JP2000317830A - 研削方法および研削装置 - Google Patents
研削方法および研削装置Info
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- JP2000317830A JP2000317830A JP11123345A JP12334599A JP2000317830A JP 2000317830 A JP2000317830 A JP 2000317830A JP 11123345 A JP11123345 A JP 11123345A JP 12334599 A JP12334599 A JP 12334599A JP 2000317830 A JP2000317830 A JP 2000317830A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被加工物の被加工面を高精度で研削加工し得
るようにする。 【解決手段】 ワークテーブル１２に支持されたワーク
Ｗの被加工面Ｗａを、研削ヘッド１４に設けられた回転
砥石Ｇによって研削加工する際には、回転砥石Ｇは被加
工面Ｗａに垂直な方向に所定の距離だけ定寸送りされて
加工深さＤが設定される。ワークテーブル１２を移動し
て回転砥石Ｇが被加工面Ｗａに沿う方向に被加工物Ｗを
移動させて切り込み送りを行う際には、回転砥石Ｇによ
り被加工物Ｗに加わる負荷が一定となるように定圧送り
される。
るようにする。 【解決手段】 ワークテーブル１２に支持されたワーク
Ｗの被加工面Ｗａを、研削ヘッド１４に設けられた回転
砥石Ｇによって研削加工する際には、回転砥石Ｇは被加
工面Ｗａに垂直な方向に所定の距離だけ定寸送りされて
加工深さＤが設定される。ワークテーブル１２を移動し
て回転砥石Ｇが被加工面Ｗａに沿う方向に被加工物Ｗを
移動させて切り込み送りを行う際には、回転砥石Ｇによ
り被加工物Ｗに加わる負荷が一定となるように定圧送り
される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は回転砥石を用いて被
加工物の被加工面を研削加工する研削技術に関する。
加工物の被加工面を研削加工する研削技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】砥石車とも言われる回転砥石を用いて被
加工物つまりワークに押し付けてワークの被加工面を研
削加工する研削加工としては、円筒研削、内面研削およ
び平面研削などがある。円筒研削はワークに回転運動を
加えるとともに回転砥石に回転運動を加えて、ワークの
外周面を加工する研削加工である。内面研削は円筒形状
あるいはリング形状のワークの内周面を加工する研削加
工であり、回転砥石とワークとを回転させる場合と、ワ
ークを回転させることなく回転砥石を遊星運動させるよ
うにした場合とがある。平面研削はワークの平坦な被加
工面を加工する研削加工であり、回転砥石の外周面を研
削面として加工を行う場合と、カップ状やリング状の回
転砥石の端面で加工を行う場合と、ディスク状の回転砥
石の端面で加工を行う場合などがある。
加工物つまりワークに押し付けてワークの被加工面を研
削加工する研削加工としては、円筒研削、内面研削およ
び平面研削などがある。円筒研削はワークに回転運動を
加えるとともに回転砥石に回転運動を加えて、ワークの
外周面を加工する研削加工である。内面研削は円筒形状
あるいはリング形状のワークの内周面を加工する研削加
工であり、回転砥石とワークとを回転させる場合と、ワ
ークを回転させることなく回転砥石を遊星運動させるよ
うにした場合とがある。平面研削はワークの平坦な被加
工面を加工する研削加工であり、回転砥石の外周面を研
削面として加工を行う場合と、カップ状やリング状の回
転砥石の端面で加工を行う場合と、ディスク状の回転砥
石の端面で加工を行う場合などがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような研削加工に
あっては、被加工面の全体を研削加工するために、回転
砥石の研削面をワークの被加工面に垂直の方向に所定の
加工深さとなるように回転砥石を送り移動させるととも
に、回転砥石をワークの被加工面に沿う方向に切り込み
送り移動するようにしている。つまり、被加工面に対し
て垂直方向と沿う方向との両方向の送り移動を一定の送
り速度つまり送り量として、回転砥石とワークとを相対
移動させることによって行われている。
あっては、被加工面の全体を研削加工するために、回転
砥石の研削面をワークの被加工面に垂直の方向に所定の
加工深さとなるように回転砥石を送り移動させるととも
に、回転砥石をワークの被加工面に沿う方向に切り込み
送り移動するようにしている。つまり、被加工面に対し
て垂直方向と沿う方向との両方向の送り移動を一定の送
り速度つまり送り量として、回転砥石とワークとを相対
移動させることによって行われている。
【０００４】しかしながら、回転砥石の研削能力は砥石
によって相違するのみならず、同一の砥石でも目詰まり
などによって変化するので、一定の送り量で加工を行う
と、砥石の研削能力の低下に伴って負荷の高い加工とな
り、研削能力低い砥石を使用して加工を行う場合にも負
荷の高い加工となる。負荷の高い加工を行うと、ワーク
の被加工面の表面粗度が低下したり、平坦度が低下した
り、加工変質層の厚さが増大して加工品質の低下が発生
することがある。
によって相違するのみならず、同一の砥石でも目詰まり
などによって変化するので、一定の送り量で加工を行う
と、砥石の研削能力の低下に伴って負荷の高い加工とな
り、研削能力低い砥石を使用して加工を行う場合にも負
荷の高い加工となる。負荷の高い加工を行うと、ワーク
の被加工面の表面粗度が低下したり、平坦度が低下した
り、加工変質層の厚さが増大して加工品質の低下が発生
することがある。
【０００５】そこで、発明者は一定の荷重を加えること
により回転砥石の送り移動を行うことを検討した。一定
の荷重を加えるようにすると、砥石の研削能力に応じた
速度で加工することができるので、加工品質が安定する
が、寸法精度を高くすることができないという問題点が
あった。
により回転砥石の送り移動を行うことを検討した。一定
の荷重を加えるようにすると、砥石の研削能力に応じた
速度で加工することができるので、加工品質が安定する
が、寸法精度を高くすることができないという問題点が
あった。
【０００６】本発明の目的は、被加工物の被加工面を高
精度で研削加工し得るようにすることにある。
精度で研削加工し得るようにすることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の研削方法は、回
転砥石の研削面を被加工物の被加工面に接触させた状態
のもとで、前記回転砥石を前記被加工面に沿って相対移
動させて前記被加工面を研削する研削方法であって、前
記回転砥石を前記被加工面に沿って相対移動させる際
に、前記回転砥石により前記被加工物に加わる負荷を一
定に保持するようにしたことを特徴とする。
転砥石の研削面を被加工物の被加工面に接触させた状態
のもとで、前記回転砥石を前記被加工面に沿って相対移
動させて前記被加工面を研削する研削方法であって、前
記回転砥石を前記被加工面に沿って相対移動させる際
に、前記回転砥石により前記被加工物に加わる負荷を一
定に保持するようにしたことを特徴とする。
【０００８】本発明の研削方法は、回転砥石の研削面を
被加工物の被加工面に接触させた状態のもとで、前記回
転砥石を前記被加工面に沿って相対移動させて前記被加
工面を研削する研削方法であって、前記回転砥石を前記
被加工面に垂直の方向に所定の距離だけ相対接近移動さ
せる定寸送り工程と、前記回転砥石により前記被加工物
に加わる負荷を一定に保持しつつ、前記回転砥石を前記
被加工面に沿って相対移動する定圧送り工程とを有する
ことを特徴とする。
被加工物の被加工面に接触させた状態のもとで、前記回
転砥石を前記被加工面に沿って相対移動させて前記被加
工面を研削する研削方法であって、前記回転砥石を前記
被加工面に垂直の方向に所定の距離だけ相対接近移動さ
せる定寸送り工程と、前記回転砥石により前記被加工物
に加わる負荷を一定に保持しつつ、前記回転砥石を前記
被加工面に沿って相対移動する定圧送り工程とを有する
ことを特徴とする。
【０００９】本発明の研削装置は、回転砥石の研削面を
被加工物の被加工面に接触させた状態のもとで、前記回
転砥石を前記被加工面に沿って相対移動させて前記被加
工面を研削する研削装置であって、前記被加工物を支持
するワーク支持部材と、前記回転砥石が回転自在に装着
された研削ヘッドと、前記回転砥石により前記被加工物
に加わる負荷を一定に保持しつつ、前記研削ヘッドと前
記ワーク支持部材とを前記被加工面に沿う方向に相対移
動させる定圧送り手段とを有することを特徴とする。本
発明の研削装置は、前記研削ヘッドを前記ワーク支持部
材に対して相対接近移動させ、前記回転砥石を前記被加
工面に垂直方向に所定の距離だけ相対接近移動させる定
寸送り手段を有している。
被加工物の被加工面に接触させた状態のもとで、前記回
転砥石を前記被加工面に沿って相対移動させて前記被加
工面を研削する研削装置であって、前記被加工物を支持
するワーク支持部材と、前記回転砥石が回転自在に装着
された研削ヘッドと、前記回転砥石により前記被加工物
に加わる負荷を一定に保持しつつ、前記研削ヘッドと前
記ワーク支持部材とを前記被加工面に沿う方向に相対移
動させる定圧送り手段とを有することを特徴とする。本
発明の研削装置は、前記研削ヘッドを前記ワーク支持部
材に対して相対接近移動させ、前記回転砥石を前記被加
工面に垂直方向に所定の距離だけ相対接近移動させる定
寸送り手段を有している。
【００１０】本発明にあっては、定圧送りを行うことに
より、被加工物に加わる負荷を一定に保つことができ、
被加工面の平坦度および表面粗度を高精度に研削加工す
ることがてきる。また、定寸送りを行うことにより、高
い寸法精度で研削加工することができる。
より、被加工物に加わる負荷を一定に保つことができ、
被加工面の平坦度および表面粗度を高精度に研削加工す
ることがてきる。また、定寸送りを行うことにより、高
い寸法精度で研削加工することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。
に基づいて詳細に説明する。
【００１２】図１は本発明の一実施の形態である研削装
置を示す正面図であり、図２は図１の要部を示す斜視図
である。
置を示す正面図であり、図２は図１の要部を示す斜視図
である。
【００１３】この研削装置は被加工物つまりワークＷの
平坦となった被加工面Ｗａを研削加工するための装置で
あり、ベッドつまりステージ１１を有している。このス
テージ１１にはワークを支持するためのワーク支持部材
としての往復動式のワークテーブル１２が図１において
左右方向に移動自在に設けられ、ワークＷはワークテー
ブル１２に設けられたチャック１３により保持されるよ
うになっている。
平坦となった被加工面Ｗａを研削加工するための装置で
あり、ベッドつまりステージ１１を有している。このス
テージ１１にはワークを支持するためのワーク支持部材
としての往復動式のワークテーブル１２が図１において
左右方向に移動自在に設けられ、ワークＷはワークテー
ブル１２に設けられたチャック１３により保持されるよ
うになっている。
【００１４】ステージ１１に固定された図示しないコラ
ムには研削ヘッド１４が上下方向に往復動自在に設け
れ、この研削ヘッド内には主軸モータ１５により回転駆
動される主軸１６が組み込まれている。この主軸１６の
先端部には、回転砥石Ｇが着脱自在に取り付けられるフ
ランジ１７が設けられており、主軸モータ１５によって
回転砥石Ｇは回転駆動されるようになっている。回転砥
石Ｇは、円板形状となっており、外周面Ｇａと端面Ｇｂ
とがそれぞれ研削面となっている。ただし、回転砥石Ｇ
としては、外周面と端面とを有するものであれば、円板
形状に限られず、円柱形状、リング形状あるいはカップ
形状のものを使用しても良い。
ムには研削ヘッド１４が上下方向に往復動自在に設け
れ、この研削ヘッド内には主軸モータ１５により回転駆
動される主軸１６が組み込まれている。この主軸１６の
先端部には、回転砥石Ｇが着脱自在に取り付けられるフ
ランジ１７が設けられており、主軸モータ１５によって
回転砥石Ｇは回転駆動されるようになっている。回転砥
石Ｇは、円板形状となっており、外周面Ｇａと端面Ｇｂ
とがそれぞれ研削面となっている。ただし、回転砥石Ｇ
としては、外周面と端面とを有するものであれば、円板
形状に限られず、円柱形状、リング形状あるいはカップ
形状のものを使用しても良い。
【００１５】研削ヘッド１４を図示しないヘッド送りモ
ータによって上下方向に移動することにより、回転砥石
ＧはワークＷの被加工面Ｗａに垂直の方向に接近離反移
動することになる。ヘッド送りモータによって研削ヘッ
ド１４をワークＷに向けて接近させることにより、矢印
Ｆで示すように、回転砥石Ｇを被加工面Ｗａに所定の速
度で接近させる加工深さ方向への砥石の定寸送りが行わ
れる。
ータによって上下方向に移動することにより、回転砥石
ＧはワークＷの被加工面Ｗａに垂直の方向に接近離反移
動することになる。ヘッド送りモータによって研削ヘッ
ド１４をワークＷに向けて接近させることにより、矢印
Ｆで示すように、回転砥石Ｇを被加工面Ｗａに所定の速
度で接近させる加工深さ方向への砥石の定寸送りが行わ
れる。
【００１６】図１にあっては、研削ヘッド１４をワーク
Ｗに向けて接近移動させることによって、被加工面Ｗａ
と回転砥石Ｇの端面Ｇｂとの間が加工深さＤの段差とな
るように、回転砥石Ｇが被加工面Ｗａに垂直方向に所定
の距離だけ接近移動し、定寸送りが行われた状態が示さ
れている。加工深さＤは図１および図２にあっては誇張
して示されている。
Ｗに向けて接近移動させることによって、被加工面Ｗａ
と回転砥石Ｇの端面Ｇｂとの間が加工深さＤの段差とな
るように、回転砥石Ｇが被加工面Ｗａに垂直方向に所定
の距離だけ接近移動し、定寸送りが行われた状態が示さ
れている。加工深さＤは図１および図２にあっては誇張
して示されている。
【００１７】所定の加工深さＤとなるように研削ヘッド
１４がワークＷに向けてワークＷと干渉しないように定
寸送りされた状態のもとで、ワークテーブル１２が図１
において左側に定圧送りされる。
１４がワークＷに向けてワークＷと干渉しないように定
寸送りされた状態のもとで、ワークテーブル１２が図１
において左側に定圧送りされる。
【００１８】ワークテーブル１２を矢印Ｐで示す方向に
定圧送りするために、ステージ１１に取り付けられた油
圧シリンダ２１のピストンロッド２２がワークテーブル
１２に連結されている。
定圧送りするために、ステージ１１に取り付けられた油
圧シリンダ２１のピストンロッド２２がワークテーブル
１２に連結されている。
【００１９】図３は油圧シリンダ２１を駆動するための
流体圧回路を示し、ピストンロッド２２が取り付けられ
たピストン２３の両側には、前進用油圧室２４ａと後退
用油圧室２４ｂとが形成されている。
流体圧回路を示し、ピストンロッド２２が取り付けられ
たピストン２３の両側には、前進用油圧室２４ａと後退
用油圧室２４ｂとが形成されている。
【００２０】それぞれの油圧室２４ａ，２４ｂは、油路
を介して空気圧を油圧に変換するエアハイドロコンバー
タつまり油空圧変換器２５，２６の油圧室２５ａ，２６
ａに接続されている。油空圧変換器２５，２６の空気圧
室２５ｂ，２６ｂにはそれぞれ空気圧路を介して電空レ
ギュレータ２７，２８が接続されている。それぞれの電
空レギュレータ２７，２８は空気圧室２５ｂ，２６ｂに
供給される空気圧を設定することにより、回転砥石Ｇに
よりワークＷに加わる負荷を一定に保持しつつ、ワーク
テーブル１２が図１において左側に移動される。これに
より、回転砥石Ｇを被加工面Ｗａに沿って相対移動させ
る際に、回転砥石ＧによりワークＷに加えられる負荷が
一定に保持される。
を介して空気圧を油圧に変換するエアハイドロコンバー
タつまり油空圧変換器２５，２６の油圧室２５ａ，２６
ａに接続されている。油空圧変換器２５，２６の空気圧
室２５ｂ，２６ｂにはそれぞれ空気圧路を介して電空レ
ギュレータ２７，２８が接続されている。それぞれの電
空レギュレータ２７，２８は空気圧室２５ｂ，２６ｂに
供給される空気圧を設定することにより、回転砥石Ｇに
よりワークＷに加わる負荷を一定に保持しつつ、ワーク
テーブル１２が図１において左側に移動される。これに
より、回転砥石Ｇを被加工面Ｗａに沿って相対移動させ
る際に、回転砥石ＧによりワークＷに加えられる負荷が
一定に保持される。
【００２１】図示する場合にはそれぞれの空気圧室２５
ｂ，２６ｂに供給される空気圧に対応してそれぞれの油
圧室２４ａ，２４ｂの圧力が設定され、両方の油圧室２
４ａ，２４ｂの差圧によってワークＷに加えられる負荷
が一定に設定されるようになっている。このように差圧
を利用すると、圧力調整を高精度で行うことができる圧
力範囲のもとで負荷を設定することができることになる
が、ピストンロッド２２が前進移動する際、あるいは後
退移動する際にのみ電空レギュレータにより油圧室内の
圧力を調整するようにしても良い。また、ワークテーブ
ル１２の前進用の油圧シリンダと後退用の油圧シリンダ
とを別々に設けるようにしても良い。
ｂ，２６ｂに供給される空気圧に対応してそれぞれの油
圧室２４ａ，２４ｂの圧力が設定され、両方の油圧室２
４ａ，２４ｂの差圧によってワークＷに加えられる負荷
が一定に設定されるようになっている。このように差圧
を利用すると、圧力調整を高精度で行うことができる圧
力範囲のもとで負荷を設定することができることになる
が、ピストンロッド２２が前進移動する際、あるいは後
退移動する際にのみ電空レギュレータにより油圧室内の
圧力を調整するようにしても良い。また、ワークテーブ
ル１２の前進用の油圧シリンダと後退用の油圧シリンダ
とを別々に設けるようにしても良い。
【００２２】それぞれの電空レギュレータ２７，２８の
出力ポートには圧力センサ２９ａ，２９ｂが設けられて
おり、それぞれの圧力センサ２９ａ，２９ｂの出力信号
は制御部３０に送られるようになっており、この制御部
３０からは電空レギュレータ２７，２８のソレノイド部
に作動信号が送られるようになっている。
出力ポートには圧力センサ２９ａ，２９ｂが設けられて
おり、それぞれの圧力センサ２９ａ，２９ｂの出力信号
は制御部３０に送られるようになっており、この制御部
３０からは電空レギュレータ２７，２８のソレノイド部
に作動信号が送られるようになっている。
【００２３】図１〜図３に示す研削装置を用いてワーク
Ｗの被加工面Ｗａを研削加工するには、矢印Ｆで示すよ
うに定寸送りによって所定の加工深さＤが設定された状
態のもとで、油圧シリンダ２１を作動させることによ
り、ピストンロッド２２を介してワークテーブル１２は
矢印Ｐで示す方向に定圧送りされる。定圧送りによっ
て、回転砥石ＧによりワークＷに加えられる負荷が一定
となるので、回転砥石Ｇの外周面Ｇａの研削能率によっ
て研削速度は相違しても、ワークＷの被加工面は一定荷
重で切り込まれることになり、被加工面の加工品質は全
体的に均一となる。つまり、被加工面の表面粗度、平坦
度および加工変質層の厚さが全体的に均一となって加工
されることになる。
Ｗの被加工面Ｗａを研削加工するには、矢印Ｆで示すよ
うに定寸送りによって所定の加工深さＤが設定された状
態のもとで、油圧シリンダ２１を作動させることによ
り、ピストンロッド２２を介してワークテーブル１２は
矢印Ｐで示す方向に定圧送りされる。定圧送りによっ
て、回転砥石ＧによりワークＷに加えられる負荷が一定
となるので、回転砥石Ｇの外周面Ｇａの研削能率によっ
て研削速度は相違しても、ワークＷの被加工面は一定荷
重で切り込まれることになり、被加工面の加工品質は全
体的に均一となる。つまり、被加工面の表面粗度、平坦
度および加工変質層の厚さが全体的に均一となって加工
されることになる。
【００２４】ワークテーブル１２が左側端部にまで搬送
されると、ワークＷに対する１回の研削加工が終了する
ことになる。ワークＷの仕上げまでに複数回の研削加工
が行われる場合には、ワークテーブル１２を初期位置に
戻した後に、定寸送りによってさらに１度目の加工深さ
Ｄよりも回転砥石Ｇを下降移動させ、前述と同様に定圧
送りによる研削加工が行われ、矢印Ｆで示す定寸送りと
矢印Ｐで示す定圧送りとが所定の回数だけ繰り返され
る。
されると、ワークＷに対する１回の研削加工が終了する
ことになる。ワークＷの仕上げまでに複数回の研削加工
が行われる場合には、ワークテーブル１２を初期位置に
戻した後に、定寸送りによってさらに１度目の加工深さ
Ｄよりも回転砥石Ｇを下降移動させ、前述と同様に定圧
送りによる研削加工が行われ、矢印Ｆで示す定寸送りと
矢印Ｐで示す定圧送りとが所定の回数だけ繰り返され
る。
【００２５】このように、定寸送りと定圧送りとを複合
化して研削加工を行うことによって、表面粗度の低下を
防止しつつ所定の平坦度と加工変質層厚さが一定となっ
た高品質の研削加工面が得られ、ワークＷの研削面全体
の加工が終了するまでは、回転砥石Ｇの上下方向の位置
は一定に保持されるので、寸法精度の高い研削加工を行
うことができる。
化して研削加工を行うことによって、表面粗度の低下を
防止しつつ所定の平坦度と加工変質層厚さが一定となっ
た高品質の研削加工面が得られ、ワークＷの研削面全体
の加工が終了するまでは、回転砥石Ｇの上下方向の位置
は一定に保持されるので、寸法精度の高い研削加工を行
うことができる。
【００２６】図示する場合には、研削ヘッド１４を平坦
な被加工面Ｗａに対して垂直方向に送ることによって定
寸送りを行うようにしているが、定寸送りにおける回転
砥石ＧとワークＷとの移動関係は相対的であれば良く、
ワークＷを回転砥石Ｇに向けて移動させるようにしても
良い。同様に、定圧送りにおける回転砥石ＧとワークＷ
の移動関係は相対的であれば良く、回転砥石Ｇをワーク
Ｗに沿って移動させるようにしても良い。
な被加工面Ｗａに対して垂直方向に送ることによって定
寸送りを行うようにしているが、定寸送りにおける回転
砥石ＧとワークＷとの移動関係は相対的であれば良く、
ワークＷを回転砥石Ｇに向けて移動させるようにしても
良い。同様に、定圧送りにおける回転砥石ＧとワークＷ
の移動関係は相対的であれば良く、回転砥石Ｇをワーク
Ｗに沿って移動させるようにしても良い。
【００２７】図４は本発明の他の実施の形態である研削
装置を示す図であり、この研削装置はロータリ式平面研
削装置であり、回転式のワークテーブル１２ａには複数
のワークＷが固定されるようになっており、それぞれの
ワークＷの平坦な表面を被加工面Ｗａとしてこれが回転
砥石Ｇの端面Ｇａにより研削加工される。この場合には
回転砥石Ｇはカップ状となっており、ワークテーブル１
２ａの回転トルクを一定に保持することにより、回転砥
石ＧによりワークＷに加わる負荷が一定に保持されて、
矢印Ｐで示すように定圧送りが行われる。回転砥石Ｇを
矢印Ｆで示すように定寸送りすることによって、所望の
研削量の加工を行うことができる。
装置を示す図であり、この研削装置はロータリ式平面研
削装置であり、回転式のワークテーブル１２ａには複数
のワークＷが固定されるようになっており、それぞれの
ワークＷの平坦な表面を被加工面Ｗａとしてこれが回転
砥石Ｇの端面Ｇａにより研削加工される。この場合には
回転砥石Ｇはカップ状となっており、ワークテーブル１
２ａの回転トルクを一定に保持することにより、回転砥
石ＧによりワークＷに加わる負荷が一定に保持されて、
矢印Ｐで示すように定圧送りが行われる。回転砥石Ｇを
矢印Ｆで示すように定寸送りすることによって、所望の
研削量の加工を行うことができる。
【００２８】図５は本発明のさらに他の実施の形態であ
る研削装置を示す図であり、回転式のワークテーブル１
２ａに固定された円板状のワークＷの表面を被加工面Ｗ
ａとしてこれを回転砥石Ｇにより研削加工する。この場
合にもワークテーブル１２ａの回転トルクを一定に設定
することによる矢印Ｐで示す定圧送りと、回転砥石Ｇの
矢印Ｆで示すよう方向の定寸送りとを行うことによっ
て、ワークＷの研削加工が行われる。図４および図５に
おいては、回転砥石Ｇは図示しない研削ヘッドに取り付
けられている。
る研削装置を示す図であり、回転式のワークテーブル１
２ａに固定された円板状のワークＷの表面を被加工面Ｗ
ａとしてこれを回転砥石Ｇにより研削加工する。この場
合にもワークテーブル１２ａの回転トルクを一定に設定
することによる矢印Ｐで示す定圧送りと、回転砥石Ｇの
矢印Ｆで示すよう方向の定寸送りとを行うことによっ
て、ワークＷの研削加工が行われる。図４および図５に
おいては、回転砥石Ｇは図示しない研削ヘッドに取り付
けられている。
【００２９】図６は本発明のさらに他の実施の形態であ
る研削装置を示す図であり、回転式のワークテーブル１
２ａに固定された円板状のワークＷの表面は、カップ状
の回転砥石Ｇの端面により研削加工される。この場合に
は、回転砥石ＧはワークＷの表面に沿って移動すること
なく、ワークテーブル１２ａが回転しながら、水平方向
にも矢印Ｐで示すように定圧送りされ、図示しない研削
ヘッドにより矢印Ｆで示す方向に定寸送りされて、ワー
クＷの被加工面が研削加工される。
る研削装置を示す図であり、回転式のワークテーブル１
２ａに固定された円板状のワークＷの表面は、カップ状
の回転砥石Ｇの端面により研削加工される。この場合に
は、回転砥石ＧはワークＷの表面に沿って移動すること
なく、ワークテーブル１２ａが回転しながら、水平方向
にも矢印Ｐで示すように定圧送りされ、図示しない研削
ヘッドにより矢印Ｆで示す方向に定寸送りされて、ワー
クＷの被加工面が研削加工される。
【００３０】図７は本発明のさらに他の実施の形態であ
る研削装置を示す図であり、この場合にはシリコンウエ
ハやハードディスクなどのように厚みの薄い円板状のワ
ークＷの両面を同時に研削加工する。この研削装置は、
それぞれリング状となった第１と第２の砥石Ｇ1 とＧ2
とがそれぞれ取り付けられるホルダー３１，３２を有し
ている。
る研削装置を示す図であり、この場合にはシリコンウエ
ハやハードディスクなどのように厚みの薄い円板状のワ
ークＷの両面を同時に研削加工する。この研削装置は、
それぞれリング状となった第１と第２の砥石Ｇ1 とＧ2
とがそれぞれ取り付けられるホルダー３１，３２を有し
ている。
【００３１】一方のホルダー３２は他方のホルダー３１
に向けて接近離反移動自在となっており、ホルダー３２
をホルダー３１に接近させることによりワークＷが両方
の砥石Ｇ1 ，Ｇ2 により挟み付けられた状態で保持され
る。保持されたワークＷは第１の砥石Ｇ1 に隣接して配
置された３つのローラ３３ａ〜３３ｃの何れか１つを駆
動させることによって回転駆動される。両方の砥石Ｇ1
，Ｇ2 の一方あるいは両方を回転駆動させることによ
ってワークＷの両面が同時に研削加工される。研削加工
に際しては、ローラによるワークＷの回転トルクを一定
に設定することにより矢印Ｐで示す定圧送りが行われ、
ホルダー３２をホルダー３１に矢印Ｆで示すように定寸
送りが行われる。
に向けて接近離反移動自在となっており、ホルダー３２
をホルダー３１に接近させることによりワークＷが両方
の砥石Ｇ1 ，Ｇ2 により挟み付けられた状態で保持され
る。保持されたワークＷは第１の砥石Ｇ1 に隣接して配
置された３つのローラ３３ａ〜３３ｃの何れか１つを駆
動させることによって回転駆動される。両方の砥石Ｇ1
，Ｇ2 の一方あるいは両方を回転駆動させることによ
ってワークＷの両面が同時に研削加工される。研削加工
に際しては、ローラによるワークＷの回転トルクを一定
に設定することにより矢印Ｐで示す定圧送りが行われ、
ホルダー３２をホルダー３１に矢印Ｆで示すように定寸
送りが行われる。
【００３２】図８は図示しない研削ヘッドに設けられた
回転砥石Ｇの外周面を研削面として往復動式のワークテ
ーブル１２に設けられたワークＷの平坦な被加工面Ｗａ
を研削加工するさらに他のタイプの平面研削装置を示す
図であり、この場合には、ワークテーブル１２を矢印Ｐ
で示すように定圧送りし、矢印Ｆで示すように回転砥石
Ｇを矢印Ｆで示すように定寸送りすることにより、被加
工面Ｗａの研削が行われる。
回転砥石Ｇの外周面を研削面として往復動式のワークテ
ーブル１２に設けられたワークＷの平坦な被加工面Ｗａ
を研削加工するさらに他のタイプの平面研削装置を示す
図であり、この場合には、ワークテーブル１２を矢印Ｐ
で示すように定圧送りし、矢印Ｆで示すように回転砥石
Ｇを矢印Ｆで示すように定寸送りすることにより、被加
工面Ｗａの研削が行われる。
【００３３】図９は円筒形状のワークＷの外周面を被加
工面Ｗａとしてこれをディスク状の回転砥石Ｇの外周面
により円筒研削するための研削装置を示す図であり、回
転砥石Ｇを図示しない研削ヘッドにより矢印Ｆで示すよ
うに定寸送りするとともに、矢印Ｐで示すように定圧送
りすることによって、外周面の研削を行う。
工面Ｗａとしてこれをディスク状の回転砥石Ｇの外周面
により円筒研削するための研削装置を示す図であり、回
転砥石Ｇを図示しない研削ヘッドにより矢印Ｆで示すよ
うに定寸送りするとともに、矢印Ｐで示すように定圧送
りすることによって、外周面の研削を行う。
【００３４】本発明は前記実施の形態に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能で
あることはいうまでもない。
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能で
あることはいうまでもない。
【００３５】たとえば、定圧送り手段としては、回転砥
石ＧとワークＷとの加わる負荷を一定に保持することが
できれば、図３に示す場合に限られず、ロードセルを使
用して直接ワークテーブルの負荷を検出するようにして
も良い。
石ＧとワークＷとの加わる負荷を一定に保持することが
できれば、図３に示す場合に限られず、ロードセルを使
用して直接ワークテーブルの負荷を検出するようにして
も良い。
【００３６】
【発明の効果】本発明にあっては、被加工物に加わる負
荷を一定に保つことができ、加工変質層を増加させるこ
となく、被加工面の平坦度および表面粗度を高精度に研
削加工することがてきる。また、高い寸法精度で研削加
工することができる。
荷を一定に保つことができ、加工変質層を増加させるこ
となく、被加工面の平坦度および表面粗度を高精度に研
削加工することがてきる。また、高い寸法精度で研削加
工することができる。
【図１】本発明の一実施の形態である研削装置を示す正
面図である。
面図である。
【図２】図１の要部を示す斜視図である。
【図３】ワークテーブルを定圧送りするための流体圧回
路を示す回路図である。
路を示す回路図である。
【図４】本発明の他の実施の形態である研削装置を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図５】本発明の他の実施の形態である研削装置を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図６】本発明の他の実施の形態である研削装置を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図７】本発明の他の実施の形態である研削装置を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図８】本発明の他の実施の形態である研削装置を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図９】本発明の他の実施の形態である研削装置を示す
斜視図である。
斜視図である。
１１ ステージ １２ ワークテーブル １３ チャック １４ 研削ヘッド １５ 主軸モータ １６ 主軸 １７ フランジ ２１ 油圧シリンダ（定圧送り手段） ２２ ピストンロッド ２３ ピストン ２５，２６ 油空圧変換器 ２７，２８ 電空レギュレータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C034 AA20 CA27 CB04 DD20 3C043 BA02 BA03 BA12 CC03 CC04
Claims (4)
- 【請求項１】 回転砥石の研削面を被加工物の被加工面
に接触させた状態のもとで、前記回転砥石を前記被加工
面に沿って相対移動させて前記被加工面を研削する研削
方法であって、前記回転砥石を前記被加工面に沿って相
対移動させる際に、前記回転砥石により前記被加工物に
加わる負荷を一定に保持するようにしたことを特徴とす
る研削方法。 - 【請求項２】 回転砥石の研削面を被加工物の被加工面
に接触させた状態のもとで、前記回転砥石を前記被加工
面に沿って相対移動させて前記被加工面を研削する研削
方法であって、 前記回転砥石を前記被加工面に垂直の方向に所定の距離
だけ相対接近移動させる定寸送り工程と、 前記回転砥石により前記被加工物に加わる負荷を一定に
保持しつつ、前記回転砥石を前記被加工面に沿って相対
移動する定圧送り工程とを有する研削方法。 - 【請求項３】 回転砥石の研削面を被加工物の被加工面
に接触させた状態のもとで、前記回転砥石を前記被加工
面に沿って相対移動させて前記被加工面を研削する研削
装置であって、 前記被加工物を支持するワーク支持部材と、 前記回転砥石が回転自在に装着された研削ヘッドと、 前記回転砥石により前記被加工物に加わる負荷を一定に
保持しつつ、前記研削ヘッドと前記ワーク支持部材とを
前記被加工面に沿う方向に相対移動させる定圧送り手段
とを有することを特徴とする研削装置。 - 【請求項４】 請求項３記載の研削装置において、前記
研削ヘッドを前記ワーク支持部材に対して相対接近移動
させ、前記回転砥石を前記被加工面に垂直方向に所定の
距離だけ相対接近移動させる定寸送り手段を有すること
を特徴とする研削装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11123345A JP2000317830A (ja) | 1999-04-30 | 1999-04-30 | 研削方法および研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11123345A JP2000317830A (ja) | 1999-04-30 | 1999-04-30 | 研削方法および研削装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000317830A true JP2000317830A (ja) | 2000-11-21 |
Family
ID=14858274
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11123345A Pending JP2000317830A (ja) | 1999-04-30 | 1999-04-30 | 研削方法および研削装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000317830A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005230966A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Koyo Seiko Co Ltd | 研削装置 |
| JP2005230965A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Koyo Seiko Co Ltd | 研削装置 |
| JP2005319536A (ja) * | 2004-05-10 | 2005-11-17 | Koyo Seiko Co Ltd | 研削方法 |
| US7413499B2 (en) | 2004-10-01 | 2008-08-19 | Noritake Co., Limited | Grinding process and apparatus with arrangement for grinding with constant grinding load |
| JP2012151410A (ja) * | 2011-01-21 | 2012-08-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | 硬質基板の研削方法 |
-
1999
- 1999-04-30 JP JP11123345A patent/JP2000317830A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005230966A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Koyo Seiko Co Ltd | 研削装置 |
| JP2005230965A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Koyo Seiko Co Ltd | 研削装置 |
| JP2005319536A (ja) * | 2004-05-10 | 2005-11-17 | Koyo Seiko Co Ltd | 研削方法 |
| US7413499B2 (en) | 2004-10-01 | 2008-08-19 | Noritake Co., Limited | Grinding process and apparatus with arrangement for grinding with constant grinding load |
| JP2012151410A (ja) * | 2011-01-21 | 2012-08-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | 硬質基板の研削方法 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070903 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071002 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080212 |