JP2007188962A - 蛍光体膜付発光素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
半導体発光素子と蛍光体膜を一体化した蛍光体膜付発光素子において、ウエハプロセスによってその側面にも蛍光体膜を形成する。
【解決手段】
励起光を発する半導体層と、前記励起光を透過する基板と、傾斜している第1の側面と、前記第1の側面にスパッタ法などによって形成され、前記励起光を吸収して蛍光を発する蛍光体膜と、チップ分割後に形成され蛍光体膜が形成されない第2の側面を有することを特徴とする蛍光体膜付発光素子及びそのウエハプロセスによる製造方法である。
【選択図】
図9
Description
本発明は、前記第2の側面が、前記第1の側面より突出している突出部の端面であることを特徴とする発光素子であることが好ましい。
本発明においては、LEDチップ等の半導体発光素子を封止する封止樹脂に蛍光体を分散したものに比べて、半導体発光素子に接して蛍光体膜を設けることにより、蛍光体膜の厚さの制御が容易になるため、半導体発光素子の発光量と蛍光の発光量、又は複数の蛍光体層から発するそれぞれの蛍光の量のバランスが安定し、色調が安定する。
実施の形態1及び2で用いる赤色蛍光体膜118A及び168Aの作製原料としては、窒化物蛍光体(特にシリコン、アルミニウム、窒素及び発光中心であるランタノイド系希土類を含むもの)であるCaAlSiN3:Euを用いる(特許文献8参照)。
実施の形態1及び2で用いる緑色蛍光体膜118B及び168Bの作製原料としては、酸窒化物蛍光体(特にシリコン、アルミニウム、酸素、窒素及び発光中心であるランタノイド系希土類を含むもの)であるEu賦活βサイアロンを用いる(非特許文献1参照)。
実施の形態1及び2で用いる青色蛍光体膜118C及び168Cの作製原料としては、酸窒化物蛍光体(特にシリコン、アルミニウム、酸素、窒素及び発光中心であるランタノイド系希土類を含むもの)である組成式Cax1Cex2Si12−X3AlX3O16−X4NX4で示されるCe賦活αサイアロンを用いる(例えば特開2005−8794号公報参照)。ただしx1=0.87、x2=0.44、x3=3.6、x4=14.8とする。
窒化ケイ素粉末と、窒化アルミニウム粉末、炭酸カルシウム粉末および酸化セリウム粉末を、秤量して混合する。
実施の形態3で用いる黄色蛍光体膜218の原料としては、酸窒化物蛍光体(特にシリコン、アルミニウム、酸素、窒素及び発光中心であるランタノイド系希土類を含むもの)である組成式Ca0.93Eu0.07Si9Al3ON15のEu賦活αサイアロン蛍光体を用いる。
本発明の実施の形態1によって作製された発光装置140を図1に示す。蛍光体膜付LEDチップ100は、基板102の上面に半導体層103が、側面に蛍光体膜118が形成され、p側電極122、n側電極124を有するものであり、それぞれの電極が基体141に配された配線142、144に接続されている。蛍光体膜付LEDチップ100の周囲はシリコーン樹脂146によって封止されている。シリコーン樹脂は屈折率が約1.4程度であり空気の約1より大きいため、屈折率が2程度と高い蛍光体膜118から発する光を外部に取り出すのに適している。また、シリコーン樹脂146は、外部の湿度などの影響によって蛍光体膜付LEDチップ100が劣化するのを防ぐ働きもしている。蛍光体膜付LEDチップ100から横方向(x方向)に出射した光は、ミラー148によって反射され外側に取り出される。
蛍光体膜付LEDチップ100の製造方法を、図2及び図3を用いて説明する(図1に対してz方向を反転して表示している)。サファイアからなる基板102(厚さ300μm)の上面(z方向の上の面)に、MOCVD法(Metal Organic Chemical Vapor Deposition、有機金属気相成長法)によって、n型InAlNバッファ層104、n型AlGaNクラッド層106、n型GaNクラッド層108、発光層110(InGaN多重量子井戸活性層)、p型AlGaN蒸発防止層112、p型AlGaNクラッド層114、及びp型GaNコンタクト層116からなる半導体層103を順次形成する。これにより、半導体層103が窒化ガリウム系化合物半導体(少なくともGaとNを有し、必要に応じてAl、In、p型ドーパント、n型ドーパントを加えた半導体)からなる窒化ガリウム系LEDの半導体層構造が得られる。なお、基板102としては、サファイア以外に、GaNやSiCなどを用いることができる。GaN基板は、現時点では高価であるものの、欠陥の少ない窒化ガリウム系化合物半導体の結晶を形成することができ好ましい。また、SiC基板は、実施の形態3で用いており、良質な窒化ガリウム系半導体を成長することができる。LEDチップの発光波長(ピーク波長)は約405nmとしたが、視感度の低い領域であって窒化ガリウム系LEDの発光効率の高い波長である350nm以上420nm以下が特に好ましい。また、実施の形態3に示すようにLEDからの青色発光を用いて白色を得る場合には、420nm以上500nm以下の波長が望ましい。
チップ分割及び側面の形成のため、図3に示すように、製造中のウエハ101における基板102の底面(z方向下の面)に、ダイシング法によって、y方向及びx方向に、複数のストライブ状の溝117を設ける。溝117の深さは100μm、溝117の表面(基板102の底面)における幅117Tは136μm、溝117の底部における幅117Bは20μm、溝117の間隔は300μmとする。この場合、溝117の形成によってできた第1の側面126の法線126Vと基板底面の法線101Vのなす角θsは約60゜になる。角θsは、後述するスパッタ工程において第1の側面126に蛍光体膜を形成するためには、80゜以下であればよく、60゜以下であればより良い。溝117をダイシングによって形成した後に、リン酸などのエッチャントに浸漬して、切断面を若干エッチングし、滑らかにする。なお、溝117自体をウェットエッチング又はドライエッチングによって形成してもよい。また、溝117の幅が上下で異なるテーパー形状とするため、ダイシング用ブレードとして図4に示すように先端がテーパー形成用の角度を有するブレード350を用いる。ただし351は回転軸である。
引き続き、図5に示すスパッタ装置300のターンテーブル305上に製造中のウエハ101を置き、基板102の底面及び第1の側面126に、蛍光体膜118(蛍光体層118A、118B及び118Cからなる)をスパッタ法によって以下のように形成する。ターゲット303Aとしては前述したCaAlSiN3:Eu蛍光体の粉末を固めたもの、ターゲット303Bとしては前述したEu賦活βサイアロン蛍光体の粉末を固めたもの、ターゲット303Cとしては前述したCe賦活αサイアロン蛍光体の粉末を固めたものを用いる。
次に、ウエハ101を反射膜形成用スパッタ装置に導入し、蛍光体膜118の表面(z方向下の面)に、図7中の拡大図に示すDBR波長選択性反射膜120をスパッタ法によって形成する(DBRはDistributed Bragg Reflectorの略)。DBR波長選択性反射膜120は、SiO2(屈折率1.5、層厚68nm)とTiO2(屈折率2.2、層厚40nm)を1周期として、これを4周期形成したものである。スパッタ条件は、Ar(90%)+O2(10%)、7×10−1Pa、基板温度250℃とする。なお、DBR波長選択性反射膜120は必須ではなく、単に発光効率を向上させる働きを有する。ここではDBR波長選択性反射膜120の形成を蛍光体膜118の形成装置とは別の装置で行ったが、同じ装置で行っても良い。
次に、n側電極を設けるため、図8のエッチング領域121における層116、114、112、110、108及び106の一部についてECR法によるドライエッチングを行う(ECRはElectron Cyclotron Resonanceの略)。この際、メサ部123(ドライエッチングされない領域)の斜面125は、基板102に垂直な方向に対する傾斜角θmが20゜から70゜の間、好ましくは30゜から60゜の間になるようにする。なお、ドライエッチングにより生じた表面ダメージ層を除去するため、ドライエッチングの後でウェットエッチングを併用することが好適である。
以上のようにして製造されたウエハ101を、粘着シートに貼り付け、粘着シートをエキスパンダーによって引き伸ばして、溝117が形成され薄くなった部分においてブレーキングすることによって、図9に示す蛍光体膜付LEDチップ100に分割する。このとき、チップに分割する際に露出して得られる第2の側面128には、蛍光体膜118が形成されていないため、チップ分割後に蛍光体膜を形成する場合と区別が可能である。このようにブレーキングによってチップ分割を行うと、残存部分を有するように溝117を形成することによって生じた溝117の残存部分が突出部129となる。一方、チップ分割は、溝117の残存部分を再ダイシングすることによって行うこともでき、その場合には、このような突出部129ができない場合がある。なおブレーキングまたは再ダイシングによってチップ分割した際に突出部129の端面として形成された第2の側面128は、LEDチップ100の上面または底面に対して略垂直な面で形成されるのが好ましい。
蛍光体膜付LEDチップ100の断面図である図9に示した励起光線を例にとって、蛍光の発生について説明する。発光層110より基板102の方向に、励起光線131、132及び134が発生し、蛍光体膜118に入射する。蛍光体膜118の各層118A、118B及び118Cの屈折率がいずれも約2であり、基板102の屈折率(約1.7)よりも大きいことから、基板102から蛍光体膜118へは全反射することなく光が入射する。従って、励起光線が屈折率の高い基板から屈折率の低い樹脂(シリコーン樹脂146の屈折率=約1.4)中に放出された後、樹脂内に分散している蛍光体に到達する場合に比べて、全反射によるロスがないため、励起光線の蛍光体膜への到達率が高い。
以上の構成とすることにより、蛍光体膜118Aから発した赤色、蛍光体膜118Bから発した緑色、蛍光体膜118Cから発した青色が合成され、白色の蛍光が得られる。また、励起光の影響による樹脂の劣化が、蛍光体膜118、DBR波長選択性反射膜120のない場合に比べて大幅に低減する。
本発明の実施の形態2によって作製された発光装置190を図10に示す。蛍光体膜付LEDチップ150は、実施の形態1に用いたものと同じく基板102の上面に、約405nmの発光ピーク波長を有する半導体層103を形成したものであるが、蛍光体膜168の位置等が異なっている。蛍光体膜付LEDチップ150は、p側電極122、n側電極124を有しており、それぞれの電極が基体141に配された配線142、144にワイヤ185、186によって接続されている。蛍光体膜付LEDチップ150の周囲はシリコーン樹脂146によって封止されている。
以上により図11に示すウエハ151が形成される。第2の側面となる分割線178に沿ってウエハ151をチップ分割することにより、蛍光体膜168が形成された第1の側面176及び蛍光体膜が形成されていない第2の側面178を有する蛍光体膜付LEDチップ150が得られる。このチップ150を図10に示すように発光装置190に組み込む。
実施の形態3においては、青色LEDチップに対して黄色蛍光体膜を形成するとともに、演色性を改善するために樹脂中に赤色蛍光体の粒子を分散させている。本発明の実施の形態3によって作製された発光装置240を図12に示す。蛍光体膜付LEDチップ200は、基板202の上面に半導体層203、側面に黄色蛍光体膜218を有し、又p側電極222がウエハ上面、n側電極224がウエハ底面に配されており、p側電極222が基体241に配された配線242に直接接続されている。また、n側電極224はワイヤ245を介して配線244に接続されている。蛍光体膜付LEDチップ200の周囲はシリコーン樹脂246によって封止されている。蛍光体膜付LEDチップ200からx方向に出射した光は、ミラー248によって反射され外側に取り出される。シリコーン樹脂246中に赤色蛍光体粒子249が分散されており、赤色を補っている。
蛍光体膜付LEDチップ200の製造方法を、図13及び図14を用いて説明する(図12に対してz方向を反転して表示している)。図13に示すように、n型SiCからなる基板202(厚さ140μm)の上面(z方向の上の面)に、MOCVD法(Metal Organic Chemical Vapor Deposition、有機金属気相成長法)によって、n型InAlNバッファ層204、n型AlGaNクラッド層206、n型GaNクラッド層208、発光層210(InGaN多重量子井戸活性層)、p型AlGaN蒸発防止層212、p型AlGaNクラッド層214、及びp型GaNコンタクト層216からなる半導体層203を順次形成する。なお、LEDチップの発光波長(ピーク波長)は約465nmとしたが、白色光を得るためには、青色又は緑色として見える波長である420nm以上530nm以下が好ましい。なお、緑色の場合には、他の青色LEDチップと組み合わせて白色を得ることができる。
図14に示すように、製造中のウエハ201における基板202の底面(z方向下の面)に、ダイシング法によって、縦及び横方向に、複数のストライブ状の溝217を設ける。溝217の深さは100μm、溝217の幅は溝の表面部(z方向下)で230μm、溝の底部で30μm、溝217の間隔は300μmとする。これにより、溝217によって形成される第1の側面226の法線226Vは、基板底面の法線201Vに対して約45度の傾斜を有する。なお、ダイシング後に、フッ酸などのエッチャントに浸漬して、切断面を若干エッチングし、滑らかにする。なお、溝217自体をウェットエッチングによって形成してもよい。また、溝217の幅が上下で異なるテーパー形状とするため、ダイシングブレードとしてテーパー形成用の角度を有するブレードを用いる。
次に、図16において、n型SiCからなる基板202に対して電極を設けるため、黄色蛍光体膜218の一部をウェットエッチングによって除去する。エッチャントとしてはフッ酸を主成分とするものを用いる。次に、露出した基板202の一部に、n側電極224を形成する。また、p型GaNコンタクト層216の表面の一部にp側電極222を形成する。
以上のようにして製造されたウエハ201を、粘着シートに貼り付け、粘着シートをエキスパンダーによって引き伸ばすことによって、チップを分割する。図16に示す分割線228に沿って分割することにより、新たに露出した面は、蛍光体膜を有さない第2の側面228となる。そして、図12に示す基体241上に形成された配線242に、蛍光体膜付LEDチップ200のp側電極222が接触するように重ね合わせる。接触部にはハンダ材又は導電性ペーストが塗られているため、電気的接続が得られる。引き続き、ワイヤ245を接続し、シリコーン樹脂246を蛍光体膜付LEDチップ200の周囲に注入して、加熱により硬化させ、発光装置240を完成させる。なお、シリコーン樹脂246中に、赤色の蛍光を発するCaAlSiN3:Euの蛍光体粒子249を分散させる。
本実施の形態においては、実施の形態1及び2とは異なり、励起光に対する波長選択性反射膜を設けていない。従って、青色の励起光のうち黄色蛍光体膜218を透過する成分も外部に取り出され、黄色蛍光体膜218から発する黄色光及び赤色蛍光体粒子249から発する赤色光と合わさって白色が得られる。
以上の実施の形態では蛍光体膜の形成方法としてスパッタ法を用いたが、蛍光体粒子を塗布することによっても蛍光体膜を形成できる。
102、202 基板、103、203 半導体層
104、204 n型InAlNバッファ層
106、206 n型AlGaNクラッド層
108、208 n型GaNクラッド層
110、210 発光層
112、212 p型AlGaN蒸発防止層
114、214 p型AlGaNクラッド層
116、216 p型GaNコンタクト層
117、167、217 溝
118、168 蛍光体膜、119 界面
120、170 DBR波長選択性反射膜、180 Al反射膜
121、171 エッチング領域
122、222 p側電極、124、224 n側電極
123 メサ部、125 斜面
126、176、226 第1の側面
128、178、227 第2の側面
129 突出部、130 平坦面
131、132、134、135、136、137、138、139 励起光線
140、240 発光装置、141、241 基体
142、144、242、244 配線、185、186、245 ワイヤ
146、246 シリコーン樹脂、148、248 ミラー、
218 黄色蛍光体膜、249 蛍光体粒子
300 スパッタ装置、301 RF電源、302 カップリングコンデンサ
303A、303B、303C、303D ターゲット
304 プラズマ、305 ターンテーブル、306スイッチ
311 ガス導入口、313 真空ポンプ
350 ブレード、351 回転軸
Claims (27)
- 半導体層及び蛍光体膜を備えた発光素子であって、
前記発光素子の表面は少なくとも底面、上面及び前記蛍光体膜が配された第1の側面を有し、
前記第1の側面が傾斜していることを特徴とする発光素子。 - 前記第1の側面の法線と前記底面の法線のなす角度が80度以下であることを特徴とする請求項1に記載の発光素子。
- 前記第1の側面の法線と前記上面の法線のなす角度が80度以下であることを特徴とする請求項1に記載の発光素子。
- 前記表面はさらに前記第1の側面の前記上面側又は前記底面側に第2の側面を有し、
前記第2の側面に前記蛍光体膜が形成されていないことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の発光素子。 - 前記第2の側面は、前記第1の側面より突出している突出部の端面であることを特徴とする請求項4に記載の発光素子。
- 前記発光素子はウエハを分割することによって作製され、
前記第1の側面は前記ウエハを分割する前に形成されたものであり、前記第2の側面は前記ウエハを分割することにより形成されたものであることを特徴とする請求項4又は5に記載の発光素子。 - 前記発光素子はさらに基板を有し、
前記半導体層が励起光を発し、前記基板が前記励起光を透過することを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の発光素子。 - 前記蛍光体膜は、異なる材料からなる複数の蛍光体層からなることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の発光素子。
- 前記複数の蛍光体層は、蛍光の発光波長の長い蛍光体層から順に前記基板に近い側に配されてなることを特徴とする請求項8に記載の発光素子。
- 前記蛍光体膜が、窒化物又は酸窒化物蛍光体膜であることを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載の発光素子。
- 前記酸窒化物蛍光体膜が、Si、Al、O、N及び一種若しくは二種以上のランタノイド系希土類元素を含むことを特徴とする請求項10に記載の発光素子。
- 前記酸窒化物蛍光体膜が、αサイアロン、βサイアロン又はJEM相Si−Al−O−N系蛍光体を含むことを特徴とする請求項10又は11に記載の発光素子。
- 前記窒化物蛍光体膜が、Si、Al、N及び一種若しくは二種以上のランタノイド系希土類元素を含むことを特徴とする請求項10から12のいずれか1項に記載の発光素子。
- 前記窒化物蛍光体膜が、CaAlSiN3:Euを含むことを特徴とする請求項10から13のいずれか1項に記載の発光素子。
- 前記蛍光体膜の表面に接して、前記蛍光体膜から発する蛍光を選択的に透過するとともに前記半導体膜から発する励起光を反射する波長選択性反射膜を有することを特徴とする請求項1から14のいずれか1項に記載の発光素子。
- 前記波長選択性反射膜が、屈折率の異なる2種類の層を交互に形成してなることを特徴とする請求項12から15のいずれか1項に記載の発光素子。
- 前記半導体層が、窒化ガリウム系化合物半導体層であることを特徴とする請求項1から16のいずれか1項に記載の発光素子。
- 前記基板が、SiC、サファイア又はGaNからなることを特徴とする請求項7から17のいずれか1項に記載の発光素子。
- 前記励起光の波長が、350nm以上530nm以下であることを特徴とする請求項1から18のいずれか1項に記載の発光素子。
- 請求項1から19のいずれか1項に記載の発光素子と、前記発光素子から発した光が入射する透明材料と、前記透明材料中に分散された蛍光体粒子からなることを特徴とする発光装置。
- 底面及び上面を有する基板の前記上面に半導体層を形成したウエハを製造する工程と、前記ウエハの前記底面又は前記上面のうち一方の面に第1の側面を有する溝を形成する工程と、前記第1の側面に蛍光体膜を形成する工程と、前記ウエハを発光素子に分割する工程を有する発光素子の製造方法であって、
前記蛍光体膜を形成する工程、前記発光素子に分割する工程がこの順に行われることを特徴とする発光素子の製造方法。 - 前記第1の側面の法線と前記ウエハの一方の面の法線とのなす角度が80゜以下であることを特徴とする請求項21に記載の発光素子の製造方法。
- 前記溝がダイシング法によって形成されることを特徴とする請求項21又は22に記載の発光素子の製造方法。
- 前記蛍光体膜を形成する工程がスパッタ法であることを特徴とする請求項21から23のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。
- 前記スパッタ法に用いるターゲットの表面の法線に対し、前記ウエハの一方の面の法線が傾いていることを特徴とする請求項24に記載の発光素子の製造方法。
- 前記スパッタ法に用いるターゲットが、窒化物若しくは酸窒化物蛍光体の粉末又は前記粉末を固めたものであることを特徴とする請求項24又は25に記載の発光素子の製造方法。
- 前記蛍光体膜が酸窒化物又は窒化物蛍光体であって、前記スパッタ法における導入ガスにおいて、窒素の量が酸素の量よりも多く含まれることを特徴とする請求項24から26のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。
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