JP2007172704A - 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板1上に形成された軟磁性層2と、面配向したCuからなる結晶粒子を含有する第1の下地層3と、Cu下地層3上にCuと窒素を主成分とする第2の下地層4とを含む多層下地層を設ける。該多層下地層上に形成され、コバルトを主成分とし、実質的に面配向下六方細密構造を持つ結晶粒子を含む垂直磁気記録層5を具備することを特徴とする磁気記録媒体。
【選択図】図1
Description
該基板上に形成された軟磁性層と、
該軟磁性層上に形成され、銅を主成分とし、実質的に(111)面配向した面心立方格子構造をもつ結晶粒子を含有する第1の下地層、及び該第1の下地層上に形成された銅及び窒素を主成分とする第2の下地層を含む多層下地層と、
該多層下地層上に形成され、コバルトを主成分とし、実質的に(0001)面配向した六方最密構造をもつ結晶粒子を含む垂直磁気記録層とを具備することを特徴とする磁気記録媒体を提供する。
該基板上に形成された軟磁性層、
該軟磁性層上に形成され、銅を主成分とし、実質的に(111)面配向した面心立方格子構造をもつ結晶粒子を含有する第1の下地層、及び該第1の下地層上に形成された銅及び窒素を主成分とする第2の下地層を含む多層下地層、及び
該多層下地層上に形成され、コバルトを主成分とし、実質的に(0001)面配向した六方最密構造をもつ結晶粒子を含む垂直磁気記録層を具備する磁気記録媒体と、
記録再生ヘッドとを具備することを特徴とする磁気記録再生装置を提供する。
垂直磁気記録層は、Coを主成分とし、実質的に(0001)面配向した六方最密構造をもつ結晶粒子を含み、
多層下地層は、Cuを主成分とし、実質的に(111)面配向した面心立方格子構造をもつ結晶粒子を含有する第1の下地層、及び第1の下地層上に形成されたCu及び窒素を主成分とする第2の下地層を含む。
垂直磁気記録層の磁性結晶粒子材料としては、実質的に(0001)面配向した、Coを主成分とするhcp構造の合金材料が使用される。hcp構造のCo合金結晶粒子が(0001)面配向していると、磁化容易軸が基板面に対して垂直方向に配向する。好ましくは、例えばCo−CrやCo−Pt系の合金材料を使用し得る。これらの合金は、高い結晶磁気異方性エネルギーを有しているため熱揺らぎ耐性が高くなる傾向がある。これらの合金材料に、磁気特性を改善する目的で、必要に応じて、Ta、Cu,B,Cr,及びNdといった添加元素を加えることができる。
より好ましくは、垂直磁気記録層の磁性結晶粒子材料として、CoCrPt,CoCrPtB,CoCrPtTa,CoCrPtNd,CoCrPtCu等を使用することができる。
粒界領域を構成する材料は、結晶質であっても、非晶質であっても構わない。
本発明の手法は、第1の下地層のCu結晶粒子そのものを微細化する手法ではないため、Cu下地層の結晶性を劣化させることなく、その結果垂直磁気記録層の磁性結晶粒子の(0001)面配向性を向上させることができる。このため、記録・再生特性を十分に向上させることが出来る。
各層の結晶粒子の配向面は、例えば一般的なX線回折装置(XRD)を用いて、いわゆるθ―2θ法によって評価することが出来る。また、その配向分散はロッキングカーブの半値幅△θ50によって評価することが出来る。
Cu下地層の表面領域に、Cuと窒素を主成分とする第2の下地層が存在しているかどうかは、例えばTEMを用いた媒体断面観察とEDXを併用することによって確認できる。このほか、二次イオン質量分析(SIMS)、ラザフォード後方散乱(RBS)、X線光電子分光(XPS)、及びオージェ電子分光(AES)や3次元アトムプローブ法などの分析手段でも確認することが出来る。
図5に、本発明に係る磁気記録媒体の第5の例を表す断面図を示す。
Cu下地層結晶粒子の(111)面配向性を向上させる目的で、軟磁性層とCu下地層との間に、シード層を設けると、より好ましい。シード層に使用される材料として、例えばPt,Pd,Ni,NiFe,Co,Ti,及びTiN等が挙げられる。これらの配向制御用下地層は、Cu下地層と直接接する層でなくても構わない。
図6に、本発明の磁気記録再生装置の一例を一部分解した斜視図を示す。
2.5インチハードディスク形状の非磁性ガラス基板(オハラ社製TS-10SX)を用意した。
成膜後、保護層表面にディップ法によりパーフルオロポリエーテル(PFPE)潤滑剤を13Åの厚さに塗布して潤滑層を形成し、磁気記録媒体を得た。
なお、Co90Zr5Nb5,Cu,(Co78−Cr10−Pt12)−10モル%SiO2,Cの成膜時のAr圧力は、それぞれ0.7Pa,0,7Pa,5Pa,0.7Paで、ターゲットとしてそれぞれCo90Zr5Nb5,Cu,(Co78−Cr10−Pt12)−10モル%SiO2,Cターゲットを用い、DCスパッタリング法で成膜した。各ターゲットへの投入電力は全て1000Wで行った。
各磁気記録媒体のCu及び窒素原子の深さ方向の分布は、Cs+イオンを用いた二次イオン質量分析計(SIMS)にて測定した。
各層の結晶配向面の同定、及び垂直磁気記録層の結晶粒子の(0001)面の配向分散△θ50は、オランダPhilips社製 X線回折装置 X‘pert−MRDを用い、それぞれθ―2θ法及びロッキングカーブ測定にて測定した。
測定条件は、半径位置20mmと一定の位置で、ディスクを4200rpmで回転させて行った。
媒体SNRとして、微分回路を通した後の微分波形の信号対ノイズ比(SNRm)(但し、Sは線記録密度119kfciの出力、Nmは716kfciでのrms(root mean square)値)の値を測定した。
垂直磁気記録層の平均結晶粒子径dMag、垂直磁気記録層の(0001)面の配向分散△θ50、及び垂直磁気記録媒体のR/W特性の結果を下記表1に示す。
実施例1と同様にして、2.5インチハードディスク形状の非磁性ガラス基板上に、軟磁性層を形成した。
なお、Co90Zr5Nb5,Ta,Pt, Ru,Co78−Cr10−Pt12)−10モル%SiO2、Cの成膜時のAr圧力は、それぞれ0.7Pa,0.7Pa,0.7Pa,5Pa,5Pa、0.7Paで、ターゲットとして、それぞれCo90Zr5Nb5,Ta,Pt, Ru,Co78−Cr10−Pt12)−10モル%SiO2,Cターゲットを用いたDCスパッタリング法で成膜を行った。各ターゲットへの投入電力はすべて1000Wとした。
RuをRu−10モル%SiO2に変更した以外は、比較例1と同様にして垂直磁気記録媒体を得た。
第1の下地層としてのCu下地層を、Ru下地層15nmに変更した以外は、実施例1と同様にして垂直磁気記録媒体を作製した。
第1の下地層のCu表面への逆スパッタを行わないこと以外は実施例1と同様にして磁気記録媒体を作製した。
実施例1、比較例1ないし4のいずれの磁気記録層の磁性結晶粒子もhcp構造を有し、(0001)面配向すなわち垂直配向していることが分かった。
実施例1、比較例1ないし4のいずれの垂直磁気記録媒体の垂直磁気記録層も、グラニュラ構造を取っていることが分かった。
実施例1の垂直磁気記録層とCu下地層の間に、CuとNを主成分とする層が存在することが分かった。これに対し、比較例1ないし4では、他の媒体では確認できなかった。
逆スパッタ時間を1秒から120秒の範囲で変化させた以外は、実施例1と同様の方法で媒体を作製し、同様にして、TEM、SIMS、及びX線回折装置による測定、R/W特性試験を行い、さらにdMag、△θ50、及び媒体SNRを求めた。
いずれの垂直磁気記録媒体の垂直磁気記録層の磁性結晶粒子もhcp構造を有し、(0001)面配向していることが分かった。
いずれの垂直磁気記録媒体の垂直磁気記録層も、グラニュラ構造を取っていることが分かった。
逆スパッタ時間によってCu下地層上の第2の下地層の厚さが0から14nmの範囲で変化することがわかった。
垂直磁気記録層とCu下地層の間に、CuとNを主成分とする層が存在することが分かった。
第2の下地層上に、第3の下地層としてAgを成膜し、その後、実施例1と同様に垂直磁気記録層を形成すること以外は、実施例1と同様にして、垂直磁気記録媒体を得た。
Ru層上に、実施例3と同様にして第3の下地層としてAgを成膜し、その後、磁気記録層を形成すること以外は比較例1と同様にして、垂直磁気記録媒体を得た。
Ru―10モル%SiO2層上に、実施例3と同様にして第3の下地層としてAgを成膜し、その後、磁気記録層を形成すること以外は比較例2と同様にして、垂直磁気記録媒体を得た。
Ru層上に、実施例3と同様にして第3の下地層としてAgを成膜し、その後、磁気記録層を形成すること以外は比較例3と同様にして、垂直磁気記録媒体を得た。
Cu層上に、実施例3と同様にして第3の下地層としてAgを成膜し、その後、磁気記録層を形成すること以外は比較例4と同様にして、垂直磁気記録媒体を得た。
いずれの垂直磁気記録媒体の垂直磁気記録層の磁性結晶粒子もhcp構造を有し、(0001)面配向していることが分かった。
いずれの垂直磁気記録媒体の垂直磁気記録層も、グラニュラ構造を取っていることが分かった。
実施例3の媒体の記録層とCu下地層の間に、CuとNを主成分とする層が存在することが分かった。他の媒体では確認できなかった。
実施例3の媒体のCuとNを主成分とする第2の下地層と垂直磁気記録層の間に、厚さ0.3nmの島状に孤立したAg粒子からなる層が形成されていることが確認された。平面TEM観察の結果、Cu下地層の平均結晶粒径は、約12nmであることがわかった。このAg粒子の平均粒径が、Cu下地層の平均粒径よりも小さいことから、この層が金属粒子が島状に孤立した構造を持つ第3の下地層であると認められた。金属粒子がAu,Pt,Pd,Ir,Co,Feの媒体でも同様の構造が確認された。一方、比較例5、6、7、8の媒体では第3の下地層は島状に孤立した構造を取らず、連続膜的な構造をしていることが分かった。
第3の下地層堆積量を、連続膜に換算して0.05nm/sの成膜速度で、成膜時間を0.5から25秒間の範囲で変化させた以外は、実施例3と同様の方法で種々の垂直磁気記録媒体を得た。
いずれの垂直磁気記録媒体の垂直磁気記録層の磁性結晶粒子もhcp構造を有し、(0001)面配向していることが分かった。
いずれの垂直磁気記録媒体の垂直磁気記録層も、グラニュラ構造を取っていることが分かった。
いずれの媒体のCu下地層上に厚さ1nmのコントラストの異なる、第2の下地層が形成されていることが分かった。
いずれの媒体もCu下地層上に、CuとNを主成分とする層が存在することが分かった。
第3の下地層材料がAgである媒体において、CuとNを主成分とする第2の下地層上に、島状に孤立したAg第3の下地層が形成されていることが確認された。
第2の下地層上に、非磁性中間層としてRuを20nm成膜し、その後、実施例1と同様に垂直磁気記録層を形成すること以外は、実施例1と同様にして、垂直磁気記録媒体を得た。
中間層として、Ruの代わりにCrを20nm成膜する以外は、実施例5と同様にして垂直磁気記録媒体を得た。
実施例5の垂直磁気記録媒体の垂直磁気記録層は、その磁性結晶粒子が、いずれもhcp構造を有し、(0001)面配向していることが分かった。一方、比較例9の垂直磁気記録媒体の垂直磁気記録層の磁性結晶粒子は、hcp構造を有するが、(0001)面配向していないことが分かった。
いずれの垂直磁気記録媒体の垂直磁気記録層も、グラニュラ構造を取っていることが分かった。
島状に形成された第3の下地層と垂直磁気記録層との間に、実施例5と同様のRu中間層を形成すること以外は、実施例3と同様にして、種々の垂直磁気記録媒体を得た。また、中間層としてRuの代わりに,Tiを用いた媒体も各々作製した。
中間層として、Ruの代わりにCrを20nm成膜する以外は、実施例6と同様にして垂直磁気記録媒体を得た。
実施例6のいずれの垂直磁気記録媒体の垂直磁気記録層の磁性結晶粒子もhcp構造を有し、(0001)面配向していることが分かった。しかしながら、比較例10の磁性結晶粒子はhcp構造を有するが、(0001)面配向していないことが分かった。
いずれの垂直磁気記録媒体の垂直磁気記録層も、グラニュラ構造を有することが分かった。
いずれの媒体もCu下地層上に厚さ1nmのコントラストの異なる、第2の下地層が形成されていることが分かった。
いずれの媒体もCu下地層上に、CuとNを主成分とする層が存在することが分かった。
いずれの媒体もCuとNを主成分とする第2の下地層上に、島状に孤立した第3の下地層が形成されていることが確認された。
基板と軟磁性層との間に、シード層として、3nmの厚さを有するPd層を形成し、中間層としてRuを使用すること以外は実施例6と同様にして、各々垂直磁気記録媒体を得た。
いずれの垂直磁気記録媒体の垂直磁気記録層の磁性結晶粒子もhcp構造を有し、(0001)面配向していることが分かった。
いずれの垂直磁気記録媒体の垂直磁気記録層も、グラニュラ構造を有することが分かった。
いずれの媒体もCu下地層上に厚さ1nmのコントラストの異なる、第2の下地層が形成されていることが分かった。
いずれの媒体もCu下地層上に、CuとNを主成分とする層が存在することが分かった。
垂直磁気記録層として(Co78−Cr10−Pt12)−10モル%SiO2の代わりに(Co78−Cr10−Pt12)−10モル%TiO2,(Co78−Cr10−Pt12)−10モル%Cr2O3,(Co78−Cr10−Pt12)−10モル%Al2O3,(Co78−Cr10−Pt12)−10モル%Ta2O5,(Co78−Cr10−Pt12)−10モル%Y2O3,(Co78−Cr10−Pt12)−10モル%MgOを用いた以外は実施例7と同様にして各々垂直磁気記録媒体を得た。
いずれの垂直磁気記録媒体の垂直磁気記録層の磁性結晶粒子もhcp構造を有し、(0001)面配向していることが分かった。
いずれの垂直磁気記録媒体の垂直磁気記録層も、グラニュラ構造を取っていることが分かった。
いずれの媒体もCu下地層上に厚さ1nmのコントラストの異なる、第2の下地層が形成されていることが分かった。また、CuとNを主成分とする第2の下地層上に、島状に孤立した第3の下地層が形成されていることが確認された。
いずれの媒体もCu下地層上に、CuとNを主成分とする層が存在することが分かった。
Claims (9)
- 基板と、
該基板上に形成された軟磁性層と、
該軟磁性層上に形成され、銅を主成分とし、実質的に(111)面配向した面心立方格子構造をもつ結晶粒子を含有する第1の下地層、及び該第1の下地層上に形成された銅及び窒素を主成分とする第2の下地層を含む多層下地層と、
該多層下地層上に形成され、コバルトを主成分とし、実質的に(0001)面配向した六方最密構造をもつ結晶粒子を含む垂直磁気記録層とを具備することを特徴とする磁気記録媒体。 - 前記第2の下地層は、0.1ないし4nmの厚さを有することを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。
- 前記多層下地層は、前記第2の下地層上に島状に形成された第3の下地層をさらに含むことを特徴とする請求項1または2に記載の磁気記録媒体。
- 前記第3の下地層は、銀,金,プラチナ,パラジウム,イリジウム,コバルト,及び鉄からなる群から選択される少なくとも1種の金属を含む金属結晶粒子を含み、かつ前記金属結晶粒子は、その平均粒径が、前記第1の下地層の結晶粒子の平均結晶粒子径よりも小さいことを特徴とする請求項3に記載の磁気記録媒体。
- 前記第3の下地層は、0.1nmないし1nmの高さを有することを特徴とする請求項3または4のいずれか1項に記載の磁気記録媒体。
- 前記多層下地層と前記垂直磁気記録層との間に、ルテニウム及びチタンのうち少なくとも1種からなり、実質的に(0001)面配向した六方最密構造を有する結晶粒子を含有する非磁性中間層をさらに含むことを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の磁気記録媒体。
- 前記多層下地層と前記軟磁性層の間に、プラチナ,パラジウム,ニッケル,ニッケル−鉄,コバルト,チタン,及びチタン窒化物からなる群から選択される少なくとも1種を含有するシード層をさらに含むことを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項に記載の磁気記録媒体。
- 前記垂直磁気記録層は、Co−Cr、及びCo−Ptのうち少なくとも1種の合金を主成分とする磁性結晶粒子と、酸化物、窒化物及び炭化物のうち少なくとも1種を主成分とする粒界領域とから構成されることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1項に記載の磁気記録媒体。
- 請求項1ないし8のいずれか1項に記載の磁気記録媒体と、記録再生ヘッドとを具備することを特徴とする磁気記録再生装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010287290A (ja) * | 2009-06-12 | 2010-12-24 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 垂直磁気記録媒体 |
JP2012208992A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 |
US8703308B2 (en) | 2010-11-26 | 2014-04-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic recording medium, method of manufacturing the same, and magnetic recording/reproduction apparatus |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006070479A1 (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-06 | Fujitsu Limited | 磁気ヘッドおよびその製造方法、磁気ディスク装置 |
US8648589B2 (en) * | 2009-10-16 | 2014-02-11 | HGST Netherlands B.V. | Magnetoresistive sensor employing nitrogenated Cu/Ag under-layers with (100) textured growth as templates for CoFe, CoFeX, and Co2(MnFe)X alloys |
US8628867B2 (en) * | 2010-09-30 | 2014-01-14 | Seagate Technology Llc | Patterned template with 1xN nucleation site to grain growth for uniform grain size recording media |
US8703307B2 (en) | 2010-10-12 | 2014-04-22 | HGST Netherlands B.V. | Perpendicular magnetic recording medium and magnetic storage apparatus using the same |
US9093101B2 (en) | 2011-02-28 | 2015-07-28 | Seagate Technology Llc | Stack including a magnetic zero layer |
US9799362B1 (en) * | 2015-05-29 | 2017-10-24 | Seagate Technology Llc | Three dimensional data storage medium with a tuned recording layer |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002109720A (ja) * | 2000-09-28 | 2002-04-12 | Hitachi Ltd | 垂直磁気記録媒体及びこれを用いた磁気記憶装置 |
JP2004022138A (ja) * | 2002-06-19 | 2004-01-22 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
JP2004146029A (ja) * | 2002-08-26 | 2004-05-20 | Hitachi Ltd | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法ならびにそれを用いた磁気記憶装置 |
JP2005276363A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Toshiba Corp | 磁気記録媒体及び磁気記録媒体の製造法、並びに磁気記録再生装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6183893B1 (en) | 1998-04-06 | 2001-02-06 | Hitachi, Ltd. | Perpendicular magnetic recording medium and magnetic storage apparatus using the same |
US6602620B1 (en) * | 1998-12-28 | 2003-08-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic recording apparatus, magnetic recording medium and manufacturing method thereof |
JP2000348334A (ja) | 1999-06-09 | 2000-12-15 | Fujitsu Ltd | 磁気記録媒体及び磁気ディスク装置 |
JP2002083411A (ja) | 2000-06-30 | 2002-03-22 | Sony Corp | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
US6623874B2 (en) | 2000-10-06 | 2003-09-23 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus |
US6677061B2 (en) * | 2001-05-23 | 2004-01-13 | Showa Denko Kabushiki Kaisha | Magnetic recording medium, production process thereof, and magnetic recording and reproducing apparatus |
JP2003036525A (ja) | 2001-07-25 | 2003-02-07 | Fuji Electric Co Ltd | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
US7083870B2 (en) | 2002-07-12 | 2006-08-01 | Showa Denko K. K. | Magnetic recording medium, method of manufacturing the same, and magnetic recording and reproduction apparatus |
JP3730627B2 (ja) * | 2003-02-28 | 2006-01-05 | 株式会社東芝 | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
JP2005032352A (ja) * | 2003-07-14 | 2005-02-03 | Toshiba Corp | 粒子分散型膜を下地に用いた磁気記録媒体、その製造方法、および磁気記録再生装置 |
JP2005190552A (ja) * | 2003-12-25 | 2005-07-14 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 磁気記録媒体 |
JP2005276367A (ja) | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Toshiba Corp | 垂直磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
-
2005
- 2005-12-20 JP JP2005366713A patent/JP4557880B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002109720A (ja) * | 2000-09-28 | 2002-04-12 | Hitachi Ltd | 垂直磁気記録媒体及びこれを用いた磁気記憶装置 |
JP2004022138A (ja) * | 2002-06-19 | 2004-01-22 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
JP2004146029A (ja) * | 2002-08-26 | 2004-05-20 | Hitachi Ltd | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法ならびにそれを用いた磁気記憶装置 |
JP2005276363A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Toshiba Corp | 磁気記録媒体及び磁気記録媒体の製造法、並びに磁気記録再生装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010287290A (ja) * | 2009-06-12 | 2010-12-24 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 垂直磁気記録媒体 |
US8703308B2 (en) | 2010-11-26 | 2014-04-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic recording medium, method of manufacturing the same, and magnetic recording/reproduction apparatus |
JP2012208992A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JP4557880B2 (ja) | 2010-10-06 |
CN1988004A (zh) | 2007-06-27 |
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US7862915B2 (en) | 2011-01-04 |
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