JP2977807B1 - 研磨方法および研磨装置 - Google Patents
研磨方法および研磨装置Info
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/08—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation involving liquid or pneumatic means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/16—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the load
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B7/00—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
- B24B7/10—Single-purpose machines or devices
- B24B7/16—Single-purpose machines or devices for grinding end-faces, e.g. of gauges, rollers, nuts, piston rings
- B24B7/17—Single-purpose machines or devices for grinding end-faces, e.g. of gauges, rollers, nuts, piston rings for simultaneously grinding opposite and parallel end faces, e.g. double disc grinders
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
【要約】
【課題】 研磨装置における研磨具のワークに対する押
し付け力を高精度で制御し得るようにする。 【解決手段】 ワークＷはワーク支持台１１に設けられ
た下側砥石１３の上で回転され、研磨ヘッド２１の研磨
軸２２に設けられた上側砥石２４と下側砥石１３とによ
りワークＷの両面は同時に研磨加工される。第１の空気
圧により作動する一次空気圧シリンダ３５のピストンロ
ッド３６により研磨軸２２を介してワークＷには一次荷
重の押し付け力が加えられ、第１の空気圧よりも高い圧
力である第２の空気圧により作動する二次空気圧シリン
ダ４５のピストンロッド４６によりてこ部材４３を介し
て二次荷重の押し付け力が研磨軸２２を介してワークＷ
に加えられる。第２の空気圧を調整することによって、
押し付け力が制御される。
し付け力を高精度で制御し得るようにする。 【解決手段】 ワークＷはワーク支持台１１に設けられ
た下側砥石１３の上で回転され、研磨ヘッド２１の研磨
軸２２に設けられた上側砥石２４と下側砥石１３とによ
りワークＷの両面は同時に研磨加工される。第１の空気
圧により作動する一次空気圧シリンダ３５のピストンロ
ッド３６により研磨軸２２を介してワークＷには一次荷
重の押し付け力が加えられ、第１の空気圧よりも高い圧
力である第２の空気圧により作動する二次空気圧シリン
ダ４５のピストンロッド４６によりてこ部材４３を介し
て二次荷重の押し付け力が研磨軸２２を介してワークＷ
に加えられる。第２の空気圧を調整することによって、
押し付け力が制御される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワークの表面に対し
て押し付け力を加えて研磨具によりワークを研磨加工す
る研磨技術に関する。
て押し付け力を加えて研磨具によりワークを研磨加工す
る研磨技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】砥石を回転させながらワークつまり被加
工物の表面を平面研削加工する場合には、砥石の外周面
をワークに接触させたり、砥石の端面をワークに接触さ
せるようにしており、砥石により加工されるワークは固
定テーブルに取り付けられるようにしたり、回転テーブ
ルに取り付けられることになる。
工物の表面を平面研削加工する場合には、砥石の外周面
をワークに接触させたり、砥石の端面をワークに接触さ
せるようにしており、砥石により加工されるワークは固
定テーブルに取り付けられるようにしたり、回転テーブ
ルに取り付けられることになる。
【０００３】磁気ディスク用のアルミニウム基板をワー
クとしてこれの両面を同時に研削する場合には、たとえ
ば、特許第2556605 号公報に開示される装置が使用され
ている。この装置は上面にリング状の下側砥石が設けら
れた下定盤と、下面にリング状の上側砥石が下側砥石に
対向するようにして設けられた上定盤とを有しており、
ワークは下側砥石の上に配置される複数のキャリアに形
成された保持孔に装着されるようになっている。それぞ
れのキャリアは、下定盤の回転中心部に回転自在に設け
られた太陽歯車に噛み合うとともに、下定盤の外側に設
けられた内歯歯車に噛み合っている。これにより、キャ
リアに保持されたワークは、太陽歯車を回転させて太陽
歯車の周りにワークを自転させながら公転させた状態の
もとで、上下両定盤を回転させることによって、上下の
砥石により両面が同時に研削される。
クとしてこれの両面を同時に研削する場合には、たとえ
ば、特許第2556605 号公報に開示される装置が使用され
ている。この装置は上面にリング状の下側砥石が設けら
れた下定盤と、下面にリング状の上側砥石が下側砥石に
対向するようにして設けられた上定盤とを有しており、
ワークは下側砥石の上に配置される複数のキャリアに形
成された保持孔に装着されるようになっている。それぞ
れのキャリアは、下定盤の回転中心部に回転自在に設け
られた太陽歯車に噛み合うとともに、下定盤の外側に設
けられた内歯歯車に噛み合っている。これにより、キャ
リアに保持されたワークは、太陽歯車を回転させて太陽
歯車の周りにワークを自転させながら公転させた状態の
もとで、上下両定盤を回転させることによって、上下の
砥石により両面が同時に研削される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】砥石によるワークの研
削加工にあっては、砥石によりワークに加えられる押し
付け力を所望の値に設定する必要がある。そのために、
砥石に加えられる押し付け力をセンサにより検出し、砥
石に押し付け力を加える空気圧シリンダに供給する空気
圧をセンサによる検出値と基準値との差に基づいて制御
するようにした技術が開発されている（たとえば、特開
昭63-22266号公報参照）。
削加工にあっては、砥石によりワークに加えられる押し
付け力を所望の値に設定する必要がある。そのために、
砥石に加えられる押し付け力をセンサにより検出し、砥
石に押し付け力を加える空気圧シリンダに供給する空気
圧をセンサによる検出値と基準値との差に基づいて制御
するようにした技術が開発されている（たとえば、特開
昭63-22266号公報参照）。
【０００５】しかしながら、砥石をワークに向けて接近
離反移動するための空気圧シリンダに供給する空気圧を
制御することによって押し付け力を設定するようにした
場合には、押し付け力が目標荷重となるように高精度で
荷重を制御することは困難であった。砥石を用いてワー
クを加工する場合には、砥石からワークに加えられる押
し付け力は、ワークの加工精度に大きな影響を与えるこ
とが判明しており、加工精度を高めるには、押し付け力
を最適な状態に制御することが重要である。
離反移動するための空気圧シリンダに供給する空気圧を
制御することによって押し付け力を設定するようにした
場合には、押し付け力が目標荷重となるように高精度で
荷重を制御することは困難であった。砥石を用いてワー
クを加工する場合には、砥石からワークに加えられる押
し付け力は、ワークの加工精度に大きな影響を与えるこ
とが判明しており、加工精度を高めるには、押し付け力
を最適な状態に制御することが重要である。
【０００６】本発明の目的は、研磨装置における研磨具
のワークに対する押し付け力を高精度で制御し得るよう
にすることにある。
のワークに対する押し付け力を高精度で制御し得るよう
にすることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の研磨方法は、ワ
ークに接触する研磨具を研磨軸により回転駆動し、前記
研磨軸に連結された第１ピストンロッドを有する一次流
体圧シリンダに第１の流体圧を供給して前記研磨軸に一
次荷重を加え、一端部に揺動中心部を有し他端部が前記
第１ピストンロッドに連結されたてこ部材の両端部間に
連結された第２ピストンロッドを有する二次流体圧シリ
ンダに前記第１の流体圧よりも高い第２の流体圧を供給
して前記研磨軸に二次荷重を加え、前記第２の流体圧を
制御して二次荷重を調整し、前記研磨軸に前記一次荷重
と調整された二次荷重とを加えた状態のもとで前記研磨
具により前記ワークを研磨するようにしたことを特徴と
する。
ークに接触する研磨具を研磨軸により回転駆動し、前記
研磨軸に連結された第１ピストンロッドを有する一次流
体圧シリンダに第１の流体圧を供給して前記研磨軸に一
次荷重を加え、一端部に揺動中心部を有し他端部が前記
第１ピストンロッドに連結されたてこ部材の両端部間に
連結された第２ピストンロッドを有する二次流体圧シリ
ンダに前記第１の流体圧よりも高い第２の流体圧を供給
して前記研磨軸に二次荷重を加え、前記第２の流体圧を
制御して二次荷重を調整し、前記研磨軸に前記一次荷重
と調整された二次荷重とを加えた状態のもとで前記研磨
具により前記ワークを研磨するようにしたことを特徴と
する。
【０００８】本発明の研磨装置は、ワークを支持する支
持台と、前記ワークを研磨する研磨具を回転駆動する研
磨軸が設けられ、前記支持台に対向して配置された研磨
ヘッドと、第１の流体圧により作動しかつ前記研磨軸に
連結された第１ピストンロッドを有する一次流体圧シリ
ンダと、一端部が前記研磨ヘッドに揺動自在に取り付け
られ、かつ他端部が前記第１ピストンロッドに連結され
たてこ部材と、前記第１の流体圧よりも高い第２の流体
圧により作動しかつ前記てこ部材の両端部の間に連結さ
れた第２ピストンロッドを有する二次流体圧シリンダ
と、前記二次流体圧シリンダに供給される第２の流体圧
を制御する流体圧調整手段とを有し、前記一次流体圧シ
リンダによる一次荷重を前記研磨軸に加えるとともに、
前記二次流体圧シリンダによる二次荷重を前記てこ部材
を介して前記研磨軸に加えるようにしたことを特徴とす
る。前記二次流体圧シリンダの受圧面積を前記一次流体
圧シリンダの受圧面積よりも小さくしても良い。
持台と、前記ワークを研磨する研磨具を回転駆動する研
磨軸が設けられ、前記支持台に対向して配置された研磨
ヘッドと、第１の流体圧により作動しかつ前記研磨軸に
連結された第１ピストンロッドを有する一次流体圧シリ
ンダと、一端部が前記研磨ヘッドに揺動自在に取り付け
られ、かつ他端部が前記第１ピストンロッドに連結され
たてこ部材と、前記第１の流体圧よりも高い第２の流体
圧により作動しかつ前記てこ部材の両端部の間に連結さ
れた第２ピストンロッドを有する二次流体圧シリンダ
と、前記二次流体圧シリンダに供給される第２の流体圧
を制御する流体圧調整手段とを有し、前記一次流体圧シ
リンダによる一次荷重を前記研磨軸に加えるとともに、
前記二次流体圧シリンダによる二次荷重を前記てこ部材
を介して前記研磨軸に加えるようにしたことを特徴とす
る。前記二次流体圧シリンダの受圧面積を前記一次流体
圧シリンダの受圧面積よりも小さくしても良い。
【０００９】本発明にあっては、一次流体圧シリンダに
供給される流体圧よりも高い圧力の流体圧を二次流体圧
シリンダに供給するようにし、研磨軸に加えられる押し
付け力を二次流体圧シリンダに加えられる流体圧を制御
することにより調整するようにしたので、押し付け力を
高い精度で制御することが可能となる。二次流体圧シリ
ンダの受圧面積を一次流体圧シリンダの受圧面積よりも
小さく設定すると、第２の流体圧を第１流体圧よりもよ
り高い値に設定することができる。
供給される流体圧よりも高い圧力の流体圧を二次流体圧
シリンダに供給するようにし、研磨軸に加えられる押し
付け力を二次流体圧シリンダに加えられる流体圧を制御
することにより調整するようにしたので、押し付け力を
高い精度で制御することが可能となる。二次流体圧シリ
ンダの受圧面積を一次流体圧シリンダの受圧面積よりも
小さく設定すると、第２の流体圧を第１流体圧よりもよ
り高い値に設定することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。
に基づいて詳細に説明する。
【００１１】図１は本発明の一実施の形態である研磨装
置を示す断面図であり、この研磨装置はワークＷを支持
するワーク支持台１１と、このワーク支持台１１に対向
してこれの上方に配置された研磨ヘッド２１とを有して
いる。
置を示す断面図であり、この研磨装置はワークＷを支持
するワーク支持台１１と、このワーク支持台１１に対向
してこれの上方に配置された研磨ヘッド２１とを有して
いる。
【００１２】ワークＷは前述したように磁気ディスク用
のアルミニウム基板であり、ワーク支持台１１を示すと
図２の通りである。ワーク支持台１１は、図２において
矢印で示す方向に回転自在となった回転テーブル式の下
定盤１２を有し、この下定盤１２の上面には、環状の下
側砥石１３が取り付けられている。下定盤１２の回転中
心部には外径が下側砥石１３の内径よりも小径となった
太陽歯車１４が矢印で示すように下定盤１２と同一の方
向に回転自在に設けられており、下側砥石１３の外径よ
りも大径となった環状の内歯歯車１５が下定盤１２を囲
むように台座１６に固定されている。
のアルミニウム基板であり、ワーク支持台１１を示すと
図２の通りである。ワーク支持台１１は、図２において
矢印で示す方向に回転自在となった回転テーブル式の下
定盤１２を有し、この下定盤１２の上面には、環状の下
側砥石１３が取り付けられている。下定盤１２の回転中
心部には外径が下側砥石１３の内径よりも小径となった
太陽歯車１４が矢印で示すように下定盤１２と同一の方
向に回転自在に設けられており、下側砥石１３の外径よ
りも大径となった環状の内歯歯車１５が下定盤１２を囲
むように台座１６に固定されている。
【００１３】太陽歯車１４と内歯歯車１５との間には、
図示する場合には、１０個のキャリア１７が配置されて
おり、それぞれのキャリア１７の外周部には太陽歯車１
４と内歯歯車１５とに噛み合う外歯歯車が形成されてい
る。それぞれのキャリア１７には、ワークＷを収容する
ための円形の保持孔１８が５つずつ形成されており、キ
ャリア１７の厚みはワークＷの厚みよりも薄く形成され
ている。
図示する場合には、１０個のキャリア１７が配置されて
おり、それぞれのキャリア１７の外周部には太陽歯車１
４と内歯歯車１５とに噛み合う外歯歯車が形成されてい
る。それぞれのキャリア１７には、ワークＷを収容する
ための円形の保持孔１８が５つずつ形成されており、キ
ャリア１７の厚みはワークＷの厚みよりも薄く形成され
ている。
【００１４】それぞれのキャリア１７を太陽歯車１４と
内歯歯車１５とに噛み合わせた状態で太陽歯車１４を回
転させると、内歯歯車１５は固定されているので、それ
ぞれのキャリア１７は自転しながら太陽歯車１４の周り
を公転することになり、ワークＷはキャリア１７により
水平面内において下側砥石１３に接触しながら、サイク
メイド曲線ないしトロコイド曲線を描いて水平方向に移
動することになる。
内歯歯車１５とに噛み合わせた状態で太陽歯車１４を回
転させると、内歯歯車１５は固定されているので、それ
ぞれのキャリア１７は自転しながら太陽歯車１４の周り
を公転することになり、ワークＷはキャリア１７により
水平面内において下側砥石１３に接触しながら、サイク
メイド曲線ないしトロコイド曲線を描いて水平方向に移
動することになる。
【００１５】研磨ヘッド２１は図示しない駆動手段によ
って上下方向および水平方向に移動自在となっており、
回転自在に研磨ヘッド２１に設けられた研磨軸２２の下
端部には上定盤２３が取り付けられ、この上定盤２３に
は下側砥石１３に対応して環状となった上側砥石２４が
固定されている。
って上下方向および水平方向に移動自在となっており、
回転自在に研磨ヘッド２１に設けられた研磨軸２２の下
端部には上定盤２３が取り付けられ、この上定盤２３に
は下側砥石１３に対応して環状となった上側砥石２４が
固定されている。
【００１６】研磨ヘッド２１に回転自在に設けられた駆
動スリーブ２５には、研磨軸２２がこれに設けられた直
動案内部２６の部分で上下動自在に嵌合されており、研
磨軸２２は駆動スリーブ２５に対して軸方向に所定のス
トロークで移動し得るとともに、駆動スリーブ２５と一
体に回転するようになっている。研磨軸２２を回転駆動
するために、駆動スリーブ２５に固定されたプーリ２７
と、研磨軸回転モータ２８のシャフト２９に固定された
プーリ３１とには、タイミングベルト３２が掛け渡され
ている。
動スリーブ２５には、研磨軸２２がこれに設けられた直
動案内部２６の部分で上下動自在に嵌合されており、研
磨軸２２は駆動スリーブ２５に対して軸方向に所定のス
トロークで移動し得るとともに、駆動スリーブ２５と一
体に回転するようになっている。研磨軸２２を回転駆動
するために、駆動スリーブ２５に固定されたプーリ２７
と、研磨軸回転モータ２８のシャフト２９に固定された
プーリ３１とには、タイミングベルト３２が掛け渡され
ている。
【００１７】研磨軸２２を所定のストロークで上下動す
るとともに、研磨軸２２に一次荷重を加えるために、一
次空気圧シリンダ３５が研磨ヘッド２１に取り付けられ
ており、この空気圧シリンダ３５により前進後退移動す
る第１ピストンロッド３６は、スラスト軸受３７を介し
て研磨軸２２に連結されている。研磨軸２２に加えられ
る押し付け力を検出するために、第１ピストンロッド３
６には荷重センサ３８が設けられている。
るとともに、研磨軸２２に一次荷重を加えるために、一
次空気圧シリンダ３５が研磨ヘッド２１に取り付けられ
ており、この空気圧シリンダ３５により前進後退移動す
る第１ピストンロッド３６は、スラスト軸受３７を介し
て研磨軸２２に連結されている。研磨軸２２に加えられ
る押し付け力を検出するために、第１ピストンロッド３
６には荷重センサ３８が設けられている。
【００１８】研磨ヘッド２１に固定されたブラケット４
１には、ピン４２によりてこ部材４３がその一端部で上
下方向に揺動自在に取り付けられており、このこて部材
４３の他端部は第１ピストンロッド３６に固定されたピ
ン４４を介して第１ピストンロッド３６に連結されてい
る。研磨ヘッド２１には二次空気圧シリンダ４５が取り
付けられており、この空気圧シリンダ４５により前進後
退移動する第２ピストンロッド４６は、てこ部材４３に
両端部の間の部分でピン４７により連結されている。
１には、ピン４２によりてこ部材４３がその一端部で上
下方向に揺動自在に取り付けられており、このこて部材
４３の他端部は第１ピストンロッド３６に固定されたピ
ン４４を介して第１ピストンロッド３６に連結されてい
る。研磨ヘッド２１には二次空気圧シリンダ４５が取り
付けられており、この空気圧シリンダ４５により前進後
退移動する第２ピストンロッド４６は、てこ部材４３に
両端部の間の部分でピン４７により連結されている。
【００１９】図３はてこ部材４３と２つの空気圧シリン
ダ３５，４５との連結状態を示す概略図であり、ピン４
２の位置を支点とし、ピン４４の位置を作用点とする
と、これらの間の寸法がＬ1 となっており、ピン４７の
位置を荷重点とすると、支点と荷重点との間の寸法がＬ
2 となっている。図示する場合には、Ｌ1 とＬ2 の比
は、約５：１に設定されている。一次空気圧シリンダ３
５のピストン３６ａの受圧面積をＡ1 とし、二次空気圧
シリンダ４５のピストン４６ａの受圧面積をＡ2 とする
と、Ａ1 ：Ａ2 の比は、約５：１に設定されている。ま
た、第１ピストンロッド３６を押し下げて上側砥石２４
に押し付け力を加える際に、一次空気圧シリンダ３５内
に供給ポート３５ａから供給される空気圧をＰ1 とし、
二次空気圧シリンダ４５内に供給ポート４５ａから供給
される空気圧をＰ2 とすると、Ｐ1 ：Ｐ2 の比は、約
１：２５に設定されている。
ダ３５，４５との連結状態を示す概略図であり、ピン４
２の位置を支点とし、ピン４４の位置を作用点とする
と、これらの間の寸法がＬ1 となっており、ピン４７の
位置を荷重点とすると、支点と荷重点との間の寸法がＬ
2 となっている。図示する場合には、Ｌ1 とＬ2 の比
は、約５：１に設定されている。一次空気圧シリンダ３
５のピストン３６ａの受圧面積をＡ1 とし、二次空気圧
シリンダ４５のピストン４６ａの受圧面積をＡ2 とする
と、Ａ1 ：Ａ2 の比は、約５：１に設定されている。ま
た、第１ピストンロッド３６を押し下げて上側砥石２４
に押し付け力を加える際に、一次空気圧シリンダ３５内
に供給ポート３５ａから供給される空気圧をＰ1 とし、
二次空気圧シリンダ４５内に供給ポート４５ａから供給
される空気圧をＰ2 とすると、Ｐ1 ：Ｐ2 の比は、約
１：２５に設定されている。
【００２０】これにより、一次空気圧シリンダ３５によ
って研磨軸２２に加えられる一次荷重の押し付け力と、
二次側空気圧シリンダ４５によって作用点から研磨軸２
２に加えられる二次荷重の押し付け力との差は小さくな
り、研磨軸２２に加えられる押し付け力を、一次荷重を
基準としてこれに付加して目標押し付け力を設定するこ
とができる範囲に二次荷重を制御することができるので
あれば、前述した空気圧値、受圧面積値、荷重点の長さ
比は任意の値に設定することができる。
って研磨軸２２に加えられる一次荷重の押し付け力と、
二次側空気圧シリンダ４５によって作用点から研磨軸２
２に加えられる二次荷重の押し付け力との差は小さくな
り、研磨軸２２に加えられる押し付け力を、一次荷重を
基準としてこれに付加して目標押し付け力を設定するこ
とができる範囲に二次荷重を制御することができるので
あれば、前述した空気圧値、受圧面積値、荷重点の長さ
比は任意の値に設定することができる。
【００２１】図示する場合には、てこ部材４３の長さの
比から、ピン４４の作用点の位置から研磨軸２２に加え
られる二次荷重の５倍の荷重をピン４７の荷重点に二次
空気圧シリンダ４５に加えることができ、このシリンダ
４５に加えられる高い圧力の空気圧を制御することによ
って、押し付け力が制御される。
比から、ピン４４の作用点の位置から研磨軸２２に加え
られる二次荷重の５倍の荷重をピン４７の荷重点に二次
空気圧シリンダ４５に加えることができ、このシリンダ
４５に加えられる高い圧力の空気圧を制御することによ
って、押し付け力が制御される。
【００２２】一次空気圧シリンダ３５の給排ポート３５
ａからは予め設定された一定の第１の圧力Ｐ1 の空気を
供給することによって、第１ピストンロッド３６により
研磨軸２２に加えられる一次荷重の押し付け力は一定と
なるように設定される。これに対して、二次空気圧シリ
ンダ４５の給排ポート４５ａから供給される第２の圧力
Ｐ2 は制御されるようになっており、この圧力を制御す
ることにより、調整された二次荷重の押し付け力が研磨
軸２２に加えられるようになっている。
ａからは予め設定された一定の第１の圧力Ｐ1 の空気を
供給することによって、第１ピストンロッド３６により
研磨軸２２に加えられる一次荷重の押し付け力は一定と
なるように設定される。これに対して、二次空気圧シリ
ンダ４５の給排ポート４５ａから供給される第２の圧力
Ｐ2 は制御されるようになっており、この圧力を制御す
ることにより、調整された二次荷重の押し付け力が研磨
軸２２に加えられるようになっている。
【００２３】たとえば、第１の圧力Ｐ1 を0.126kg/cm2
とし第２の圧力Ｐ2 を3.304kg/cm2とし、研磨軸２２を
介して上側砥石２４に加えられる目標の押し付け力を約
１０kgf とした場合には、この目標押し付け力の許容範
囲を５％以内に制御するには、Ｐ1 の圧力のみによって
押し付け力を制御するには、Ｐ1 の圧力許容値は±0.00
21kg/cm2以内にする必要がある。これに対して、本発明
のように、第１の圧力Ｐ1 を一定とし、この圧力よりも
高いＰ2 の圧力を制御するようにした場合には、Ｐ2 の
圧力を±0.0551kg/cm2以内の範囲で制御すれば、十分に
目標押し付け力の許容範囲を５％以内に設定することが
できる。
とし第２の圧力Ｐ2 を3.304kg/cm2とし、研磨軸２２を
介して上側砥石２４に加えられる目標の押し付け力を約
１０kgf とした場合には、この目標押し付け力の許容範
囲を５％以内に制御するには、Ｐ1 の圧力のみによって
押し付け力を制御するには、Ｐ1 の圧力許容値は±0.00
21kg/cm2以内にする必要がある。これに対して、本発明
のように、第１の圧力Ｐ1 を一定とし、この圧力よりも
高いＰ2 の圧力を制御するようにした場合には、Ｐ2 の
圧力を±0.0551kg/cm2以内の範囲で制御すれば、十分に
目標押し付け力の許容範囲を５％以内に設定することが
できる。
【００２４】このように、本発明にあっては、一次空気
圧シリンダ３５によって一次荷重の押し付け力を直接研
磨軸２２に加えるとともに、一次空気圧シリンダ３５に
供給される第１の空気圧Ｐ1 よりも高い第２の空気圧Ｐ
2 が供給される二次空気圧シリンダ４５によって発生す
る押し付け力を、てこ部材４３を介して小さな二次荷重
に変換してこれを研磨軸２２に間接的に加えるようにし
ている。この結果、大きな荷重を発生させる二次空気圧
シリンダ３５に加えられる第２の圧力を制御することに
よって、二次荷重を制御することが可能となり、研磨軸
２２を介してワークＷに加えられる押し付け力を高い精
度で調整することができる。第１の圧力よりも高い圧力
である第２の圧力を制御して目標荷重を調整するように
すると、大きな圧力範囲で制御することができるので、
相対的に二次荷重をきめ細かい制御、つまり高精度での
制御を行うことができ、研磨軸２２に加えられる押し付
け力を高精度で制御することができる。
圧シリンダ３５によって一次荷重の押し付け力を直接研
磨軸２２に加えるとともに、一次空気圧シリンダ３５に
供給される第１の空気圧Ｐ1 よりも高い第２の空気圧Ｐ
2 が供給される二次空気圧シリンダ４５によって発生す
る押し付け力を、てこ部材４３を介して小さな二次荷重
に変換してこれを研磨軸２２に間接的に加えるようにし
ている。この結果、大きな荷重を発生させる二次空気圧
シリンダ３５に加えられる第２の圧力を制御することに
よって、二次荷重を制御することが可能となり、研磨軸
２２を介してワークＷに加えられる押し付け力を高い精
度で調整することができる。第１の圧力よりも高い圧力
である第２の圧力を制御して目標荷重を調整するように
すると、大きな圧力範囲で制御することができるので、
相対的に二次荷重をきめ細かい制御、つまり高精度での
制御を行うことができ、研磨軸２２に加えられる押し付
け力を高精度で制御することができる。
【００２５】特に、二次空気圧シリンダ４５の受圧面積
を一次空気圧シリンダ３５の受圧面積よりも前述のよう
に小さく設定すると、第２の圧力を第１の圧力よりもか
なり大きい値とすることができるので、制御目標荷重の
誤差を小さくすることができる。
を一次空気圧シリンダ３５の受圧面積よりも前述のよう
に小さく設定すると、第２の圧力を第１の圧力よりもか
なり大きい値とすることができるので、制御目標荷重の
誤差を小さくすることができる。
【００２６】それぞれの空気圧シリンダ３５，４５に圧
縮空気を供給するために、空気圧ポンプ５１に接続され
たタンク５２には空気圧配管５３ａ，５３ｂ，５４が接
続されている。空気圧配管５３ａは一次空気圧シリンダ
３５の給排ポート３５ａに接続され、この空気圧配管５
３ａには研磨軸２２に対して一次荷重を加えるための第
１の圧力を設定する調圧弁５５ａが設けられている。空
気圧配管５３ｂは一次空気圧シリンダ３５の給排ポート
３５ｂに接続され、この空気圧配管５３ｂには上定盤２
３や上側砥石２４などとともに研磨軸２２を上昇移動さ
せるために、第１の圧力よりも高い圧力を設定する調圧
弁５５ｂが設けられている。
縮空気を供給するために、空気圧ポンプ５１に接続され
たタンク５２には空気圧配管５３ａ，５３ｂ，５４が接
続されている。空気圧配管５３ａは一次空気圧シリンダ
３５の給排ポート３５ａに接続され、この空気圧配管５
３ａには研磨軸２２に対して一次荷重を加えるための第
１の圧力を設定する調圧弁５５ａが設けられている。空
気圧配管５３ｂは一次空気圧シリンダ３５の給排ポート
３５ｂに接続され、この空気圧配管５３ｂには上定盤２
３や上側砥石２４などとともに研磨軸２２を上昇移動さ
せるために、第１の圧力よりも高い圧力を設定する調圧
弁５５ｂが設けられている。
【００２７】一方、空気圧配管５４には二次空気圧シリ
ンダ４５内に供給される圧縮空気の圧力を調整するため
の圧力調整器５６が設けられている。この圧力調整器５
６としては電空レギュレータなどが使用され、制御回路
から供給される電気信号によって二次空気圧シリンダ４
５に供給される空気圧が制御される。
ンダ４５内に供給される圧縮空気の圧力を調整するため
の圧力調整器５６が設けられている。この圧力調整器５
６としては電空レギュレータなどが使用され、制御回路
から供給される電気信号によって二次空気圧シリンダ４
５に供給される空気圧が制御される。
【００２８】一次空気圧シリンダ３５の給排ポート３５
ａ，３５ｂを介してこのシリンダ内に対する空気の給排
を切り換えるために、空気圧配管５３ａには切換弁５７
ａが設けられ、空気圧配管５３ｂには切換弁５７ｂが設
けられ、さらに、二次空気圧シリンダ４５の給排ポート
４５ａ，４５ｂを介してシリンダ内に対する空気の給排
を行うために、空気圧配管５４には切換弁５８が設けら
れている。それぞれの切換弁５７ａ，５７ｂ，５８とし
ては電磁弁が使用され、電気信号によって切換動作が行
われる。なお、調圧弁５５ａに代えて電空レギュレータ
を用い、第１の空気圧Ｐ1 を変化させるようにしても良
い。
ａ，３５ｂを介してこのシリンダ内に対する空気の給排
を切り換えるために、空気圧配管５３ａには切換弁５７
ａが設けられ、空気圧配管５３ｂには切換弁５７ｂが設
けられ、さらに、二次空気圧シリンダ４５の給排ポート
４５ａ，４５ｂを介してシリンダ内に対する空気の給排
を行うために、空気圧配管５４には切換弁５８が設けら
れている。それぞれの切換弁５７ａ，５７ｂ，５８とし
ては電磁弁が使用され、電気信号によって切換動作が行
われる。なお、調圧弁５５ａに代えて電空レギュレータ
を用い、第１の空気圧Ｐ1 を変化させるようにしても良
い。
【００２９】図４は研磨装置の作動を制御するための制
御回路を示すブロック図であり、ＣＰＵ（演算処理装
置）などを有する制御部６１には、装置の起動を指令す
る入力キーや押し付け力を入力するキーなどが設けられ
た操作パネル６２と、荷重センサ３８からの信号とが入
力されるようになっている。研磨ヘッド２１を上下動さ
せるヘッド上下動モータ６３と、下定盤１２を回転駆動
する下定盤回転モータ６４と、太陽歯車１４を回転駆動
する太陽歯車回転モータ６５と、研磨軸２２を回転駆動
する研磨軸回転モータ２８とにはそれぞれ制御部６１か
ら作動信号が送られ、さらに、この制御部６１からは圧
力調整器５６、切換弁５７ａ，５７ｂ，５８にそれぞれ
作動信号が送られるようになっている。
御回路を示すブロック図であり、ＣＰＵ（演算処理装
置）などを有する制御部６１には、装置の起動を指令す
る入力キーや押し付け力を入力するキーなどが設けられ
た操作パネル６２と、荷重センサ３８からの信号とが入
力されるようになっている。研磨ヘッド２１を上下動さ
せるヘッド上下動モータ６３と、下定盤１２を回転駆動
する下定盤回転モータ６４と、太陽歯車１４を回転駆動
する太陽歯車回転モータ６５と、研磨軸２２を回転駆動
する研磨軸回転モータ２８とにはそれぞれ制御部６１か
ら作動信号が送られ、さらに、この制御部６１からは圧
力調整器５６、切換弁５７ａ，５７ｂ，５８にそれぞれ
作動信号が送られるようになっている。
【００３０】制御部６１には、荷重センサ３８などから
のアナログ信号を増幅するアンプやデジタル信号に変換
するＡ／Ｄ変換器や圧力調整器５６に出力されるデジタ
ル信号をアナログ信号に変換するＤ／Ａ変換器などが設
けられている。また、制御部６１にはＲＯＭ６６、ＲＡ
Ｍ６７が接続されており、荷重センサ３８からの信号に
応じて圧力調整器５６に出力される電圧値との対応関係
の演算式やマップデータがＲＯＭ６６に格納されてお
り、研磨軸２２に加えられる押し付け力などは表示部６
８に表示されるようになっている。
のアナログ信号を増幅するアンプやデジタル信号に変換
するＡ／Ｄ変換器や圧力調整器５６に出力されるデジタ
ル信号をアナログ信号に変換するＤ／Ａ変換器などが設
けられている。また、制御部６１にはＲＯＭ６６、ＲＡ
Ｍ６７が接続されており、荷重センサ３８からの信号に
応じて圧力調整器５６に出力される電圧値との対応関係
の演算式やマップデータがＲＯＭ６６に格納されてお
り、研磨軸２２に加えられる押し付け力などは表示部６
８に表示されるようになっている。
【００３１】次に、前述した研磨装置を使用してワーク
を研削する手順について説明すると、キャリア１７の保
持孔１８にワークＷが装着された状態のもとで、まず、
研磨ヘッド２１がヘッド上下動モータ６３によって下降
移動されて、上側砥石２４が下側砥石１３にワークＷを
介して対向する位置となる。この状態で切換弁５７ａを
作動させることにより、給排ポート３５ａから所定の圧
力の圧縮空気を一次空気圧シリンダ３５内に供給する。
これにより、上側砥石２４がワークＷの表面に接触す
る。
を研削する手順について説明すると、キャリア１７の保
持孔１８にワークＷが装着された状態のもとで、まず、
研磨ヘッド２１がヘッド上下動モータ６３によって下降
移動されて、上側砥石２４が下側砥石１３にワークＷを
介して対向する位置となる。この状態で切換弁５７ａを
作動させることにより、給排ポート３５ａから所定の圧
力の圧縮空気を一次空気圧シリンダ３５内に供給する。
これにより、上側砥石２４がワークＷの表面に接触す
る。
【００３２】研磨軸２２を介してワークＷに加えられる
押し付け力は、荷重センサ３８により検出され、予め設
定された押し付け力との偏差が存在する場合には、その
偏差に対応した信号が圧力調整器５６に出力されるとと
もに、切換弁５８に作動信号が送られて、てこ部材４３
を介して押し付け力が補正される。
押し付け力は、荷重センサ３８により検出され、予め設
定された押し付け力との偏差が存在する場合には、その
偏差に対応した信号が圧力調整器５６に出力されるとと
もに、切換弁５８に作動信号が送られて、てこ部材４３
を介して押し付け力が補正される。
【００３３】このように、ワークＷには第１の空気圧Ｐ
1 が供給される一次空気圧シリンダ３５による一次荷重
と、第２の空気圧Ｐ2 が供給される二次空気圧シリンダ
４５による二次荷重とが重ね合わされて加えられること
になり、高い圧力が供給される二次空気圧シリンダ４５
による二次荷重を制御することにより、高精度で押し付
け力が制御される。
1 が供給される一次空気圧シリンダ３５による一次荷重
と、第２の空気圧Ｐ2 が供給される二次空気圧シリンダ
４５による二次荷重とが重ね合わされて加えられること
になり、高い圧力が供給される二次空気圧シリンダ４５
による二次荷重を制御することにより、高精度で押し付
け力が制御される。
【００３４】図示するように、Ｌ1 ：Ｌ2 を５：１に設
定した場合には、ピストンロッド４６によりピン４７の
荷重点の部分に加えられる荷重は、ピン４４による作用
点の位置に加えられる二次荷重の５倍の大きさとなる荷
重を制御することになるので、大きな荷重制御を行うこ
とから、研磨軸２２に加えられる押し付け力を高い精度
で制御することができる。
定した場合には、ピストンロッド４６によりピン４７の
荷重点の部分に加えられる荷重は、ピン４４による作用
点の位置に加えられる二次荷重の５倍の大きさとなる荷
重を制御することになるので、大きな荷重制御を行うこ
とから、研磨軸２２に加えられる押し付け力を高い精度
で制御することができる。
【００３５】所定の押し付け力が加えられた状態のもと
で、上側砥石２４と下側砥石１３とを回転駆動させるこ
とにより、ワークＷの両面は同時に加工される。加工が
終了した後には、切換弁５７ａの通電を解いて切換弁５
７ｂに通電することによって研磨軸２２は所定のストロ
ークだけ上昇移動し、研磨ヘッド２１をヘッド上下動モ
ータ６３により上昇移動させ、ワークＷは研磨装置から
取り出される。
で、上側砥石２４と下側砥石１３とを回転駆動させるこ
とにより、ワークＷの両面は同時に加工される。加工が
終了した後には、切換弁５７ａの通電を解いて切換弁５
７ｂに通電することによって研磨軸２２は所定のストロ
ークだけ上昇移動し、研磨ヘッド２１をヘッド上下動モ
ータ６３により上昇移動させ、ワークＷは研磨装置から
取り出される。
【００３６】実施の形態にあっては、上定盤２３と下定
盤１２とにそれぞれ研磨具として砥石を取り付けてワー
クを削る処理つまり研削加工を行う場合について説明し
たが、磨き加工を行う場合にも図示する研磨装置を適用
することができる。研削加工と磨き加工とを総称して研
磨加工と言われ、磨き加工には、ワークの寸法誤差を調
整したり、表面仕上げ状態を改善するために行うラッピ
ングや、ワークの表面に高度の鏡面を形成するためのポ
リッシングがあり、それぞれバフなどの磨き工具が研磨
具として用いられるとともに、ラッピングに際しては、
アルミナ粉末、炭化ケイ素粉末、ガラス粉末、あるいは
ダイヤモンド粉末などがラッピング砥粒として使用さ
れ、ポリッシングにはラッピング砥粒よりもさらに細か
い粒子の砥粒が使用される。
盤１２とにそれぞれ研磨具として砥石を取り付けてワー
クを削る処理つまり研削加工を行う場合について説明し
たが、磨き加工を行う場合にも図示する研磨装置を適用
することができる。研削加工と磨き加工とを総称して研
磨加工と言われ、磨き加工には、ワークの寸法誤差を調
整したり、表面仕上げ状態を改善するために行うラッピ
ングや、ワークの表面に高度の鏡面を形成するためのポ
リッシングがあり、それぞれバフなどの磨き工具が研磨
具として用いられるとともに、ラッピングに際しては、
アルミナ粉末、炭化ケイ素粉末、ガラス粉末、あるいは
ダイヤモンド粉末などがラッピング砥粒として使用さ
れ、ポリッシングにはラッピング砥粒よりもさらに細か
い粒子の砥粒が使用される。
【００３７】本発明は前記実施の形態に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能で
あることはいうまでもない。
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能で
あることはいうまでもない。
【００３８】たとえば、実施の形態にあっては、ワーク
の両面を同時に研磨する場合について説明したが、ワー
クの片面のみを研磨する場合にも本発明を適用すること
ができる。その場合にはワークを下側砥石１３の上に配
置することなく、回転テーブルや固定テーブルの上に直
接配置する。また、ワークを複数枚同時に加工する場合
のみならず、１枚ずつ処理する場合にも本発明を適用す
ることができる。また、図示する場合には空気圧シリン
ダ３５，４５を使用したが、油圧シリンダなど流体を作
動媒体としたシリンダであれば、いずれの流体をも使用
することができる。ワークとしてはアルミニウム基板の
みならず、ガラス基板をも研磨することができる。
の両面を同時に研磨する場合について説明したが、ワー
クの片面のみを研磨する場合にも本発明を適用すること
ができる。その場合にはワークを下側砥石１３の上に配
置することなく、回転テーブルや固定テーブルの上に直
接配置する。また、ワークを複数枚同時に加工する場合
のみならず、１枚ずつ処理する場合にも本発明を適用す
ることができる。また、図示する場合には空気圧シリン
ダ３５，４５を使用したが、油圧シリンダなど流体を作
動媒体としたシリンダであれば、いずれの流体をも使用
することができる。ワークとしてはアルミニウム基板の
みならず、ガラス基板をも研磨することができる。
【００３９】
【発明の効果】本発明によれば、第１の流体圧が供給さ
れる一次流体圧シリンダにより研磨軸に直接一次荷重の
押し付け力を加え、これよりも高い第２の圧力が供給さ
れる二次流体圧シリンダの作動をてこ部材を介して間接
的に研磨軸に二次荷重の押し付け力を加えるようにした
ので、二次荷重を高い精度で制御することができ、研磨
軸に加える押し付け力を高い精度で制御することができ
る。これにより、研磨軸を介してワークの研磨面には誤
差が少ない押し付け力が加えられることになり、ワーク
を高精度で研磨加工することが可能となる。
れる一次流体圧シリンダにより研磨軸に直接一次荷重の
押し付け力を加え、これよりも高い第２の圧力が供給さ
れる二次流体圧シリンダの作動をてこ部材を介して間接
的に研磨軸に二次荷重の押し付け力を加えるようにした
ので、二次荷重を高い精度で制御することができ、研磨
軸に加える押し付け力を高い精度で制御することができ
る。これにより、研磨軸を介してワークの研磨面には誤
差が少ない押し付け力が加えられることになり、ワーク
を高精度で研磨加工することが可能となる。
【図１】本発明の一実施の形態である研磨装置を示す断
面図である。
面図である。
【図２】図１に示されたワーク支持台を示す斜視図であ
る。
る。
【図３】てこ部材と２つの空気圧シリンダとの連結状態
を示す概略図である。
を示す概略図である。
【図４】研磨装置の制御回路を示すブロック図である。
１１ ワーク支持台 １２ 下定盤 １３ 下側砥石 ２１ 研磨ヘッド ２２ 研磨軸 ２３ 上定盤 ２４ 上側砥石 ２５ 駆動スリーブ ２８ 研磨軸回転モータ ３５ 一次空気圧シリンダ（一次流体圧シリンダ） ３６ 第１ピストンロッド ３６ａ ピストン ３８ 荷重センサ ４３ てこ部材 ４５ 二次空気圧シリンダ（二次流体圧シリンダ） ４６ 第２ピストンロッド ５６ 圧力調整器
Claims (3)
- 【請求項１】 ワークに接触する研磨具を研磨軸により
回転駆動し、 前記研磨軸に連結された第１ピストンロッドを有する一
次流体圧シリンダに第１の流体圧を供給して前記研磨軸
に一次荷重を加え、 一端部に揺動中心部を有し他端部が前記第１ピストンロ
ッドに連結されたてこ部材の両端部間に連結された第２
ピストンロッドを有する二次流体圧シリンダに前記第１
の流体圧よりも高い第２の流体圧を供給して前記研磨軸
に二次荷重を加え、 前記第２の流体圧を制御して二次荷重を調整し、前記研
磨軸に前記一次荷重と調整された二次荷重とを加えた状
態のもとで前記研磨具により前記ワークを研磨するよう
にしたことを特徴とする研磨方法。 - 【請求項２】 ワークを支持する支持台と、 前記ワークを研磨する研磨具を回転駆動する研磨軸が設
けられ、前記支持台に対向して配置された研磨ヘッド
と、 第１の流体圧により作動しかつ前記研磨軸に連結された
第１ピストンロッドを有する一次流体圧シリンダと、 一端部が前記研磨ヘッドに揺動自在に取り付けられ、か
つ他端部が前記第１ピストンロッドに連結されたてこ部
材と、 前記第１の流体圧よりも高い第２の流体圧により作動し
かつ前記てこ部材の両端部の間に連結された第２ピスト
ンロッドを有する二次流体圧シリンダと、 前記二次流体圧シリンダに供給される第２の流体圧を制
御する流体圧調整手段とを有し、 前記一次流体圧シリンダによる一次荷重を前記研磨軸に
加えるとともに、前記二次流体圧シリンダによる二次荷
重を前記てこ部材を介して前記研磨軸に加えるようにし
たことを特徴とする研磨装置。 - 【請求項３】 請求項２記載の研磨装置において、前記
二次流体圧シリンダの受圧面積を前記一次流体圧シリン
ダの受圧面積よりも小さくしたことを特徴とする研磨装
置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10200710A JP2977807B1 (ja) | 1998-07-15 | 1998-07-15 | 研磨方法および研磨装置 |
| US09/343,833 US6152804A (en) | 1998-07-15 | 1999-06-30 | Grinding method and grinding apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10200710A JP2977807B1 (ja) | 1998-07-15 | 1998-07-15 | 研磨方法および研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2977807B1 true JP2977807B1 (ja) | 1999-11-15 |
| JP2000024920A JP2000024920A (ja) | 2000-01-25 |
Family
ID=16428943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10200710A Expired - Lifetime JP2977807B1 (ja) | 1998-07-15 | 1998-07-15 | 研磨方法および研磨装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
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| JP (1) | JP2977807B1 (ja) |
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| US7771249B2 (en) | 2007-03-30 | 2010-08-10 | Park Industries, Inc. | Corner saw |
| CN103586772B (zh) * | 2012-08-16 | 2016-01-06 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 压力检测装置 |
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| JP2016178181A (ja) * | 2015-03-19 | 2016-10-06 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
| CN106002611A (zh) * | 2016-07-14 | 2016-10-12 | 新乡日升数控轴承装备股份有限公司 | 一种研磨机的杠杆式加压机构 |
| CN110253391B (zh) * | 2019-07-15 | 2024-03-08 | 珠海格力智能装备有限公司 | 打磨装置 |
| CN113878437B (zh) * | 2021-10-22 | 2024-02-13 | 马鞍山市山峰金属材料有限公司 | 一种铝切丸颗粒磨切装置及其实施方法 |
Family Cites Families (8)
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|---|---|---|---|---|
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| DE3520713A1 (de) * | 1985-06-10 | 1986-12-11 | Fa. Peter Wolters, 2370 Rendsburg | Steuervorrichtung fuer den bearbeitungsdruck an laepp-, hon- und poliermaschinen |
| JPH0775827B2 (ja) * | 1986-07-11 | 1995-08-16 | スピ−ドフアム株式会社 | 加工圧補正機構付き平面研磨装置 |
| US4837982A (en) * | 1987-12-02 | 1989-06-13 | Kwik-Way Manufacturing Corporation | Control circuit for a honing machine |
| CH680598A5 (ja) * | 1989-08-28 | 1992-09-30 | Speno International | |
| US5355634A (en) * | 1991-05-24 | 1994-10-18 | Yamaha Corporation | Tool holder unit for a robot |
| FR2677292B1 (fr) * | 1991-06-04 | 1995-12-08 | Seva | Machine de polissage a regulation pneumatique de l'effort de l'outil de la piece a polir. |
| US5957763A (en) * | 1997-09-19 | 1999-09-28 | Speedfam Corporation | Polishing apparatus with support columns supporting multiple platform members |
-
1998
- 1998-07-15 JP JP10200710A patent/JP2977807B1/ja not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-06-30 US US09/343,833 patent/US6152804A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6152804A (en) | 2000-11-28 |
| JP2000024920A (ja) | 2000-01-25 |
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