JP2007177003A - 再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物及び粘着シート - Google Patents
再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物及び粘着シート Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007177003A JP2007177003A JP2005374553A JP2005374553A JP2007177003A JP 2007177003 A JP2007177003 A JP 2007177003A JP 2005374553 A JP2005374553 A JP 2005374553A JP 2005374553 A JP2005374553 A JP 2005374553A JP 2007177003 A JP2007177003 A JP 2007177003A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensitive adhesive
- pressure
- water
- weight
- adhesive composition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Adhesive Tapes (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
Abstract
【解決手段】(メタ)アクリル酸アルキルエステルを主成分とするモノマー混合物をエマルション重合して得られるアクリルエマルション系重合体を主成分とし、カルボジイミド架橋剤を含む粘着剤組成物であって、上記モノマー混合物が、カルボキシル基含有モノマーを全モノマー100重量部に対して0.5〜10重量部含み、アクリルエマルション系重合体のガラス転移温度が−80〜−20℃である水分散型アクリル系粘着剤組成物。
【選択図】なし。
Description
実施例比較例で得た粘着シートについて、以下の試験を行った。結果を表3に示す。
(ガラス転移温度)
レオメトリック社製の動的粘弾性測定装置[商品名『ARES』]を用いて、サンプル厚さ約1.5mmで、φ7.9mmパラレルプレートの治具を用い、周波数1Hz、昇温速度5℃/分にて測定し、得られた損失弾性率のピーク点の温度をガラス転移温度とした。
断面積0.75mm、長さ30mmの円柱状の粘着剤を作成し、23℃×50%RH雰囲気下、引張試験機により、チャック間距離10mm、引張速度50mm/minにて引張試験を行う。初期弾性率は、伸び−応力曲線の初期接線を引き、その接線と試験片が100%すなわち20mmまで伸びた所の交点(伸び=20mmの直線との交点)の応力を求め、単位初期断面積当たりのその応力値として表される。最大強度は、単位初期断面積当たりの伸び−応力曲線における最大応力値を表す。破断伸びは、引張試験で、試験片が破断したときの伸びを表し、「破断伸び」%=(「破断時の試験片の長さ」−「初期長さ(10mm)」)÷「初期長さ(10mm)」×100で計算される。
粘着剤のゲル分率は、試料0.1gをサンプリングして精秤し、これを約50mlの酢酸エチル中に室温で一週間浸漬したのち、溶剤不溶分を取り出し、130℃で約1時間乾燥して、秤量することにより、「上記ゲル分率(重量%)」=[(浸漬・乾燥後の重量)÷試料の重量]×100として算出される。
(対ウエハ有機物汚染)
粘着シート片をアルミ蒸着ウエハ(12〜13atomic%)に、テープ貼り合わせ機[商品名「DR8500−II」(日東精機(株)製)]にて貼り付け(貼り付け圧力:0.25MPa、貼り付け速度2.4m/min)、40℃中に1日放置後、シート片をテープ剥離機[商品名「HR8500−II」(日東精機(株)製)]にて剥離し(剥離速度8m/min、剥離角度180度)、ウエハ上に転写した有機物をESCA[商品名「mode15400」(アルバックファイ社製)]を用いて測定した。全く粘着シートを貼り付けていないウエハも同様に分析し、検出された炭素原子のatomic%の増加量により有機物の転写量を評価した。対ウエハ有機物汚染増加量は10atomic%以下が望ましい。
PIウエハ上に、厚み20μm、幅2mmのテープを貼り付け、高さ20μmの段差を作る。段差と垂直方向に、幅20mmの粘着シート片を2kgの圧着荷重で貼り付ける。そのサンプルを60℃で1日保存後、23℃雰囲気下で2時間保存し冷却をする。その後粘着シート片を剥離角度180度、引張速度300mm/minにて剥離する。剥離後、PIウエハ表面の状態を、光学顕微鏡を用いて観察し、糊残りが見られたものを『×』、見られなかったものを『○』とし評価を行った。
クリーンルーム内でセパレーターを剥離してその粘着剤層を介して粘着シート片を4インチミラーウエハーに接着して23℃で1時間放置した後、粘着シート片を剥離速度12m/min、剥離角度180度で剥離し、ミラーウエハ面における0.28μm以上のパーティクル数をレーザー表面検査装置[商品名「LS−5000」(日立電子エンジニアリング(株)製)]にて評価した。パーティクル数は100個/4インチウエハ以下であることが望ましい。
高さ7μm、エッジリンス幅3.5mmにポリイミドでコーティングされた8インチウエハを、幅90μm、高さ7μmのストリートを10mm間隔でXY方向に作成し、碁盤目上にストリートラインがあるサンプルウエハを作製した。このウエハをJEOL社製:商品名「JEH−01TS」により下表1の条件にて酸素プラズマ処理を行い、エッジリンス上のPI残渣を除去した。このウエハに、テープ貼り合わせ機[商品名「DR8500−II」(日東精機(株)製)]にて粘着シート片を貼り付け(貼り付け圧力:0.25MPa、貼り付け速度2.4m/min)、23℃中に1時間放置後、ウエハ裏面研削機[商品名「8460」(DISCO社製)]にてウエハ裏面を表2記載の条件で、厚み730μmから250μmまで研削後、粘着シート片をテープ剥離機[商品名「HR8500−II」(日東精機(株)製)]にて剥離する(剥離速度8m/min、剥離角度180度)。ウエハストリートおよびその周辺に水浸入した跡を光学顕微鏡で観察し、水浸入した面積比率を出す。水浸入が見られたものを『×』、見られなかったものを『○』とし評価を行った。
冷却管、窒素導入管、温度計、撹拌装置を備えた反応容器に、水180重量部、アクリル酸2−エチルヘキシル56重量部、メタクリル酸n−ブチル40重量部、メタクリル酸2−ヒドロキシエチル2重量部、アクリル酸2重量部及びエーテルサルフェート型の反応性ノニオンアニオン系界面活性剤(旭電化工業(株)製:商品名「アデカソープSE−10N」)をアルコール沈殿ろ過により精製し、不純物SO4 2-イオン濃度を560μg/gから70μg/g以下とした乳化剤2重量部部を乳化機で乳化して得られたエマルジョン溶液を仕込み、撹拌下1時間窒素置換した。以後、重合中の内浴温度は25℃に制御した。ここに過酸化水素水(30重量%)0.1重量部を加えた後、アスコルビン酸0.05重量部及び水10重量部からなるアスコルビン酸水溶液1ml添加し重合を開始させた。重合開始から5時間後から残りのアスコルビン酸水溶液を2時間かけて滴下し、さらに2時間反応を熟成し完了した。その後、10重量%のアンモニア水で中和してアクリルエマルション系重合体Aを作製した。
アクリルエマルション系重合体A100重量部にカルボジイミド架橋剤として日清紡(株)製:商品名「カルボジライトV−04」を粘着剤組成物の全固形分100重量部に対して1.5重量部添加してアクリル系粘着剤組成物とした。この粘着剤組成物を厚さ60μmのポリオレフィンフィルムの片面に塗工し、100℃で3分間乾燥して、厚さ15μmの粘着剤層を形成し、該粘着剤層の粘着面にコロナ放電式で表面酸化処理をしたエチレン−酢酸ビニル共重合体フィルム(厚さ135μm)を貼り合わせ、粘着剤層を転写し粘着シートを得た。
粘着剤層のガラス転移温度は−40℃、初期弾性率は0.35MPa、最大強度は1.2MPa、破断伸びは285%、ゲル分率は97%であった。
モノマーをアクリル酸n−ブチル78重量部、メタクリル酸n−ブチル18重量部、メタクリル酸2−ヒドロキシエチル2重量部、アクリル酸2重量部とした以外は、実施例1と同様の操作を行いアクリルエマルション系重合体Bを作製した。
続いて、アクリルエマルション系重合体Aのかわりにアクリルエマルション系重合体Bを使用した以外は実施例1と同様の操作により粘着シートを作製した。
粘着剤層のガラス転移温度は−42℃、初期弾性率は0.40MPa、最大強度は1.5MPa、破断伸びは250%、ゲル分率は98%であった。
カルボジイミド架橋剤(日清紡(株)製:商品名「カルボジライトV−04」)を使用しなかった以外は、実施例1と同様の操作を行い粘着シートを作製した。
粘着剤層のガラス転移温度は−40℃、初期弾性率は0.18MPa、最大強度は1.1MPa、破断伸びは570%、ゲル分率は92%であった。
モノマーとしてアクリル酸n−ブチル38重量部、メタクリル酸n−ブチル58重量部、メタクリル酸2−ヒドロキシエチル2重量部、アクリル酸2重量部を使用した以外は実施例1と同様の操作を行いアクリルエマルション系重合体Cを作製した。
アクリルエマルション系重合体Aのかわりにアクリルエマルション系重合体Cを使用した以外は実施例1と同様の操作をおこない粘着シートを作製した。
粘着剤層のガラス転移温度は−15℃、初期弾性率は2.01MPa、最大強度は6.6MPa、破断伸びは190%、ゲル分率は99%であった。
カルボジイミド架橋剤(日清紡(株)製:商品名「カルボジライトV−04」)のかわりに1,3−ビス(N,N−グリシジルアミノメチル)シクロヘキサン(三菱瓦斯化学(株)製:商品名「テトラッドC」)を2重量部、(株)日本触媒製:商品名「エポクロスWS−500」を0.5重量部使用した以外は実施例1と同様の操作を行い粘着テープを作製した。
粘着剤層のガラス転移温度は−40℃、初期弾性率は1.53MPa、最大強度は2.0MPa、破断伸びは150%、ゲル分率は98%であった。
カルボジイミド架橋剤(日清紡(株)製:商品名「カルボジライトV−04」)のかわりに1,3−ビス(N,N−グリシジルアミノメチル)シクロヘキサン(三菱瓦斯化学(株)製:商品名「テトラッドC」)0.5重量部を使用した以外は実施例1と同様の操作を行い粘着テープを作製した。
粘着剤層のガラス転移温度は−40℃、初期弾性率は0.50MPa、最大強度は2.2MPa、破断伸びは280%、ゲル分率は98%であった。
Claims (6)
- (メタ)アクリル酸アルキルエステルを主成分とするモノマー混合物をエマルション重合して得られるアクリルエマルション系重合体を主成分とし、カルボジイミド架橋剤を含む粘着剤組成物であって、上記モノマー混合物が、カルボキシル基含有モノマーを全モノマー100重量部に対して0.5〜10重量部含み、アクリルエマルション系重合体のガラス転移温度が−80〜−20℃である水分散型アクリル系粘着剤組成物。
- モノマー混合物が、水酸基含有モノマーを全モノマー100重量部に対して1〜15重量部含む請求項1記載の水分散型アクリル系粘着剤組成物。
- 請求項1又は2記載の水分散型アクリル系粘着剤組成物であって、該組成物を層状に成形して粘着剤層を作製した際の該粘着剤層の引張試験における初期弾性率が0.20〜1.50MPa、最大強度が1.0〜8.0MPa、破断伸びが180〜900%、ゲル分率が90%以上である水分散型アクリル系粘着剤組成物。
- アクリルエマルション系重合体が、レドックス系重合開始剤によるエマルション重合により得られる請求項1〜3何れかの項に記載の水分散型アクリル系粘着剤組成物。
- 請求項1〜4何れかの項に記載の水分散型アクリル系粘着剤組成物よりなる粘着剤層を支持体上に設けてなり、被着体に貼付後再剥離可能な水分散型アクリル系粘着シート。
- 請求項5記載の粘着シートであって、半導体ウエハ加工用途に使用する半導体ウエハ加工用水分散型アクリル系粘着シート。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005374553A JP5235273B2 (ja) | 2005-12-27 | 2005-12-27 | 再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物及び粘着シート |
KR1020060131785A KR20070066929A (ko) | 2005-12-22 | 2006-12-21 | 제거가능한 수분산성 아크릴 접착제 조성물 및 접착 시트 |
TW095148629A TW200732445A (en) | 2005-12-22 | 2006-12-22 | Removable water-dispersible acrylic adhesive composition and adhesive sheet |
US11/643,764 US7491772B2 (en) | 2005-12-22 | 2006-12-22 | Removable water-dispersible acrylic adhesive composition and adhesive sheet |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005374553A JP5235273B2 (ja) | 2005-12-27 | 2005-12-27 | 再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物及び粘着シート |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007177003A true JP2007177003A (ja) | 2007-07-12 |
JP5235273B2 JP5235273B2 (ja) | 2013-07-10 |
Family
ID=38302503
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005374553A Active JP5235273B2 (ja) | 2005-12-22 | 2005-12-27 | 再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物及び粘着シート |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5235273B2 (ja) |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010150515A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-07-08 | Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The | 剥離型水性粘着剤組成物、剥離型水性粘着剤およびそれを用いた剥離型水性粘着部材 |
JP2010229399A (ja) * | 2009-03-04 | 2010-10-14 | Nitto Denko Corp | 積層セラミックシート切断用熱剥離型粘着シート及び積層セラミックシートの切断加工方法 |
JP2010254961A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-11-11 | Lintec Corp | アクリル系エマルション型粘着剤組成物、その製造方法および粘着シート |
JP2011122054A (ja) * | 2009-12-10 | 2011-06-23 | Cheil Industries Inc | 粘着剤組成物およびこれを用いた表面保護フィルム |
KR101162492B1 (ko) | 2010-12-02 | 2012-07-05 | 한국화학연구원 | 부가 반응형 점착제 조성물의 제조방법 |
JP2013100482A (ja) * | 2011-10-19 | 2013-05-23 | Nitto Denko Corp | 再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物、及び粘着シート |
WO2013121846A1 (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-22 | 日東電工株式会社 | 表面保護シート |
KR101411010B1 (ko) * | 2011-06-03 | 2014-06-23 | 제일모직주식회사 | 점착제 조성물 및 이를 이용한 표면 보호 필름 |
JP2015212394A (ja) * | 2015-06-24 | 2015-11-26 | 藤森工業株式会社 | 粘着剤組成物及び表面保護フィルム |
JP2016216645A (ja) * | 2015-05-22 | 2016-12-22 | Dic株式会社 | 粘着フィルム |
JP2016225389A (ja) * | 2015-05-28 | 2016-12-28 | 日東電工株式会社 | バックグラインドテープ |
JP2017057402A (ja) * | 2016-10-26 | 2017-03-23 | 藤森工業株式会社 | 粘着フィルム及び表面保護フィルム |
JP2018115347A (ja) * | 2018-05-07 | 2018-07-26 | 藤森工業株式会社 | 粘着剤組成物、粘着フィルム及び表面保護フィルム |
WO2020095870A1 (ja) * | 2018-11-06 | 2020-05-14 | 三菱ケミカル株式会社 | 粘着剤層、粘着剤組成物、無溶剤型粘着剤組成物、粘着剤および粘着シート |
JP2020076096A (ja) * | 2018-11-06 | 2020-05-21 | 三菱ケミカル株式会社 | 粘着剤層、粘着剤組成物、粘着剤および粘着シート |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08104856A (ja) * | 1994-10-05 | 1996-04-23 | Sekisui Chem Co Ltd | アクリル系エマルジョン型粘着剤組成物 |
JPH08134423A (ja) * | 1994-11-09 | 1996-05-28 | Sekisui Chem Co Ltd | アクリル系エマルジョン型粘着剤組成物 |
JP2001131512A (ja) * | 1999-11-02 | 2001-05-15 | Nitto Denko Corp | 水分散型再剥離用感圧接着剤とその接着シ―ト類 |
JP2002105420A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-10 | Saiden Chemical Industry Co Ltd | 再剥離型水分散感圧接着剤 |
JP2003082307A (ja) * | 2001-06-25 | 2003-03-19 | Nitto Denko Corp | 再剥離用水分散型アクリル系粘着シート及びそれに用いる粘着剤組成物 |
JP2004006746A (ja) * | 2002-03-27 | 2004-01-08 | Mitsui Chemicals Inc | 半導体ウェハ表面保護用粘着フィルム及び該粘着フィルムを用いる半導体ウェハの保護方法 |
JP2004091563A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Nitto Denko Corp | 再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物及び粘着シート |
JP2004217838A (ja) * | 2003-01-17 | 2004-08-05 | Saiden Chemical Industry Co Ltd | 再剥離型粘着剤組成物 |
JP2004256789A (ja) * | 2003-02-07 | 2004-09-16 | Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The | 再剥離型水性粘着剤組成物 |
JP2005126479A (ja) * | 2003-10-21 | 2005-05-19 | Oji Tac Hanbai Kk | 再剥離性粘着シートおよびその製造方法 |
JP2005231100A (ja) * | 2004-02-18 | 2005-09-02 | Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The | コンクリート硬化遅延用粘着テープ又はシート |
-
2005
- 2005-12-27 JP JP2005374553A patent/JP5235273B2/ja active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08104856A (ja) * | 1994-10-05 | 1996-04-23 | Sekisui Chem Co Ltd | アクリル系エマルジョン型粘着剤組成物 |
JPH08134423A (ja) * | 1994-11-09 | 1996-05-28 | Sekisui Chem Co Ltd | アクリル系エマルジョン型粘着剤組成物 |
JP2001131512A (ja) * | 1999-11-02 | 2001-05-15 | Nitto Denko Corp | 水分散型再剥離用感圧接着剤とその接着シ―ト類 |
JP2002105420A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-10 | Saiden Chemical Industry Co Ltd | 再剥離型水分散感圧接着剤 |
JP2003082307A (ja) * | 2001-06-25 | 2003-03-19 | Nitto Denko Corp | 再剥離用水分散型アクリル系粘着シート及びそれに用いる粘着剤組成物 |
JP2004006746A (ja) * | 2002-03-27 | 2004-01-08 | Mitsui Chemicals Inc | 半導体ウェハ表面保護用粘着フィルム及び該粘着フィルムを用いる半導体ウェハの保護方法 |
JP2004091563A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Nitto Denko Corp | 再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物及び粘着シート |
JP2004217838A (ja) * | 2003-01-17 | 2004-08-05 | Saiden Chemical Industry Co Ltd | 再剥離型粘着剤組成物 |
JP2004256789A (ja) * | 2003-02-07 | 2004-09-16 | Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The | 再剥離型水性粘着剤組成物 |
JP2005126479A (ja) * | 2003-10-21 | 2005-05-19 | Oji Tac Hanbai Kk | 再剥離性粘着シートおよびその製造方法 |
JP2005231100A (ja) * | 2004-02-18 | 2005-09-02 | Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The | コンクリート硬化遅延用粘着テープ又はシート |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010150515A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-07-08 | Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The | 剥離型水性粘着剤組成物、剥離型水性粘着剤およびそれを用いた剥離型水性粘着部材 |
JP2010229399A (ja) * | 2009-03-04 | 2010-10-14 | Nitto Denko Corp | 積層セラミックシート切断用熱剥離型粘着シート及び積層セラミックシートの切断加工方法 |
JP2010254961A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-11-11 | Lintec Corp | アクリル系エマルション型粘着剤組成物、その製造方法および粘着シート |
JP2011122054A (ja) * | 2009-12-10 | 2011-06-23 | Cheil Industries Inc | 粘着剤組成物およびこれを用いた表面保護フィルム |
KR101162492B1 (ko) | 2010-12-02 | 2012-07-05 | 한국화학연구원 | 부가 반응형 점착제 조성물의 제조방법 |
KR101411010B1 (ko) * | 2011-06-03 | 2014-06-23 | 제일모직주식회사 | 점착제 조성물 및 이를 이용한 표면 보호 필름 |
JP2013100482A (ja) * | 2011-10-19 | 2013-05-23 | Nitto Denko Corp | 再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物、及び粘着シート |
WO2013121846A1 (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-22 | 日東電工株式会社 | 表面保護シート |
JP2016216645A (ja) * | 2015-05-22 | 2016-12-22 | Dic株式会社 | 粘着フィルム |
JP2016225389A (ja) * | 2015-05-28 | 2016-12-28 | 日東電工株式会社 | バックグラインドテープ |
JP2015212394A (ja) * | 2015-06-24 | 2015-11-26 | 藤森工業株式会社 | 粘着剤組成物及び表面保護フィルム |
JP2017057402A (ja) * | 2016-10-26 | 2017-03-23 | 藤森工業株式会社 | 粘着フィルム及び表面保護フィルム |
JP2018115347A (ja) * | 2018-05-07 | 2018-07-26 | 藤森工業株式会社 | 粘着剤組成物、粘着フィルム及び表面保護フィルム |
WO2020095870A1 (ja) * | 2018-11-06 | 2020-05-14 | 三菱ケミカル株式会社 | 粘着剤層、粘着剤組成物、無溶剤型粘着剤組成物、粘着剤および粘着シート |
JP2020076096A (ja) * | 2018-11-06 | 2020-05-21 | 三菱ケミカル株式会社 | 粘着剤層、粘着剤組成物、粘着剤および粘着シート |
JP7392398B2 (ja) | 2018-11-06 | 2023-12-06 | 三菱ケミカル株式会社 | 粘着剤層、粘着剤組成物、粘着剤および粘着シート |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5235273B2 (ja) | 2013-07-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5235273B2 (ja) | 再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物及び粘着シート | |
JP5235271B2 (ja) | 再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物及び粘着シート | |
JP4807965B2 (ja) | 再剥離用水分散型アクリル系粘着シートおよびそれに用いる粘着剤組成物 | |
US7491772B2 (en) | Removable water-dispersible acrylic adhesive composition and adhesive sheet | |
JP4063614B2 (ja) | 再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物及び粘着シート | |
JP5955579B2 (ja) | ガラスエッチング用保護シート | |
JP5483889B2 (ja) | 再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物及び粘着シート | |
WO2008032367A1 (fr) | Feuille de decoupage en puces/fixation de puces | |
JP3908929B2 (ja) | 半導体ウエハ加工用粘着シート及びそれに用いる粘着剤組成物 | |
JP2010053192A (ja) | 粘着テープ又はシート | |
JP5235272B2 (ja) | 再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物及び粘着シート | |
JP2011202151A (ja) | 保護シートおよびその利用 | |
JP5631082B2 (ja) | 活性エネルギー線硬化型再剥離用粘着剤 | |
KR101191115B1 (ko) | 수성 점착제 조성물, 그의 제조 방법, 점착 시트 및 이를사용한 백그라인딩 방법 | |
JP4606010B2 (ja) | 放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物および放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シート | |
WO2003083002A1 (fr) | Film adhesive sensible a la pression pour la protection de la surface d'une plaquette a semi-conducteur et procede visant a proteger cette plaquette avec le film adhesif | |
JP2017179605A (ja) | Taikoウエハ保護用テープ及びtaikoウエハの処理方法 | |
JP6654825B2 (ja) | 半導体加工用両面粘着テープ | |
JP2015183169A (ja) | 粘着シート | |
JP2012015342A (ja) | セパレータレス型ダイシングテープ | |
JP2008202001A (ja) | 粘着テープ | |
JP2008056744A (ja) | 再剥離用水分散型アクリル系粘着シート | |
JP5495987B2 (ja) | 活性エネルギー線硬化型再剥離用粘着剤 | |
JP6853393B2 (ja) | 半導体加工用両面粘着テープ | |
JP4744568B2 (ja) | 水分散型粘着シート |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20070704 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071113 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101130 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110126 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110607 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110906 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20111024 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20120106 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130225 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130326 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5235273 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160405 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |