JP2007207307A - 浮上ヘッドスライダおよび記録媒体駆動装置 - Google Patents

Abstract

【課題】書き込みヘッド素子および読み出しヘッド素子を十分に磁気ディスクに接近させることができる浮上ヘッドスライダを提供する。
【解決手段】第１変形アクチュエータ６５は書き込みヘッド素子４７に隣接する。第２変形アクチュエータ６６は読み出しヘッド素子４８に隣接する。第１変形アクチュエータ６５は書き込みヘッド素子４７を媒体対向面３２から突き出させる。第２変形アクチュエータ４６は読み出しヘッド素子４８を媒体対向面３２から突き出させる。第１および第２変形アクチュエータ６５、６６は個別に制御される。したがって、書き込みヘッド素子４７および読み出しヘッド素子４８の突出量は個別に制御されることができる。書き込みヘッド素子４７および読み出しヘッド素子４８の浮上量は個別に設定される。こういった浮上量の調整によれば、書き込みヘッド素子４７および読み出しヘッド素子４８は同時に記録媒体１４に最も接近することができる。
【選択図】図８

Description

本発明は、媒体対向面を区画するスライダ本体と、スライダ本体に搭載されて媒体対向面に設けられる読み出しヘッド素子と、スライダ本体に搭載されて媒体対向面に設けられる書き込みヘッド素子とを備える浮上ヘッドスライダに関する。

引用文献２に開示されるように、例えばハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）といった記録ディスク駆動装置では浮上ヘッドスライダに抵抗体が組み込まれる。抵抗体は、書き込みヘッド素子および読み出しヘッド素子とともに絶縁体に埋め込まれる。抵抗体に電流が供給されると、抵抗体は発熱する。抵抗体の熱で抵抗体の周囲で絶縁体は膨張する。同様に、書き込みヘッド素子および読み出しヘッド素子は膨張する。こうして書き込みヘッド素子および読み出しヘッド素子は磁気ディスクの表面に向かって突き出る。こうして書き込みヘッド素子および読み出しヘッド素子は最大限に磁気ディスクの表面に接近する。
特開平５−２０６３５号公報 特開２００４−２５９３２３号公報

こういった浮上ヘッドスライダでは、抵抗体、読み出しヘッド素子および書き込みヘッド素子がこの順番で積層形成される。抵抗体から遠ざかるにつれて絶縁体の膨張は減少する。したがって、読み出しヘッド素子は磁気ディスクに向かって大きく突き出るものの、書き込みヘッド素子の突き出しは抑制されてしまう。その結果、書き込みヘッド素子は十分に磁気ディスクに接近することができない。磁気ディスクでは、書き込みヘッド素子の書き込み磁界に応じて十分な強度の磁化が確立されることができない。

本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、書き込みヘッド素子および読み出しヘッド素子を十分に記録媒体に接近させることができる浮上ヘッドスライダおよび記録媒体駆動装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明によれば、媒体対向面を区画するスライダ本体と、スライダ本体に搭載されて媒体対向面に設けられる書き込みヘッド素子と、スライダ本体に搭載されて媒体対向面に設けられる読み出しヘッド素子と、書き込みヘッド素子に隣接してスライダ本体に組み込まれて、書き込みヘッド素子を記録媒体に向かって突き出させる第１変形アクチュエータと、読み出しヘッド素子に隣接してスライダ本体に組み込まれて、読み出しヘッド素子を記録媒体に向かって突き出させる第２変形アクチュエータとを備えることを特徴とする浮上ヘッドスライダが提供される。

こうした浮上ヘッドスライダでは、第１変形アクチュエータの働きで書き込みヘッド素子は記録媒体に向かって突き出る。こういった書き込みヘッド素子に基づき媒体対向面は盛り上がる。同様に、第２変形アクチュエータの働きで読み出しヘッド素子は記録媒体に向かって突き出る。こういった読み出しヘッド素子に基づき媒体対向面は盛り上がる。こうして第１および第２変形アクチュエータは個別に制御されることができる。したがって、書き込みヘッド素子および読み出しヘッド素子の突出量は個別に制御されることができる。すなわち、記録媒体の表面から書き込みヘッド素子および読み出しヘッド素子の浮上量は個別に設定されることができる。こういった浮上量の調整によれば、書き込みヘッド素子および読み出しヘッド素子は同時に記録媒体に最も接近することができる。こうして書き込みヘッド素子は記録媒体に十分な強度で磁化を確立することができる。同時に、読み出しヘッド素子は記録媒体から確実に情報を読み出すことができる。

こうして書き込みヘッド素子および読み出しヘッド素子の突出量は個別に制御されることができることから、記録媒体の表面から書き込みヘッド素子および読み出しヘッド素子の浮上量は個別に設定されることができる。こうして書き込みヘッド素子および読み出しヘッド素子の浮上量はそれぞれ最適に設定されることができる。その一方で、従来の浮上ヘッドスライダでは、前述されるように、例えば読み出しヘッド素子は記録媒体に向かって大きく突き出るものの、書き込みヘッド素子の突き出しは抑制されてしまう。したがって、書き込みヘッド素子の浮上量が最適に設定されると、読み出しヘッド素子は記録媒体に近づき過ぎてしまう。読み出しヘッド素子と記録媒体はしばしば接触してしまう。読み出しヘッド素子や記録媒体は破損してしまう。

こういった浮上ヘッドスライダは、読み出しヘッド素子および書き込みヘッド素子よりも空気流入側でスライダ本体に組み込まれて、媒体対向面から突き出る方向に変形する第３変形アクチュエータをさらに備えてもよい。こういった第３変形アクチュエータの働きで媒体対向面は盛り上がる。こうして読み出しヘッド素子および書き込みヘッド素子の空気流入側で突起が形成される。こういった突起によれば、浮上ヘッドスライダの浮上量が低下しても書き込みヘッド素子および読み出しヘッド素子に先立って突起は記録媒体に接触することができる。接触の反動で浮上ヘッドスライダは記録媒体から再び遠ざかることができる。こうして書き込みヘッド素子や読み出しヘッド素子と記録媒体との間で接触は回避される。書き込みヘッド素子や読み出しヘッド素子の破損は防止される。

例えば第２変形アクチュエータで熱膨張が利用される場合には、読み出しヘッド素子にはトンネル接合磁気抵抗効果（ＴＭＲ）素子が用いられることが望まれる。トンネル接合磁気抵抗効果素子は巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ）素子に比べて耐熱性が高いことから、トンネル接合磁気抵抗効果素子が第２変形アクチュエータの熱に曝されてもトンネル接合磁気抵抗効果素子は適正な磁気特性を維持することができる。読み出しヘッド素子には十分な突出量が確保されることができる。例えば浮上ヘッドスライダが記録媒体の表面に対してピッチ角の傾斜姿勢に維持されると、書き込みヘッド素子に比べて読み出しヘッド素子には大きな突出量が要求される。

以上のような浮上ヘッドスライダは、第１変形アクチュエータから延びる１対の第１リード配線と、第２変形アクチュエータから延びる１対の第２リード配線と、一方の第１リード配線に接続される第１端子と、一方の第２リード配線に接続される第２端子と、他方の第１リード配線および他方の第２リード配線に接続される第３端子とを備えてもよい。第１変形アクチュエータおよび第２変形アクチュエータに共通に第２端子が形成されることから、浮上ヘッドスライダでは端子の数は抑制されることができる。

以上のような浮上ヘッドスライダは例えばハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）といった記録媒体駆動装置に組み込まれてもよい。記録媒体駆動装置には、媒体対向面で記録媒体に向き合わせられるスライダ本体と、スライダ本体に搭載されて媒体対向面に設けられる書き込みヘッド素子と、スライダ本体に搭載されて媒体対向面に設けられる読み出しヘッド素子と、書き込みヘッド素子に隣接してスライダ本体に組み込まれて、書き込みヘッド素子を記録媒体に向かって突き出させる第１変形アクチュエータと、読み出しヘッド素子に隣接してスライダ本体に組み込まれて、読み出しヘッド素子を記録媒体に向かって突き出させる第２変形アクチュエータとを備える浮上ヘッドスライダが組み込まれればよい。

以上のように本発明によれば、書き込みヘッド素子および読み出しヘッド素子を十分に磁気ディスクに接近させることができる浮上ヘッドスライダおよび記録媒体駆動装置は提供されることができる。

以下、添付図面を参照しつつ本発明の一実施形態を説明する。

図１は記録媒体駆動装置の一具体例すなわちハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）１１の内部構造を概略的に示す。このＨＤＤ１１は箱形の筐体すなわちハウジング１２を備える。ハウジング１２は、例えば平たい直方体の内部空間すなわち収容空間を区画する箱形のベース１３を備える。ベース１３は例えばアルミニウムといった金属材料から鋳造に基づき成形されればよい。ベース１３には蓋体すなわちカバー（図示されず）が結合される。カバーとベース１３との間で収容空間は密閉される。カバーは例えばプレス加工に基づき１枚の板材から成形されればよい。

収容空間には、記録媒体としての１枚以上の磁気ディスク１４が収容される。磁気ディスク１４はスピンドルモータ１５の回転軸に装着される。スピンドルモータ１５は例えば５４００ｒｐｍや７２００ｒｐｍ、１００００ｒｐｍ、１５０００ｒｐｍといった高速度で磁気ディスク１４を回転させることができる。

収容空間にはヘッドアクチュエータ部材すなわちキャリッジ１６がさらに収容される。キャリッジ１６はキャリッジブロック１７を備える。キャリッジブロック１７は、垂直方向に延びる支軸１８に回転自在に連結される。キャリッジブロック１７には、支軸１８から水平方向に延びる複数のキャリッジアーム１９が区画される。キャリッジブロック１７は例えば押し出し成形に基づきアルミニウムから成型されればよい。

個々のキャリッジアーム１９の先端には、キャリッジアーム１９から前方に延びるヘッドサスペンション２１が取り付けられる。ヘッドサスペンション２１の先端にはいわゆるジンバルばね（図示されず）が接続される。ジンバルばねの表面に浮上ヘッドスライダ２２は固定される。こうしたジンバルばねの働きで浮上ヘッドスライダ２２はヘッドサスペンション２１に対してその姿勢を変化させることができる。後述されるように、浮上ヘッドスライダ２２には磁気ヘッドすなわち電磁変換素子が搭載される。

磁気ディスク１４の回転に基づき磁気ディスク１４の表面で気流が生成されると、気流の働きで浮上ヘッドスライダ２２には正圧すなわち浮力および負圧が作用する。浮力および負圧とヘッドサスペンション２１の押し付け力とが釣り合うことで磁気ディスク１４の回転中に比較的に高い剛性で浮上ヘッドスライダ２２は浮上し続けることができる。

こういった浮上ヘッドスライダ２２の浮上中にキャリッジ１６が支軸１８回りで回転すると、浮上ヘッドスライダ２２は磁気ディスク１４の半径線に沿って移動することができる。その結果、浮上ヘッドスライダ２２上の電磁変換素子は最内周記録トラックと最外周記録トラックとの間でデータゾーンを横切ることができる。こうして浮上ヘッドスライダ２２上の電磁変換素子は目標の記録トラック上に位置決めされる。

キャリッジブロック１７には例えばボイスコイルモータ（ＶＣＭ）２４といった動力源が接続される。このＶＣＭ２４の働きでキャリッジブロック１７は支軸１８回りで回転することができる。こうしたキャリッジブロック１７の回転に基づきキャリッジアーム１９およびヘッドサスペンション２１の揺動は実現される。

図１から明らかなように、キャリッジブロック１７上には、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）ユニット２５が配置される。ＦＰＣ基板ユニット２５にはヘッドＩＣ（集積回路）すなわちプリアンプＩＣ２６が実装される。磁気情報の読み出し時には、このプリンアンプＩＣ２６から電磁変換素子の読み出しヘッド素子に向けてセンス電流は供給される。同様に、磁気情報の書き込み時には、プリアンプＩＣ２６から電磁変換素子の書き込みヘッド素子に向けて書き込み電流は供給される。ＦＰＣ基板ユニット２５上のプリアンプＩＣ２６には、収容空間内に配置される小型の回路基板２７や、本体筐体１２の底板の裏側に取り付けられるプリント配線基板（図示されず）からセンス電流や書き込み電流は供給される。

こうしたセンス電流や書き込み電流の供給にあたってフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）２８が用いられる。ＦＰＣ２８は個々の浮上ヘッドスライダ２２ごとに配置される。ＦＰＣ２８は、例えばステンレス鋼といった金属薄板と、金属薄板上に順番に積層される絶縁層、導電層および保護層とを備える。導電層は、ＦＰＣ２８上で延びる配線パターン（図示されず）を構成する。導電層には例えば銅といった導電材料が用いられればよい。絶縁層および保護層には例えばポリイミド樹脂といった樹脂材料が用いられればよい。

ＦＰＣ２８上の配線パターンは浮上ヘッドスライダ２２に接続される。ＦＰＣ２８はヘッドサスペンション２１上に例えば接着剤に基づき貼り付けられればよい。ＦＰＣ２８はヘッドサスペンション２１からキャリッジアーム１９の側面に沿って後方に延びる。ＦＰＣ２８は他端でＦＰＣ基板ユニット２５に連結される。配線パターンはＦＰＣ基板ユニット２５上の配線パターン（図示されず）に接続される。こうして浮上ヘッドスライダ２２およびＦＰＣ基板ユニット２５は電気的に接続される。

図２は浮上ヘッドスライダ２２の一具体例を示す。この浮上ヘッドスライダ２２は、例えば平たい直方体に形成されるスライダ本体３１を備える。このスライダ本体３１は媒体対向面すなわち浮上面３２で磁気ディスク１４に向き合う。浮上面３２には平坦なベース面すなわち基準面が規定される。磁気ディスク１４が回転すると、スライダ本体３１の前端から後端に向かって浮上面３２には気流３３が作用する。スライダ本体３１は、例えばＡｌ_２Ｏ_３−ＴｉＣ（アルチック）製の母材３４と、この母材３４の空気流出側端面に積層され、Ａｌ_２Ｏ_３（アルミナ）から構成されるヘッド素子内蔵膜３５とで構成されればよい。

スライダ本体３１の浮上面３２には、前述の気流３３の上流側すなわち空気流入側でベース面から立ち上がる１筋のフロントレール３６と、気流３３の下流側すなわち空気流出側でベース面から立ち上がるリアレール３７と、空気流出側でベース面から立ち上がる１対のサイドレール３８、３８とが形成される。フロントレール３６、リアレール３７およびサイドレール３８、３８の頂上面にはいわゆるＡＢＳ（空気軸受け面）３９、４１、４２が規定される。ＡＢＳ３９、４１、４２の空気流入端は段差４３、４４、４５でレール３６、３７、３８の頂上面に接続される。

磁気ディスク１４の回転に基づき生成される気流３３は浮上面３２に受け止められる。このとき、段差４３、４４、４５の働きでＡＢＳ３９、４１、４２には比較的に大きな正圧すなわち浮力が生成される。しかも、フロントレール３６の後方すなわち背後には大きな負圧が生成される。これら浮力および負圧のバランスに基づき浮上ヘッドスライダ２２の浮上姿勢は確立される。

スライダ本体３１には前述の電磁変換素子すなわち読み出し書き込みヘッド素子４６が搭載される。この読み出し書き込みヘッド素子４６はスライダ本体３１のヘッド素子保護膜３５内に埋め込まれる。読み出し書き込みヘッド素子４６の読み出しギャップや書き込みギャップはリアレール３７のＡＢＳ４１で露出する。ただし、ＡＢＳ４１の表面には、読み出し書き込みヘッド素子４６の前端に覆い被さるＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）保護膜が形成されてもよい。読み出し書き込みヘッド素子４６の詳細は後述される。なお、浮上ヘッドスライダ２２の形態はこういった形態に限られるものではない。

この浮上ヘッドスライダ２２では、ＡＢＳ４１、４２に比べてＡＢＳ３９で大きな正圧すなわち浮力が生成される。したがって、スライダ本体３１が磁気ディスク１４の表面から浮上すると、スライダ本体３１はピッチ角αの傾斜姿勢で維持されることができる。ここで、ピッチ角αとは、気流の流れ方向に沿ったスライダ本体３１の前後方向の傾斜角をいう。

図３は浮上面３２の様子を詳細に示す。読み出し書き込みヘッド素子４６は、薄膜磁気ヘッドすなわち誘導書き込みヘッド素子４７と読み出しヘッド素子４８とを備える。誘導書き込みヘッド素子４７は、周知の通り、例えば磁気コイルで生起される磁界を利用して磁気ディスク１４に２値情報を書き込むことができる。読み出しヘッド素子４８には、例えば巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ）素子やトンネル接合磁気抵抗効果（ＴＭＲ）素子といった磁気抵抗効果（ＭＲ）素子が用いられればよい。読み出しヘッド素子４８は、周知の通り、磁気ディスク１４から作用する磁界に応じて変化する抵抗に基づき２値情報を検出することができる。

誘導書き込みヘッド素子４７および読み出しヘッド素子４８は、前述のヘッド素子内蔵膜３５の上側半層すなわちオーバーコート膜を構成するＡｌ_２Ｏ_３膜４９と、下側半層すなわちアンダーコート膜を構成するＡｌ_２Ｏ_３膜５１との間に挟み込まれる。

読み出しヘッド素子４８では、トンネル接合膜といった磁気抵抗効果膜５２が上下１対の導電層すなわち上部および下部シールド層５３、５４に挟み込まれる。磁気抵抗効果膜５２は、下部シールド層５４の表面に覆い被さる例えばＡｌ_２Ｏ_３製の絶縁層５５内に埋め込まれる。上部シールド層５３は絶縁層５５の表面に沿って広がる。上部および下部シールド層５３、５４は例えばＦｅＮやＮｉＦｅといった磁性材料から構成されればよい。上部および下部シールド層５３、５４同士の間隔は磁気ディスク１３上で記録トラックの線方向に磁気記録の分解能を決定する。

誘導書き込みヘッド素子４７は、ＡＢＳ３９で前端を露出させる導電層すなわち上部および下部磁極層５６、５７とを備える。上部および下部磁極層５６、５７は例えばＦｅＮやＮｉＦｅから形成されればよい。上部および下部磁極層５６、５７は協働して誘導書き込みヘッド素子４７の磁性コアを構成する。上部および下部磁極層５６、５７の間には例えばＡｌ_２Ｏ_３製の非磁性ギャップ層５８が挟み込まれる。周知の通り、後述の磁気コイルで磁界が生起されると、非磁性ギャップ層５８の働きで、上部磁極層５６と下部磁極層５７とを行き交う磁束は浮上面３２から漏れ出る。こうして漏れ出る磁束がギャップ磁界すなわち記録磁界を形成する。

図４を併せて参照し、下部磁極層５７は、上部シールド層５３上で任意の基準平面５９に沿って広がる。この基準平面５９は、上部シールド層５３上に均一な厚みで積層形成される例えばＡｌ_２Ｏ_３製の非磁性層６１の表面で規定される。非磁性層６１は上部シールド層５３と下部磁極層５７との間で磁気的な結合を断ち切る。

下部磁極層５７上には前述の非磁性ギャップ層５８が積層形成される。非磁性ギャップ層５８上には、絶縁層６２に埋め込まれた磁気コイルすなわち薄膜コイル６３が形成される。絶縁層６２の表面には前述の上部磁極層５６が形成される。上部磁極層５６の後端は薄膜コイル６３の中心位置で下部磁極層５７の後端に磁気的に連結される。こうして上部磁極層５６と下部磁極層５７とは、薄膜コイル６３の中心位置を貫通する磁性コアを形成する。

非磁性層６１には誘導書き込みヘッド素子４７に隣接して第１電熱線６５が埋め込まれる。同様に、Ａｌ_２Ｏ_３膜５１には読み出しヘッド素子４８に隣接して第２電熱線６６が埋め込まれる。例えば図５に示されるように、第１電熱線６５は非磁性層６１内で１平面に沿って蛇行しつつ延びればよい。こういった電熱線の形成にあたって例えばフォトリソグラフィ技術が用いられればよい。このとき、非磁性層６１は、電熱線を挟み込む１対のＡｌ_２Ｏ_３膜で構成されればよい。第１電熱線６５および非磁性層６１は本発明に係る変形アクチュエータを構成する。第２電熱線６６は第１電熱線６５と同様に構成されればよい。第２電熱線６６およびＡｌ_２Ｏ_３膜５１は本発明に係る変形アクチュエータを構成する。

図６に示されるように、第１電熱線６５には１対の第１リード配線６７、６７が接続される。一方の第１リード配線６７は第１電極端子６８に接続される。他方の第１リード配線６７は共通電極端子６９に接続される。その一方で、第２電熱線６６には１対の第２リード配線７１、７１が接続される。一方の第２リード配線７１は第２電極端子７２に接続される。他方の第２リード配線７１は共通電極端子６９に接続される。こうして共通電極端子６９は第１および第２電熱線６５、６６に共通に用いられる。浮上ヘッドスライダ２２では端子の数は抑制されることができる。第１および第２電極端子６８、７２や共通電極端子６９は例えばヘッド素子内蔵膜３５の空気流出側端面に配置されればよい。

第１および第２電極端子６８、７２並びに共通電極端子６９にはＦＰＣ２８上を延びる配線パターン（図示されず）が接続される。こうして第１電熱線６５には例えば第１電極端子６８から電流が供給される。その一方で、第２電熱線６６には例えば第２電極端子７２から電流が供給される。こうした電流は共通電極端子６９から取り出される。電流の流通の結果、第１および第２電熱線６５、６６は発熱する。発熱量は、第１および第２電熱線６５、６６の消費電力量で調整されることができる。調整にあたって、消費電力量と発熱量との相関関係が予め把握されればよい。こういった調整は、例えば回路基板２７上に実装される制御回路の働きで実現されればよい。

いま、磁気ディスク１４の回転中に浮上ヘッドスライダ２２が浮上する場面を想定する。図７に示されるように、浮上ヘッドスライダ２２はピッチ角αの傾斜姿勢で維持される。その結果、浮上ヘッドスライダ２２は空気流出端で磁気ディスク１４の表面に最も近づく。浮上ヘッドスライダ２２では、読み出しヘッド素子４８は誘導書き込みヘッド素子４７より空気流入側に配置される。その結果、ピッチ角αに基づき読み出しヘッド素子４８の浮上量は誘導書き込みヘッド素子４７の浮上量より大きく設定される。

磁気情報の読み出し時や書き込み時、第１電熱線６５に電流が供給される。第１電熱線６５は発熱する。第１電熱線６５は膨張する。同様に、非磁性層６１は第１電熱線６５の周囲で膨張する。その結果、図８に示されるように、誘導書き込みヘッド素子４７は磁気ディスク１４の表面に向かって突き出る。すなわち、誘導書き込みヘッド素子４７に基づきＡＢＳ３２は盛り上がる。同様に、第２電熱線６６には電流が供給される。第２電熱線６６は発熱する。第２電熱線６６は膨張する。Ａｌ_２Ｏ_３膜５１は第２電熱線６６の周囲で膨張する。その結果、読み出しヘッド素子４８は磁気ディスク１４の表面に向かって突き出る。すなわち、読み出しヘッド素子４８に基づきＡＢＳ３２は盛り上がる。

以上のような浮上ヘッドスライダ２２では、第１および第２電熱線６５、６６には個別に電流値が設定されることができる。したがって、誘導書き込みヘッド素子４７および読み出しヘッド素子４８の突出量は個別に制御されることができる。すなわち、誘導書き込みヘッド素子４７および読み出しヘッド素子４８の浮上量は個別に設定されることができる。こういった浮上量の調整によれば、誘導書き込みヘッド素子４７および読み出しヘッド素子４８は同時に磁気ディスク１４の表面に最も接近することができる。

その他、浮上ヘッドスライダ２２では、誘導書き込みヘッド素子４７で最適な浮上量が設定されると同時に、読み出しヘッド素子４８で最適な浮上量が設定されることができる。誘導書き込みヘッド素子４７と読み出しヘッド素子４８とでは最適な浮上量は異なってもよい。例えば気圧の低下に基づきピッチ角αが減少しても、そういった減少に応じて誘導書き込みヘッド素子４７の浮上量および読み出しヘッド素子４８の浮上量は調整されてもよい。また、ＨＤＤ１１の周囲の温度変化に基づき誘導書き込みヘッド素子４７や読み出し書き込みヘッド素子４８自体の変形に差が生じる場合、そういった差に応じて突出量は個別に調整されればよい。ＨＤＤ１１に組み込まれる浮上ヘッドスライダ２２ごとの浮上量のばらつきに応じて突出量は個別に調整されてもよい。

こういった浮上ヘッドスライダ２２ではＴＭＲ素子の採用が望まれる。ＴＭＲ素子はＧＭＲ素子に比べて耐熱性が高いことから、ＴＭＲ素子が第２電熱線６６の熱に曝されてもＴＭＲ素子は適正な磁気特性を維持することができる。読み出しヘッド素子４８には十分な突出量が確保されることができる。前述のように浮上ヘッドスライダ２２がピッチ角αの傾斜姿勢に維持されると、誘導書き込みヘッド素子４７に比べて読み出しヘッド素子４８には大きな突出量が要求される。

その他、図９に示されるように、浮上ヘッドスライダ２２ａは、第３電熱線７３をさらに備えてもよい。第３電熱線７３は第２電熱線６６よりも空気流入側に配置される。すなわち、第３電熱線７３はＡｌ_２Ｏ_３膜５１内に埋め込まれればよい。第３電熱線７３は前述の第１および第２電熱線６５、６６と同様に構成される。ここでは、第３電熱線７３およびＡｌ_２Ｏ_３膜５１は本発明に係る変形アクチュエータを構成する。その他、前述と均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。

こうした浮上ヘッドスライダ２２ａでは、第３電熱線７３に電流が供給されると、第３電熱線７３は発熱する。第３電熱線７３は膨張する。同様に、Ａｌ_２Ｏ_３膜５１は第３電熱線７３の周囲で熱せられる。こうして第３電熱線７３の周囲でＡｌ_２Ｏ_３膜５１は膨張する。その結果、図１０に示されるように、Ａｌ_２Ｏ_３膜５１は磁気ディスク１４の表面に向かって突出する突起３２ａを形成する。

例えば図１０に示されるように、誘導書き込みヘッド素子４７や読み出しヘッド素子４８の浮上量に比べて突起３２ａの浮上量は小さく設定されればよい。こういった突起３２ａによれば、浮上ヘッドスライダ２２の浮上量が低下しても誘導書き込みヘッド素子４７および読み出しヘッド素子４８に先立って突起３２ａは磁気ディスク１４の表面に接触することができる。接触の反動で浮上ヘッドスライダ２２は磁気ディスク１４の表面から再び浮き上がることができる。こうして誘導書き込みヘッド素子４７や読み出しヘッド素子４８と磁気ディスク１４の表面との間で接触は回避される。誘導書き込みヘッド素子４７や読み出しヘッド素子４８の破損は防止される。しかも、例えば気圧の低下に基づきピッチ角αが減少しても、そういった減少に応じて突起３２ａの突出量は調整されることができる。

その他、図１１に示されるように、浮上ヘッドスライダ２２、２２ａには、第１電熱線６５に代えて、第１電熱線６５ａが組み込まれてもよい。第１電熱線６５ａは、コイル６３および下部磁極５７の間で非磁性ギャップ層５８に埋め込まれてもよい。その他、図１２に示されるように、浮上ヘッドスライダ２２、２２ａには、第１電熱線６５ａに代えて、第１電熱線６５ｂが組み込まれてもよい。第１電熱線６５ｂは、誘導書き込みヘッド素子４７より空気流入側でＡｌ_２Ｏ_３膜４９に埋め込まれてもよい。こうした第１電熱線６５ａ、６５ｂは前述の第１電熱線６５と同様に機能することができる。

なお、前述の変形アクチュエータには圧電アクチュエータや静電アクチュエータが用いられてもよい。例えば圧電アクチュエータの実現にあたって１対の電極に圧電素子が挟み込まれればよい。こうした変形アクチュエータでは電極に供給される電流に応じて圧電素子は伸縮することができる。

本発明に係る記録媒体駆動装置の一具体例すなわちハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）の内部構造を概略的に示す。 一具体例に係る浮上ヘッドスライダの拡大斜視図である。 媒体対向面すなわち空気軸受け面（ＡＢＳ）から観察される読み出し書き込みヘッドの拡大正面図である。 図３の４−４線に沿った断面図である。 図４の５−５線に沿った断面図である。 リード配線および端子の構造を概念的に示す浮上ヘッドスライダの拡大部分斜視図である。 一具体例に係る浮上ヘッドスライダの浮上中の様子を模式的に示す図である。 一具体例に係る浮上ヘッドスライダの浮上中の様子を模式的に示す図である。 他の具体例に係る浮上ヘッドスライダの浮上中の様子を模式的に示す図である。 他の具体例に係る浮上ヘッドスライダの浮上中の様子を模式的に示す図である。 図４に対応し、他の具体例に係る浮上ヘッドスライダの断面図である。 図４に対応し、さらに他の具体例に係る浮上ヘッドスライダの断面図である。

符号の説明

１１ 記録媒体駆動装置（ハードディスク駆動装置）、２２ 浮上ヘッドスライダ、２２ａ 浮上ヘッドスライダ、３２ 媒体対向面、３４ スライダ本体、４７ 書き込みヘッド素子（誘導書き込みヘッド素子）、４８ 読み出しヘッド素子、６５ 第１変形アクチュエータを構成する第１電熱線、６６ 第２変形アクチュエータを構成する第２電熱線、６７ 第１リード配線、６８ 第１端子（第１電極端子）、６９ 第３端子（共通電極端子）、７１ 第２リード配線、７２ 第２端子（第２電極端子）、７３ 第３変形アクチュエータを構成する第３電熱線。

Claims (5)

1. 媒体対向面を区画するスライダ本体と、スライダ本体に搭載されて媒体対向面に設けられる書き込みヘッド素子と、スライダ本体に搭載されて媒体対向面に設けられる読み出しヘッド素子と、書き込みヘッド素子に隣接してスライダ本体に組み込まれて、書き込みヘッド素子を記録媒体に向かって突き出させる第１変形アクチュエータと、読み出しヘッド素子に隣接してスライダ本体に組み込まれて、読み出しヘッド素子を記録媒体に向かって突き出させる第２変形アクチュエータとを備えることを特徴とする浮上ヘッドスライダ。
2. 請求項１に記載の浮上ヘッドスライダにおいて、前記読み出しヘッド素子および前記書き込みヘッド素子よりも空気流入側で前記スライダ本体に組み込まれて、前記媒体対向面から突き出る方向に変形する第３変形アクチュエータをさらに備えることを特徴とする浮上ヘッドスライダ。
3. 請求項１に記載の浮上ヘッドスライダにおいて、前記読み出しヘッド素子にはトンネル接合磁気抵抗効果素子が用いられることを特徴とする浮上ヘッドスライダ。
4. 請求項１に記載の浮上ヘッドスライダにおいて、前記第１変形アクチュエータから延びる１対の第１リード配線と、前記第２変形アクチュエータから延びる１対の第２リード配線と、一方の第１リード配線に接続される第１端子と、一方の第２リード配線に接続される第２端子と、他方の第１リード配線および他方の第２リード配線に接続される第３端子とを備えることを特徴とする浮上ヘッドスライダ。
5. 媒体対向面で記録媒体に向き合わせられるスライダ本体と、スライダ本体に搭載されて媒体対向面に設けられる書き込みヘッド素子と、スライダ本体に搭載されて媒体対向面に設けられる読み出しヘッド素子と、書き込みヘッド素子に隣接してスライダ本体に組み込まれて、書き込みヘッド素子を記録媒体に向かって突き出させる第１変形アクチュエータと、読み出しヘッド素子に隣接してスライダ本体に組み込まれて、読み出しヘッド素子を記録媒体に向かって突き出させる第２変形アクチュエータとを備える浮上ヘッドスライダが組み込まれたことを特徴とする記録媒体駆動装置。

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