JP2008276112A - Ndフィルタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ND領域Aにおいて、第1、3、5、7層に真空蒸着法により反射防止層であるAl2O3膜53aと、第2、4、6、8層に光吸収層であるTiOx膜53bが交互に成膜し、第8層のTiOx膜53b上に、SiO2膜61aとMgF2膜61bを順次に成膜し反射防止膜61を形成する。
【選択図】図6
Description
図1は撮影光学系の構成図を示し、レンズ21、光量調節部材22、レンズ23〜25、ローパスフィルタ26、CCD等から成る固体撮像素子27が順次に配列されている。光量調節部材22においては、絞り羽根支持板28に一対の絞り羽根29a、29bが可動に取り付けられている。絞り羽根29aには、絞り羽根29a、29bの駆動により形成される略菱形形状の開口部を通過する光束の透過量を減光するためのNDフィルタ30が接着されている。なお、NDフィルタ30は絞り羽根29aに取り付けず、独立して駆動するようにしてもよい。
22 光量調整部材
23〜25 レンズ
26 ローパスフィルタ
27 固体撮像素子
28 絞り羽根支持板
29a、29b 絞り羽根
30 NDフィルタ
41 チャンバ
42 蒸着源
43 蒸着傘
44 基板治具
51 透明樹脂基板
52 蒸着パターン形成用マスク
53 ND膜
53a Al2O3膜
53b TiOx膜
61 反射防止膜
61a SiO2膜
61b MgF2膜
Claims (6)
- 透明樹脂基板上の一部の領域に光吸収膜を成膜したND領域と前記光吸収膜を成膜しない透明領域を有するNDフィルタにおいて、前記ND領域の表面及び前記透明領域の表面の両領域上にSiO2膜、MgF2膜の順に成膜した2つの層から成る反射防止膜を形成したことを特徴とするNDフィルタ。
- 前記SiO2膜の物理膜厚tsは1nm≦ts≦95nm、かつ前記MgF2膜の物理膜厚tmは30nm≦tm≦140nmとし、総膜厚taは35nm≦taであることを特徴とする請求項1に記載のNDフィルタ。
- 前記SiO2膜の物理膜厚tsは1nm≦ts≦55nm、かつ前記MgF2膜の物理膜厚tmは60nm≦tm≦100nmであることを特徴とする請求項1に記載のNDフィルタ。
- 前記SiO2膜の物理膜厚tsは1nm≦ts≦5nm、かつ前記MgF2膜の物理膜厚tmは80nm≦tm≦100nmであることを特徴とする請求項1に記載のNDフィルタ。
- 前記ND領域は濃度が連続的に変化するグラデーション領域を含むことを特徴とする請求項1〜4の何れか1つの請求項に記載のNDフィルタ。
- 請求項1〜5の何れか1つの請求項に記載のNDフィルタと、光量調節部材と、該光量調節部材を駆動する駆動手段とを有し、前記光量調節部材の駆動に応じて所定の開口部を透過する光束の透過量を調節することを特徴とする光量絞り装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007122414A JP2008276112A (ja) | 2007-05-07 | 2007-05-07 | Ndフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007122414A JP2008276112A (ja) | 2007-05-07 | 2007-05-07 | Ndフィルタ |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2008276112A true JP2008276112A (ja) | 2008-11-13 |
Family
ID=40054114
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007122414A Pending JP2008276112A (ja) | 2007-05-07 | 2007-05-07 | Ndフィルタ |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2008276112A (ja) |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010054999A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Canon Electronics Inc | 光学フィルタ及び光学フィルタの製造方法 |
JP2010128259A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-06-10 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 吸収型多層膜ndフィルター及びその製造方法 |
JP2010224350A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-07 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 吸収型多層膜ndフィルターとその製造方法 |
JP2010266661A (ja) * | 2009-05-14 | 2010-11-25 | Canon Electronics Inc | 光学フィルタ及び該光学フィルタを用いた撮像装置 |
JP2011070150A (ja) * | 2009-04-14 | 2011-04-07 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | Ndフィルタ及びテレビカメラ並びにndフィルタの製造方法 |
JP2012053262A (ja) * | 2010-09-01 | 2012-03-15 | Canon Electronics Inc | 光学フィルタ |
JP2015049338A (ja) * | 2013-08-30 | 2015-03-16 | Hoya株式会社 | 眼鏡レンズおよびその製造方法 |
JP2016164680A (ja) * | 2010-10-01 | 2016-09-08 | カール ツァイス ビジョン ゲーエムベーハー | 帯電防止コーティングを有する光学レンズ |
JP2017526945A (ja) * | 2014-06-18 | 2017-09-14 | ヴァイアヴィ・ソリューションズ・インコーポレイテッドViavi Solutions Inc. | 金属誘電体光学フィルター、センサーデバイス、および製造方法 |
US10197716B2 (en) | 2012-12-19 | 2019-02-05 | Viavi Solutions Inc. | Metal-dielectric optical filter, sensor device, and fabrication method |
JP2019020721A (ja) * | 2017-07-11 | 2019-02-07 | 東海光学株式会社 | Ndフィルタ及びその製造方法 |
US10222523B2 (en) | 2012-12-19 | 2019-03-05 | Viavi Solutions Inc. | Sensor device including one or more metal-dielectric optical filters |
US10378955B2 (en) | 2012-12-19 | 2019-08-13 | Viavi Solutions Inc. | Spectroscopic assembly and method |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62186203A (ja) * | 1986-02-12 | 1987-08-14 | Seiko Epson Corp | プラスチツク製光学部品の反射防止膜 |
JP2001350003A (ja) * | 2000-06-09 | 2001-12-21 | Nikon Corp | 黒色反射防止膜およびそれを用いた光学装置。 |
JP2004205777A (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Canon Inc | 光学フィルタの製造方法 |
-
2007
- 2007-05-07 JP JP2007122414A patent/JP2008276112A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62186203A (ja) * | 1986-02-12 | 1987-08-14 | Seiko Epson Corp | プラスチツク製光学部品の反射防止膜 |
JP2001350003A (ja) * | 2000-06-09 | 2001-12-21 | Nikon Corp | 黒色反射防止膜およびそれを用いた光学装置。 |
JP2004205777A (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Canon Inc | 光学フィルタの製造方法 |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010054999A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Canon Electronics Inc | 光学フィルタ及び光学フィルタの製造方法 |
JP2010128259A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-06-10 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 吸収型多層膜ndフィルター及びその製造方法 |
JP2010224350A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-07 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 吸収型多層膜ndフィルターとその製造方法 |
JP2011070150A (ja) * | 2009-04-14 | 2011-04-07 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | Ndフィルタ及びテレビカメラ並びにndフィルタの製造方法 |
JP2010266661A (ja) * | 2009-05-14 | 2010-11-25 | Canon Electronics Inc | 光学フィルタ及び該光学フィルタを用いた撮像装置 |
JP2012053262A (ja) * | 2010-09-01 | 2012-03-15 | Canon Electronics Inc | 光学フィルタ |
JP2016164680A (ja) * | 2010-10-01 | 2016-09-08 | カール ツァイス ビジョン ゲーエムベーハー | 帯電防止コーティングを有する光学レンズ |
US10378955B2 (en) | 2012-12-19 | 2019-08-13 | Viavi Solutions Inc. | Spectroscopic assembly and method |
US10197716B2 (en) | 2012-12-19 | 2019-02-05 | Viavi Solutions Inc. | Metal-dielectric optical filter, sensor device, and fabrication method |
US10222523B2 (en) | 2012-12-19 | 2019-03-05 | Viavi Solutions Inc. | Sensor device including one or more metal-dielectric optical filters |
US10670455B2 (en) | 2012-12-19 | 2020-06-02 | Viavi Solutions Inc. | Spectroscopic assembly and method |
US10928570B2 (en) | 2012-12-19 | 2021-02-23 | Viavi Solutions Inc. | Metal-dielectric optical filter, sensor device, and fabrication method |
US11782199B2 (en) | 2012-12-19 | 2023-10-10 | Viavi Solutions Inc. | Metal-dielectric optical filter, sensor device, and fabrication method |
JP2015049338A (ja) * | 2013-08-30 | 2015-03-16 | Hoya株式会社 | 眼鏡レンズおよびその製造方法 |
JP2017526945A (ja) * | 2014-06-18 | 2017-09-14 | ヴァイアヴィ・ソリューションズ・インコーポレイテッドViavi Solutions Inc. | 金属誘電体光学フィルター、センサーデバイス、および製造方法 |
JP2019020721A (ja) * | 2017-07-11 | 2019-02-07 | 東海光学株式会社 | Ndフィルタ及びその製造方法 |
JP7162867B2 (ja) | 2017-07-11 | 2022-10-31 | 東海光学株式会社 | Ndフィルタ及びその製造方法 |
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