JP3399889B2 - スライドテーブルユニット - Google Patents
スライドテーブルユニットInfo
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- Japan
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- body block
- rod
- rods
- slide table
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
- F15B15/08—Characterised by the construction of the motor unit
- F15B15/14—Characterised by the construction of the motor unit of the straight-cylinder type
- F15B15/1423—Component parts; Constructional details
- F15B15/1471—Guiding means other than in the end cap
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- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/26—Fluid-pressure drives
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Actuator (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワークや工具のヘ
ッド等を保持させて直線的に移動させる場合など用いる
スライドテーブルユニットに関するものである。
ッド等を保持させて直線的に移動させる場合など用いる
スライドテーブルユニットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】シリンダブロックに設けた静圧軸受によ
ってピストンのロッドを支持させるようにしたシリンダ
システムは、例えば、特開平８−１５９１０６号公報等
に開示されているが、このシリンダシステムにおいて、
ロッドを安定的に摺動させるためには、ロッドに作用す
るモーメント荷重に対する剛性を高めたり、ロッドの回
転を抑止する手段を設けたりする必要があって、全体と
して装置が大型化する可能性があり、特に、上記ロッド
のモーメント荷重に対する剛性を高めるために、単一の
ピストンロッドを離間した複数の位置において静圧軸受
で支持したりすると、全体として装置が大型化するのを
避けられない。
ってピストンのロッドを支持させるようにしたシリンダ
システムは、例えば、特開平８−１５９１０６号公報等
に開示されているが、このシリンダシステムにおいて、
ロッドを安定的に摺動させるためには、ロッドに作用す
るモーメント荷重に対する剛性を高めたり、ロッドの回
転を抑止する手段を設けたりする必要があって、全体と
して装置が大型化する可能性があり、特に、上記ロッド
のモーメント荷重に対する剛性を高めるために、単一の
ピストンロッドを離間した複数の位置において静圧軸受
で支持したりすると、全体として装置が大型化するのを
避けられない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、このようなシリンダシステムの問題点を解決し、構
成が簡単、小型で、ロッドに作用するモーメント荷重に
対する剛性が高いばかりでなく、ロッドの周りでの回転
もないようにしたコンパクトなスライドテーブルユニッ
トを提供することにある。本発明の他の技術的課題は、
簡易に上述したスライドテーブルユニットを製造できる
ようにした構成を持つ当該スライドテーブルユニットを
提供することにある。
は、このようなシリンダシステムの問題点を解決し、構
成が簡単、小型で、ロッドに作用するモーメント荷重に
対する剛性が高いばかりでなく、ロッドの周りでの回転
もないようにしたコンパクトなスライドテーブルユニッ
トを提供することにある。本発明の他の技術的課題は、
簡易に上述したスライドテーブルユニットを製造できる
ようにした構成を持つ当該スライドテーブルユニットを
提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明のスライドテーブルユニットは、本体ブロック
に静圧軸受により２本の平行配置のロッドを支持させ
て、それらのロッドの各一端部を本体ブロックの互いに
対向する反対側の面に突出させ、それらのロッドが突出
する対向面側を含んで上記本体ブロックを囲むコ字状部
を備えたテーブルに、本体ブロックから突出する上記ロ
ッドの各突出端を固定し、本体ブロック内に、両ロッド
の内端面を受圧面としてそれらに圧力流体を作用させる
テーブル移動手段を備えたことを特徴とするものであ
る。
の本発明のスライドテーブルユニットは、本体ブロック
に静圧軸受により２本の平行配置のロッドを支持させ
て、それらのロッドの各一端部を本体ブロックの互いに
対向する反対側の面に突出させ、それらのロッドが突出
する対向面側を含んで上記本体ブロックを囲むコ字状部
を備えたテーブルに、本体ブロックから突出する上記ロ
ッドの各突出端を固定し、本体ブロック内に、両ロッド
の内端面を受圧面としてそれらに圧力流体を作用させる
テーブル移動手段を備えたことを特徴とするものであ
る。
【０００５】上記構成を有するスライドテーブルユニッ
トは、テーブルが、それに固定して本体ブロックに静圧
軸受を介して支持させた２本の平行配置のロッドによっ
て、本体ブロックに摺動自在に支持され、いずれかのロ
ッドの端面に流体圧力を作用させることにより、そのテ
ーブルが当該端面に対する流体圧力の作用方向に駆動さ
れるものである。この場合に、端面に流体圧力を作用さ
せないロッドは、流体圧力で駆動されるロッドからテー
ブルを介して伝達される駆動力により従動してその軸線
方向に移動することになる。しかも、上記両ロッドは静
圧軸受によって本体ブロックに支持されているので、非
接触で殆ど摺動抵抗がない状態で支持される。
トは、テーブルが、それに固定して本体ブロックに静圧
軸受を介して支持させた２本の平行配置のロッドによっ
て、本体ブロックに摺動自在に支持され、いずれかのロ
ッドの端面に流体圧力を作用させることにより、そのテ
ーブルが当該端面に対する流体圧力の作用方向に駆動さ
れるものである。この場合に、端面に流体圧力を作用さ
せないロッドは、流体圧力で駆動されるロッドからテー
ブルを介して伝達される駆動力により従動してその軸線
方向に移動することになる。しかも、上記両ロッドは静
圧軸受によって本体ブロックに支持されているので、非
接触で殆ど摺動抵抗がない状態で支持される。
【０００６】このように、上記スライドテーブルユニッ
トにおいては、２本の平行配置のロッドの各一端部を本
体ブロックの互いに対向する反対側の面に突出させてテ
ーブルに固定し、それらのロッドを本体ブロックに静圧
軸受により支持させているので、上述したモーメント荷
重に対する剛性が高く、ロッドの周りでのテーブルの回
転もないようにしたスライドテーブルユニットを、構成
が簡単で、極めて小型化された構成のものとして得るこ
とができる。このようなスライドテーブルユニットは、
例えばテーブル端にワークを吸着する真空吸着部を設
け、ワークを押し付けながら吸着する場合などの、ワー
クや工具のヘッド等を保持させて移動させる場合に有効
に利用できるものである。
トにおいては、２本の平行配置のロッドの各一端部を本
体ブロックの互いに対向する反対側の面に突出させてテ
ーブルに固定し、それらのロッドを本体ブロックに静圧
軸受により支持させているので、上述したモーメント荷
重に対する剛性が高く、ロッドの周りでのテーブルの回
転もないようにしたスライドテーブルユニットを、構成
が簡単で、極めて小型化された構成のものとして得るこ
とができる。このようなスライドテーブルユニットは、
例えばテーブル端にワークを吸着する真空吸着部を設
け、ワークを押し付けながら吸着する場合などの、ワー
クや工具のヘッド等を保持させて移動させる場合に有効
に利用できるものである。
【０００７】また、上記スライドテーブルユニットは、
テーブルと本体ブロックから突出するロッドの突出端と
を、一方のロッドはテーブルにボルトにより締結し、他
方のロッドは静圧軸受に圧縮空気を送給した状態で接着
することにより固定するのが望ましく、それによって、
２本のロッドを本体ブロックに設けた二つのロッド支持
孔に対応させて平行に、しかも、それらの二つのロッド
支持孔に対して正確に位置決めして、芯ずれのない状態
でテーブルに固定することができる。
テーブルと本体ブロックから突出するロッドの突出端と
を、一方のロッドはテーブルにボルトにより締結し、他
方のロッドは静圧軸受に圧縮空気を送給した状態で接着
することにより固定するのが望ましく、それによって、
２本のロッドを本体ブロックに設けた二つのロッド支持
孔に対応させて平行に、しかも、それらの二つのロッド
支持孔に対して正確に位置決めして、芯ずれのない状態
でテーブルに固定することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１は、本発明に係るスライドテ
ーブルユニットの実施例を示している。このスライドテ
ーブルユニットの本体ブロック１は、その内部に２本の
平行配置のロッド２，３を支持させるためのロッド支持
孔４，５を備えている。それらのうちの一方のロッド支
持孔４は、本体ブロック１を貫通し、その一端をキャッ
プ６によって気密に閉鎖したものである。また、他方の
ロッド支持孔５は、上記本体ブロック１のロッド支持孔
４のキャップ６で閉鎖した一端面側から開設された有底
のものである。これらのロッド支持孔４，５は、本体ブ
ロック１の一端側から加工できるので、加工精度を向上
させるのに有利なものである。
ーブルユニットの実施例を示している。このスライドテ
ーブルユニットの本体ブロック１は、その内部に２本の
平行配置のロッド２，３を支持させるためのロッド支持
孔４，５を備えている。それらのうちの一方のロッド支
持孔４は、本体ブロック１を貫通し、その一端をキャッ
プ６によって気密に閉鎖したものである。また、他方の
ロッド支持孔５は、上記本体ブロック１のロッド支持孔
４のキャップ６で閉鎖した一端面側から開設された有底
のものである。これらのロッド支持孔４，５は、本体ブ
ロック１の一端側から加工できるので、加工精度を向上
させるのに有利なものである。
【０００９】それらのロッド支持孔４，５に嵌挿したロ
ッド２，３は、該ロッド支持孔４，５内に静圧軸受８，
９により摺動自在に支持させたものであり、それらのロ
ッド２，３の各一端部は、本体ブロック１の互いに対向
する反対側の面から突出させて、テーブル１５に固定し
ている。上記静圧軸受８，９は、多孔性の筒状部材によ
り構成され、その周囲に設けた供給流路１０（流路を省
略），１１から該静圧軸受８，９内を通して供給する圧
縮空気により、ロッド２，３を摺動抵抗が殆どない非接
触の浮動状態に支持するものである。なお、図中の１２
〜１４は、静圧軸受８，９を通して排出される空気の排
出口を示している。
ッド２，３は、該ロッド支持孔４，５内に静圧軸受８，
９により摺動自在に支持させたものであり、それらのロ
ッド２，３の各一端部は、本体ブロック１の互いに対向
する反対側の面から突出させて、テーブル１５に固定し
ている。上記静圧軸受８，９は、多孔性の筒状部材によ
り構成され、その周囲に設けた供給流路１０（流路を省
略），１１から該静圧軸受８，９内を通して供給する圧
縮空気により、ロッド２，３を摺動抵抗が殆どない非接
触の浮動状態に支持するものである。なお、図中の１２
〜１４は、静圧軸受８，９を通して排出される空気の排
出口を示している。
【００１０】また、上記本体ブロック１に保持させるテ
ーブル１５は、少なくとも、上記ロッド２，３が突出す
る対向面側に対面するテーブル端板１５ａ，１５ｂと、
それらを連結する連結部１５ｃとを含み、それらによっ
て、本体ブロック１を囲むコ字状に形成している。この
テーブル端板１５ａ，１５ｂ及び連結部１５ｃは、図示
したように別体の部材の連結によって形成することもで
きるが、それらを一体化したものとして構成することも
でき、さらに、少なくとも上記本体ブロック１を囲むコ
字状の部分を備えていれば、以下に説明するテーブル１
５の動作を妨げない範囲内において、任意の付属部分を
付設することができる。
ーブル１５は、少なくとも、上記ロッド２，３が突出す
る対向面側に対面するテーブル端板１５ａ，１５ｂと、
それらを連結する連結部１５ｃとを含み、それらによっ
て、本体ブロック１を囲むコ字状に形成している。この
テーブル端板１５ａ，１５ｂ及び連結部１５ｃは、図示
したように別体の部材の連結によって形成することもで
きるが、それらを一体化したものとして構成することも
でき、さらに、少なくとも上記本体ブロック１を囲むコ
字状の部分を備えていれば、以下に説明するテーブル１
５の動作を妨げない範囲内において、任意の付属部分を
付設することができる。
【００１１】上記本体ブロック１を囲むコ字状部を備え
たテーブル１５におけるテーブル端板１５ａ，１５ｂに
は、本体ブロック１から突出する上記ロッド２，３の各
突出端を固定している。この固定は、テーブル１５と本
体ブロック１から突出する一方のロッド２の突出端と
を、テーブル１５の端板１５ａを通して螺挿したボルト
１６により締結し、他方のロッド３はテーブルの端板１
５ｂに嵌入して接着により固定している。この接着によ
る固定は、静圧軸受８，９に圧縮空気を送給した状態で
ロッド３を位置決めして接着を行い、それによって、２
本のロッド２，３を本体ブロック１に設けた二つのロッ
ド支持孔４，５に対応させて平行に、しかも、それらの
二つのロッド支持孔４，５に対して正確に位置決めし
て、芯ずれのない状態でテーブル１５に固定するもので
ある。
たテーブル１５におけるテーブル端板１５ａ，１５ｂに
は、本体ブロック１から突出する上記ロッド２，３の各
突出端を固定している。この固定は、テーブル１５と本
体ブロック１から突出する一方のロッド２の突出端と
を、テーブル１５の端板１５ａを通して螺挿したボルト
１６により締結し、他方のロッド３はテーブルの端板１
５ｂに嵌入して接着により固定している。この接着によ
る固定は、静圧軸受８，９に圧縮空気を送給した状態で
ロッド３を位置決めして接着を行い、それによって、２
本のロッド２，３を本体ブロック１に設けた二つのロッ
ド支持孔４，５に対応させて平行に、しかも、それらの
二つのロッド支持孔４，５に対して正確に位置決めし
て、芯ずれのない状態でテーブル１５に固定するもので
ある。
【００１２】上記ロッド２，３を介してテーブル１５を
本体ブロック１に対して直線的に駆動するため、該本体
ブロック１内には、テーブル移動手段として、両ロッド
２，３の内端面を受圧面としてそれらに流体圧力を作用
させる圧力流体の給排流路２１，２２を備えている。こ
れらの給排流路２１，２２からの圧力流体は、それぞれ
個別的に設定電圧により圧力調整可能にしたレギュレー
タを介して供給されるものである。また、上記ロッド
２，３の内端面には、それぞれ弾性体からなるダンパ２
３，２４を装着し、ロッド２，３が本体ブロック１内の
ロッド支持孔４，５の内端に当たっても衝撃が発生しな
いようにしている。
本体ブロック１に対して直線的に駆動するため、該本体
ブロック１内には、テーブル移動手段として、両ロッド
２，３の内端面を受圧面としてそれらに流体圧力を作用
させる圧力流体の給排流路２１，２２を備えている。こ
れらの給排流路２１，２２からの圧力流体は、それぞれ
個別的に設定電圧により圧力調整可能にしたレギュレー
タを介して供給されるものである。また、上記ロッド
２，３の内端面には、それぞれ弾性体からなるダンパ２
３，２４を装着し、ロッド２，３が本体ブロック１内の
ロッド支持孔４，５の内端に当たっても衝撃が発生しな
いようにしている。
【００１３】上記テーブル１５には、その下端にワーク
等を吸着保持する真空吸着部２５を設けることができ
る。この真空吸着部２５は、本体ブロック１に設けた真
空ポート２６をロッド３内の通路２７を通してテーブル
端板１５ｂの中央の吸引口２８に開口させ、そこに取り
付けるワーク等の吸着部材に連通させるものである。本
体ブロック１の真空ポート２６とロッド３内の通路２７
は、ロッド３の軸線方向の移動位置に関わらず連通させ
る流路溝２９を通して行われる。このような真空吸着部
２５は、ワークを押し付けながら吸着する場合などに有
効に利用できるものであるが、真空によらない他の保持
手段を設けることもできる。なお、図１及び図２におい
て、符号３０は本体ブロックを所要位置に固定する場合
に用いる取付け孔である。
等を吸着保持する真空吸着部２５を設けることができ
る。この真空吸着部２５は、本体ブロック１に設けた真
空ポート２６をロッド３内の通路２７を通してテーブル
端板１５ｂの中央の吸引口２８に開口させ、そこに取り
付けるワーク等の吸着部材に連通させるものである。本
体ブロック１の真空ポート２６とロッド３内の通路２７
は、ロッド３の軸線方向の移動位置に関わらず連通させ
る流路溝２９を通して行われる。このような真空吸着部
２５は、ワークを押し付けながら吸着する場合などに有
効に利用できるものであるが、真空によらない他の保持
手段を設けることもできる。なお、図１及び図２におい
て、符号３０は本体ブロックを所要位置に固定する場合
に用いる取付け孔である。
【００１４】上記構成を有するスライドテーブルユニッ
トは、テーブル１５が、それに固定して、本体ブロック
１に静圧軸受８，９を介して支持させた２本の平行配置
のロッド２，３により、本体ブロック１に摺動自在に支
持され、いずれかのロッド２または３の内端面に流体圧
力を作用させることにより、そのテーブル１５が当該内
端面に対する流体圧力の作用方向に駆動されるものであ
る。この場合に、内端面に流体圧力を作用させないロッ
ド３または２は、流体圧力で駆動されるロッドからテー
ブル１５を介して伝達される駆動力により従動してその
軸線方向に移動することになる。
トは、テーブル１５が、それに固定して、本体ブロック
１に静圧軸受８，９を介して支持させた２本の平行配置
のロッド２，３により、本体ブロック１に摺動自在に支
持され、いずれかのロッド２または３の内端面に流体圧
力を作用させることにより、そのテーブル１５が当該内
端面に対する流体圧力の作用方向に駆動されるものであ
る。この場合に、内端面に流体圧力を作用させないロッ
ド３または２は、流体圧力で駆動されるロッドからテー
ブル１５を介して伝達される駆動力により従動してその
軸線方向に移動することになる。
【００１５】そして、上記スライドテーブルユニットに
おいては、上記両ロッド２，３が静圧軸受８，９によっ
て本体ブロック１に支持されているので、本体ブロック
１の供給流路１０，１１から供給される圧縮空気によ
り、該ロッド２，３を摺動抵抗が殆どない非接触の浮動
状態に支持することができる。また、２本の平行配置の
ロッド２，３の各一端部を本体ブロック１の互いに対向
する反対側の面に突出させてテーブル１５に固定してい
るので、単一のロッドを用いる場合に比して、ロッドに
作用するモーメント荷重に対する剛性が高く、ロッドの
周りでのテーブルの回転も生じないので、スライドテー
ブルユニットを構成が簡単で小型化された構成のものと
することができる。
おいては、上記両ロッド２，３が静圧軸受８，９によっ
て本体ブロック１に支持されているので、本体ブロック
１の供給流路１０，１１から供給される圧縮空気によ
り、該ロッド２，３を摺動抵抗が殆どない非接触の浮動
状態に支持することができる。また、２本の平行配置の
ロッド２，３の各一端部を本体ブロック１の互いに対向
する反対側の面に突出させてテーブル１５に固定してい
るので、単一のロッドを用いる場合に比して、ロッドに
作用するモーメント荷重に対する剛性が高く、ロッドの
周りでのテーブルの回転も生じないので、スライドテー
ブルユニットを構成が簡単で小型化された構成のものと
することができる。
【００１６】
【発明の効果】以上に詳述した本発明のスライドテーブ
ルユニットによれば、テーブルに設けた２本の平行配置
のロッドを本体ブロックに静圧軸受により支持させるこ
とにより、構成が簡単、小型で、ロッドに作用するモー
メント荷重に対する剛性が高いばかりでなく、ロッドの
周りでの回転もないようにした、コンパクトなスライド
テーブルユニットを得ることができ、また、上記２本の
平行配置のロッドの組付けを簡単に精度よく行えるよう
にしたスライドテーブルユニット得ることができる。
ルユニットによれば、テーブルに設けた２本の平行配置
のロッドを本体ブロックに静圧軸受により支持させるこ
とにより、構成が簡単、小型で、ロッドに作用するモー
メント荷重に対する剛性が高いばかりでなく、ロッドの
周りでの回転もないようにした、コンパクトなスライド
テーブルユニットを得ることができ、また、上記２本の
平行配置のロッドの組付けを簡単に精度よく行えるよう
にしたスライドテーブルユニット得ることができる。
【図１】本発明に係るスライドテーブルユニットの実施
例を示す断面図である。
例を示す断面図である。
【図２】同実施例の正面図である。
【図３】同実施例の側面図である。
１ 本体ブロック
２，３ ロッド
４，５ ロッド支持孔
８，９ 静圧軸受
１５ テーブル
１６ ボルト
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F15B 15/14 335
B23Q 1/38
B23Q 5/26
F16C 32/06
Claims (2)
- 【請求項１】本体ブロックに静圧軸受により２本の平行
配置のロッドを支持させて、それらのロッドの各一端部
を本体ブロックの互いに対向する反対側の面に突出さ
せ、それらのロッドが突出する対向面側を含んで上記本
体ブロックを囲むコ字状部を備えたテーブルに、本体ブ
ロックから突出する上記ロッドの各突出端を固定し、本
体ブロック内に、両ロッドの内端面を受圧面としてそれ
らに圧力流体を作用させるテーブル移動手段を備えたこ
とを特徴とするスライドテーブルユニット。 - 【請求項２】テーブルと本体ブロックから突出するロッ
ドの突出端とを、一方のロッドはテーブルにボルトによ
り締結し、他方のロッドは静圧軸受に圧縮空気を送給し
た状態で接着することにより固定したことを特徴とする
請求項１に記載のスライドテーブルユニット。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29114999A JP3399889B2 (ja) | 1999-10-13 | 1999-10-13 | スライドテーブルユニット |
| US09/668,149 US6539834B1 (en) | 1999-10-13 | 2000-09-25 | Slide table unit |
| DE10048262A DE10048262C2 (de) | 1999-10-13 | 2000-09-29 | Gleittischeinheit |
| KR10-2000-0059221A KR100387730B1 (ko) | 1999-10-13 | 2000-10-09 | 슬라이드 테이블유닛 |
| TW089121347A TW451029B (en) | 1999-10-13 | 2000-10-12 | Slide table unit |
| CNB001304690A CN1187532C (zh) | 1999-10-13 | 2000-10-13 | 滑台装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29114999A JP3399889B2 (ja) | 1999-10-13 | 1999-10-13 | スライドテーブルユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001107913A JP2001107913A (ja) | 2001-04-17 |
| JP3399889B2 true JP3399889B2 (ja) | 2003-04-21 |
Family
ID=17765088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29114999A Expired - Fee Related JP3399889B2 (ja) | 1999-10-13 | 1999-10-13 | スライドテーブルユニット |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6539834B1 (ja) |
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