JP2007232134A - 多連エアアクチュエータ及び多連エアアクチュエータを有する磁気ヘッド研磨装置 - Google Patents

Abstract

【課題】押圧スライダの応答性、リニアリティを向上させ動作精度を高めた多連エアアクチュエータ及び研磨精度を高めた多連アクチュエータを有する磁気ヘッド研磨装置を提供する。
【解決手段】矩形状の天板及び前記天板の周縁から下向きに延びる周壁を有する筐体と、天板及び周壁により画成される内部空間を、並列に配置される複数の矩形状シリンダ室に仕切る仕切り板と、複数のシリンダ室内の各々に収容され、前記シリンダ室内を移動可能な複数の矩形状の押圧スライダと、複数のシリンダ室の内面若しくは前記押圧部材の外面に配置されるエア噴出部材を備え、供給される気体を前記エア噴出部材から噴出することにより押圧スライダをシリンダ室内で非接触に支持する多連エアアクチュエータ及びそれを備える磁気ヘッド研磨装置。
【選択図】図２

Description

本発明は、磁気記録装置等に用いられる磁気ヘッドスライダが複数連結された被研磨物を研磨するための磁気ヘッド研磨装置及びその多連エアアクチュエータに関する。

従来より、磁気ヘッドの製造工程において、複数の磁気ヘッド素子（ＭＲ（Ｍａｇｎｅｔｏ Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）膜と呼ばれる。）が表面上に一列に形成されてなるローバーの被研磨面（いわゆるエアベアリング面）に対していわゆるＲＬＧ（Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ Ｌａｐｐｉｎｇ Ｇｕｉｄｅ）研磨が行われている。ＲＬＧ研磨は、スライダのスロートハイトあるいはＭＲハイト等が適切な値になるように、ＭＲ膜の抵抗特性をダミー抵抗を用いて測定しながら行われる。

研磨される対象であるローバーとは、セラミック材料からなるウエハの表面に、磁気ヘッド素子を複数形成したものを、ダイシング工程において所定の幅で切断して得られた個々の棒状部材である。

ＲＬＧ研磨では、ローバーの被研磨面に対向する面に剛体からなる治具を固定し、研磨用定盤の上方に配置される研磨ヘッドの下面に、治具に固定されたローバーを固定する。

研磨剤（スラリー）を一様に塗布した定盤の上面に研磨ヘッドを降下させ、ローバーの被研磨面を接触させる。この後、定盤を回転させ、ローバーを構成する各スライダに、押圧部材からの圧力を作用させることで、ローバーを所定の厚さ、表面粗さ、及び所定の形状に研磨する（例えば、特許文献１〜４参照。）。

以下に、従来の磁気ヘッド研磨装置について説明する。図１０は、従来の磁気ヘッド研磨装置の研磨ヘッドの縦断面図である。

図１０に示されるように、研磨ヘッド３１５は、ローバー３１７を保持するラバー３１９と、ラバー３１９が先端に貼付され、上下動可能な押圧スライダ３３１と、押圧スライダ３３１を駆動するエアアクチュエータと、を備える。

エアアクチュエータは、不図示の電空レギュレータで制御されるエアを、継手３２６を介してマニホールドシリンダ３２７内に導入し、マニホールドシリンダ２３７内に保持された断面環状のピストン３３７を駆動する。ピストン３３７の駆動に応じて、板状の押圧スライダ３３１が不図示の研磨面に対して上下方向に往復運動する。

また、押圧スライダ３３１に必要な移動量を提供しうるピストン３３７の大きさ、特にピストン３３７の直径は、現状においては、各素子（スライダ）に割り当てられるローバー上の領域の大きさと比較して、かなり大きいものとなる。このため、ピストン３３７を３列に並設し、隣り合う押圧スライダ３３１を駆動するピストン３３７は、順次異なる列に配置（千鳥配置）することとし、押圧スライダ３３１各々に対して別個のピストン３３７を対応させている。

特開２００２−６６８９３号公報 特開２００２−１５７７２３号公報 特許第２９３５９１６号公報 特開２００４−０１１７８９号公報

近年、ますます磁気ヘッドに使用されるスライダの小型化が進んできている。スライダの微小化に伴い研磨精度を高める必要がある。研磨精度を向上させるためには、対象物を押圧する押圧部材の摺動抵抗等を抑え、押圧動作の応答性や、押圧部材による負荷のリニアリティを高めることが必要である。

また、スライダの微小化に伴い、ローバーを構成する各スライダの配列ピッチもますます狭くなっている。従来のアクチュエータのシリンダの断面形状は通常円形であるため、アクチュエータの推力を確保しようとすると、ある程度の寸法が必要となる。よって、ピストンを直線状に配置することは難しく、千鳥状に配置しなければならなかった。結果として、押圧部材であるピストンへの荷重点がオフセットされ、押圧部材の摺動部分のかじりやこじれなどが発生する恐れがあり、前述の応答性やリニアリティを更に向上させることが困難であった。

そこで、本発明は、複数の押圧スライダに対する荷重点を直線状に配列できるとともに、押圧スライダの応答性、リニアリティを向上させ動作精度を高めた多連エアアクチュエータ及び研磨精度を高めた多連アクチュエータを有する磁気ヘッド研磨装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するための本発明の多連エアアクチュエータの第１の態様は、矩形状の天板及び前記天板の周縁から下向きに延びる周壁を有する筐体と、前記天板及び前記周壁により画成される内部空間を、並列に配置される複数の矩形状シリンダ室に仕切る仕切り板と、前記複数のシリンダ室内の各々に収容され、前記シリンダ室内を昇降可能な複数の矩形状の押圧スライダと、前記複数のシリンダ室の内面若しくは前記押圧部材の外面に配置されるエア噴出部材と、を備え、前記天板若しくは周壁は、前記エア噴出部材に連通するエアベアリング形成ポートを有し、前記エアベアリング形成ポートを介して供給される気体を前記エア噴出部材から噴出することにより前記押圧スライダを前記シリンダ室内で非接触に支持する。

本発明の多連エアアクチュエータの第２の態様によれば、前記エア噴出部材は、多孔質体から構成されている。なお、多孔質体としては、部材の全体に亘って一様な細孔が形成され、また粉塵などを発生せず、かつ酸化などしない安定した材料で作るのが好ましく、ポーラスなセラミックが適する。ポーラスなセラミック以外には、銅などの金属の粉体を燒結したものやポリテトラフルオロエチレンなどの合成樹脂等も使用できる。

本発明の多連エアアクチュエータの第３の態様によれば、前記複数の押圧スライダに作用する荷重の複数の荷重点が、直線状に配置されている。

本発明の多連エアアクチュエータの第４の態様によれば、前記天板若しくは前記周壁は、前記押圧スライダに作用し前記押圧スライダを降下させるエアを供給するための、前記シリンダ室に連通する第１推力用ポートを備える。

本発明の多連エアアクチュエータの第５の態様によれば、前記シリンダ室内に、前記押圧スライダに作用し前記押圧スライダを天板側に移動させる付勢力を付与するための機構を備える。

本発明の多連エアアクチュエータの第６の態様によれば、前記機構は、前記押圧スライダに作用し前記押圧スライダを天板側に移動させるエアを供給するための、前記シリンダ室に連通する第２推力用ポートを備える。

本発明の多連エアアクチュエータの第７の態様によれば、前記機構は、前記押圧スライダに作用し前記押圧スライダを天板側に移動させる弾性力を付与するための弾性部材を備える。

上記課題を解決するための本発明の磁気ヘッド研磨装置の第１の態様は、回転可能な研磨面を有する研磨用定盤と、前記研磨面を回転させる回転駆動手段と、前記研磨面に対して移動可能に配置され、前記被研磨物を前記研磨面に対して押圧し前記被研磨物を研磨する研磨ヘッドと、を備え、前記研磨ヘッドは、弾性を有し、前記被研磨物を表面に保持する保持部と、前記保持部を介して前記被研磨物を押圧する第１〜第７の何れかの多連エアアクチュエータを有する。

本発明の磁気ヘッド研磨装置の第２の態様によれば、前記研磨ヘッドは、さらに前記保持部を固定する保持部固定部を有し、前記押圧スライダが押圧する前記保持部の押圧領域以外の領域で、前記保持部が前記保持部固定部に固定されている。

本発明の多連エアアクチュエータ及び多連エアアクチュエータを有する磁気ヘッド研磨装置によれば、矩形状の押圧スライダを採用しているので、同じピッチで配置すると仮定すると、断面が円形のピストンと比べ、断面が矩形状の押圧スライダでは大きな推力を得ることができる。結果として、狭ピッチで押圧シリンダを配置することができる。さらに、押圧スライダの荷重点を一直線状に配置できるので、押圧スライダの摺動部分にかじりやこじれ等が発生するのを防止でき、応答性、リニアリティを向上できるので、研磨精度を高めることができる。

以下、本発明による多連エアアクチュエータ及び多連シリンダアクチュエータを有するヘッド研磨装置の実施形態について図面を参照しつつ説明する。

（実施形態）
図１（ａ）は本発明の実施形態の磁気ヘッド研磨装置の全体を示す正面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）の平面図である。図１（ａ）及び図１（ｂ）により、磁気ヘッド研磨装置の全体構成を説明する。

磁気ヘッド研磨装置は、基台１を備え、この基台１には、研磨用定盤３が水平面内で回転可能に支持され、さらに、この研磨用定盤３は基台１内に設けられた回転駆動源である定盤駆動用モータ５でベルト７を介して回転駆動される。研磨用定盤３が備える研磨面３ａは、研磨工程によって被研磨面上に所定のＲ形状（クラウン形状）を与えるべく、所定の曲率半径を有する曲面を構成する凹面状のすり鉢形状である。

また、図１（ａ）中、上下方向に離間した１対のガイドレール９が基台１の上方で水平方向に延び、さらに、横移動スライダ１１（図１（ｂ）参照。）が、ガイドレール９に摺動自在に装着され、ガイドレール９に沿って水平方向に移動できる。横移動スライダ１１の移動は、例えばガイドレール９に平行なボール螺子軸にスライダ１１側のボール螺子ナットを螺合し、ボール螺子軸をモータで回転駆動することで実行できる。さらに、横移動スライダ１１には、研磨ヘッド取付用フレーム１３が装着されている。

このように、横移動スライダ１１及び研磨ヘッド取付用フレーム１３は水平方向の往復直線運動を行うことができる。

さらに、研磨ヘッド取付用フレーム１３には、研磨ヘッド保持プレート２５（図２参照。）を介して後述する研磨ヘッド１５が装着されている。

図１中の右側上方には、磁気ヘッド研磨装置の全体の制御を司る、例えばコンピュータよりなる制御部６が設けられている。この制御部６は、作業者が、不図示のスイッチを操作すると、研磨工程のための諸制御を開始するようになっている。すなわち、磁気ヘッド研磨装置が備えるモータ、後述のバルブコントロール等の駆動部に対して駆動信号を送り研磨作業を行うように構成されている。

以下に被研磨物を研磨面に対して押し付けるための研磨ヘッドについて説明するが、研磨ヘッドを備える磁気ヘッド研磨装置のその他の構成については、本願出願人による特許文献１、２等に記載されているものと同様であるので、詳細は割愛する。

図２は、図１の研磨ヘッド（ＩＩ部）の拡大図である。図３は、図２の側面図である。

図２、３に示されるように、研磨ヘッド１５は、内部に後述する多連エアアクチュエータを有するヘッド本体２２と、ヘッド本体２２内部から下方へ突出する板状の押圧スライダ３１と、を備える。また図４、５で示されるようにヘッド本体２２の筐体２４は、矩形状の天板４３と、天板４３の周縁部から下方に延在する前板４５、後板４７、一対の側板４９、５１からなり、下面が開放するほぼ直方体形状の内部空間を有する。ヘッド本体２２の前板４５が第２支持プレート３０に支持され、ヘッド本体の後板４７が第１支持プレート２９に支持され、第１支持プレート２９は研磨ヘッド保持プレート２５に固定されている。

ヘッド本体２２の天板４３には、ヘッド本体内部のシリンダ室に連通するエアベアリング形成ポート３３と、第１推力用ポート３５が、それぞれ一列に配置されている。また、ヘッド本体２２の前板４５、後板４７には、同じくヘッド本体内部のシリンダ室に連通する第２推力用ポート３７、４１がそれぞれ千鳥に配置されている。さらに、エアベアリング形成ポート３４が側板５１に設けられている。なお、それぞれのポートは、エア供給管８０によりエア源８１に接続され、エア（圧縮空気）をシリンダ室内へ供給できる構成となっている。また、各ポート３３、３４、３５、３７、３９とエア源８１とを結ぶエア供給管にはバルブｖが介在しており、バルブｖを開閉することで各ポートへのエア供給を開始若しくは停止する。なお、各バルブｖは、バルブコントロールユニットからのバルブ駆動信号に応じて開閉を行う。さらに、バルブコントロールユニットは、制御部に接続されており、使用者が適宜制御できるようになっている。なお、図２において、図面の明瞭化のため一のポートのみが、途中にバルブｖを備えるエア供給管８０を介してエア源８１に連結され、バルブｖはバルブコントロールユニットに接続されていることを示しているが、他のポートも同様の構成である。

また、ヘッド本体２２の下面からは、一列に配置された複数の押圧スライダ３１が昇降可能に突出している。さらに、押圧スライダ２１の下面には、接着層２１を介して被研磨物１７を保持するための保持部材である、矩形状のラバー部材１９が貼付されている。

次にヘッド本体２２内部に設けられたエアベアリングについて説明する。図４は、図２のＩＶ−ＩＶに沿った断面図である。図５は、図４のヘッド本体の線Ｖ−Ｖに沿った断面図である。図６は、ヘッド本体の底面図である。

図４に示されるように、前板４５及び後板４７の内面には、板状の多孔質体のセラミック板であるエア噴出部材５３、５５が固定されている。そして、側板４９、５１の内面にも、多孔質体である板状のエア噴出部材５７、５９が貼付されている。さらに、内部空間は、複数の仕切り板６１により仕切られ、複数の区画が並列に形成さている。仕切り板６１は、多孔質体であるセラミックからなる板である。側板４９、５１、前板４５、後板４７、と仕切り板６１によって画成される各空間のそれぞれがシリンダ室６３として機能する。各シリンダ室６３内には、ピストンとロッドとしての機能を有する矩形状の薄板部材である押圧スライダ３１が上下方向に移動可能に配置されている。このように、押圧スライダ３１を取り囲むようにエア噴出部材が収容されエア噴出部材からエアを噴出させるエアベアリングを構成する。

押圧スライダ３１の幅寸法（図４の左右方向の長さ）は、前板４５及び後板４７のエア噴出部材５３、５５間の距離より若干短く寸法付けされている。押圧スライダ３１の縦方向長さ（図４の上下方向の長さ）は、シリンダ室６３からヘッド本体の開口を介して外部へ突出するような長さである。押圧スライダ３１の厚さ（図５の左右方向寸法）は、エア噴出部材間の幅より若干小さく寸法付けされている。さらに押圧スライダ３１の上部には、図４における左右端部に凹部が設けられ、エア受け部６５、６７を構成している。エア受け部６５、６７のそれぞれは、水平方向に延びる水平面であるエア受け面（６７ａ）を備える。

また、押圧スライダ３１の中央部の両側部にも凹部が設けられ、押圧スライダの推力用エアを受けるための推力エア受け部６９、７１とを備える。推力エア受け部６９、７１のそれぞれは、水平に延びるエア受け面（７１ａ）を備える。

シリンダ室６３は、ヘッド本体の長手方向（図５の左右方向）で等間隔のピッチＰで設けられている。従って、押圧スライダ３１も同じピッチで配列されることとなる。

また、押圧スライダ３１の下部には、突起７３が設けられている。押圧スライダ３１が下方向に移動すると、この突起７３が、ラバー１９を介して研磨面３ａにローバー１７を押圧する（図１参照）。

前板４５及びエア噴出部材５３には、前述のエア受け部６９に連通する位置で図４中の左右方向に貫通する貫通孔７５が設けられている。同様に、後板４７及びエア噴出部材５５にはエア受け部７１に連通する貫通孔７７が設けられている。

さらに、天板４３に設けられたエアべアリング形成ポート３３は、エア噴出部材５３の端面部に開口している。よって、エアベアリング形成ポート３３から導入されたエアは、エア噴出部材５３を経由して各エア噴出部材５５、５７、５９、６１からシリンダ室内に吐出される。

推力用ポート３５は、エア受け部６７に開口するように配置されている。従って、エアが推進力用ポート３５を介してシリンダ室内に供給されると、エア圧受け部６７のエア受け面６７ａで下方への押圧力を受け、押圧スライダ３１が下降を開始する（天板４３から離れる方向に移動する）。

なお、押圧スライダ３１の移動範囲は、上下方向に関してはストッパ８３、８５により規制される。さらにストッパ８３、８５にはＬ字穴８７、８９が、エア受け部の上方に向かって開けられ、前記貫通穴７５、７７に連通するようにエア噴出部材５３、５５に固定されている。ストッパ８３、８５は各エア噴出部材と同じ材質で作られており、エア受け部６９、７１を画成するストッパの上面８５ａ、内面８５ｂにおいて、推力用ポート４１から供給されるエアのシールの役目を果たす。また、各押圧スライダ３１は制御部６からの駆動信号に基づきそれぞれ独立して駆動される。

上記構成の磁気ヘッド研磨装置による研磨方法について説明する。まず、ラバー１９の表面の所定領域にローバー１７を保持させる。具体的には、治具を用いてローバー１７をラバー１９に押し付ける。ラバー１９は、その下面（図３の上下方向における下側の面）において、ローバー１７を、自己粘着作用あるいは一種の真空吸着作用によって保持する。

次に、制御部６は、不図示のモータを駆動し、横移動スライダ１１を動かし、研磨ヘッド１５を、研磨面３ａ上まで水平移動させる。次に、制御部６は、定盤駆動用モータ５を駆動して、研磨面３ａを所定の回転速度で回転させる。

制御部６は、さらに、不図示の昇降駆動モータを駆動させて、研磨面３ａとローバー１７との間に僅かな隙間をあけた位置関係まで研磨ヘッド１５を降下させる。

そして、制御部６は、エア噴出部材５３、５５、５７、５９にエアを供給し、バルブｖを開きエアベアリング形成ポート３３からエアを供給する。エア噴出部材からエアが噴き出すことにより、押圧スライダの周囲に薄い空気層が形成される。次に所定の押圧スライダ３１を所定量だけ移動すべく、所定量のエアをシリンダ室内に推力用ポート３５から供給する。エアが供給された押圧スライダ３１により、ラバー１９を介してローバー１７の所定部位を研磨面３ａに押圧する。

上述の構成において、ラバー１９の表面に保持されるローバー１７は、押圧スライダ３１からの押圧力により研磨面３ａに押しつけられクラウン加工が行われる。加工時においては、複数の押圧スライダ３１各々を駆動してローバー１７に変形を与えることにより、ローバー１７の特定部分を変形させる。すなわち、ローバー１７の特定部分を強く研磨面３ａに押しつけることで、ローバー１７の特定部分の研磨量を大きくすることが可能となる。

なお、押圧スライダ３１を退避（天板４３側に移動）させるためには、推力用ポート３７、４１から、エアを供給する。

上記図４〜６のアクチュエータは、複動方式であり、往復運動の両方の工程において、エアを用いて駆動した。しかし本発明はこの構成に限定されるものではない。すなわち、単動方式であってもよい。図７は、単動方式のヘッド本体についての図４と同様の断面図である。

図７は、押圧スライダ１３１の中央の両側部に設けられている凹部１６９、１７０内に配置されたストッパ１８３、１８５の上面のそれぞれに板ばね１７３、１７５が図の上下方向に伸縮自在に配置されている。従って、押圧スライダ１３１に対して推力用ポート１３５を介してシリンダ室内にエアが供給されると、板ばね１７３、１７５の復元力に抗して、押圧スライダ１３１が下方に移動する。一方、推力ポート１３５からエアを供給しない状態では、バネの復元力のみが働き、押圧スライダ１３１が初期の位置に戻る。よって、エアを供給することで、押圧スライダ１３１が降下した位置から、初期位置（押圧スライダの上面が天板１４３に当接した状態）になる。

なお、押圧スライダを初期位置に戻す機構として、上記のようにエアやバネを用いる構成を例示したが、押圧スライダを初期位置に戻すための付勢力を付与できる機構であれば、上記構成に限定されることはない。

（研磨ヘッドの変形例）
以下に、研磨ヘッドの変形例について説明する。上述の実施形態のおける研磨ヘッドでは、押圧スライダの先端部に接着剤によりラバーを固定した構成であった。発明者等が鋭意研究をしたところ、スライダの先端部とラバーの間に介在する接着剤により押圧力の減衰にばらつきが生じ、押圧スライダの応答性やリニアリティに影響し、研磨精度の更なる向上が困難であるという知見を得た。そこで、研磨精度を高めるため接着剤の影響を受けない構成とした。

図８は、研磨ヘッドの変形例の正面図であり、図９は、図８の研磨ヘッドの側面図である。図８、９の研磨ヘッドの構成の多くは、図２、３に示した研磨ヘッドの構成と共通するので、異なる部分ついてのみ説明する。

ラバー２１９は、押圧スライダ２３１の先端部２７１が当接するラバー２１９の押圧領域以外の領域で、接着剤により固定されている。具体的には、ラバー２１９の短手方向における両端部のそれぞれで、第１フレーム部材２３０、第２フレーム部材２２９に接着剤で固定されている。

上記構成の研磨ヘッドの変形例を用いて、研磨作業を行う場合には、所定のシリンダ内に推力用ポートからエアが供給されると、そのシリンダ内の押圧スライダが降下する。そして、押圧スライダ２３１は、ラバー２１９を介してローバーの所定部位を研磨面に押圧することになる。

このように、押圧スライダとラバーの間には、接着剤層が介在しないので、押圧スライダからの押圧力が接着剤により干渉を受けることがない。よって、リニアリティや応答性を向上することができる。

なお、変形例においては、ラバーは支持フレーム部材に接着剤を用いて接着したが、真空源に連通する吸引口を支持フレーム部材に設け、真空吸引によりラバーを保持することも可能である。

また、本実施の形態では、ラバー１９は一部品からなる構成としたが、その材質の剛性やローバーに対する粘着作用等に応じて変更でき、ラバーがローバーに当接する押圧領域には、吸着性能に優れた材料を用い、ホルダーに固定される部分には、剛性の高い材料を用いても良い。

さらに、本実施形態や変形例では、ヘッド本体の内面に、多孔質体からなるエア噴出部材を配置し、仕切りパネルを多孔質体を用いる構成を採用したが、この構成に限定されることなく、押圧スライダの周囲に多孔質体を配置し、押圧スライダの周囲に気体層を形成し、エアベアリングを形成できる構成であれば良いことは言うまでもない。例えば、押圧スライダの外面に多孔質体を形成する構成としてもよい。

上記エアベアリング式エアシリンダを採用し、押圧スライダとシリンダ室の内面との間に空気層を設けることにより、前述した実施形態のエアシリンダに比べ、摺動抵抗を格段に低減でき、動作精度を高めることができる。さらに、エアベアリングは、シールとしても機能するため、押圧スライダとシリンダ室の間に介在するシール部材や、従来必要であったロッドとの間の摩擦抵抗や、ロッドとブッシュ（すべり軸受）との間の摩擦抵抗を削減できる。

以上、実施形態においては、研磨量の制御については特に述べていないが、本願出願人が特願平１１−３０２３０５に開示するように、各素子の例えばＭＲ値等を順次測定しながら研磨を行うクローズドループによる研磨量の制御を行っても良い。さらに、上記実施形態においては、ローバーに対してクラウン加工を施す際の研磨装置について述べているが、本発明はこれらに限定されるものではなく、例えば、研磨面３ａを平坦な面とし、当該研磨装置をスロートハイトの調節等に用いても良い。

本実施形態及び実施例においては、弾性部材の代表例としてラバーを挙げたが、弾性を有するものであれば、樹脂材料なども利用できる。

この発明は、その本質的特性から逸脱することなく数多くの形式のものとして具体化することができる。よって、上述した実施形態は専ら説明上のものであり、本発明を制限するものではないことは言うまでもない。

（ａ）は本発明の実施形態の磁気ヘッドの研磨装置の全体を示す正面図であり、（ｂ）は（ａ）の平面図である。 図１の研磨ヘッド（ＩＩＩ部）の拡大図である。 図２の側面図である。 図２のＩＶ−ＩＶに沿った断面図である。 図４のヘッド本体の線Ｖ−Ｖに沿った断面図である。 ヘッド本体を底面図である。 単動方式のヘッド本体の断面図である。 研磨ヘッドの変形例の正面図である。 図８の研磨ヘッドの側面図である。 従来の磁気ヘッド研磨装置の研磨ヘッドの縦断面図である。

符号の説明

１ 基台
３ 研磨用定盤
３ａ 研磨面
５ 定盤駆動用モータ
１１ ホルダ
１５ 押圧ヘッド
３１ 押圧スライダ
１７ ローバー
１９ ラバー

Claims (9)

1. 矩形状の天板及び前記天板の周縁から下向きに延びる周壁を有する筐体と、
   前記天板及び前記周壁により画成される内部空間を、並列に配置される複数の矩形状シリンダ室に仕切る仕切り板と、
   前記複数のシリンダ室内の各々に収容され、前記シリンダ室内を移動可能な複数の矩形状の押圧スライダと、
   前記複数のシリンダ室の内面若しくは前記押圧部材の外面に配置されるエア噴出部材と、を備え、
   前記天板若しくは周壁は、前記エア噴出部材に連通するエアベアリング形成ポートを有し、前記エアベアリング形成ポートを介して供給される気体を前記エア噴出部材から噴出することにより前記押圧スライダを前記シリンダ室内で非接触に支持する多連エアアクチュエータ。
2. 前記エア噴出部材は、多孔質体から構成されている請求項１に記載の多連エアアクチュエータ。
3. 前記複数の押圧スライダに作用する荷重の複数の荷重点が、直線状に配置されている請求項１又は２に記載の多連エアアクチュエータ。
4. 前記天板若しくは前記周壁は、前記押圧スライダに作用し前記押圧スライダを降下させるエアを供給するための、前記シリンダ室に連通する第１推力用ポートを備える請求項１乃至３のいずれか一項に記載の多連エアアクチュエータ。
5. 前記シリンダ室内に、前記押圧スライダに作用し前記押圧スライダを天板側に移動させる付勢力を付与するための機構を備える請求項１乃至４のいずれか一項に記載の多連エアアクチュエータ。
6. 前記機構は、前記押圧スライダに作用し前記押圧スライダを天板側に移動させるエアを供給するための、前記シリンダ室に連通する第２推力用ポートを備える請求項５に記載の多連エアアクチュエータ。
7. 前記機構は、前記押圧スライダに作用し前記押圧スライダを天板側に移動させる弾性力を付与するための弾性部材を備える請求項５に記載の多連エアアクチュエータ。
8. 電気−磁気変換素子及び磁気−電気変換素子の少なくとも一方からなる素子が複数形成された被研磨物を研磨する磁気ヘッド研磨装置であって、
   回転可能な研磨面を有する研磨用定盤と、前記研磨面を回転させる回転駆動手段と、前記研磨面に対して移動可能に配置され、前記被研磨物を前記研磨面に対して押圧し前記被研磨物を研磨する研磨ヘッドと、を備え、
   前記研磨ヘッドは、弾性を有し、前記被研磨物を表面に保持する保持部と、前記保持部を介して前記被研磨物を押圧する請求項１〜７のいずれか一項に記載の多連エアアクチュエータを有する磁気ヘッド研磨装置。
9. 前記研磨ヘッドは、さらに前記保持部を固定する保持部固定部を有し、前記押圧スライダが押圧する前記保持部の押圧領域以外の領域で、前記保持部が前記保持部固定部に固定されている請求項８に記載の磁気ヘッド研磨装置。
   

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