JP5174588B2 - 光学フィルタ及び光学フィルタの製造方法 - Google Patents
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Description
層数 材料 膜厚(nm)
12 MgF2 125.0
11 Al2O3 6.5
10 TiXOY 10.0
9 Al2O3 29.7
8 TiXOY 9.3
7 Al2O3 19.8
6 TiXOY 12.4
5 Al2O3 39.2
4 TiXOY 13.3
3 Al2O3 13.0
2 TiXOY 2.6
1 Al2O3 31.2
透過率の平坦性=(TMax−TMin)/550nm・・・(1)
濃度(OD)=−Log(透過率)・・・(2)
層数 材料 層厚(nm)
11 MgF2 125.0
10 TiXOY 10.0
9 Al2O3 29.7
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4 TiXOY 13.3
3 Al2O3 13.0
2 TiXOY 2.6
1 Al2O3 31.2
第11層のAl2O3膜32の膜厚(nm) 反射率の評価
9.0 ○ 反射率3%以下
10.0 △ 反射率3%を多少上回る
11.0 × 反射率3%以上
12.0 × 反射率3%以上
2 光量絞り装置
6 ローパスフィルタ
7 固体撮像素子
8 絞り羽根支持板
9a、9b 絞り羽根
10 NDフィルタ
21 チャンバ
22 蒸着源
23 蒸着傘
24 基板治具
25 透明基板
31 薄膜積層体
31a、32 Al2O3膜
31b TiXOY膜
33 MgF2膜
Claims (7)
- 透明基板の上に複数の光吸収膜と誘電体膜を交互に積層し前記光吸収膜を最上層とした薄膜積層体の上に、Al 2 O 3 から成る酸化防止膜を成膜し、該酸化防止膜の上に反射防止膜を成膜することを特徴とする光学フィルタ。
- 前記酸化防止膜は透明性を有する誘電体膜から成り、3.0〜10.0nmの物理膜厚であることを特徴とする請求項1に記載の光学フィルタ。
- 前記光吸収膜及び前記誘電体膜の膜数は前記透明基板の面内方向で異なる複数の領域を有することにより、透過率の濃度が段階的に変化するように構成したことを特徴とする請求項1又は2に記載の光学フィルタ。
- 前記光吸収膜及び前記誘電体膜の少なくとも1層の膜厚は前記透明基板の面内方向に連続的に変化し、透過率の濃度が連続的に変化するように構成したことを特徴とする請求項1又は2に記載の光学フィルタ。
- 透明基板の上に物理蒸着法により薄膜を成膜する光学フィルタの製造方法において、光吸収膜と誘電体膜とを交互に積層し前記光吸収膜が最上層となるように薄膜積層体を成膜する工程と、前記薄膜積層体の上にAl 2 O 3 から成る酸化防止膜を成膜する工程と、前記酸化防止膜の上に反射防止膜を成膜する工程とを備えることを特徴とする光学フィルタの製造方法。
- 前記酸化防止膜は透明性を有する誘電体膜から成り、3.0〜10.0nmの物理膜厚であることを特徴とする請求項5に記載の光学フィルタの製造方法。
- 固体撮像素子と撮影光学系と絞り羽根を有する光量絞り装置において、請求項1〜6の何れか1つの請求項による光学フィルタを前記絞り羽根の近傍に配置したことを特徴とする光量絞り装置。
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