JP4767643B2 - テープ研磨装置 - Google Patents
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Description
また好ましくは、研磨ヘッドの底面の縁は、丸みを帯びたR形状を有することを特徴とする。
、突起欠陥部12をリブ11の正常なトップ面11aと同じ高さまで研磨すると、研磨ヘッド16の底面全体がリブ11に押し付けられる。このときの研磨ヘッド16の押付圧力Ptotal(=F/Atotal)が、突起欠陥部12およびリブ11の材料を研磨可能な最小押付圧力値Pminよりも小さくなるように、圧縮バネ17による押付力Fが予め設定されている。このため、リブ11が正常なトップ面11aよりも下まで研磨されることがなくなる。仮に、位置検出機構4によって測定された基準位置に誤差があったとしても、研磨加工を正確に行なうことができる。
Claims (5)
- 基板上に形成された微細パターンの突起欠陥部を研磨して修正するテープ研磨装置であって、
前記突起欠陥部を研磨するための研磨テープと、その底面で前記研磨テープを前記突起欠陥部に押し当てるための研磨ヘッドと、前記研磨テープを前記研磨ヘッドの底面に沿って所定の速度で送るテープ送り機構と、所定の押付力になるように制御しながら前記研磨ヘッドを下方に押し付ける押付制御機構とを含むテープ研磨ユニット、および
前記基板と前記テープ研磨ユニットを相対的に移動させる移動装置を備え、
前記研磨ヘッドの底面は、前記突起欠陥部よりも大きく、
前記押付制御機構は、前記研磨ヘッドの底面全体が前記微細パターンに押し付けられているときの押付圧力が、前記微細パターンの材料を研磨することが可能な最小押付圧力よりも小さくなるように、前記所定の押付力を予め設定することを特徴とする、テープ研磨装置。 - 前記押付制御機構は、圧縮バネの伸張力または圧縮空気の膨張力を利用して、前記研磨ヘッドを下方に押し付けることを特徴とする、請求項1に記載のテープ研磨装置。
- 前記研磨ヘッドは、円柱形状を有することを特徴とする、請求項1または請求項2に記載のテープ研磨装置。
- 前記研磨ヘッドの底面の縁は、丸みを帯びたR形状を有することを特徴とする、請求項1から請求項3までのいずれかに記載のテープ研磨装置。
- さらに、前記テープ研磨ユニットの前記基板に対する傾きを調整する傾き調整機構を備えることを特徴とする、請求項1から請求項4までのいずれかに記載のテープ研磨装置。
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