JP2007206185A - Ndフィルタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】PET基板1上に最大濃度が1.0で濃度が連続的に変化するグラデーション勾配を有するND膜2を成膜し、最表層に単層のMgF2膜3を成膜する。更に、ND膜2の可視波長領域の分光反射率が比較的大きく、膜厚が比較的薄い低濃度領域、例えば濃度0.3以下の領域に多層膜から成る反射防止膜4を成膜して反射防止機能を向上させる。なお、この反射防止膜4はSiO2膜とTiO2膜を交互に積層した5層構成で略一定膜厚であり、部分的にマスキングして真空蒸着法により成膜する。
【選択図】図10
Description
2 ND膜
2a Al2O3膜
2b TiOx
3、3a、3b、3c、3d MgF2膜
4、5 反射防止膜
4a SiO2膜
4b TiO2膜
11 マスク
Claims (5)
- 合成樹脂材から成る透明基板上に光減衰膜を成膜し、該光減衰膜により低濃度から高濃度に連続的又は段階的に濃度が変化する領域を有するNDフィルタであって、前記低濃度領域の前記光減衰膜の一部又は全部の上層に反射防止層を形成したことを特徴とするNDフィルタ。
- 前記低濃度領域は濃度0.8以下であることを特徴とする請求項1に記載のNDフィルタ。
- 前記反射防止層は複数の材質から成る多層膜としたことを特徴とする請求項1に記載のNDフィルタ。
- 前記透明基板の前記光減衰膜を成膜した面の反対側の面に、第2の反射防止膜を成膜したことを特徴とする請求項1〜3の何れか1つの請求項に記載のNDフィルタ。
- 請求項1〜4の何れか1つの請求項に記載のNDフィルタを搭載したことを特徴とする光量絞り装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010128258A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-06-10 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 吸収型多層膜ndフィルター及びその製造装置 |
JP2013045091A (ja) * | 2011-08-26 | 2013-03-04 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 空間光変調器 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0763915A (ja) * | 1993-08-26 | 1995-03-10 | Canon Inc | 薄膜型ndフィルター及びその製造方法 |
JP2004205951A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Canon Inc | 光量調整装置及びそれを用いた光学機器 |
WO2005047940A1 (ja) * | 2003-11-14 | 2005-05-26 | Nidec Copal Corporation | Ndフィルタ及びこれを用いた光量絞り装置 |
-
2006
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0763915A (ja) * | 1993-08-26 | 1995-03-10 | Canon Inc | 薄膜型ndフィルター及びその製造方法 |
JP2004205951A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Canon Inc | 光量調整装置及びそれを用いた光学機器 |
WO2005047940A1 (ja) * | 2003-11-14 | 2005-05-26 | Nidec Copal Corporation | Ndフィルタ及びこれを用いた光量絞り装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010128258A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-06-10 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 吸収型多層膜ndフィルター及びその製造装置 |
JP2013045091A (ja) * | 2011-08-26 | 2013-03-04 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 空間光変調器 |
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