JP5879021B2 - Ndフィルタ - Google Patents
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Description
また、本発明に係るNDフィルタは、透明基板の上に光吸収層と誘電体層を交互に積層した光減衰膜を設け、少なくとも該光減衰膜の最上層としての前記光吸収層の上にSi3N4、SiOxNyのうちの何れか1種類以上の層を水蒸気バリア層として設け、最表層に前記水蒸気バリア層とは異なる材料から成り可視光波長領域で屈折率が1.5以下の反射防止膜を設けると共に、前記最上層の光吸収層は、酸化によって分光透過特性が変化する金属酸化物から形成され、前記透明基板と前記光減衰膜との間にSi3N4、SiOxNyのうちの何れか1種類以上の層を他の水蒸気バリア層として設けたことを特徴とする。
更に、本発明に係るNDフィルタは、透明基板の上に光吸収層と誘電体層を交互に積層した光減衰膜を設け、少なくとも該光減衰膜の最上層としての前記光吸収層の上にSi3N4、SiOxNyのうちの何れか1種類以上の層を水蒸気バリア層として設け、最表層に前記水蒸気バリア層とは異なる材料から成り可視光波長領域で屈折率が1.5以下の反射防止膜を設けると共に、前記最上層の光吸収層は、酸化によって分光透過特性が変化する金属酸化物から形成され、前記光減衰膜の積層間にSi3N4、SiOxNyのうちの何れか1種類以上の層を他の水蒸気バリア層として設けたことを特徴とする。
21 透明基板
22 Al2O3膜
23 TixOy膜
24 Si3N4膜
25 MgF2膜
26 ND膜
31 SiO2膜
Claims (6)
- 透明基板の上に光吸収層と誘電体層を交互に積層した光減衰膜を設け、少なくとも該光減衰膜の最上層としての前記光吸収層の上にSi3N4、SiOxNyのうちの何れか1種類以上の層を水蒸気バリア層として設け、最表層に前記水蒸気バリア層とは異なる材料から成り可視光波長領域で屈折率が1.5以下の反射防止膜を設けると共に、前記最上層の光吸収層は、酸化によって分光透過特性が変化する金属酸化物から形成されたことを特徴とするNDフィルタ。
- 透明基板の上に光吸収層と誘電体層を交互に積層した光減衰膜を設け、少なくとも該光減衰膜の最上層としての前記光吸収層の上にSi3N4、SiOxNyのうちの何れか1種類以上の層を水蒸気バリア層として設け、最表層に前記水蒸気バリア層とは異なる材料から成り可視光波長領域で屈折率が1.5以下の反射防止膜を設けると共に、前記最上層の光吸収層は、酸化によって分光透過特性が変化する金属酸化物から形成され、
前記透明基板と前記光減衰膜との間にSi3N4、SiOxNyのうちの何れか1種類以上の層を他の水蒸気バリア層として設けたことを特徴とするNDフィルタ。 - 透明基板の上に光吸収層と誘電体層を交互に積層した光減衰膜を設け、少なくとも該光減衰膜の最上層としての前記光吸収層の上にSi3N4、SiOxNyのうちの何れか1種類以上の層を水蒸気バリア層として設け、最表層に前記水蒸気バリア層とは異なる材料から成り可視光波長領域で屈折率が1.5以下の反射防止膜を設けると共に、前記最上層の光吸収層は、酸化によって分光透過特性が変化する金属酸化物から形成され、
前記光減衰膜の積層間にSi3N4、SiOxNyのうちの何れか1種類以上の層を他の水蒸気バリア層として設けたことを特徴とするNDフィルタ。 - 前記透明基板は透明な合成樹脂材としたことを特徴とする請求項1〜3の何れか1つの請求項に記載のNDフィルタ。
- 絞り羽根を有する光量絞り装置において、請求項1〜4の何れか1つの請求項に記載のNDフィルタを有することを特徴とする光量絞り装置。
- 請求項5に記載の光量絞り装置を使用した撮像装置。
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