JP4697435B2 - 磁気ヘッド研磨装置及び磁気ヘッド研磨方法 - Google Patents
磁気ヘッド研磨装置及び磁気ヘッド研磨方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4697435B2 JP4697435B2 JP2006056365A JP2006056365A JP4697435B2 JP 4697435 B2 JP4697435 B2 JP 4697435B2 JP 2006056365 A JP2006056365 A JP 2006056365A JP 2006056365 A JP2006056365 A JP 2006056365A JP 4697435 B2 JP4697435 B2 JP 4697435B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- pressing
- magnetic head
- polished
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
研磨される対象であるローバーとは、セラミック材料からなるウエハの表面に、磁気ヘッド素子を複数形成したものを、ダイシング工程において所定の幅で切断して得られた個々の棒状部材である。
本発明の実施形態に係る磁気ヘッド研磨装置を添付図面を参照して説明する。図1(a)は本発明の実施形態の磁気ヘッドの研磨装置の全体を示す正面図であり、図1(b)は平面図である。図1(a)及び図1(b)により、磁気ヘッドの研磨装置の全体構成を説明する。
図6は、押し付け機構の変形例を模式的に示す正面図である。図7は、保持部固定補助部材の底面図である。
エアシリンダの変形例について説明する。図8は、エアベアリング式エアシリンダの概略の断面図である。図面の明瞭化のため、一つのアクチュエータを示しているが、図3のアクチュエータように複数個を並列して使用できることは言うまでもない。
OKは目標値を達成、NGは目標値を未達成、Betterは目標値を未達成ながら、シリンダの結果に比べると良い値を示していることを意味する。
3 研磨用定盤
3a 研磨面
5 定盤駆動用モータ
11 ホルダ
15 押し付け機構
31 押圧スライダ
17 ローバー
19 ラバー
23 昇降部
Claims (5)
- 電気−磁気変換素子及び磁気−電気変換素子の少なくとも一方からなる素子が複数形成された被研磨物を研磨する磁気ヘッド研磨装置であって、
回転可能な研磨面を有する研磨用定盤と、前記研磨面を回転させる回転駆動手段と、前記研磨面に対して移動可能に配置され、前記被研磨物を前記研磨面に対して押圧し前記被研磨物を研磨する研磨ヘッドと、を備え、
前記研磨ヘッドは、前記被研磨物を表面に保持する弾性を有する保持部と、前記保持部を固定する保持部固定部と、前記保持部を介して前記被研磨物を押圧する複数の押圧部材と、前記押圧部材と前記保持部との間に介在して弾性を有する前記保持部の弛みを防止する裏打ち部材としての薄板部材と、を有し、
前記押圧部材が押圧する前記保持部の押圧領域に、前記押圧部材が接触した状態で、前記保持部が前記押圧領域以外の領域で前記保持部固定部に固定されている磁気ヘッド研磨装置。 - 前記研磨ヘッドは、前記押圧部材が前記薄板部材に当接する押圧領域の周囲に対して前記保持部を接着する接着領域と、矩形状の開口と、を有する固定補助部材を備え、前記固定補助部材は前記保持部固定部に固定されている請求項1に記載の磁気ヘッド研磨装置。
- 前記押圧部材を駆動するアクチュエータは、シリンダ室を有する本体と、前記シリンダ室内を摺動するロッドと、前記ロッドを摺動させるために前記シリンダ室内にエアを供給する第1の推力ポート及び第2の推力ポートと、前記シリンダ室内で前記ロッドを非接触的に支承するために前記シリンダ室内にエアを供給する給気ポートと、を有し、前記給気ポートにから前記シリンダ室内に供給されるエアは前記シリンダ室と前記ロッドとの間に設けられるエア噴出し部材によって供給されて前記エアシリンダ室内周が前記ロッドを非接触的に支承する、エアベアリング式のエアシリンダを有する請求項1乃至2に記載の磁気ヘッド研磨装置。
- 電気−磁気変換素子及び磁気−電気変換素子の少なくとも一方からなる素子が複数形成された被研磨物を研磨する磁気ヘッド研磨方法であって、
前記被研磨物を弾性体の表面に保持する保持工程と、
研磨用定盤に形成された研磨面に対して、前記弾性体を介して前記被研磨物を押圧し、前記被研磨物を研磨する研磨工程と、を備え、
前記研磨工程は、押圧される前記弾性体の押圧領域以外の領域において、前記弾性体が固定された状態で行われ、
前記弾性体の押圧は、前記弾性体の弛みを防止するために前記弾性体の裏打ち部材として配置される薄板部材を介して行われる磁気ヘッド研磨方法。 - 前記弾性体の固定は、矩形状の開口を有する固定補助部材に前記押圧領域の周囲を接着固定することで為されていることを特徴とする、請求項4に記載の磁気ヘッド研磨方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006056365A JP4697435B2 (ja) | 2006-03-02 | 2006-03-02 | 磁気ヘッド研磨装置及び磁気ヘッド研磨方法 |
CN2007100861458A CN101028697B (zh) | 2006-03-02 | 2007-03-02 | 磁头研磨装置和磁头研磨方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006056365A JP4697435B2 (ja) | 2006-03-02 | 2006-03-02 | 磁気ヘッド研磨装置及び磁気ヘッド研磨方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007229884A JP2007229884A (ja) | 2007-09-13 |
JP4697435B2 true JP4697435B2 (ja) | 2011-06-08 |
Family
ID=38550983
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006056365A Expired - Fee Related JP4697435B2 (ja) | 2006-03-02 | 2006-03-02 | 磁気ヘッド研磨装置及び磁気ヘッド研磨方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4697435B2 (ja) |
CN (1) | CN101028697B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107020559A (zh) * | 2017-04-28 | 2017-08-08 | 肖凤菊 | 一种便于调节的联轴器加工用打磨装置 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103341808B (zh) * | 2013-07-23 | 2017-03-22 | 博深工具股份有限公司 | 一种瓷砖工具的螺旋刀头全自动磨弧设备及其使用方法 |
CN104400607A (zh) * | 2014-10-27 | 2015-03-11 | 苏州广型模具有限公司 | 一种精密模具的抛光方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09120519A (ja) * | 1995-10-24 | 1997-05-06 | Tdk Corp | 磁気ヘッド、磁気記録再生装置及び磁気ヘッド製造方法 |
JP2001121394A (ja) * | 1999-10-25 | 2001-05-08 | Tdk Corp | 磁気ヘッドの研磨装置および方法 |
JP2002066893A (ja) * | 2000-06-16 | 2002-03-05 | Tdk Corp | 磁気ヘッド用研磨装置および方法 |
JP2002157723A (ja) * | 2000-11-21 | 2002-05-31 | Tdk Corp | 磁気ヘッドスライダの製造方法およびバーの研磨方法 |
JP2002205259A (ja) * | 2001-01-12 | 2002-07-23 | Tdk Corp | 角形研磨プレートを用いる磁気ヘッド用研磨装置および方法 |
JP2005088145A (ja) * | 2003-09-18 | 2005-04-07 | Fujitsu Ltd | ローバーの研磨装置及び研磨方法 |
JP2005219189A (ja) * | 2004-02-09 | 2005-08-18 | Fujitsu Ltd | ラップ加工方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000056502A1 (fr) * | 1999-03-19 | 2000-09-28 | Fujitsu Limited | Machine de rodage, procede de rodage et procede de fabrication de tete magnetique |
JP4006154B2 (ja) * | 2000-01-07 | 2007-11-14 | Tdk株式会社 | 磁気ヘッドの研磨装置及び研磨方法 |
-
2006
- 2006-03-02 JP JP2006056365A patent/JP4697435B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-03-02 CN CN2007100861458A patent/CN101028697B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09120519A (ja) * | 1995-10-24 | 1997-05-06 | Tdk Corp | 磁気ヘッド、磁気記録再生装置及び磁気ヘッド製造方法 |
JP2001121394A (ja) * | 1999-10-25 | 2001-05-08 | Tdk Corp | 磁気ヘッドの研磨装置および方法 |
JP2002066893A (ja) * | 2000-06-16 | 2002-03-05 | Tdk Corp | 磁気ヘッド用研磨装置および方法 |
JP2002157723A (ja) * | 2000-11-21 | 2002-05-31 | Tdk Corp | 磁気ヘッドスライダの製造方法およびバーの研磨方法 |
JP2002205259A (ja) * | 2001-01-12 | 2002-07-23 | Tdk Corp | 角形研磨プレートを用いる磁気ヘッド用研磨装置および方法 |
JP2005088145A (ja) * | 2003-09-18 | 2005-04-07 | Fujitsu Ltd | ローバーの研磨装置及び研磨方法 |
JP2005219189A (ja) * | 2004-02-09 | 2005-08-18 | Fujitsu Ltd | ラップ加工方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107020559A (zh) * | 2017-04-28 | 2017-08-08 | 肖凤菊 | 一种便于调节的联轴器加工用打磨装置 |
CN107020559B (zh) * | 2017-04-28 | 2019-04-12 | 河北安恕朗盛机械科技有限公司 | 一种便于调节的联轴器加工用打磨装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101028697B (zh) | 2010-05-26 |
JP2007229884A (ja) | 2007-09-13 |
CN101028697A (zh) | 2007-09-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
USRE41329E1 (en) | Machining apparatus for workpiece and method therefor | |
JP2000052233A (ja) | 研磨装置 | |
JP4697435B2 (ja) | 磁気ヘッド研磨装置及び磁気ヘッド研磨方法 | |
JP4346392B2 (ja) | ローバーの研磨装置及び研磨方法 | |
US7096567B2 (en) | Method for measuring amount of grinding in magnetic head producing process | |
US6846222B2 (en) | Multi-chambered, compliant apparatus for restraining workpiece and applying variable pressure thereto during lapping to improve flatness characteristics of workpiece | |
US6991513B2 (en) | Magnetic head grinding device and method | |
JP4702554B2 (ja) | 多連エアアクチュエータ及び多連エアアクチュエータを有する磁気ヘッド研磨装置 | |
JP4423656B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造装置及び製造方法 | |
US6623336B2 (en) | Magnetic head polishing device and method thereof | |
JP2004283962A (ja) | 板状ワークの平面研磨方法および平面研磨盤 | |
JP4998918B2 (ja) | テープ研磨装置 | |
JP3834521B2 (ja) | 研磨方法および研磨装置 | |
US6758725B1 (en) | Lapping method and lapping apparatus | |
EP4238699A1 (en) | Head for holding substrate, and substrate processing apparatus | |
CN102655981A (zh) | 异物除去装置 | |
JP2002103212A (ja) | ポリッシング装置 | |
JP2009220240A (ja) | 研削装置、研削装置用の研削ヘッド及び研削方法 | |
JP2004071016A (ja) | 磁気ヘッドスライダの研磨加工装置および薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
JP2004136441A (ja) | 被加工物の加工装置および方法 | |
JP2002205261A (ja) | 複数研磨プレートを用いる磁気ヘッド用研磨装置および方法 | |
JP2001143219A (ja) | 被加工物の曲がり修正用治具、該治具を用いた加工装置および方法 | |
JP2004058210A (ja) | 磁気ヘッドの研磨装置 | |
JP2000061827A (ja) | 研磨方法および研磨装置 | |
JP2006221815A (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071211 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090527 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100908 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101105 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101208 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110111 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110202 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110215 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4697435 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |