JP2007032754A - エアベアリングシリンダ及びマニホールドシリンダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マニホールドシリンダ10は軸方向の推力を生じさせるロッド11を非接触で支持する静圧軸受構造を用いて構成されており、その静圧軸受構造を構成する軸受部材31に一対のOリング36,37が周方向に環状に装着される。この場合、軸受部材31の両端部には環状にそれぞれテーパ面31b,31cが形成されており、それらテーパ面31b,31cとロッド収容孔21の大径孔部21aの内周面との間において押圧変形させた状態でOリング36,37が配設されている。
【選択図】 図5
Description
前記軸受部材の両端部にそれぞれ前記軸受装着部の壁面に対向するようにしてテーパ面(テーパ面31b,31c)を形成するとともに、それらテーパ面と前記軸受装着部の壁面との間において押圧変形させた状態で一対の弾性シール部材(Oリング36,37)を配設したことを特徴とするエアベアリングシリンダ。
前記軸受部材の両端部にそれぞれ前記軸受装着部の壁面に対向するようにしてテーパ面(テーパ面31b,31c)を形成するとともに、それらテーパ面と前記軸受装着部の壁面との間において押圧変形させた状態で一対の弾性シール部材(Oリング36,37)を配設したことを特徴とするマニホールドシリンダ。
Claims (16)
- シリンダ本体に設けた軸受装着部に軸受部材を装着し、該軸受部材の周面に前記シリンダ本体に設けた気体供給通路から加圧気体を供給して前記軸受部材のロッド支持面に気体膜を形成し、該気体膜にてロッドを非接触で支持する静圧軸受構造を備えるものであり、前記ロッドに設けられる受圧面に制御気体の圧力を作用させて該ロッドに軸方向の推力を付与するエアベアリングシリンダであって、
前記軸受部材の両端部にそれぞれ前記軸受装着部の壁面に対向するようにしてテーパ面を形成するとともに、それらテーパ面と前記軸受装着部の壁面との間において押圧変形させた状態で一対の弾性シール部材を配設したことを特徴とするエアベアリングシリンダ。 - 前記シリンダ本体に、直径が大小異なる大径孔部と小径孔部とを有するシリンダ孔を形成し、そのうち大径孔部を前記シリンダ本体の端面に開口させるとともに、該大径孔部を前記軸受装着部として前記軸受部材を装着したことを特徴とする請求項1に記載のエアベアリングシリンダ。
- 前記軸受装着部に、前記軸受部材を挟むようにして一対の押さえ部材を設けたことを特徴とする請求項1又は2に記載のエアベアリングシリンダ。
- 前記弾性シール部材を、前記軸受部材のテーパ面と前記軸受装着部の壁面と前記押さえ部材とにより押圧された状態で保持する構成としたことを特徴とする請求項3に記載のエアベアリングシリンダ。
- 前記軸受部材を多孔質体にて構成したことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のエアベアリングシリンダ。
- 前記軸受部材のテーパ面を環状に形成するとともに、該テーパ面にリング形状の弾性シール部材を設けたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のエアベアリングシリンダ。
- シリンダ本体に設けた複数の軸受装着部に軸受部材をそれぞれ装着し、これら各軸受部材の周面に前記シリンダ本体に設けた気体供給通路から加圧気体を供給して前記軸受部材のロッド支持面に気体膜を形成し、該気体膜にてロッドを非接触で支持する静圧軸受構造を備えるものであり、前記ロッドに設けられる受圧面に制御気体の圧力を作用させて各ロッドに軸方向の推力を付与するマニホールドシリンダであって、
前記軸受部材の両端部にそれぞれ前記軸受装着部の壁面に対向するようにしてテーパ面を形成するとともに、それらテーパ面と前記軸受装着部の壁面との間において押圧変形させた状態で一対の弾性シール部材を配設したことを特徴とするマニホールドシリンダ。 - 前記シリンダ本体に、直径が大小異なる大径孔部と小径孔部とを有する複数のシリンダ孔を形成し、それら各シリンダ孔の大径孔部を前記シリンダ本体の端面に開口させるとともに、該大径孔部を前記軸受装着部として前記軸受部材を装着したことを特徴とする請求項7に記載のマニホールドシリンダ。
- 前記軸受装着部に、前記軸受部材を挟むようにして一対の押さえ部材を設けたことを特徴とする請求項7又は8に記載のマニホールドシリンダ。
- 前記弾性シール部材を、前記軸受部材のテーパ面と前記軸受装着部の壁面と前記押さえ部材とにより押圧された状態で保持する構成としたことを特徴とする請求項9に記載のマニホールドシリンダ。
- 前記シリンダ本体において、前記複数の軸受装着部を所定方向に直線状に並べかつそれが複数列となるように整列させて設けたことを特徴とする請求項7乃至10のいずれかに記載のマニホールドシリンダ。
- 前記軸受装着部を直線状に並べた各列において、同列上で隣り合う軸受装着部の間部分に、隣接する列の軸受装着部を配置したことを特徴とする請求項11に記載のマニホールドシリンダ。
- 前記シリンダ本体において、前記複数の軸受装着部を比較的近い位置に集約配置するのに対し、前記ロッドの受圧面に対して制御気体の供給及び排出を行うための気体給排ポートを分散配置したことを特徴とする請求項7乃至12のいずれかに記載のマニホールドシリンダ。
- 前記シリンダ本体を、前記軸受装着部を設けた第1構成体と、前記ロッドの受圧面に対して制御気体の供給及び排出を行うための制御気体給排経路を設けた第2構成体とを有する構成とし、それら各構成体を、別体で分離可能に設けたことを特徴とする請求項7乃至13のいずれかに記載のマニホールドシリンダ。
- 前記軸受部材を多孔質体にて構成したことを特徴とする請求項7乃至14のいずれかに記載のマニホールドシリンダ。
- 前記軸受部材のテーパ面を環状に形成するとともに、該テーパ面にリング形状の弾性シール部材を設けたことを特徴とする請求項7乃至15のいずれかに記載のマニホールドシリンダ。
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