JP4824359B2 - エアベアリングシリンダ及びマニホールドシリンダ - Google Patents
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前記軸受部材の両端部にそれぞれ前記軸受装着部の壁面に対向するようにしてテーパ面(テーパ面31b,31c)を形成するとともに、それらテーパ面と前記軸受装着部の壁面との間において押圧変形させた状態で一対の弾性シール部材(Oリング36,37)を配設したことを特徴とするエアベアリングシリンダ。
前記軸受部材の両端部にそれぞれ前記軸受装着部の壁面に対向するようにしてテーパ面(テーパ面31b,31c)を形成するとともに、それらテーパ面と前記軸受装着部の壁面との間において押圧変形させた状態で一対の弾性シール部材(Oリング36,37)を配設したことを特徴とするマニホールドシリンダ。
Claims (8)
- シリンダ本体に設けた軸受装着部に軸受部材を装着し、該軸受部材の周面に前記シリンダ本体に設けた気体供給通路から加圧気体を供給して前記軸受部材のロッド支持面に気体膜を形成し、該気体膜にてロッドを非接触で支持する静圧軸受構造を備えるものであり、前記シリンダ本体に設けられたシリンダ室において前記ロッドの受圧面に制御気体の圧力を作用させて該ロッドに軸方向の推力を付与するエアベアリングシリンダであって、
前記シリンダ本体は、第1ハウジングと、該第1ハウジングの一側面に当接した状態で装着される第2ハウジングとを有し、これら第1ハウジング及び第2ハウジングには、前記ロッドをその軸方向に移動可能に収容する第1収容孔及び第2収容孔がそれぞれ形成されており、
前記第1収容孔は、大径孔部と、それよりも小径の小径孔部と、これら両孔部の間に形成された段差部とを有し、
前記大径孔部は、前記第1ハウジングにおいて前記第2ハウジング装着側の端面に開口し、前記軸受部材がその軸方向一方から挿入されて装着されて前記軸受装着部とされ、前記小径孔部は、前記受圧面を有するロッド基端部が収容されて前記シリンダ室とされており、
前記軸受部材の両端部には、それぞれ前記大径孔部の壁面に対向するようにしてテーパ面が形成され、
前記大径孔部において、前記軸受部材を挟んで両端側に、前記段差部及び前記第2ハウジングの端面にそれぞれ当接した状態で押さえ部材がそれぞれ設けられており、前記各押さえ部材と前記軸受部材の各テーパ面と前記大径孔部の内周面とにより押圧変形させた状態で弾性シール部材が設けられていることを特徴とするエアベアリングシリンダ。 - 前記軸受部材を多孔質体にて構成したことを特徴とする請求項1に記載のエアベアリングシリンダ。
- 前記軸受部材のテーパ面を環状に形成するとともに、該テーパ面にリング形状の前記弾性シール部材を設けたことを特徴とする請求項1又は2に記載のエアベアリングシリンダ。
- シリンダ本体に設けた複数の軸受装着部に軸受部材をそれぞれ装着し、これら各軸受部材の周面に前記シリンダ本体に設けた気体供給通路から加圧気体を供給して前記軸受部材のロッド支持面に気体膜を形成し、該気体膜にてロッドを非接触で支持する静圧軸受構造を備えるものであり、前記シリンダ本体に設けられた各シリンダ室において前記ロッドの受圧面に制御気体の圧力を作用させて各ロッドに軸方向の推力を付与するマニホールドシリンダであって、
前記シリンダ本体は、第1ハウジングと、該第1ハウジングの一側面に当接した状態で装着される第2ハウジングとを有し、これら第1ハウジング及び第2ハウジングには、前記ロッドをその軸方向に移動可能に収容する複数の第1収容孔及び複数の第2収容孔がそれぞれ形成されており、
前記複数の第1収容孔は、大径孔部と、それよりも小径の小径孔部と、これら両孔部の間に形成された段差部とを有し、
前記大径孔部は、前記第1ハウジングにおいて前記第2ハウジング装着側の端面に開口し、前記軸受部材がその軸方向一方から挿入されて装着されて前記軸受装着部とされ、前記小径孔部は、前記受圧面を有するロッド基端部が収容されて前記シリンダ室とされており、
前記軸受部材の両端部には、それぞれ前記大径孔部の壁面に対向するようにしてテーパ面が形成され、
前記大径孔部において、前記軸受部材を挟んで両端側に、前記段差部及び前記第2ハウジングの端面にそれぞれ当接した状態で押さえ部材がそれぞれ設けられており、前記各押さえ部材と前記軸受部材の各テーパ面と前記大径孔部の内周面とにより押圧変形させた状態で弾性シール部材が設けられていることを特徴とするマニホールドシリンダ。 - 前記シリンダ本体において、前記複数の軸受装着部を所定方向に直線状に並べかつそれが複数列となるように整列させて設けたことを特徴とする請求項4に記載のマニホールドシリンダ。
- 前記軸受装着部を直線状に並べた各列において、同列上で隣り合う軸受装着部の間部分に、隣接する列の軸受装着部を配置したことを特徴とする請求項5に記載のマニホールドシリンダ。
- 前記軸受部材を多孔質体にて構成したことを特徴とする請求項4乃至6のいずれかに記載のマニホールドシリンダ。
- 前記軸受部材のテーパ面を環状に形成するとともに、該テーパ面にリング形状の弾性シール部材を設けたことを特徴とする請求項4乃至7のいずれかに記載のマニホールドシリンダ。
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