JP3509665B2 - 発光ダイオード - Google Patents
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Description
な発光素子と、この発光素子からの光を蛍光体によって
波長変換する発光ダイオードに係わり、特に可視光の長
波長側においても高輝度に発光可能なことにより演色性
の高い混色光が発光可能な発光ダイオードを提供するこ
とにある。
1-X-YN、0≦X≦1、0≦Y≦1、X+Y=1)を用
いた発光素子が開発され、紫外光から可視光の長波長側
である赤色光が発光可能となり半導体を用いた照明装置
が俄に現実味を帯び始めている。
を発光するサファイア基板上に形成された窒化ガリウム
半導体からなる発光素子と、この発光素子からの青色光
を吸収し、補色となる黄色が発光可能なCeで付活され
たYAG蛍光体とを組み合わせることによって、信頼性
高く高輝度に発光可能な実用的白色発光ダイオードを開
発させた。このような発光ダイオードは、二端子一チッ
プの比較的簡単な構成で実用的な信用性を持った高輝度
な白色光を得ることができるために種々の分野に応用さ
れ始めている。この白色発光ダイオードは蛍光体を利用
しているがゆえに、可視光における赤み成分をも発光し
演色性もRa=85以上とすることができる。
野の広がりにつれ、より演色性の高い発光ダイオードが
求められる現在においては更なる改良が求められてい
る。特に、それぞれ可視光を発光可能な発光素子及び蛍
光体を利用することによって比較的簡単な構成を生かし
つつ演色性の高い白色系が発光可能な発光ダイオードを
提供することにある。
合物半導体からなる半導体発光層を有する発光素子と、
前記発光素子からの光を波長変換する蛍光体とを有する
発光ダイオードであって、前記半導体発光層は主発光ピ
ークが420nmから490nmの範囲にある青色光が
発光可能な窒化物系化合物半導体からなり、前記蛍光体
は前記発光素子からの光を吸収して約560nmに主発
光ピークがある黄色光を発光するものであり、前記基板
はCrが含有されたアルミナ基板であり、少なくとも前
記黄色光を吸収し、波長変換することによって前記黄色
光の主発光ピークよりも長波長側に主発光ピークを持っ
た可視光を発光するものであることを特徴とする発光ダ
イオードである。これによって、比較的簡単な構成で演
色性の高い混色光が発光可能な発光ダイオードとするこ
とができる。また、比較的簡単な構成で信頼性の高い発
光ダイオードとすることもできる。
は、アルミナ基板に含有されるCrが、550nmの波
長における吸光度が10cm― 1以上である。これによ
って、より赤色成分が高輝度に発光可能となると共に、
発光素子形成時におけるアルミナ基板のスクライブなど
によっても歩留まりの高い発光ダイオードとすることが
できる。
ルミナ基板から発光される可視光は、約694nmに主
発光ピークを有する赤色光である。また前記発光層はI
nGaNを井戸層として有する。また前記蛍光体はイッ
トリウム・アルミニウム・ガーネット系蛍光体である。
前記イットリウム・アルミニウム・ガーネット系蛍光体
は(Y1−aGda)3(Al1−bGab)
5O12:Ceであって、該aは0≦a≦1とし、該b
は0≦b≦1とすることが好ましい。これによって、蛍
光体を効率よく波長変換させると共に、蛍光体からの波
長を利用して効率よくCr含有アルミナ基板からより長
波長の発光スペクトルを放出させることができる。
合においても蛍光体及び樹脂が劣化することなく各種イ
ンジケータ、バックライト光源、照明用光源などに利用
可能な発光ダイオードとすることができる。
光層からの発光及び前記蛍光体により波長変換された黄
色光及び前記アルミナ基板により波長変換された可視光
の混色光によって白色光が発光可能な発光ダイオードで
ある。
互に可視光での変換効率の高い特定の材料を使用して、
実用的信頼性と高輝度化及び高演色性を両立できること
を見出し本発明を成したものである。
体からなる発光層を有する発光素子と、この発光素子か
らの光を利用したセリウムで付活されたイットリウム・
アルミニウム・ガーネット系蛍光体(例えば、(Y1-a
Gda)3(Al1-bGab)5O 12:Ce、ただし、0≦
a≦1、0≦b≦1)と、更にこの蛍光体からの光を利
用してより長波長に変換可能なCr含有アルミナ基板を
半導体発光層を形成させた発光素子に応用することによ
って、より実用的な白色系が発光可能な発光ダイオード
を形成したものである。
れたアルミナ基板であるルビー基板201上に、GaN
のバッファ層を介して、Siがアンドープの第一のn型
GaN層、第一のn型GaN層上にSiが含有され電極
が形成される第二のn型GaNからなるn型コンタクト
層、Si含有n型GaN上に形成されたSiがアンドー
プの第三のn型GaN層、多重量子井戸構造とされるG
aN(障壁層)/InGaN(井戸層)が3層積層され
た発光層202、Mgがドープされたp型AlGaNか
なるクラッド層、Mgがドープされたp型GaNからな
るp型コンタクト層及びp型コンタクト層上に形成され
たp型電極と、n型コンタクト層上に形成されたn型電
極が形成されている。多重量子井戸構造の発光層は通電
により主発光ピークが470nmの青色が発光可能なよ
うにInの組成比を選択させてある。なお、ここでは、
多重量子井戸構造の発光層を利用してあるがInGaN
を利用した単一量子井戸構造としても良い。
リード電極205、206となるパターンが形成された
硝子エポキシ回路基板204上に金バンプを利用して発
光素子の電極と電気的に接続させフリップチップ型に配
置させる。つぎに、エポキシ樹脂中にセリウムで付活さ
れたイットリウム・アルミニウム・ガーネット系蛍光体
203として(Y0.8Gd0.2)3Al5O12:Ceを含有
させたモールド部材207をスクリーン印刷により塗布
して硬化させる。
上に主発光ピークが420nmから490nmの範囲内
にある青色系が発光可能である窒化物系化合物半導体か
らなる半導体発光層を有する発光素子と、イットリウム
・アルミニウム・ガーネット系蛍光体とを有するSMD
型発光ダイオード200を形成させることができる。発
光ダイオードのリード電極間に電流を流すと、半導体発
光層からの約470nmに主発光ピークがある青色光
と、蛍光体からの約560nmに主発光ピークがある黄
色光と、アルミナ基板からは約694nmに主発光ピー
クを有する赤色光を発光し、それぞれの混色光によって
演色性の高い白色光を発光させることができる。この白
色発光ダイオードはIn濃度を変化させることによって
発光層から放出させることができる第一の波長をある程
度調節させることができる。同様に、セリウムで付活さ
れたイットリウム・アルミニウム・ガーネット蛍光体は
Yの一部をGdで置換させることによって、発光スペク
トル及び吸収スペクトルをより長波長側に調節させるこ
とができる。また、Alの一部をGaで置換することに
よって、発光スペクトル及び吸収スペクトルをより短波
長側に調節させることができる。更に、Crで付活され
たアルミナ基板は、Crの濃度を増減させることによっ
て赤色成分の出力を調節させることができる。また、C
rが含有されたアルミナ基板の膜厚を調節させることに
よっても赤色成分の出力を調節させることができる。特
に、発光層に窒化物半導体を利用した発光素子はアルミ
ナ基板上に形成させることで結晶性よく高効率に実用的
な発光素子を形成させることができるが、アルミナ基板
が硬く窒化ガリウム半導体が劈開性を持たないことから
一度窒化ガリウム系化合物半導体が形成された半導体ウ
エハーから各発光素子を作り出すためにはCr含有のア
ルミナ基板を薄くさせなければならない。しかしなが
ら、Cr含有のアルミナ基板を薄くさせると赤色成分の
発光出力が低下するため、150μm以下のCr含有ア
ルミナ基板を利用する場合は、550nmの波長におけ
る吸光度が10cm― 1以上であることが好ましく、よ
り好ましくは吸光度が25cm― 1以上さらに好ましく
は125cm― 1以上である。これによって、窒化物半
導体及びセリウム付活YAGを利用して実用的な赤色成
分の高い混色光から演色性の高い白色光まで形成させる
ことができる。なお、このような発光ダイオードは外観
形状を種々選択させることによって図3に示す如く8セ
グメントにも利用できることは言うまでもない。以下、
本発明の具体的実施例について、詳述するがこれのみに
限られない。
InGaN半導体を井戸層とした発光層を用いた図1の
如き発光ダイオードを形成させる。LEDチップ101
は、洗浄させたCr付活のα−アルミナ(ルビー)基板
上にTMG(トリメチルガリウム)ガス、TMA(トリ
メチルアルミニウム)ガス、窒素ガス及びドーパントガ
スをキャリアガスと共に流し、MOCVD法で窒化ガリ
ウム系化合物半導体を成膜させることにより形成させ
た。ドーパントガスとしてSiH4とCp2Mgと、を切
り替えることによってn型導電性を有する窒化ガリウム
半導体とp型導電性を有する窒化ガリウム半導体を形成
しpn接合を形成させた。具体的には、Crが含有され
たアルミナ基板であるルビー基板上に、GaNのバッフ
ァ層を介して、Siがアンドープの第一のn型GaN
層、第一のn型GaN層上にSiが含有され電極が形成
される第二のn型GaNからなるn型コンタクト層、S
i含有n型GaN上に形成されたSiがアンドープの第
三のn型GaN層、多重量子井戸構造とされるGaN
(障壁層)/InGaN(井戸層)が3層積層された発
光層、Mgがドープされたp型AlGaNかなるクラッ
ド層、Mgがドープされたp型GaNからなるp型コン
タクト層及びp型コンタクト層上に形成されたp型電極
と、n型コンタクト層上に形成されたn型電極が形成さ
れている。(なお、p型半導体は、成膜後400℃以上
でアニールさせてある。)エッチングによりpn各半導
体表面を露出させた後、スパッタリングにより各電極を
それぞれ形成させた。こうして出来上がった半導体ウエ
ハーのCr含有アルミナ基板を約100μmの厚みにな
るまで研磨した後、スクライブラインを引き、外力によ
り分割させ発光素子としてLEDチップを形成させる。
ルヌーイ法を利用してCr濃度を調節させながら形成さ
せる。ここでは、Crの濃度を550nmにおける吸光
度を約27cm― 1としてある。また、Cr含有α−ア
ルミナ基板の膜厚で発光素子から放出される赤色成分の
出力が変化する。なお、α−アルミナ基板にはCrに加
えてTi及び/又はEuを含有させることもできる。
先端にカップを有するマウント・リード105にLED
チップをエポキシ樹脂でダイボンディングした。LED
チップの各電極とマウント・リード105及びインナー
・リード106と、をそれぞれ金線からなるワイヤーで
103でボンディングし電気的導通を取った。
Gd、Ceの希土類元素を化学量論比で酸に溶解した溶
解液を蓚酸で共沈させた。これを焼成して得られる共沈
酸化物と、酸化アルミニウム、酸化ガリウムと混合して
混合原料を得る。これにフラックスとしてフッ化アンモ
ニウムを混合して坩堝に詰め、空気中1400°Cの温
度で3時間焼成して焼成品を得た。焼成品を水中でボー
ルミルして、洗浄、分離、乾燥、最後に篩を通して形成
させた。
蛍光体80重量部、エポキシ樹脂100重量部をよく混
合してスリラーとさせた。このスリラーをLEDチップ
が配置されたマウント・リード上のカップ内に配置させ
た。その後、フォトルミネセンス蛍光体が含有された樹
脂を130℃1時間で硬化させ蛍光体含有されたコーテ
ィング部102を形成させた。更に、LEDチップやフ
ォトルミネセンス蛍光体を外部応力、水分及び塵芥など
から保護する目的でモールド部材104として透光性エ
ポキシ樹脂を形成させた。モールド部材は、砲弾型の型
枠の中にフォトルミネセンス蛍光体のコーティング部が
形成されたリードフレームを挿入し透光性エポシキ樹脂
を混入後、150℃5時間にて硬化させた。こうして形
成された発光ダイオードは、通常のサファイア基板を利
用した白色発光ダイオードに対して演色性が大きく改善
された。同様に耐侯試験として温度25℃60mA通
電、温度25℃20mA通電、温度60℃90%RH下
で20mA通電の各試験においても蛍光体及び基板に起
因する変化は観測されず通常のサファイア基板を利用し
た白色発光ダイオードと寿命特性に差がない。この発光
ダイオードの発光スペクトルを図4に示す。図4中、半
導体発光層からは青色となる第一の可視光と、蛍光体か
らの黄色となる第二の可視光と、及びアルミナ基板から
は蛍光体からの主発光ピークよりも長波長側に主発光ピ
ークを持った赤色光が発光していることが分かる。
300としてそれぞれのセグメント型開口部にCr含有
のアルミナ基板上に形成させた窒化物半導体からなる上
述と同様の発光素子301を配置させ、開口部内にセリ
ウムで付活されたイットリウム・アルミニウム・ガーネ
ット系蛍光体含有のシリコーン樹脂302を流し込み硬
化させる。通電によって、各セグメントが白色に発光可
能な8セグメントを構成させることができる。なお、こ
れを応用して種々のセグメントを組み合わせた発光ダイ
オードとして利用することもできる。
とによって可視光を利用した実用的な高輝度かつ高演色
性の白色系が発光可能な発光ダイオードとすることがで
きる。特に、YAG:Ceから放出された比較的長波長
側の可視光を効率よく吸収して赤色成分を含む光を放出
するCr含有のα−アルミナ基板を窒化ガリウム系化合
物半導体用に利用することによって高混色性よく信頼性
の高い発光ダイオードとすることができる。即ち、紫外
領域に近い光を利用することなく効率よく演色性の高い
発光を得ることができる。また、YAG:Ceが含有さ
れた樹脂でCr含有のα−アルミナ基板上の窒化ガリウ
ム系化合物半導体からなる発光素子を被覆することによ
って混色性の優れた発光ダイオードとすることができ
る。即ち、蛍光体からの反射散乱とCr含有のα−アル
ミナ基板との光の相互作用を効率的に利用することがで
きる。
光ダイオードの模式的断面図を示す。
発光ダイオードの模式的断面図を示す。
オードを8セグメント型LEDに利用した模式的斜視図
を示す。
ペクトルを示す。
ィング部 103…ワイヤー 104…モールド部材 105…マウント・リード 106…インナー・リード 200…SMD型発光ダイオード 201…Crが含有されたα−アルミナであるルビー基
板 202…窒化物半導体からなる発光層 203…セリウムで付活されたイットリウム・アルミニ
ウム・ガーネット系蛍光体 204…硝子エポキシ回路基板 205、206…リード電極 207…モールド部材 300…8セグメント型の発光ダイオード 301…Cr含有のアルミナ基板上に形成させた窒化物
半導体からなる発光素子 302…セリウムで付活されたイットリウム・アルミニ
ウム・ガーネット系蛍光体含有の樹脂
Claims (7)
- 【請求項1】 基板上に窒化物系化合物半導体からなる
半導体発光層を有する発光素子と、前記発光素子からの
光を波長変換する蛍光体とを有する発光ダイオードであ
って、 前記半導体発光層は主発光ピークが420nmから49
0nmの範囲にある青色光が発光可能な窒化物系化合物
半導体からなり、 前記蛍光体は前記発光素子からの光を吸収して約560
nmに主発光ピークがある黄色光を発光するものであ
り、 前記基板はCrが含有されたアルミナ基板であり、少な
くとも前記黄色光を吸収し、波長変換することによって
前記黄色光の主発光ピークよりも長波長側に主発光ピー
クを持った可視光を発光するものであることを特徴とす
る発光ダイオード。 - 【請求項2】 前記アルミナ基板に含有されるCrは、
550nmの波長における吸光度が10cm― 1以上で
ある請求項1に記載の発光ダイオード。 - 【請求項3】 前記アルミナ基板から発光される可視光
は、約694nmに主発光ピークを有する赤色光である
請求項1または2に記載の発光ダイオード。 - 【請求項4】 前記発光層はInGaNを井戸層として
有する請求項1記載の発光ダイオード。 - 【請求項5】 前記蛍光体はイットリウム・アルミニウ
ム・ガーネット系蛍光体である請求項1に記載の発光ダ
イオード。 - 【請求項6】 前記イットリウム・アルミニウム・ガー
ネット系蛍光体は(Y1−aGda)3(Al1−bG
ab)5O12:Ceであって、0≦a≦1、0≦b≦
1とする請求項5に記載の発光ダイオード。 - 【請求項7】 前記半導体発光層からの発光及び前記蛍
光体により波長変換された黄色光及び前記アルミナ基板
により波長変換された可視光の混色光によって白色光が
発光可能な請求項1記載の発光ダイオード。
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