JP4998918B2

JP4998918B2 - テープ研磨装置

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Publication number: JP4998918B2
Application number: JP2007102961A
Authority: JP
Inventors: 雄司矢田
Original assignee: NTN Corp
Current assignee: NTN Corp
Priority date: 2007-04-10
Filing date: 2007-04-10
Publication date: 2012-08-15
Anticipated expiration: 2027-04-10
Also published as: JP2008260074A

Description

この発明は、テープ研磨装置に関し、特に、基板表面に発生した突起欠陥を研磨して平坦に修正するテープ研磨装置に関する。

従来、製造工程における異物の付着などにより平面基板の表面に発生する突起欠陥を研磨して平坦に修正する、テープ研磨装置が提案されている（たとえば特許文献１参照）。

図１６は、従来のテープ研磨装置の構成を示す模式図である。図１６に示すように、テープ研磨装置は、研磨ヘッド１５を上下に移動させる上下動テーブル５を備える。上下動テーブル５には、被研磨物を研磨するための研磨テープ１１と、研磨テープ１１において砥粒が付着した面である研磨面と反対側の面である裏面に先端部が当接する研磨ヘッド１５と、研磨ヘッド１５を径方向に支持するラジアル軸受１６とが設けられている。

研磨ヘッド１５はラジアル軸受１６によって支持され、かつ、上下動テーブル５に対し相対的に上下方向に移動可能な構造とされている。ラジアル軸受１６には、たとえば空気軸受や磁気軸受などの非接触軸受が用いられる場合が多い。そのため、研磨ヘッド１５とラジアル軸受１６との間に発生する摩擦力は小さくなり、上記摩擦力によって研磨ヘッド１５の上記相対的な移動が妨げられることを防止している。

また上下動テーブル５には、供給リール１２と、巻取リール１３と補助リール１４とによって構成されるテープ巻取り機構が設けられている。供給リール１２および巻取リール１３は、任意に調整される所定の回転速度で回転駆動され、研磨テープ１１を研磨ヘッド１５の先端部に沿って所定の速度で送る。研磨テープ１１を送りながら、研磨ヘッド１５の先端部が、基板１表面に発生した被研磨物である突起欠陥１０へ研磨テープ１１の研磨面を押し付けることによって、突起欠陥１０が研磨される。

また上下動テーブル５には、研磨ヘッド１５の上下方向の位置を測定するため、位置検出機構１７が取り付けられている。図１７は、図１６に示す従来のテープ研磨装置の、位置検出機構および研磨ヘッド付近を拡大して示す模式図である。図１７に示すように、位置検出機構１７は内部にバネ材１８などの弾性部材を含んでいる。位置検出機構１７は、弾性部材を介在させて研磨ヘッド１５と接触している。この弾性部材の変形量により、上下動テーブル５に対する研磨ヘッド１５の上下方向の相対的な位置を測定できる。つまり、研磨ヘッド１５の先端部が突起欠陥１０に接触して研磨ヘッド１５が上方向に移動すると、バネ材１８が圧縮される。このバネ材１８が圧縮された量に基づいて、研磨ヘッド１５の上下方向の相対的な位置を測定することができる。

位置検出機構１７の測定値と、上下動テーブル５の上下動方向の位置指令値とから、研磨加工中の研磨ヘッド１５の位置が確認できる。したがって、研磨テープ１１による研磨加工の加工量（加工深さ）が確認できる。
特開２００６−２２１９０７号公報

従来のテープ研磨装置では、図１７に示すように、位置検出機構１７と研磨ヘッド１５とはねじ構造１９により直結されている。位置検出機構１７および研磨ヘッド１５を上下動テーブル５に取り付けるときに、両者の軸芯がずれて取り付けられる場合や、両者が上下方向に対して傾いて取り付けられる場合がある。図１８は位置検出機構と研磨ヘッドとの軸芯がずれている状態を示す模式図である。図１９は位置検出機構および研磨ヘッドが上下方向に対して傾いて、上下動テーブルに取り付けられている状態を示す模式図である。

なお、本明細書中において、上下方向とは上下動テーブル５の移動方向であって、被研磨物が発生する基板１の表面に対して垂直な方向を指すものとする。上下動テーブル５が基板１に接近する方向が下方向であり、上下動テーブル５が基板１から離れる方向が上方向である。図１６に示すように、研磨ヘッド１５の軸方向が上下方向に一致している状態が、上下動テーブル５に対して研磨ヘッド１５が適正に取り付けられた状態である。同様に、位置検出機構１７の軸方向が上下方向に一致している状態が、上下動テーブル５に対して位置検出機構１７が適正に取り付けられた状態である。

位置検出機構１７と研磨ヘッド１５との軸芯がずれて上下動テーブル５に取り付けられた場合、バネ材１８に圧縮力が加えられたとき、図１８に示すように、バネ材１８は研磨ヘッド１５を上下方向に対し傾いた方向に押すことになる。このとき、研磨ヘッド１５とラジアル軸受１６とが接触し擦れるなどの不具合が発生する。また、位置検出機構１７および研磨ヘッド１５の各々の軸方向が上下方向に対して傾いて上下動テーブル５に取り付けられた場合にも同様に、図１９に示すように、研磨ヘッド１５とラジアル軸受１６とが接触し擦れる不具合が発生する。

研磨ヘッド１５とラジアル軸受１６とが接触する結果、研磨ヘッド１５の上下方向の移動が困難になる。そのため、研磨ヘッド１５の上下方向の位置測定精度が低下し、研磨加工中に加工量を正確に確認することが困難となる。したがって、研磨加工の精度が低下する。

ラジアル軸受１６には、研磨ヘッド１５の上下動がスムーズに行なえるように、空気軸受などの非接触軸受が用いられる場合が多い。非接触軸受の場合は、通常、研磨ヘッド１５とラジアル軸受１６の軸受面との間にラジアル隙間が存在する。そのため、非接触軸受と研磨ヘッド１５との接触により研磨ヘッド１５の上下方向の移動が妨げられる影響がより大きくなるので、研磨加工の精度低下の問題がさらに顕著になる。

それゆえに、この発明の主たる目的は、取り付け時に軸芯のずれや傾きが発生しても精度の高い研磨加工を行なうことのできる、テープ研磨装置を提供することである。

この発明に係るテープ研磨装置は、被研磨物を研磨するための研磨テープと、研磨テープを被研磨物へ押し付ける研磨ヘッドと、研磨ヘッドの軸方向の位置を検出する位置検出機構と、研磨ヘッドを径方向に支持するラジアル軸受とを備える。研磨ヘッドおよび位置検出機構のいずれか一方は凸形状部を含み、他方は凸形状部と摺動可能に接触する接合部を含む。そして、凸形状部および接合部のいずれか一方は磁石であり、他方は磁石または磁性体である。

この場合は、研磨ヘッドおよび位置検出機構は相互に摺動可能に設けられる。そのため、位置検出機構に軸芯のずれや取り付け時の傾きが発生しても、研磨ヘッドは位置検出機構と一体となって動くことはなく、ラジアル軸受による研磨ヘッドの軸方向の支持が保たれる。よって、従来のようなラジアル軸受での研磨ヘッドのこすれなどの、不具合の発生を防止することができる。研磨ヘッドと位置検出機構とは、磁石の吸引力によって常時接触しているので、研磨ヘッドが軸方向に移動したときには位置検出機構によって確実に研磨ヘッドの軸方向の位置を検出することができる。つまり、研磨加工中に加工量を確認することができるので、精度の高い研磨加工を行なうことができる。

また、凸形状部および接合部の少なくともいずれか一方は、球面の形状を有することが望ましい。この場合は、研磨ヘッドと位置検出機構とは点接触するので相互に摺動しやすくなる。そのため、位置検出機構の軸芯のずれなどによって研磨ヘッドが傾きラジアル軸受へ接触することを、より確実に防止することができる。

また、ラジアル軸受は空気軸受、または、磁気軸受であることが望ましい。この場合は、非接触のラジアル軸受によって研磨ヘッドが支持される。よって、研磨ヘッドの軸方向の移動において、ラジアル軸受との間の摩擦を抑制できるので、研磨ヘッドは軸方向に円滑に移動できる。したがって、研磨ヘッドの軸方向の位置をより確実に位置検出機構によって検出することができる。

この発明のテープ研磨装置によれば、取り付け時に軸芯のずれや傾きが発生しても精度の高い研磨加工を行なうことができる。

以下、図面に基づいてこの発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において、同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰返さない。

（実施の形態１）
図１は、この発明の実施の形態１によるテープ研磨装置の全体構成を示す模式図である。図１に示すように、このテープ研磨装置は、加工対象となる基板１がその表面に載置され、基板１の表面と平行なＸＹ方向に移動するＸＹテーブル２と、基板１の表面に対して垂直なＺ方向に移動するＺテーブル３とを備える。

Ｚテーブル３には、基板１の表面を観察する観察光学系４と、基板表面の突起部を加工する上下動テーブル５とが設けられている。上下動テーブル５は、ＸＹテーブル２およびＺテーブル３の移動によって、基板１に対し相対的な任意の位置に位置決めされる。つまり、図１に示すテープ研磨装置において、Ｚ方向が上下方向に相当し、Ｚテーブル３は上下動テーブル５を備えている。上下動テーブル５には、被研磨物を研磨するための研磨テープ１１、研磨テープ１１を被研磨物へ押し付ける研磨ヘッド１５、研磨ヘッド１５の軸方向の位置を検出する位置検出機構１７、研磨ヘッド１５を径方向に支持するラジアル軸受１６が設けられ、その他図１６において説明した構成が設けられている。

さらに、このテープ研磨装置は、その他に観察光学系４による観察画像を表示するモニタ６と、装置全体の動きを制御する制御手段としてのコントローラ７と、研磨時に発生した切り屑を排出する切り屑排出機構８などを備える。

図２は、テープ研磨装置の、位置検出機構および研磨ヘッド付近を拡大して示す模式図である。図２に示すように、位置検出機構１７は内部にバネ材１８などの弾性部材を含んでいる。位置検出機構１７は、弾性部材を介在させて研磨ヘッド１５と接触している。この弾性部材の変形量により、研磨ヘッド１５の上下方向の上下動テーブル５に対する相対的な位置を測定できる。

研磨ヘッド１５の上端には、磁性体からなり上端面が球面の形状を有するターゲット材２１が取り付けられている。また、位置検出機構１７の下端の先端部材２３にはマグネット２２が組み込まれている。マグネット２２が磁性体であるターゲット材２１を吸引する力が働くために、位置検出機構１７と研磨ヘッド１５とは互いに点接触している。

つまり、図２に示すように、研磨ヘッド１５は、上端において位置検出機構１７側へ突出する凸形状部としてのターゲット材２１を含む。位置検出機構１７はマグネット２２を含み、マグネット２２は凸形状部であるターゲット材２１に接触する接合部である。接合部が凸形状部と点接触するには、接合部の凸形状部と接触する面は、曲率中心が当該面よりも凸形状部側にあって曲率が凸形状部の曲率以上である曲面形状以外の形状を有する必要がある。つまり、接合部の凸形状部と接触する面は、曲率中心が当該面よりも接合部側にある曲面形状、平面形状、または、曲率中心が当該面よりも凸形状部側にあって曲率が凸形状部の曲率よりも小さい曲面形状の、いずれかの形状を有することが好ましい。接合部であるマグネット２２は磁石であり、凸形状部であるターゲット材２１は磁性体からなる。そのため、マグネット２２とターゲット材２１とは磁石の吸引力によって引き寄せられ接触している。ただし、マグネット２２とターゲット材２１とは相互に固定されておらず、マグネット２２とターゲット材２１とは摺動可能に接触している。

この構造では、研磨ヘッド１５と位置検出機構１７の軸芯がずれても、また両者が相対的に傾いて取り付けられても、接触部分が点接触で球形であり固定されていないため、研磨ヘッド１５を傾けるような力が働かない。よって、研磨ヘッド１５とラジアル軸受１６が擦れることはなく、研磨ヘッド１５の上下動が妨げられることもない。

図１７〜１９に示す従来のテープ研磨装置では、位置検出機構１７と研磨ヘッド１５とはねじ構造１９により直結されていた。従来のテープ研磨装置の構造では、位置検出機構１７が研磨ヘッド１５を押す力によって、研磨ヘッド１５の軸方向が傾き、その結果研磨ヘッド１５がラジアル軸受１６に接触する可能性があった。そのため、研磨ヘッド１５の軸方向が上下方向となるように、ラジアル軸受１６を上下動テーブル５に取り付ける必要があった。かつ、研磨ヘッド１５の軸芯に対し位置検出機構１７の軸芯が正確に一致するように、位置検出機構１７を上下動テーブル５に取り付ける必要があった。

これに対し、本発明の実施の形態１のテープ研磨装置では、研磨ヘッド１５と位置検出機構１７とは、磁力によってのみ接触が保たれている、別々の部材として設けられている。そのため、研磨ヘッド１５を径方向に支持するラジアル軸受１６が、研磨ヘッド１５の軸方向を上下方向に一致させるように上下動テーブル５に取り付けられていれば、位置検出機構１７の上下動テーブル５への取り付け状況に関わらず、研磨ヘッド１５の軸方向は常に上下方向に保たれる。

つまり、図３に示す位置検出機構１７の軸芯が研磨ヘッド１５の軸芯とずれている状態において、ターゲット材２１は球面の形状を有するために、マグネット２２はターゲット材２１と点接触している。この状態で研磨ヘッド１５が上方向に移動すると、マグネット２２および先端部材２３を通じて上向きの力がバネ材１８に加えられ、バネ材１８は圧縮される。位置検出機構１７は、そのときのバネ材１８の変形量を用いて、研磨ヘッド１５の上下方向の位置を検出することができる。また研磨ヘッド１５の移動に伴い発生するバネ材１８を圧縮する力の反作用によって、バネ材１８から研磨ヘッド１５へ下向きの力が加えられるが、研磨ヘッド１５の軸方向を上下方向に対して傾けるような力の成分は、研磨ヘッド１５に作用しない。したがって、研磨ヘッド１５の軸方向が上下方向に対して傾くことはない。

また、図４に示す位置検出機構１７の軸方向が上下方向に対して傾いている状態においても、マグネット２２はターゲット材２１と点接触している。この場合も、図３について説明した通りに、位置検出機構１７はバネ材１８の変形量を用いて研磨ヘッド１５の上下方向の位置を検出することができ、かつ、研磨ヘッド１５の軸方向が上下方向に対して傾くことはない。

以上説明したように、この発明のテープ研磨装置では、被研磨物の研磨中も研磨ヘッド１５の軸方向が上下方向に対して傾くことはないために、研磨ヘッド１５とラジアル軸受１６が接触して擦れることはなく、研磨ヘッド１５の上下動が妨げられない。そのため、研磨ヘッド１５が軸方向に移動したときには位置検出機構１７によって確実に研磨ヘッド１５の軸方向の位置を検出することができる。つまり、研磨加工中に加工量を確認することができるので、精度の高い研磨加工を行なうことができる。

次に、研磨ヘッド１５を径方向に支持するラジアル軸受について説明する。図５は、ラジアル軸受として空気軸受を用いた例を示す模式図である。図５に示すように、空気軸受２６には径方向外側の表面に給気口２７が形成されている。圧縮空気は、図示しないエアコンプレッサなどの気体供給源から給気口２７へ供給され、空気軸受２６の内部に形成された通気路２８を通じて、噴出孔２９において研磨ヘッド１５と空気軸受２６との間の隙間であるラジアル隙間に噴出する。ラジアル隙間に供給された圧縮空気の圧力によって、研磨ヘッド１５は空気軸受２６に対して非接触の状態で軸支される。

図６は、ラジアル軸受として磁気軸受を用いた例を示す模式図である。図６に示すように、磁気軸受３６は電磁石３７を含み、電磁石３７は研磨ヘッド１５を取り囲むように、研磨ヘッド１５の軸の周囲に複数個配置される。電磁石３７に通電し磁力を発生させるとき、電磁石３７の研磨ヘッド１５に対向する面には研磨ヘッド１５に対する吸引力が発生する。つまり、電磁石３７の吸引力を研磨ヘッド１５の径方向の複数箇所において発生させることによって、研磨ヘッド１５は磁気軸受３６に対して非接触の状態で軸支される。

ラジアル軸受１６として空気軸受２６または磁気軸受３６を用いた場合、研磨ヘッド１５を非接触の状態で軸支できるので、ラジアル軸受１６と研磨ヘッド１５との間に摩擦力が全く働かず、研磨ヘッド１５は軸方向に円滑に移動できる。したがって、研磨ヘッド１５の軸方向の位置をより確実に位置検出機構１７によって検出することができる。

（実施の形態２）
図７は、実施の形態２のテープ研磨装置の、位置検出機構および研磨ヘッド付近を示す模式図である。図７に示す実施の形態２の位置検出機構１７および研磨ヘッド１５は、研磨ヘッド１５の上端においてマグネット２２と先端部材２３とを有し、位置検出機構１７にバネ材１８を介在させてターゲット材２１を有する点において、図２に示す実施の形態１と異なっている。ターゲット材２１のマグネット２２と対向する面が球面形状となるように、ターゲット材２１は形成されている。このような構成によっても、ターゲット材２１とマグネット２２とは摺動可能に接触しているため、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。

（実施の形態３）
図８は、実施の形態３のテープ研磨装置の、位置検出機構および研磨ヘッド付近を示す模式図である。図８に示す実施の形態３の位置検出機構１７および研磨ヘッド１５では、位置検出機構１７にバネ材１８と先端部材２３とを介在させてマグネット２２が取り付けられ、研磨ヘッド１５の上端にターゲット材２１が取り付けられる。マグネット２２のターゲット材２１と対向する面が球面形状となるようにマグネット２２は形成されている。このような構成によっても、ターゲット材２１とマグネット２２とは摺動可能に接触しているため、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。

（実施の形態４）
図９は、実施の形態４のテープ研磨装置の、位置検出機構および研磨ヘッド付近を示す模式図である。図９に示す実施の形態４の位置検出機構１７および研磨ヘッド１５では、位置検出機構１７にバネ材１８を介在させてターゲット材２１が取り付けられ、研磨ヘッド１５の上端にマグネット２２と先端部材２３とが取り付けられる。マグネット２２のターゲット材２１と対向する面が球面形状となるようにマグネット２２は形成されている。このような構成によっても、ターゲット材２１とマグネット２２とは摺動可能に接触しているため、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。

（実施の形態５）
図１０は、実施の形態５のテープ研磨装置の、位置検出機構および研磨ヘッド付近を示す模式図である。図１０に示す実施の形態５の位置検出機構１７および研磨ヘッド１５では、位置検出機構１７にバネ材１８と先端部材２３とを介在させてマグネット２２が取り付けられ、研磨ヘッド１５の上端にターゲット材２１が取り付けられる。マグネット２２のターゲット材２１と対向する面、および、ターゲット材２１のマグネット２２と対向する面がいずれも球面形状となるように、ターゲット材２１とマグネット２２とは形成されている。このような構成によっても、ターゲット材２１とマグネット２２とは摺動可能に接触しているため、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。

（実施の形態６）
図１１は、実施の形態６のテープ研磨装置の、位置検出機構および研磨ヘッド付近を示す模式図である。図１１に示す実施の形態６の位置検出機構１７および研磨ヘッド１５では、位置検出機構１７にバネ材１８を介在させてターゲット材２１が取り付けられ、研磨ヘッド１５の上端にマグネット２２と先端部材２３とが取り付けられる。マグネット２２のターゲット材２１と対向する面、および、ターゲット材２１のマグネット２２と対向する面がいずれも球面形状となるように、ターゲット材２１とマグネット２２とは形成されている。このような構成によっても、ターゲット材２１とマグネット２２とは摺動可能に接触しているため、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。

（実施の形態７）
図１２は、実施の形態７のテープ研磨装置の、位置検出機構および研磨ヘッド付近を示す模式図である。図１２に示す実施の形態７の位置検出機構１７および研磨ヘッド１５では、位置検出機構１７にバネ材１８と先端部材２３とを介在させてマグネット２２が取り付けられ、研磨ヘッド１５の上端にマグネット２４が取り付けられる。マグネット２４のマグネット２２と対向する面が球面形状となるようにマグネット２４は形成されている。このような構成によっても、マグネット２２とマグネット２４とは摺動可能に接触しているため、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。

（実施の形態８）
図１３は、実施の形態８のテープ研磨装置の、位置検出機構および研磨ヘッド付近を示す模式図である。図１３に示す実施の形態８の位置検出機構１７および研磨ヘッド１５では、位置検出機構１７にバネ材１８を介在させてマグネット２４が取り付けられ、研磨ヘッド１５の上端にマグネット２２と先端部材２３とが取り付けられる。マグネット２４のマグネット２２と対向する面が球面形状となるようにマグネット２４は形成されている。このような構成によっても、マグネット２２とマグネット２４とは摺動可能に接触しているため、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。

（実施の形態９）
図１４は、実施の形態９のテープ研磨装置の、位置検出機構および研磨ヘッド付近を示す模式図である。図１４に示す実施の形態９の位置検出機構１７および研磨ヘッド１５では、位置検出機構１７にバネ材１８と先端部材２３とを介在させてマグネット２２が取り付けられ、研磨ヘッド１５の上端にマグネット２４が取り付けられる。マグネット２２のマグネット２４と対向する面、および、マグネット２４のマグネット２２と対向する面がいずれも球面形状となるように、マグネット２２、２４は形成されている。このような構成によっても、マグネット２２とマグネット２４とは摺動可能に接触しているため、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。

（実施の形態１０）
図１５は、実施の形態１０のテープ研磨装置の、位置検出機構および研磨ヘッド付近を示す模式図である。図１５に示す実施の形態１０の位置検出機構１７および研磨ヘッド１５では、位置検出機構１７にバネ材１８を介在させてマグネット２４が取り付けられ、研磨ヘッド１５の上端にマグネット２２と先端部材２３とが取り付けられる。マグネット２２のマグネット２４と対向する面、および、マグネット２４のマグネット２２と対向する面がいずれも球面形状となるように、マグネット２２、２４は形成されている。このような構成によっても、マグネット２２とマグネット２４とは摺動可能に接触しているため、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。

なお、これまでの説明においては、平面基板の表面に発生する突起欠陥を研磨して平坦に修正する例について述べているが、この発明のテープ研磨装置は、テープ研磨が可能な対象物であればどのような形状のものに対しても適用できる。たとえば、プラズマディスプレイパネルの背面板のような表面にリブの凹凸のある基板であっても、リブのトップ面に発生する突起欠陥の研磨加工を高精度に行なうことができる。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。この発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

この発明の実施の形態１によるテープ研磨装置の全体構成を示す模式図である。テープ研磨装置の、位置検出機構および研磨ヘッド付近を拡大して示す模式図である。位置検出機構の軸芯が研磨ヘッドの軸芯とずれている状態を示す模式図である。位置検出機構の軸方向が上下方向に対して傾いている状態を示す模式図である。ラジアル軸受として空気軸受を用いた例を示す模式図である。ラジアル軸受として磁気軸受を用いた例を示す模式図である。実施の形態２の位置検出機構および研磨ヘッド付近を示す模式図である。実施の形態３の位置検出機構および研磨ヘッド付近を示す模式図である。実施の形態４の位置検出機構および研磨ヘッド付近を示す模式図である。実施の形態５の位置検出機構および研磨ヘッド付近を示す模式図である。実施の形態６の位置検出機構および研磨ヘッド付近を示す模式図である。実施の形態７の位置検出機構および研磨ヘッド付近を示す模式図である。実施の形態８の位置検出機構および研磨ヘッド付近を示す模式図である。実施の形態９の位置検出機構および研磨ヘッド付近を示す模式図である。実施の形態１０の位置検出機構および研磨ヘッド付近を示す模式図である。従来のテープ研磨装置の構成を示す模式図である。従来のテープ研磨装置の、位置検出機構および研磨ヘッド付近を拡大して示す模式図である。位置検出機構と研磨ヘッドとの軸芯がずれている状態を示す模式図である。位置検出機構および研磨ヘッドが上下方向に対して傾いて、上下動テーブルに取り付けられている状態を示す模式図である。

符号の説明

１基板、２ＸＹテーブル、３Ｚテーブル、４観察光学系、５上下動テーブル、６モニタ、７コントローラ、８切り屑排出機構、１０突起欠陥、１１研磨テープ、１２供給リール、１３巻取リール、１４補助リール、１５研磨ヘッド、１６ラジアル軸受、１７位置検出機構、１８バネ材、１９ねじ構造、２１ターゲット材、２２マグネット、２３先端部材、２４マグネット、２６空気軸受、２７給気口、２８通気路、２９噴出孔、３６磁気軸受、３７電磁石。

Claims

被研磨物を研磨するための研磨テープと、
前記研磨テープを前記被研磨物へ押し付ける研磨ヘッドと、
前記研磨ヘッドの軸方向の位置を検出する位置検出機構と、
前記研磨ヘッドを径方向に支持するラジアル軸受とを備え、
前記研磨ヘッドおよび前記位置検出機構のいずれか一方は凸形状部を含み、他方は前記凸形状部と摺動可能に接触する接合部を含み、
前記凸形状部および前記接合部のいずれか一方は磁石であり、他方は磁石または磁性体である、テープ研磨装置。
前記凸形状部および前記接合部の少なくともいずれか一方は、球面の形状を有する、請求項１に記載のテープ研磨装置。
前記ラジアル軸受は空気軸受である、請求項１または請求項２に記載のテープ研磨装置。
前記ラジアル軸受は磁気軸受である、請求項１または請求項２に記載のテープ研磨装置。