１１（ｂ）のように記録素子３００自身のサイズが小さくなり過ぎているために、接着剤４００のはみ出しを防止できるほどに、溝の形成スペースを充分に確保することは難しい。

また、他の解決策としては、インク供給口１０１の周辺領域に塗布する接着剤４００の量を減らして、接着剤４００のはみ出しを軽減することが考えられる。しかし、接着剤４００の塗布量は、供給口形成面１０１Ａや導入口形成面３０１Ａの面精度、接着剤４００の塗布後の高さ、および記録ヘッドの組立機の精度のバラツキなどを考慮して決める必要がある。そのため、接着剤４００を減らすためには、供給口形成面１０１Ａや導入口形成面３０１Ａの面精度を上げたり、接着剤４００の塗布後の高さを低くしたり、組立機の精度の精度を上げる必要があり、結果的にコストアップの要因となってしまう。

本発明の目的は、支持部材と記録素子とを接着する接着剤の形状を制御することにより、記録素子を小型化した場合にも高いインクの吐出性能を維持できるインクジェット記録ヘッドの製造方法、およびインクジェット記録ヘッドを提供することにある。

本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、インク導入口から導入したインクを吐出口から吐出可能な記録素子と、前記インク導入口にインクを供給可能なインク供給口が形成された支持部材と、が接着剤により接着されたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記インク導入口が形成された前記記録素子の導入口形成面と、前記インク供給口が形成された前記支持部材の供給口形成面と、の内の少なくとも一方に前記接着剤を付与する第１工程と、前記第１工程の後、前記導入口形成面と前記供給口形成面とを接近させることにより、前記接着剤を介して前記導入口形成面と前記供給口形成面とを接触させる第２工程と、前記第２工程の後、前記導入口形成面と前記供給口形成面との対向間隔を大きくすることにより、前記導入口形成面と前記供給口形成面との間において前記接着剤を引き伸ばす第３工程と、前記第３工程の後、前記導入口形成面と前記供給口形成面との間において引き伸ばされた前記接着剤を硬化させる第４工程と、を含むことを特徴とする。

本発明のインクジェット記録ヘッドは、インク導入口から導入したインクを吐出口から吐出可能な記録素子と、前記インク導入口にインクを供給可能なインク供給口が形成された支持部材と、が接着剤により接着されたインクジェット記録ヘッドにおいて、前記インク導入口が形成された前記記録素子の導入口形成面と、前記インク供給口が形成された前記支持部材の供給口形成面と、が前記接着剤により接着され、前記導入口形成面と前記供給口形成面との間に位置する前記接着剤の中間部分の幅は、前記導入口形成面と前記供給口形成面の少なくとも一方に対する前記接着剤の接着面の幅よりも小さいことを特徴とする。

本発明のインクジェット記録ヘッドは、インク導入口から導入したインクを吐出口から吐出可能な記録素子と、前記インク導入口にインクを供給可能なインク供給口が形成された支持部材と、が接着剤により接着されたインクジェット記録ヘッドにおいて、前記インク導入口が形成された前記記録素子の導入口形成面と、前記インク供給口が形成された前記支持部材の供給口形成面と、が前記接着剤により接着され、前記導入口形成面と前記供給口形成面との間に位置する前記接着剤の中間部分は、前記インク導入口と前記インク供給口の少なくとも一方の外側に位置することを特徴とする。

本発明によれば、支持部材と記録素子との間の接着剤を介在させてから、その接着剤を引き伸ばしてから硬化させることより、接着剤の形状を制御して、支持部材側のインク供給口と記録素子側のインク導入口との間に充分なインク流路を形成することができる。これにより、記録素子を小型化した場合にもインクをスムーズに供給して、高いインク吐出性能を維持して、高品位の画像を記録することができる。また、記録ヘッドの製造の歩留まりを向上させて、高品位の記録ヘッドを安価に提供することができる。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

図１は、本発明のインクジェット記録ヘッドの全体的な構成例を説明するための斜視図である。上述した従来例の記録ヘッドと同様の部分には、同一符号を付して説明を省略する。

本例の記録ヘッドは、電気配線テープ２００のリード部に、チップ状の記録素子３００の電極端子が電気的に接続され、支持部材１００のインク供給口１０１の周辺領域の面に、接着剤４００によって記録素子３０が貼り付けられる。記録素子３００の電極端子、および電気配線テープ２００のリード部の露出部は、封止剤によって封止される。

支持部材１００のインク供給口１０１の周辺領域の面（吐出口形成面１０１Ａ）に対して、記録素子３００の導入口形成面３０１Ａを接着する工程においては、まず、ディスペンス、または、転写などの方法によって接着剤４００を付与する。ディスペンスの場合は、３軸塗布機に、ワーク（支持部材１００または記録素子３００）と、シリンジ（ニードル付きシリンジの中に接着剤４００を入れたもの）と、をセットする。そして、予めティーチングされたワーク上のポイントに対して、ライン状もしくは点状に接着剤４００を塗布する。転写の場合には、等速回転する円盤上に接着剤４００を均一の高さに伸ばし、塗布領域（供給口形成面１０１Ａまたは導入口形成面３０１Ａ）に対応するパターンに形成された転写ピンを上下させることにより、接着剤４００を転写する。接着剤４００としては、紫外線を照射することによって硬化する紫外線硬化型、加熱によって硬化する熱硬化型、または、それら両者の混合型が一般に使用される。

図２は、支持部材１００のインク供給口１０１の周辺領域の面に対して、記録素子３００を接着する作業工程の順序の説明図、図３は、図２中の作業工程中における接着部分の拡大断面図である。

まず、支持部材１００を専用固定治具により位置決め固定する（ステップＳ１）。支持部材１００の位置決め固定方法としては、支持部材１００の基準面（図示なし）を用いて、それを±１０μｍ以下の精度で位置決め固定する。

次に、支持部材１００のインク供給口１０１の周辺領域に対し、ディスペンスまたは転写によって、接着剤４００を塗布または転写する（ステップＳ２）。本例においては、接着剤４００として、粘度１００００ｃｐｓ程度の紫外線硬化型接着剤を使用し、それをディスペンスによって塗布した。接着剤４００の塗布高さＨ０（図３（ａ）参照）は、支持部材１００のインク供給口１０１の周辺領域の面の位置Ｐ０から、１２０μｍ程度の高さとした。接着剤４００としては、熱硬化型、または紫外線硬化型と熱硬化型の混合型を使用することもできる。接着剤４００は、供給口形成面上の部分と、導入口形成面上の部分と、の内の少なくとも一方に付与すればよい。

次に、ハンドリングユニット５００（図３（ａ）参照）によって、電気配線テープ２００に電気的に接続された記録素子３００を吸着保持する（ステップＳ３）。記録素子３００の保持方法としては、メカクランプ、あるいはメカクランプと吸着との併用式であってもよい。次に、ハンドリングした記録素子３００の撮影画像を処理して、その記録素子３００の位置を測定し、記録素子３００と支持部材１００と間の距離を把握する（ステップＳ４）。その画像処理において、記録素子３００の位置を把握するための分解能は、例えば０．５μｍ以下である。

図３（ａ）は、画像処理工程（ステップＳ４）の終了後の状態を示し、記録素子３００がハンドリングユニット５００によって保持されている。接着剤４００は、表面張力により、インク供給口１０１の周辺領域の面上において凸形状を維持している。

その後、貼り合せ動作１（ステップＳ５）において、先の画像処理工程（ステップＳ４）において把握した記録素子３００と支持部材１００との位置関係に基づき、ハンドリングユニット５００によって記録素子３００を移動させる。そして、その記録素子３００の導入口形成面３０１Ａを第１の位置Ｐ１に位置させる。その第１の位置Ｐ１は、図３（ｂ）のように、導入口形成面３０１Ａと接着剤４００とが完全に接触できる位置である。これにより、供給口形成面１０１Ａと導入口形成面３０１Ａは、接着剤４００を介して間接的に接触することになる。本例において、支持部材１００の供給口形成面１０１Ａの位置Ｐ０と、第１の位置Ｐ１と、の間の間隔Ｈ１は、７０μｍ程度とした。導入口形成面３０１Ａが第１の位置Ｐ１に移動することにより、接着剤４００は、記録素子３００と支持部材１００との面との間において所定量押し潰されて、図３のように側方にはみ出る。第１の位置Ｐ１は、塗布工程（ステップＳ２）における接着剤４００の塗布高さＨ０に応じて異なる。ハンドリングユニット５００によって記録素子３００の移動を制御する時の分解能は、例えば１μｍ以下である。

図４は、インク導入口３０１の内側に矩形の窪み部３０２が形成された記録素子３００の断面図であり、このような窪み部３０２を形成することにより、その窪み部３０２によって接着剤４００の余剰分を吸収することもできる。

その後、貼り合せ動作２（ステップＳ６）において、図３（ｃ）および（ｄ）のように、記録素子３００と支持部材１００との間を第１の間隔Ｈ１よりも大きくする方向へ、記録素子３００を移動させる。図３（ｃ）は、ハンドリングユニット５００により記録素子３００を移動させて、間隔Ｈ１を大きくしている途中の状態であり、最終的には、図３（ｄ）のように間隔Ｈ１を第２の間隔Ｈ２まで大きくする。この記録素子３００の移動により、先の貼り合せ動作１（ステップＳ５）において押し潰されて側方にはみ出ていた接着剤４００は、図３（ｃ）および（ｄ）のように引き伸ばされて、そのはみ出し量が減少する。本例においては、最終的な第２の間隔Ｈ２を１５０μｍ程度とした。

図３（ｄ）のように、記録素子３００と支持部材１００との間を間隔Ｈ２まで大きくしたときに、側方にはみ出していた接着剤４００は引き伸ばされて凹んだ。そのため、導入口形成面３０１Ａと供給口形成面１０１Ａとの間に位置する接着剤４００の中間部分は、図３（ｄ）中の左右方向の幅Ｗが小さくなる。導入口形成面３０１Ａおよび供給口形成面１０１Ａに対する接着剤４００の接着面において、図３（ｄ）中の左右方向の幅をＷ１およびＷ２とした場合、幅Ｗは、幅Ｗ１またはＷ２の少なくとも一方よりも小さくなる。また接着剤４００の中間部分は、インク導入口３０１とインク供給口１０１の少なくとも一方の外側に位置する。つまり、インク導入口３０１から図３（ｄ）中の下方に延在する空間の外側、および／または、インク供給口１０１から図３（ｄ）中の上方に延在する空間の外側に、接着剤４００の中間部分が位置する。インク供給口１０１とインク導入口３０１の幅が異なる場合、接着剤４００の中間部分は、幅が小さい方のインク供給口１０１またはインク導入口３０１の外側に位置すればよい。

この結果、インク供給口１０１とインク導入口３０１との間のインク流路を充分に確保することができる。

本例においては、記録素子３００と支持部材１００との間隔を広げるために、記録素子３００を移動させた。しかし、支持部材１００を移動させてもよく、あるいは、記録素子３００と支持部材１００の両方を移動させてもよい。

次に、接着剤硬化１（ステップＳ７）において、紫外線を５秒程度照射して、接着剤４００を仮硬化させる。この仮硬化により、接着剤４００は、その形状が維持でき、かつ次工程への搬送時の振動によって記録素子３００がインク供給口１０１の周辺領域の面からずれない程度の硬さにまで、硬化される。接着剤４００を仮硬化させる方法としては、温風やハロゲンライトからの熱源を利用する方法もある。

次に、接着剤硬化２（ステップＳ８）において、先の接着剤硬化１（ステップＳ７）にて仮硬化させた接着剤４００を、１００度程度のキュア炉にて１時間加熱して完全に硬化させる。先の接着剤硬化１（ステップＳ７）において接着剤４００を硬化できる場合には、この接着剤硬化２（ステップＳ８）は不要である。

図５、図６、および図７は、貼り合せ動作２（ステップＳ６）による接着剤４００の引き伸ばしの程度を説明するための図である。

図５は、貼り合せ動作２（ステップＳ６）において、記録素子３００と支持部材１００との間隔Ｈ１を大きくせずに、その間隔をＨ１に維持した場合の説明図である。図５（ａ）は、記録素子３００の導入口形成面３０１側から、接着剤４００のはみ出し状態を撮影した結果であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）におけるＤ部分の拡大図である。接着剤４００のはみ出しにより、インク供給口１０１とインク導入口３０１との間のインク流路の幅ＸＡは、インク供給口１０１の幅Ｘよりも狭くなった。

図６は、貼り合せ動作２（ステップＳ６）において、記録素子３００と支持部材１００との間隔Ｈ１（７０μｍ）を１００μｍ程度の間隔Ｈ２まで大きくさせた場合の説明図である。図６（ａ）は、記録素子３００の導入口形成面３０１側から、接着剤４００のはみ出し状態を撮影した結果であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）におけるＤ部分の拡大図である。図５の場合よりも接着剤４００のはみ出し量は少なくなったものの、そのはみ出しにより、インク供給口１０１とインク導入口３０１との間のインク流路の幅ＸＢ（＜ＸＡ）は、インク供給口１０１の幅Ｘよりも狭くなった。

図７は、貼り合せ動作２（ステップＳ６）において、記録素子３００と支持部材１００との間隔Ｈ１（７０μｍ）を２００μｍ程度の間隔Ｈ２まで大きくさせた場合の説明図である。図７（ａ）は、記録素子３００の導入口形成面３０１Ａ側から、接着剤４００のはみ出し状態を撮影した結果であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）におけるＤ部分の拡大図である。接着剤４００のはみ出しがなくなり、インク供給口１０１とインク導入口３０１との間のインク流路の幅は、インク供給口１０１の幅Ｘよりも狭くならなかった。しかし、接着剤４００は、引き伸ばされ過ぎている状態であった。

そこで本例においては、粘度１００００ｃｐｓ程度の接着剤４００を用いて、貼り合わせ動作２（ステップＳ６）にて支持部材１００と記録素子３００との間隔Ｈ２を１５０μｍ程度とした。これにより、接着剤４００を引き伸ばし過ぎることなく、そのはみ出しを抑制することができた。

貼り合わせ動作２（ステップＳ６）において、支持部材１００と記録素子３００との間隔を大きくする程度は、接着剤４００の塗布量、特性（粘度）、および接着面（供給口形成面、導入口形成面）の表面状態に応じて、最適に設定することができる。これにより、接着剤４００のはみ出しを効果的に抑制することができる。

このように、貼り合わせ動作２（ステップＳ６）によって接着剤４００を引き伸ばしてから、その接着剤４００を硬化させることにより、接着剤４００のはみ出しを抑制して、インク供給口１０１の幅を充分に確保することができる。したがって、前述した図１０（ｂ）のような小サイズの記録素子３００を貼り付ける場合にも充分なインク流路を確保することができ、インク流路が狭まること起因するインクの供給不足、インクの吐出不良、ひいては記録品位の低下を回避することができる。また、記録ヘッドを歩留まりよく生産して、その低下価格化を実現することができる。

本発明のインクジェット記録ヘッドの構成例を説明するための分解斜視図である。 本発明によるインクジェット記録ヘッドの製造工程を説明するためのフローチャートである。 （ａ）から（ｄ）のそれぞれは、図２の製造工程中における記録素子と支持部材との接着部分の拡大断面図である。 矩形形状部分をもつ記録素子の断面図である。 接着剤のはみ出し状況の比較例を説明するための要部の裏面図である。 接着剤のはみ出し状況の他の比較例を説明するための要部の裏面図である。 接着剤のはみ出し状況のさらに他の比較例を説明するための要部の裏面図である。 インクジェット記録ヘッドの分解斜視図である。 従来のインクジェット記録ヘッドにおける接着剤のはみ出し状況を説明するための要部の拡大断面図である。 （ａ）は既存の記録素子の断面図、（ｂ）は小サイズの記録素子の断面図、（ｃ）は、（ａ）の記録素子に対応するインク供給口部分の断面図、（ｄ）は、（ｂ）の記録素子に対応するインク供給口部分の断面図である。 （ａ）は、既存サイズの記録素子を備えた従来の記録ヘッドの断面図、（ｂ）は、小サイズの記録素子を備えた従来の記録ヘッドの断面図である。

符号の説明

１００ 支持部材
１０１ インク供給口
３００ 記録素子
３０１ 記録素子の裏面部
４００ 接着剤
５００ ハンドリングユニット
Ｘ インク供給口の幅
Ｈ０ 塗布高さ
Ｈ１ 第１の間隔
Ｈ２ 第２の間隔

Claims (8)

1. インク導入口から導入したインクを吐出口から吐出可能な記録素子と、前記インク導入口にインクを供給可能なインク供給口が形成された支持部材と、が接着剤により接着されたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
   前記インク導入口が形成された前記記録素子の導入口形成面と、前記インク供給口が形成された前記支持部材の供給口形成面と、の内の少なくとも一方に前記接着剤を付与する第１工程と、
   前記第１工程の後、前記導入口形成面と前記供給口形成面とを接近させることにより、前記接着剤を介して前記導入口形成面と前記供給口形成面とを接触させる第２工程と、
   前記第２工程の後、前記導入口形成面と前記供給口形成面との対向間隔を大きくすることにより、前記導入口形成面と前記供給口形成面との間において前記接着剤を引き伸ばす第３工程と、
   前記第３工程の後、前記導入口形成面と前記供給口形成面との間において引き伸ばされた前記接着剤を硬化させる第４工程と、
   を含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
2. 前記第２工程は、前記導入口形成面と前記供給口形成面との間において前記接着剤を所定量押し潰すことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
3. 前記第３工程は、前記導入口形成面と前記供給口形成面との間に位置する前記接着剤の中間部分の幅が、前記導入口形成面と前記供給口形成面の少なくとも一方に対する前記接着剤の接着面の幅よりも小さくなるまで、前記接着剤を引き伸ばすことを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
4. 前記第３工程は、前記導入口形成面と前記供給口形成面との間に位置する前記接着剤の中間部分が、前記インク導入口と前記インク供給口の少なくとも一方の外側に位置するまで、前記接着剤を引き伸ばすことを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
5. 前記インク導入口は前記導入口形成面に複数形成され、前記インク供給口は前記供給口形成面に複数形成され、
   前記第１工程は、前記複数のインク導入口のそれぞれを囲む前記導入口形成面上の部分と、前記複数のインク供給口のそれぞれを囲む前記供給口形成面上の部分と、の内の少なくとも一方に前記接着剤を付与する
   ことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
6. 前記第４工程は、前記接着剤を仮硬化させる工程を含むことを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
7. インク導入口から導入したインクを吐出口から吐出可能な記録素子と、前記インク導入口にインクを供給可能なインク供給口が形成された支持部材と、が接着剤により接着されたインクジェット記録ヘッドにおいて、
   前記インク導入口が形成された前記記録素子の導入口形成面と、前記インク供給口が形成された前記支持部材の供給口形成面と、が前記接着剤により接着され、
   前記導入口形成面と前記供給口形成面との間に位置する前記接着剤の中間部分の幅は、前記導入口形成面と前記供給口形成面の少なくとも一方に対する前記接着剤の接着面の幅よりも小さい
   ことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
8. インク導入口から導入したインクを吐出口から吐出可能な記録素子と、前記インク導入口にインクを供給可能なインク供給口が形成された支持部材と、が接着剤により接着されたインクジェット記録ヘッドにおいて、
   前記インク導入口が形成された前記記録素子の導入口形成面と、前記インク供給口が形成された前記支持部材の供給口形成面と、が前記接着剤により接着され、
   前記導入口形成面と前記供給口形成面との間に位置する前記接着剤の中間部分は、前記インク導入口と前記インク供給口の少なくとも一方の外側に位置する
   ことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。

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