JP2012053262A - 光学フィルタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板31の一方の第1面には、膜厚を連続的に変化させた第1のND膜32の積層膜が成膜され、基板31の他方の第2面には、膜厚が一定で均一な光学濃度を有する第2のND膜33の積層膜が成膜されている。第2面に成膜する均一濃度の第2のND膜33の光学濃度が高い方が、ゴーストが目立たなくなるが、最低光学濃度0.6以上ではシェーディングが目立つ結果となり、最低光学濃度は0.5以下が好ましい。NDフィルタでは第2のND膜33の光学濃度は0.05以上であり、かつ第1のND膜32と第2のND膜33の光学濃度を合計した光学濃度の最低光学濃度が0.5以下であることが好ましい。
【選択図】図2
Description
[比較例1]
比較例1においては、図11(a)に示すように、透明基板31の第1面に最低光学濃度0.2〜最高光学濃度1.4の光学濃度勾配を有する第1のND膜32を成膜している。また、対向面である第2面に第2のND膜33の代りにTiO2とSiO2の交互層から成る4層の反射防止膜34を成膜している。
[比較例2]
比較例2においては、透明基板31の第1面に最低光学濃度0.2〜最高光学濃度1.0の光学濃度勾配を有する第1のND膜32を成膜し、対向面である第2面に均一濃度で光学濃度0.4の第2のND膜33を成膜している。
12 光量絞り装置
13〜15 レンズ
16 ローパスフィルタ
17 撮像素子
18 絞り羽根支持板
19a、19b 絞り羽根
20 NDフィルタ
31 透明基板
32 第1のND膜
32a Al2O3膜
32b TiOx膜
32c MgF2膜
33 第2のND膜
34 反射防止膜
41 蒸着治具
42、47 蒸着マスク
43 蒸着装置
44 回転ドーム
45 蒸着源
Claims (5)
- 透明基板の上に、光吸収層と誘電体層を有する積層膜を形成することにより透過光量が連続的に変化する光学濃度勾配の領域を有する光学フィルタであって、前記透明基板の一方の面に、最低光学濃度部の光学濃度が0.5以下で前記透過光量が連続的に変化する光学濃度勾配を有する積層膜を成膜し、前記透明基板の他方の面に、光学濃度が0.05以上で均一な光学濃度を有する積層膜を成膜したことを特徴とする光学フィルタ。
- 前記積層膜は可視光波長領域の光の透過を制限するNDフィルタであることを特徴とする請求項1に記載の光学フィルタ。
- 前記透過光量が連続的に変化する光学濃度勾配を有する積層膜の最表層は、略均一の膜厚の誘電体層を成膜することを特徴とする請求項1又は2に記載の光学フィルタ。
- 相対的に駆動されて開口部の大きさを可変する複数の絞り羽根と、該絞り羽根により形成した前記開口部の少なくとも一部を覆う位置に貼り付けた請求項1〜3の何れか1つの請求項に記載の光学フィルタを備えたことを特徴とする光量絞り装置。
- 被写体像を光電変換する撮像素子と、請求項4に記載の光量絞り装置を有することを特徴とする撮像装置。
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Citations (7)
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JP2005301155A (ja) * | 2004-04-15 | 2005-10-27 | Canon Inc | 光学フィルタ |
JP2006078519A (ja) * | 2004-09-07 | 2006-03-23 | Canon Electronics Inc | Ndフィルタ、光量絞り装置、該光量絞り装置を有するカメラ |
JP2007094385A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-04-12 | Canon Electronics Inc | Ndフィルタ、ndフィルタを有する絞り装置及び光学機器 |
JP2008008976A (ja) * | 2006-06-27 | 2008-01-17 | Sony Corp | 光学ndフィルタ、光量調節装置、レンズ鏡筒及び撮像装置 |
JP2008008975A (ja) * | 2006-06-27 | 2008-01-17 | Sony Corp | Ndフィルタ、光量調節装置、レンズ鏡筒及び撮像装置 |
JP2008276112A (ja) * | 2007-05-07 | 2008-11-13 | Canon Electronics Inc | Ndフィルタ |
JP2009162852A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Canon Electronics Inc | 光学素子 |
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2010
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005301155A (ja) * | 2004-04-15 | 2005-10-27 | Canon Inc | 光学フィルタ |
JP2006078519A (ja) * | 2004-09-07 | 2006-03-23 | Canon Electronics Inc | Ndフィルタ、光量絞り装置、該光量絞り装置を有するカメラ |
JP2007094385A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-04-12 | Canon Electronics Inc | Ndフィルタ、ndフィルタを有する絞り装置及び光学機器 |
JP2008008976A (ja) * | 2006-06-27 | 2008-01-17 | Sony Corp | 光学ndフィルタ、光量調節装置、レンズ鏡筒及び撮像装置 |
JP2008008975A (ja) * | 2006-06-27 | 2008-01-17 | Sony Corp | Ndフィルタ、光量調節装置、レンズ鏡筒及び撮像装置 |
JP2008276112A (ja) * | 2007-05-07 | 2008-11-13 | Canon Electronics Inc | Ndフィルタ |
JP2009162852A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Canon Electronics Inc | 光学素子 |
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