JP2016225389A - バックグラインドテープ - Google Patents
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Abstract
Description
1つの実施形態においては、上記粘着剤層の23℃における貯蔵弾性率が、0.1MPa以下である。
1つの実施形態においては、上記粘着剤層の23℃における損失正接(tanδ)が、0.15以上である。
1つの実施形態においては、上記粘着剤層のゲル分率が、50%〜95%である。
図1は、本発明の1つの実施形態によるバックグラインドテープの概略断面図である。バックグラインドテープ100は、基材10と、基材10の片側に配置された粘着剤層20を備える。図示していないが、本発明のバックグラインドテープは、使用に供するまでの間、粘着面を保護する目的で、粘着剤層の外側に剥離ライナーが設けられていてもよい。
上記粘着剤層の応力緩和量は、12kPa以下であり、好ましくは8kPaであり、より好ましくは2kPa〜8kPaであり、さらに好ましくは3kPa〜6kPaである。なお、「応力緩和量」とは、粘着剤層単体を短冊状のサンプルとし、23℃/50%RHの環境下で、該サンプルを測定部分の長さが(初期長さ+15mm)となるまで長さ方向に引き延ばし、引き延ばし直後の応力(S1)と、引き延ばし後(初期長さ+15mm)の状態を1分間維持した後の応力(S2)と、サンプルの断面積(d)とから、|S1−S2|/dの式により求められる。応力の測定は、引っ張り試験機を用い、チャック間距離30mm、引っ張り速度200mm/minの条件で行われる。上記サンプルとしては、幅10mm×長さ50mm(測定部分の長さ(初期長さ)30mm)のサンプルが用いられ得る。上記サンプルの厚みは、例えば、2mmに設定される。
ゲル分率(重量%)=(A−B)/(C−B)×100
上記基材を構成する材料としては、任意の適切な材料が選択され得る。基材を構成する材料としては、例えば、樹脂系材料(例えば、シート状、ネット状、織布、不織布、発泡シート)、紙、金属等が挙げられる。基材は、単層であってもよく、同一材料または異なる材料から構成される複層であってもよい。基材層を構成する樹脂の具体例としては、例えば、ポリエステル、ポリオレフィン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−(メタ)アクリル酸共重合体、エチレン−(メタ)アクリル酸エステル共重合体、エチレン−ブテン共重合体、エチレン−ヘキセン共重合体、ポリウレタン、ポリエーテルケトン、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリアミド、ポリイミド、セルロース系樹脂、フッ素系樹脂、シリコーン樹脂、ポリエーテル、ポリスチレン系樹脂(ポリスチレンなど)、ポリカーボネート、ポリエーテルスルホンおよびこれらの架橋体等が挙げられる。
アクリル酸ブチル100重量部と、アクリル酸3重量部とを重合し、重量平均分子量100万のアクリル系樹脂を含む樹脂液を得た。得られた樹脂液に、エポキシ系架橋剤(三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドC」)0.03重量部と、イソシアネート系架橋剤(東ソー社製、商品名「コロネートL」)2重量部と、可塑剤(DIC社製、商品名「W−230−H」)15重量部とを添加して、粘着剤を得た。
得られた粘着剤をセパレーター(三菱化学社製、商品名「MRF36」)に塗布し、120℃で2分間加熱して、粘着剤層(厚み:55μm)を形成し、該粘着剤層を基材(厚み85μmのエチレン酢酸ビニル共重合体フィルムと厚み30μmのランダムポリプロピレンフィルムを積層してなる基材)のエチレン酢酸ビニル共重合体フィルム側に転写して、基材と粘着剤層とからなるバックグラインドテープを得た。
エポキシ系架橋剤(三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドC」)の配合量を0.05重量部としたこと以外は、実施例1と同様にしてバックグラインドテープを得た。
エポキシ系架橋剤(三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドC」)の配合量を0.09重量部としたこと以外は、実施例1と同様にしてバックグラインドテープを得た。
エポキシ系架橋剤(三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドC」)の配合量を0.13重量部としたこと以外は、実施例1と同様にしてバックグラインドテープを得た。
エポキシ系架橋剤(三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドC」)の配合量を0.15重量部としたこと以外は、実施例1と同様にしてバックグラインドテープを得た。
エポキシ系架橋剤(三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドC」)の配合量を0.09重量部とし、粘着剤層の厚みを90μmとしたこと以外は、実施例1と同様にしてバックグラインドテープを得た。
アクリル酸ブチル87重量部と、アクリロニトリル13重量部と、アクリル酸2重量部とを重合し、重量平均分子量100万のアクリル系樹脂を含む樹脂液を得た。得られた樹脂液に、メラミン系架橋剤(DIC社製、商品名「スーパーベッカミンJ−820−60N」)4重量部と、イソシアネート系架橋剤(東ソー社製、商品名「コロネートL」)3重量部と、可塑剤としてのジオクチルフタレート30重量部とを添加して、粘着剤を得た。
得られた粘着剤をセパレーター(三菱化学社製、商品名「MRF36」)に塗布し、120℃で2分間加熱して粘着剤層(厚み:45μm)を形成し、該粘着剤層をエチレン酢酸ビニル共重合体から構成される基材(厚み:115μm)に転写して、基材と粘着剤層とからなるバックグラインドテープを得た。
粘着剤層の厚みを65μmとしたこと以外は、比較例1と同様にしてバックグラインドテープを得た。
アクリル酸ブチル100重量部と、アクリル酸エチル78重量部と、アクリル酸ヒドロキシルエチル40重量部と、2−イソシアナトエチルメタクリレート(昭和電工社製、商品名「カレンズMOI」)42.6重量部とを重合し、重量平均分子量50万のアクリル系樹脂を含む樹脂液を得た。得られた樹脂液に、イソシアネート系架橋剤(東ソー社製、商品名「コロネートL」)0.2重量部と、光重合開始剤(BASF社製、イルガキュア651)3重量部とを添加して、粘着剤を得た。
得られた粘着剤をセパレーター(三菱化学社製、商品名「MRF36」)に塗布し、120℃で2分間加熱して粘着剤層の前駆層を形成し、該前駆層をPET基材(東レ社製、商品名「ルミラーS105」)に転写した。その後、該前駆層に、UVを照射して(照射量:300mJ/cm2)粘着剤層を形成し、バックグラインドテープを得た。なお、下記評価(4)および(5)の際には、ウエハに貼着した後、粘着剤層に上記UV照射を行った。
実施例および比較例で得られたバックグラインドテープを以下の評価に供した。結果を表1に示す。
(1)応力緩和量
各実施例および比較例と同様の組成の粘着剤層(幅10mm×長さ50mm×厚み2mm)を形成し、これをサンプルとした。
エーアンド・デイ社製のテンシロン万能材料試験機を用い、以下の条件で引っ張り試験を行った。
・温度:23℃
・湿度:50%
・チャック間距離:30mm
・引っ張り速度:200mm/min
上記条件で引っ張り試験を開始し、チャック間距離が45mm(すなわち、初期長さ+15mm)となるまで、サンプルを引き延ばした。引き延ばし直後の応力(S1)と、引き延ばし後(初期長さ+15mm)の状態を1分間維持した後の応力(S2)と、サンプルの断面積(d)とから、|S1−S2|/dの式により、応力緩和量を求めた。
(2)貯蔵弾性率G’、tanδ
各実施例および比較例と同様の組成の粘着剤層(幅10mm×長さ50mm×厚み2mm)を形成し、粘弾性測定装置(TA Instruments社製、商品名「ARES−G2」)を用いて、23℃での貯蔵弾性率G’およびtanδを測定した。測定条件は以下のとおりである。
・モード:ねじりモード
・プレート径:7.9mmφ
・歪み:1%(25℃)
・周波数:1Hz
・測定範囲:−20℃〜100℃
(3)粘着剤層のゲル分率
粘着剤層の約0.1gを、0.2μm径の孔を有するテフロン(登録商標)シート(商品名「NTF1122」、日東電工株式会社製)に包んだ後、凧糸で縛り、その際の重量を測定し、該重量を浸漬前重量とした。なお、浸漬前重量は、粘着剤層と、テフロンシートと、凧糸との総重量である。また、使用するテフロンシートと凧糸との重量も測定しておき、前記重量を包袋重量とした。次に、前記粘着剤層をテフロンシートで包み、凧糸で縛ったものを、酢酸エチルで満たした50ml容器に入れ、室温にて1週間静置した。その後、容器からテフロンシートを取り出し、130℃で2時間、乾燥機中で乾燥して酢酸エチルを除去した後、サンプル重量を測定し、該重量を浸漬後重量とした。下記式からゲル分率を算出した。なお、下記式中のAは浸漬後重量であり、Bは包袋重量であり、Cは浸漬前重量である。
ゲル分率(重量%)=(A−B)/(C−B)×100
(4)埋まり性
高さ12μm×幅20μm×長さ125μmの凸部が、18μm間隔で幅方向に並んで形成されているウエハを準備した。
室温下で、このウエハの凸部形成面に、実施例および比較例で得られたバックグラインドテープ(幅:20mm)を、5kgローラーを用いて貼着した。貼着して30分後にバックグラインドテープの貼着状態を確認した。ウエハとバックグラインドテープとの間に気泡が生じず埋まり性に優れるバックグラインドテープを合格(表中、○)、凸部とバックグラインドテープとの間に気泡が生じ、バックグラインドテープがウエハを十分に埋めていない場合を不合格(表中、×)とした。
(5)レプリカ消失までの時間
上記評価(4)と同様にして、バックグラインドテープをウエハに貼着した。
その後、ウエハからバックグラインドテープを剥離し、バックグラインドテープを23℃、50%RHの環境下に置いた。KEYENCE社製のレーザー顕微鏡VK−8500を用いて、1時間ごとに、上記バックグラインドテープの粘着剤層表面を観察し、粘着剤層に形成されたウエハのレプリカ形状が消失するまでの時間を測定した。
20 粘着剤層
100 バックグラインドテープ
Claims (4)
- 基材と、該基材の片側に配置された粘着剤層とを備え、
該粘着剤層の応力緩和量が、12kPa以下である、
バックグラインドテープ。 - 前記粘着剤層の23℃における貯蔵弾性率が、0.1MPa以下である、請求項1に記載のバックグラインドテープ。
- 前記粘着剤層の23℃における損失正接(tanδ)が、0.15以上である、請求項1または2に記載のバックグラインドテープ。
- 前記粘着剤層のゲル分率が、50%〜95%である、請求項1から3のいずれかに記載のバックグラインドテープ。
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