JP4697435B2 - 磁気ヘッド研磨装置及び磁気ヘッド研磨方法 - Google Patents

Description

本発明は、磁気記録装置等に用いられる磁気ヘッドスライダが複数連結された被研磨物である磁気ヘッド研磨装置及び研磨方法に関する。

従来より、磁気ヘッドの製造工程において、複数の磁気ヘッド素子（ＭＲ（Ｍａｇｎｅｔｏ Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）膜と呼ばれる。）が表面上に一列に形成されてなるローバーの被研磨面（いわゆるエアベアリング面）に対していわゆるＲＬＧ（Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ Ｌａｐｐｉｎｇ Ｇｕｉｄｅ）研磨が行われている。ＲＬＧ研磨は、スライダのスロートハイトあるいはＭＲハイト等が適切な値になるように、ＭＲ膜の抵抗特性をダミー抵抗を用いて測定しながら行われる。
研磨される対象であるローバーとは、セラミック材料からなるウエハの表面に、磁気ヘッド素子を複数形成したものを、ダイシング工程において所定の幅で切断して得られた個々の棒状部材である。

ＲＬＧ研磨では、ローバーの被研磨面に対向する面に略剛体からなる治具を固定し、研磨用定盤の上方に配置される研磨ヘッドの下面に、治具に固定されたローバーを固定する。

研磨剤（スラリー）を一様に塗布した定盤の上面に研磨ヘッドを降下させ、ローバーの被研磨面を接触させる。この後、定盤を回転させ、ローバーを構成する各スライダーに、押圧部材からの圧力を作用させることで、ローバーを所定の厚さ、表面粗さ、及び所定の形状に研磨する（例えば、特許文献１〜４参照。）。

以下に、従来の押圧部材とローバーの構成について説明する。図９（ａ）は、研磨ヘッドの正面図であり、図９（ｂ）は、研磨ヘッドの底面図である。図１０は、図９（ａ）のＸ部の拡大図である。

ローバ４１７を押圧する押圧部材は、押圧ピンと４３１と、押圧ピン４３１の先端部に当接可能に配置され、研磨ヘッド４１５本体に装着されている櫛歯部材４３５から構成されている。また、櫛歯部材４３５における、押圧ピン４３１に押圧される部分と反対側の面には、櫛歯部材の長手方向にラバー４１９が接着剤（接着剤層４３２）により固定されている。また、ローバー４１７は、ラバー４１９の表面に保持される。

上記構成の研磨ヘッド４１５において、不図示の駆動源から供給される圧縮空気により所定の押圧ピン４３１が押圧されると、櫛歯部材４３２の、可撓性のある櫛歯部４３５ａを押圧する。さらに、櫛歯先端部分４３５ｂが撓み、ラバー４１９を変形させ、ローバー４１７の所定箇所を研磨面に押圧し研磨を行う。

特開２００２−６６８９３号公報 特開２００２−１５７７２３号公報 特許第２９３５９１６号公報 特開２００４−０７１０１６号公報

近年、ますます磁気ヘッドに使用されるスライダの小型化が進んできている。この小型化に伴い、ローバーを構成する各スライダの配列ピッチもますます狭くすることが要求されている。

スライダの微小化に伴い、磁気ヘッド研磨装置の押圧部材の微小化のみならず、研磨精度を高める必要がある。研磨精度を向上させるためには、押圧動作の応答性や、負荷に対するリニアリテイを高めることが必要である。特に、研磨装置は、スライダの電気的特性をモニタしながら押圧力を変えるクローズト制御によって行う場合、制御系からの指令による押圧部材の応答性を高めることは、研磨精度の向上に不可欠である。

発明者等は鋭意研究した結果、従来の比較的大きな寸法のスライダでは、押圧部材とラバーの間に介在している接着剤の影響は相対的に小さかったが、スライダの微小化にともない、応答性や負荷のリニアリティへの影響が相対的に大きくなってきているという知見を得た。これは、押圧部材の構成要素が小型化すると、体積より表面積の影響が顕著になり、押圧部材がラバーを押圧する際の接着剤の影響を無視できなくなっていることに起因すると考えられる。

そこで、本発明は、接着剤の影響を受けることなく、押圧部材の応答性やリニアリティを向上させることにより研磨精度を高めることができる磁気ヘッド研磨装置や磁気ヘッド研磨方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するための本発明の磁気ヘッド研磨装置の第１の態様は、電気−磁気変換素子及び磁気−電気変換素子の少なくとも一方からなる素子が複数形成された被研磨物を研磨する磁気ヘッド研磨装置であって、回転可能な研磨面を有する研磨用定盤と、前記研磨面を回転させる回転駆動手段と、前記研磨面に対して移動可能に配置され、前記被研磨物を前記研磨面に対して押圧し前記被研磨物を研磨する研磨ヘッドと、を備え、前記研磨ヘッドは、前記被研磨物を表面に保持する弾性を有する保持部と、前記保持部を固定する保持部固定部と、前記保持部を介して前記被研磨物を押圧する複数の押圧部材と、を有し、前記押圧部材が押圧する前記保持部の押圧領域に、前記押圧手段が接触した状態で、前記保持部が前記押圧領域以外の領域で前記保持部固定部に固定されている。

本発明の磁気ヘッド研磨装置の第２の態様によれば、前記研磨ヘッドは、前記押圧部と前記保持部との間に介在する薄板部材を備え、前記保持部は前記薄板部材を介して前記保持固定部に固定されている。

本発明の磁気ヘッド研磨装置の第３の態様によれば、前記押圧部材を駆動するアクチュエータはエアベアリング式のエアシリンダを有する。

さらに、上記課題を解決するための本発明の磁気ヘッド研磨方法の第１の態様によれば、電気−磁気変換素子及び磁気−電気変換素子の少なくとも一方からなる素子が複数形成された被研磨物を研磨する磁気ヘッド研磨方法であって、前記被研磨物を弾性体の表面に保持する保持工程と、研磨用定盤に形成された研磨面に対して、前記弾性体を介して前記被研磨物を押圧し、前記被研磨物を研磨する研磨工程と、を備え、前記研磨工程は、前記押圧部材により押圧される前記保持部の押圧領域以外の領域において、前記保持部が固定された状態で行われる。

本発明の磁気ヘッド研磨方法の第２の態様によれば、前記弾性体の前記押圧部材により押圧される面は薄板部材を備える。

本発明の研磨装置及び研磨方法によれば、押圧部材と、保持部材の間には、接着剤が介在しないので、接着剤による影響を受けることがない。よって、押圧部材の応答性やリニアリティを向上させることができ、研磨精度を高めることができる。

以下、本発明による磁気ヘッド研磨装置及び磁気ヘッド研磨方法の実施形態について図面を参照しつつ説明する。

（実施形態）
本発明の実施形態に係る磁気ヘッド研磨装置を添付図面を参照して説明する。図１（ａ）は本発明の実施形態の磁気ヘッドの研磨装置の全体を示す正面図であり、図１（ｂ）は平面図である。図１（ａ）及び図１（ｂ）により、磁気ヘッドの研磨装置の全体構成を説明する。

磁気ヘッドの研磨装置は、基台１を備え、この基台１には、研磨用定盤３が水平面内で回転可能に支持され、さらに、この研磨用定盤３は基台１内に設けられた回転駆動源である定盤駆動用モータ５でベルト７を介して回転駆動される。研磨用定盤３が備える研磨面３ａは、研磨工程によって被研磨面上に所定のＲ形状（クラウン形状）を与えるべく、所定の曲率半径を有する曲面を構成する凹面状のすり鉢形状である。

また、図１（ａ）中、上下方向に離間した１対のガイドレール９が基台１の上方で水平方向に延び、さらに、横移動スライダ１１（図１（ｂ）参照。）が、ガイドレール９に摺動自在に装着され、ガイドレール９に沿って水平方向に移動できる。横移動スライダ１１の移動は、例えばガイドレール９に平行なボール螺子軸にスライダ１１側のボール螺子ナットを螺合し、ボール螺子軸をモータで回転駆動することで実行できる。さらに、横移動スライダ１１には、研磨ヘッド取付用フレーム１３が装着されている。

このように、横移動スライダ１１及び研磨ヘッド取付用フレーム１３は水平方向の往復直線運動を行うことができる。

さらに、研磨ヘッド取付用フレーム１３には、押しつけ機構保持プレート２５（図３参照。）を介して後述する押しつけ機構１５が装着されている。

図１中の右側上方には、磁気ヘッド研磨装置の全体の制御を司る、例えばコンピュータよりなる制御部６が設けられている。この制御部６は、作業者が、不図示のスイッチを操作すると、研磨工程のための諸制御を開始するようになっている。すなわち、磁気ヘッド研磨装置が備えるモータ等の駆動部に対して駆動信号を送り研磨作業を行うように構成されている。

以下に被研磨物を研磨面に対して押し付けるための押し付け機構について説明するが、磁気ヘッド研磨装置のその他の構成については、本願出願人による特許文献１、２等に記載されているものと同様であるので、詳細は割愛する。

図２は、押し付け機構の概略を示す正面図である。図３は、図２の線ＩＩＩ−ＩＩＩに沿った断面図である。図４は、ラバーの底面図である。なお、図２において、図３に示されているホルダー２１は構成の説明上割愛した。

図２、３に示されるように、押しつけ機構１５は、被研磨物であるローバー１７を保持する弾性の保持部であるラバー部材１９と、前記ラバー部材１９を固定するための保持部固定部であるラバーホルダー２９と、ラバーホルダー２９を研磨面３ａに対して昇降する昇降部２３を備える。

昇降部２３は、左右に配置された昇降ユニット２４、２６から構成されている。両昇降ユニット２４、２６は同一の構成であるので図中右側の昇降ユニット２４について説明する。昇降ユニット２４は、押しつけ機構保持プレート２５（図３参照。）に固定されるエアシリンダ２８と、エアシリンダ２８内で鉛直方向に昇降移動するピストン３０と、不図示のエア源からエアシリンダに所定圧のエアーを供給する不図示の電空レギュレータと、を備える。また、ピストン３０の下端部は、ホルダ２１に装着されており、ピストン３０の昇降により、ホルダ２１が昇降する。

また、押しつけ機構１５は、不図示の電空レギュレータで制御されるエアを、継手２６を介してマニホールドシリンダ２７内に導入し、マニホールドシリンダ２７内に保持されたアクチュエータとなるピストン３７を駆動する。ピストン３７の駆動に応じて、板部材である押圧スライダ３１が研磨面３ａに対して上下方向に往復運動する。なお、スライダ３１の移動範囲は、上下方向に関してはストッパ３３により、そして、左右方向にはガイド３５によって規制される。なお、各ピストンは制御部６からの駆動信号に基づきそれぞれ独立して駆動される。

本実施の形態においては、上述の押圧スライダ３１によるローバー１７の押圧を、ローバー１７を構成する各素子（スライダ）毎に応じて行うことを目的としている。しかし、必要となる押圧スライダ３１の移動量を提供しうるピストン３７の大きさ、特にピストン３７の直径は、現状においては、各素子に割り当てられるローバー上の領域の大きさと比較して、かなり大きいものとなる。このため、図３に示すように、ピストン３７を３列に並設することとし、隣り合う押圧スライダ３１を駆動するピストン３７は、順次異なる列に配置することとし、押圧スライダ３１各々に対して別個のピストン３７を対応させている。従って、本実施の形態におけるピストン３７の配置は、ピストン３７の大きさ等に応じて適宜変更されることが望ましい。すなわち、並列されるアクチュエータの数は３つに限定することなく、並列する数を適宜変更できる。

並設された複数の押圧スライダ３１の下端側には、保持部材である矩形状のラバー１９が、ローバー１７と平行な方向に延在し（図３参照）、その長手方向の両端がラバーホルダー２９に接着剤等により固定される。

図４に示されるように、ラバー１９は、その接着領域１９ａでラバーホルダー２９に接着剤等により接着される。接着領域１９ａは、ラバーの長手方向に延在し、図４中の上下方向に対向する両縁部それぞれに２つ設けられる。また、接着領域１９ａに挟まれ、ラバー１９のほぼ中央に位置するのは、押圧領域１９ｂである。この押圧領域１９ｂには、押圧スライダ３１の先端部が当接する。このように、押圧領域１９ｂは接着剤が塗布されておらず、ラバー１９は押圧スライダの先端部に接着されない。

さらに、ラバー１９は、その下面（図３の上下方向における下側の面）において、ローバー１７を、自己粘着作用あるいは一種の真空吸着作用によって保持する。

なお、押圧スライダからローバーへの押圧力の応答性を高める観点からラバーには弛みがなく、また、押圧スライダの先端部に当接した状態で、ラバーがホルダーに固定されている。また、そのためにラバー１９のローバー１７の吸着面の反対側（図３の上下方向における上側の面）の面に矩形状の薄板３６（図３のみに示す。）を装着しても良い。薄板３６はラバー１９の弛みを防止するための裏打ち部材である。ラバー１９の薄板３６への固定は、接着剤や粘着材を用いずに、ラバー１９の自己粘着作用あるいは一種の真空吸着作用によって行われる。

なお、本実施の形態においては、ラバー１９はラバーホルダー２９に接着剤を用いて接着したが、ネジによる固定、或いは真空源に連通する吸引口をホルダー２１に設け、真空吸引によりラバーを保持することも可能である。また、本実施の形態では、ラバー１９は一部品からなる構成としたが、その材質の剛性やローバーに対する粘着作用等に応じて変更でき、ラバー１７がローバーに当接する押圧領域には、吸着性能に優れた材料を用い、ホルダーに固定される部分には、剛性の高い材料を用いても良い。

上述の構成において、ラバー１９の表面に保持されるローバー１７は、押圧スライダ３１からの押圧力により研磨面３ａに押しつけられ研磨加工が行われる。加工時においては、複数の押圧スライダ３１各々を駆動してローバー１７に変形を与えることにより、ローバー１７の特定部分を変形させる。すなわち、ローバー１７の特定部分を強く研磨面３ａに押しつけることで、ローバー１７の特定部分の研磨量を大きくすることが可能となる。

図５は、図３のＶ部分の拡大図である。図に示されるように、押圧スライダ３１はラバー１９を介してローバー１７を押圧する。しかし、押圧スライダ３１の先端３９とラバー１９との間には、接着剤が介在していないので、ラバーに作用する押圧力の減衰する割合にばらつきが生じることを防止できる。よって、押圧スライダ３１が付与する押圧力に対する、ラバー１９に作用する押圧力のリニアリティを確保できる。

上記構成の磁気ヘッド研磨装置による研磨方法について説明する。まず、ラバー１９の押圧領域１９ｂにローバー１７を保持させる。具体的には、治具を用いてローバ１７をラバー１９に押し付ける。この時、ラバー１９は、押圧スライダの先端部３９に当接した状態である。

次に、制御部６は、不図示のモータを駆動し、横移動スライダ１１を動かし、押し付け機構１５を、研磨面３ａ上まで水平移動させる。次に、制御部６は、定盤駆動用モータ５を駆動して、研磨面３ａを所定の回転速度で回転させる。制御部６は、さらに、不図示の昇降駆動モータを駆動させて、研磨面３ａとローバー１７との間に僅かな隙間をあけた位置関係まで昇降部２３を降下させる。

そして、制御部６は、所定のピストン３７を所定量だけ移動すべく、電空レギュレータを作動させて、所定量のエアをマニホールドシリンダ２７内に供給する。エアが供給されたピストン３７により、対応する押圧スライダ３１が押圧され、ラバー１９を介してローバー１７の所定部位を押圧する。

以上述べたように、本発明の磁気ヘッド研磨装置及び磁気ヘッド研磨方法によれば、ローバーのクラウン加工後において、各素子間の加工量のばらつきの低減を図ることができる。

（押し付け機構の変形例）
図６は、押し付け機構の変形例を模式的に示す正面図である。図７は、保持部固定補助部材の底面図である。

押しつけ機構１１５の構成は、図２と概ね同様の構成であるので、異なる部分についてのみ説明する。本押し付け機構は、ラバーを固定保持するための固定補助部材１０７を備える。すなわち、ラバー１１９を固定補助部材１０７に接着する。そして、固定補助部材１０７をシリンダ１３１の先端部の下方（図６における上下方向）に配置すべく、ホルダ１２３の両端に設けた貫通孔を介して皿ねじ１１０等の固定部材でホルダ１２３を固定補助部材１０７に固定する。

図７に示されるように、固定補助部材１０７のほぼ中央には、矩形状の開口が設けられており、押圧スライダ１３１がラバー１１９に当接する押圧領域１０９ａを構成する。また、押圧領域１０９ａの周囲には、接着領域１０９ｂが設けられ、ラバー１１９が接着剤等により固定される領域である。

接着領域１０９ｂは、ラバーの周縁部に沿うように延在している。よって、ラバー１１９の貼り付け面積を、第１実施形態に比べ広く取れるので、ラバー１１９が緩んだり、撓んだりすることを防止できる。

また、第一の実施例と同様に、ラバー１１９のローバー１１７の吸着面の反対側（図６の上下方向における上側の面）に薄板１３６を介して取り付けても良い。薄板１３６はラバー１１９の弛みを防止するための裏打ち部材である。ラバー１９に薄板３６を固定するには、接着剤や粘着材を用いずに、ラバー１９の自己粘着作用あるいは一種の真空吸着作用によって保持する。

上記構成の固定補助部材１０７は、押しつけ機構１１５の昇降部１２３に装着さ れる。上記押し付け機構の変形例を組み込んだ磁気ヘッド研磨装置及び磁気ヘッド方法では、押圧スライダ１３１からの押圧力は、薄板１３６に作用し、さらに、ラバー１１９を介してローバー１１７を押圧する。

なお、押圧領域１０９ａ、及び接着領域１０９ｂを矩形状としたが、これに限定されることなく、押圧スライダ１３１やラバー１１９の形状に合わせて形状や寸法を適宜変更できることは言うまでもない。

（エアシリンダの変形例）
エアシリンダの変形例について説明する。図８は、エアベアリング式エアシリンダの概略の断面図である。図面の明瞭化のため、一つのアクチュエータを示しているが、図３のアクチュエータように複数個を並列して使用できることは言うまでもない。

エアベアリング式エアシリンダ３２９は、断面環状のシリンダ室３３１を有する本体３３３と、シリンダ室３３１内を摺動する円柱状のロッド３３７と、シリンダ室３３１に連通するロッド挿通孔３３９と、を備える。ロッド３３７は、ロッド挿通孔３３９を介して、シリンダ室３３１から外部に突出する。また、ロッド３３７の外周には、多孔質体からなる第１及び第２エア噴出部材３４１、３４３が軸方向に離間して装着されている。また、第１エア噴出部材３４１が設けられているロッドの大径部３３７ａの外径は、第２エア噴出部材３４３が設けられているロッドの小径部３３７ｂより大きく寸法付けされている。また、シリンダ室３３１の内周はロット３３７の外周に相補的な寸法形状を有し、ロッド挿通孔３３９から離れる側（図中の上方）の内径は、ロッド挿通孔３３９に近接する側の内径より大きくなっている。よって、ロット３３７の大径部３３７ａと小径部３３７ｂとにより画成される断部３４５が、シリンダ３３１内の段部３４７に係止され、ロッド３３７の軸方向の移動が制限される。

また、本体３３３は、不図示のエア源とシリンダ室３３１内とを連通させるための、本体３３３を貫通する給気ポート３４９を備える。さらに、シリンダ室３３１内の底部（ロッド挿通孔３３９から最も離れた部分）に、ロッド３３７を移動させるエアを供給するための第１推力ポート３５１が不図示のエア供給源とシリンダ室３３１を連通するように設けられている。さらに、ロッド３３７の小径部３３７ｂ側にエアを供給するための、不図示のエア供給源とシリンダ室３３１とを連通させる第２推力ポート３５３が設けられている。

上記構成において、給気ポート３４９から常時エアを供給することにより、ロッド３３７に設けられた通路３５５を介し、第１エア噴出部材３４１及び第２エア噴出部材３４３からシリンダ内へエアを噴出させることにより、非接触的にロッド３３７が支承される。すなわち、エアベアリングが形成される。

また、第１推力ポート３５１からエアを供給し、ロッド端部３３７ｃにエアを作用すると、ロッド３３７が突出する。ロッド３３７の突出により押圧スライダ３３５を押圧し、ラバー３１９を介してローバー３１７を押圧する。他方、第２推力ポート３５３からエアを供給すると、エアがロッド３３７の断部３４５に作用し、ロッド３３７が退避する。

上記エアベアリング式エアシリンダを採用し、ロッドとシリンダとの間に空気層を設けることにより、前述した実施形態のエアシリンダに比べ、摺動抵抗を格段に低減でき、動作精度を高めることができる。さらに、エアベアリングは、シールとしても機能するため、ロッド及びシリンダの間に介在するシール部材と、ロッドとの間の摩擦抵抗や、ロッドとブッシュ（すべり軸受）との間の摩擦抵抗等と大幅に削減できる。

以下に、第１実施形態の構成に押し付け機構の変形例を組み込んだ研磨ヘッド装置（後述の表中におけるラバー）及び、第１実施形態の構成にアクチュエータの変形例を組み込んだ研磨ヘッド装置（後述の表中におけるシリンダ）を用いて、被研磨物の加工精度を検証した。

被研磨物であるローバーは、厚さが約０．２〜０．３ｍｍ、幅が１．２ｍｍ、ローバの長手方向長さが、６０〜７０ｍｍのものを使用した。目標値とは、図９に示したような従来の磁気ヘッド研磨装置では、達成が困難な数値である。また、検査項目のＭＲＲとは、ＭＲ素子（各スライダ）の抵抗値を意味し、Ｐｒｏｆｉｌｅとは、ＭＲ素子の形状を意味し、ＴＣとは、各素子の長手方向に対するエアベアリング面側の曲率半径である。また、ＴＣＣとは、ローバーの長手方向についてのエアベアリング面側の曲率半径である。ＰＴＲは、Ｐｏｌｅ Ｔｉｐ Ｒｅｃｅｓｓｉｏｎを意味し、ベアリング面を基準として電極先端部までの長さを意味する。ＳＳ２は、記録ヘッド部の磁極であり、ＳＦは、再生ヘッド部の磁極を意味する。σは標準偏差であり、各項目について約２００個を計測した。

ＯＫは目標値を達成、ＮＧは目標値を未達成、Ｂｅｔｔｅｒは目標値を未達成ながら、シリンダの結果に比べると良い値を示していることを意味する。

上記の表１に示されるように、押し付け機構の変形例を組み込んだ研磨ヘッド装置では、ＭＲ素子の抵抗値及びＴＣＣの標準偏差、については、目標値以下の値とすることができた。アクチュエータの変形例を組み込んだ研磨ヘッド装置では、ＭＲ素子の抵抗値の標準偏差及びＳＦの平均値については、目標値を達成できた。

この結果から、押し付け機構の変形例を組み込んだ研磨ヘッド装置によれば、４つの項目について目標値を達成していることから、研磨精度を格段に向上できることが実証された。また、アクチュエータの変形例を組み込んだ研磨ヘッド装置では、２つの項目について目標値を達成できた。よって、押し付け機構の変形例及びアクチュエータの変形例の組み込んだ第１実施形態の構成による磁気ヘッド研磨装置によれば、研磨精度をより向上できると考えられる。

さらに、実施形態においては、アクチュエータとしての取り扱いの容易さからエアにより駆動されるピストンあるいはシリンダを用いているが、駆動媒体はエアに限定されるものでなく、制御系も上述の電空レギュレータに限定されない。駆動媒体には液体材料を用いても良く、制御系も単なるエアレギュレータ等を用いても良い。さらには、シリンダに変えて圧電素子等からなるマイクロアクチュエータ等を用いても良い。

また、本実施の形態において、研磨ヘッドはＸおよびＺ軸方向にのみ可動であるが、本発明は当該実施例に限定されず、例えば研磨面３ａと略平行な平面上で研磨ヘッドが駆動可能となるように、Ｙ軸方向にも可動な構成としても良い。また、このＸＹ平面上において回転可能な構成としても良い。さらに、研磨ヘッドを揺動できる構成としても良い。

以上、実施形態においては、研磨量の制御については特に述べていないが、本願出願人が特願平１１−３０２３０５に開示するように、各素子の例えばＭＲ値等を順次測定しながら研磨を行うクローズドループによる研磨量の制御を行っても良い。さらに、上記実施形態においては、ローバーに対してクラウン加工を施す際の研磨装置について述べているが、本発明はこれらに限定されるものではなく、例えば、研磨面３ａを平坦な面とし、当該研磨装置をスロートハイトの調節等に併せて用いても良い。

本実施形態及び実施例においては、弾性部材の代表例としてラバーを挙げたが、弾性を有するものであれば、樹脂材料なども利用できる。

また、本実施形態および実施例に用いたラバー（１９，１１９）は厚さ０．５〜０．８ｍｍのラバーであるが、同様の効果を得られればこれ以外の厚さのラバーでも良い。

さらに、本実施形態および実施例に用いた薄板（３６，１３６）は厚さ０．０５〜０．０８ｍｍのＳＵＳ板であるが、材質および厚さは同様の効果を得られればこれ以外のものでも良い。

この発明は、その本質的特性から逸脱することなく数多くの形式のものとして具体化することができる。よって、上述した実施形態は専ら説明上のものであり、本発明を制限するものではないことは言うまでもない。

（ａ）は本発明の実施形態の磁気ヘッドの研磨装置の全体を示す正面図であり、（ｂ）は平面図である。 被研磨物押し付け機構の概略を示す正面図である。 図２の線ＩＩＩ−ＩＩＩに沿った断面図である。 図４は、ラバーの正面図である。 図５は、図３のＶ部分の拡大図である。 押し付け機構の変形例を模式的に示す正面図である。 保持部固定補助部材の正面図である。 エアベアリング式エアシリンダの概略の断面図である。 （ａ）は、従来の研磨ヘッドの正面図であり、（ｂ）は、（ａ）の研磨ヘッドの底面図である。 図９（ａ）のＸ部の拡大図である。

符号の説明

１ 基台
３ 研磨用定盤
３ａ 研磨面
５ 定盤駆動用モータ
１１ ホルダ
１５ 押し付け機構
３１ 押圧スライダ
１７ ローバー
１９ ラバー
２３ 昇降部

Claims (5)

1. 電気−磁気変換素子及び磁気−電気変換素子の少なくとも一方からなる素子が複数形成された被研磨物を研磨する磁気ヘッド研磨装置であって、
   回転可能な研磨面を有する研磨用定盤と、前記研磨面を回転させる回転駆動手段と、前記研磨面に対して移動可能に配置され、前記被研磨物を前記研磨面に対して押圧し前記被研磨物を研磨する研磨ヘッドと、を備え、
   前記研磨ヘッドは、前記被研磨物を表面に保持する弾性を有する保持部と、前記保持部を固定する保持部固定部と、前記保持部を介して前記被研磨物を押圧する複数の押圧部材と、前記押圧部材と前記保持部との間に介在して弾性を有する前記保持部の弛みを防止する裏打ち部材としての薄板部材と、を有し、
   前記押圧部材が押圧する前記保持部の押圧領域に、前記押圧部材が接触した状態で、前記保持部が前記押圧領域以外の領域で前記保持部固定部に固定されている磁気ヘッド研磨装置。
2. 前記研磨ヘッドは、前記押圧部材が前記薄板部材に当接する押圧領域の周囲に対して前記保持部を接着する接着領域と、矩形状の開口と、を有する固定補助部材を備え、前記固定補助部材は前記保持部固定部に固定されている請求項１に記載の磁気ヘッド研磨装置。
3. 前記押圧部材を駆動するアクチュエータは、シリンダ室を有する本体と、前記シリンダ室内を摺動するロッドと、前記ロッドを摺動させるために前記シリンダ室内にエアを供給する第１の推力ポート及び第２の推力ポートと、前記シリンダ室内で前記ロッドを非接触的に支承するために前記シリンダ室内にエアを供給する給気ポートと、を有し、前記給気ポートにから前記シリンダ室内に供給されるエアは前記シリンダ室と前記ロッドとの間に設けられるエア噴出し部材によって供給されて前記エアシリンダ室内周が前記ロッドを非接触的に支承する、エアベアリング式のエアシリンダを有する請求項１乃至２に記載の磁気ヘッド研磨装置。
4. 電気−磁気変換素子及び磁気−電気変換素子の少なくとも一方からなる素子が複数形成された被研磨物を研磨する磁気ヘッド研磨方法であって、
   前記被研磨物を弾性体の表面に保持する保持工程と、
   研磨用定盤に形成された研磨面に対して、前記弾性体を介して前記被研磨物を押圧し、前記被研磨物を研磨する研磨工程と、を備え、
   前記研磨工程は、押圧される前記弾性体の押圧領域以外の領域において、前記弾性体が固定された状態で行われ、
   前記弾性体の押圧は、前記弾性体の弛みを防止するために前記弾性体の裏打ち部材として配置される薄板部材を介して行われる磁気ヘッド研磨方法。
5. 前記弾性体の固定は、矩形状の開口を有する固定補助部材に前記押圧領域の周囲を接着固定することで為されていることを特徴とする、請求項４に記載の磁気ヘッド研磨方法。

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