JP2006330128A - Irカット膜付きndフィルタ、irカット膜付きndフィルタの製造方法、及びこれらのndフィルタを有する光量絞り装置及びカメラ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】薄い透明樹脂からなるシート状基材13を備え、基材の両面に成膜された赤外線を減衰するIRカット膜1と、前記IRカット膜が成膜された基材の少なくとも一方の面のIRカット膜上に光の透過率を減衰するND膜2が成膜された構成とする。
【選択図】 図1
Description
光量絞りは銀塩フィルムあるいはCCD等への固体撮像素子へ入射する光量を制御するため、撮影光学系の光路中に設けられており、被写界が明るい場合に光量をより小さく絞り込まれるように構成されている。
従って、快晴時や高輝度の被写界を撮影すると絞りは小絞りとなり、絞りのハンチング現象や光の回折の影響も受け易く、像性能の劣化を生じる。
これに対する対策として、絞り羽根にフィルム状のND(Neutral Density)フィルタを取り付けて被写界の明るさが同一でも絞りの開口が大きくなる様な工夫がされている。
また、特許文献1では、日中の可視光下における可視光撮影と夜間における近赤外光撮影とに共用できるようにするため、連続的に濃度が変化するNDフィルタを有する部分とIRカットフィルタのみを有する部分を兼ね備え、ガラス基材一方側に連続的に濃度が変化するND膜が成膜され、他方側にIRカット膜を成膜した構成が提案されている。
すなわち、上記した、単一濃度のNDフィルタを複数の絞り羽根に接着して駆動させるものでは、絞り羽根に複数枚NDフィルタが存在するために厚くなり、小型化あるいは省スペース化することは困難である。
また、特許文献1のものにおいても、ガラス基材の一方側に連続的に濃度が変化するND膜が成膜され、他方側にIRカット膜が成膜された構成が採られており、前述したようにガラス自体に厚みがあることから、光学系を小型化することが困難である。また、その際、このようなガラス基材に代え薄い透明樹脂基材等を用いたとしても、特許文献1のように片面にND膜、他の面にIRカット膜を成膜すると、圧倒的にIRカット膜の積層数が多いためその膜厚が厚くなり、基材のバランスが崩れ、ソリや膜のクラックが発生してしまうこととなる。
すなわち、本発明のIRカット膜付きNDフィルタは、薄い透明樹脂からなるシート状基材を備え、基材の両面に成膜された赤外線を減衰するIRカット膜と、前記IRカット膜が成膜された基材の少なくとも一方の面のIRカット膜上に光の透過率を減衰するND膜が成膜されていることを特徴としている。
また、本発明のIRカット機能付きNDフィルタの製造方法は、薄い透明樹脂からなるシート状基材の両面に赤外線を減衰するIRカット膜を、蒸着法により成膜するIRカット膜の成膜工程と、前記IRカット膜が成膜された基材の少なくとも一方の面のIRカット膜上に、蒸着法により光の透過率を減衰するND膜を成膜するND膜の成膜工程と、を有することを特徴としている。
また、本発明の光量絞り装置は、相対的に駆動されて絞り開口の大きさを可変する複数の絞り羽根と、該絞り羽根により形成された開口内の少なくとも一部に配置される光量調整のためのNDフィルタとを備えた光量絞り装置において、前記NDフィルタが、上記したIRカット機能付きNDフィルタ、または上記した製造方法によって製造されたIRカット機能付きNDフィルタによって構成されていることを特徴としている。
また、本発明のカメラは、光学系と、該光学系を通過する光量を制限する上記した光量絞り装置と、該光学系によって形成される像を受ける固体撮像素子を有することを特徴としている。
図1に、本実施の形態におけるIRカット膜付きNDフィルタの構成を示す。
図1において、1はIRカット膜、2はND膜、13は基材である。
本発明の実施においては、薄い透明樹脂基材の両面に、蒸着法を用いてIRカット膜1を形成し、IRカット膜1上にND膜2を形成した。
本実施の形態のIRカット膜付きNDフィルタは、このように、基材13の両面にND膜に比して圧倒的に積層数が多いIRカット膜が成膜されているから、基材上での膜厚バランスが保たれ、ソリや膜のクラックの発生を防止することが可能となる。
本実施の形態のIRカット膜付きNDフィルタにおいては、ND膜は基材の両面だけてなく片面だけに形成してもよい、また、それらは図1(a)示されるように基材の全面だけでなく、図1(b)に示されるようにND膜を形成しない領域を設けるようにしてもよい。
また、本実施の形態のIRカット膜付きNDフィルタにおいては、連続的に濃度変化するグラデーション濃度勾配を有するもの以外に、多段階に濃度変化するもの、あるいは単一濃度の膜であっても良い。
以上の本発明の実施の形態によれば、同一の薄い透明樹脂基材にIRカット膜とND膜を形成することで、コンパクトでシンプルな光学系を提供することが可能となる。
図2は真空蒸着機におけるチャンバー内の簡易図であり、12は成膜を施す基板、13は実際に成膜を実施する基材、14は基材13を固定する為の基板治具、15は蒸着傘、16は蒸着源である。また、本実施の形態として説明する基板12とは、図2(b)に示すように基板治具14に基材13がセットされた状態のものを意味している。
本実施例においては、本発明を適用して図1(a)に示されるような薄い透明樹脂基材の両面に、IRカット膜とND膜が形成された構成のIRカット機能付きのグラデーション濃度分布を有するNDフィルタを作成した。
まず、透明樹脂基材の材質としては、耐熱性(ガラス転移点Tg)が高く、可視域の波長域で透明性が高く、また吸水率が低いプラスチック基材(PET基材)を選択した。材質厚は75μmとした。基材に関しては、この他にポリカーボネートやノルボルネン系樹脂を用いても良い。
本実施例では、IRカットフィルタは、TiO2、ZrO2、ITO、SiO2などの透明酸化物を用いて、PET基材上に積層成膜した。なお、IRカットフィルタの材料は、特に以上のものに限定されるものではなく、赤外線吸収能がある無機及び有機材料をコーティングしても良い。
各フィルタの物理膜厚に関しては材料、層数により膜厚が異なるが、本実施例では、IRカット膜は6μm程度で40層膜となる構成とし、ND膜は0.25μm程度で9層膜の構成を採用した。
IRカット膜40層における成膜時間は4時間以上にもなり、基板温度が100℃設定時でも実際の基板は150℃以上まで上昇するため、ガラス転移点70℃のPETへの成膜は難しい。そのため、本実施例では、基材の両面にIRカット膜を20層程度づつ半分に分割して積層成膜した。これにより、1回の成膜時間が短縮でき、電子銃のパワーが同じであれば基板温度の上昇を軽減させることができる。更に基板を冷却するなどの機構を用いれば、透明樹脂基材への成膜は容易なものとなる。
まず、各成膜基板上の蒸着源側に、図3に示すようなマスクを2つ設置し、IRカット膜が積層成膜されたPET基材上に、真空蒸着法により図4に示す膜構成のうち、第1層から最表層手前までを形成した。
成膜に際して、膜厚を比較的に容易に制御でき、かつ可視域の波長域で散乱が非常に小さいことから、上記の真空蒸着法を選択した。
このような現象が起きる要因としては、真空蒸着時の基板温度が低いことが挙げられる。膜の封止密度は成膜時の基板温度が大きく影響し、温度が低いと封止密度が低くなり、水分・酸素等を透過しやすく、そのため吸収膜であるTiXOY自体の酸化が促進されること、及びそれを保護するAl2O3膜等の誘電体膜の保護効果が少ないことの両方の影響から透過率が上昇すものと考えられる。熱処理を行うと環境安定性が向上するのは、エージング効果であると考えられる。
通常の撮影時は、NDフィルタの連続的に濃度が変化する部分で光の透過率を減少させる機能を持たせ、且つ、IRフィルタによって赤外光が固体撮像素子に入射されるのを防止している部分を使用する。
以上述べたようなIRカット機能を有したNDフィルタを、例えば図6の撮像装置におけるNDフィルタ24に代えて、絞り羽根の近傍で撮像素子に対して移動可能に配置して用いることができる。
また、開放絞り値を開放で使用する際においても、図1(b)に示すようなND膜の形成されていない領域を有するものを用い、有害な赤外光を減衰したい場合、絞り口径をカバーできる大きさに合わせ、ND膜のないIRカット膜領域のみを設けた構成を採ることができる。これにより、光量を減少しない時でも赤外線をカットすることが可能となる。
また、入射量が大きい場合、入射光量に合わせてND膜で入射光量を変えることもでき、細かい光量調整が可能である。
また、連続濃度変化する分光透過率特性を有するNDフィルタ膜を用いた場合には、開放絞りから徐々に絞り込んでいく場合でも、濃度変化が急変することがなく、望ましいが、前述したように本発明は必ずしもこのような連続的に濃度変化するグラデーション濃度勾配を有するもの以外に、多段階に濃度変化するもの、あるいは単一濃度の膜であっても良い。
また、夜間や暗所の撮影時には、ND膜とIRカット膜を光路から退避できるように構成すると、夜間や暗所の撮影も可能である。
なお、IRカット機能を有したNDフィルタは、絞り羽根支持板に固定する構造でも、固定しない構造のどちらでも良い。
以上、本実施例によれば、光量絞り装置及びカメラ等に適したIRカット膜付きNDフィルタを提供することができる。
2:ND膜
12:基板
13:基材
14:基板治具
15:蒸着傘
16:蒸着源
17:マスク
Claims (12)
- 薄い透明樹脂からなるシート状基材を備え、基材の両面に成膜された赤外線を減衰するIRカット膜と、前記IRカット膜が成膜された基材の少なくとも一方の面のIRカット膜上に、光の透過率を減衰するND膜が成膜されていることを特徴とするIRカット機能付きNDフィルタ。
- 前記ND膜が、前記IRカット膜面に対して一部成膜されない領域を残して成膜されていることを特徴とする請求項1記載のIRカット機能付きNDフィルタ。
- 前記IRカット膜とND膜は、蒸着法で成膜されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のIRカット機能付きNDフィルタ。
- 前記IRカット膜は、TiO2、ZrO2、ITO、SiO2などの透明酸化材料からなることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のIRカット機能付きNDフィルタ。
- 前記ND膜は、2種類以上の層からなる膜を積層して複数の濃度分布を形成し、光の透過率を多段階に減衰させるように構成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のIRカット機能付きNDフィルタ。
- IRカット機能付きNDフィルタの製造方法であって、
薄い透明樹脂からなるシート状基材の両面に赤外線を減衰するIRカット膜を、蒸着法により成膜するIRカット膜の成膜工程と、
前記IRカット膜が成膜された基材の少なくとも一方の面のIRカット膜上に、蒸着法により光の透過率を減衰するND膜を成膜するND膜の成膜工程と、
を有することを特徴とするIRカット機能付きNDフィルタの製造方法。 - 前記IRカット膜の成膜工程において、前記シート状基材の両面に前記IRカット膜を分割して成膜することを特徴とする請求項6に記載のIRカット機能付きNDフィルタの製造方法。
- 前記IRカット膜の成膜工程において、前記IRカット膜の成膜にTiO2、ZrO2、ITO、SiO2などの透明酸化材料を用いて成膜することを特徴とする請求項6または請求項7に記載のIRカット機能付きNDフィルタの製造方法。
- 前記ND膜の成膜工程において、少なくとも2種類以上の膜を成膜して段階的な複数の濃度分布を有する膜を成膜することを特徴とする請求項6〜8のいずれか1項に記載のIRカット機能付きNDフィルタの製造方法。
- 前記ND膜の成膜工程において、前記IRカット膜面に対して一部成膜されない領域を残して成膜することを特徴とする請求項6〜9のいずれか1項に記載のIRカット機能付きNDフィルタの製造方法。
- 相対的に駆動されて絞り開口の大きさを可変する複数の絞り羽根と、該絞り羽根により形成された開口内の少なくとも一部に配置される光量調整のためのNDフィルタとを備えた光量絞り装置において、
前記NDフィルタが、請求項1〜5のいずれか1項に記載のIRカット機能付きNDフィルタまたは請求項6〜10のいずれか1項に記載の製造方法によって製造されたIRカット機能付きNDフィルタによって構成されていることを特徴とする光量絞り装置。 - 光学系と、該光学系を通過する光量を制限する請求項11に記載の光量絞り装置と、該光学系によって形成される像を受ける固体撮像素子を有することを特徴とするカメラ。
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