JP2007157925A - 塗布膜除去装置及び塗布膜除去方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】塗布膜が形成された角型の基板Mの縁部に溶剤を吹き付けて当該縁部の不要な塗布膜100を除去する塗布膜除去装置において、前記基板Mを水平に保持する基板保持部と、基板の辺の縁部に向けて溶剤を供給する溶剤吐出口62a及び供給された溶剤及び溶解物を吸引して除去する吸引口64とを含んだ塗布膜除去手段と、溶剤が供給される基板の辺に近接すると共に当該辺に沿って設けられ、前記溶剤及び溶解物を、溶剤の表面張力により一旦引込む溶剤引込部材52と、前記基板Mの辺に沿って塗布膜を除去するための移動機構と、を備えるように塗布膜除去装置を構成することで、塗布膜のばたつきが抑えられ当該塗布膜が基板へ乗り上げることが抑えられる。
【選択図】図9
Description
なお特許文献2にもこの特許文献1に類似した構成を有する塗布膜除去装置について示されている
また例えば前記シンナーの吐出が開始されるのと略同時に助走ステージ51側のバルブV1が開かれ、吸引口53(図3、4参照)から基板Mと助走ステージ51との間を毛細管現象によって滲んだシンナーが除去される。
なお第2の吸引口としてはスリット状に構成されることに限らず、例えば多数の小孔が引込板81の内側の側壁に沿って間隔をおくように配列された構成であってもよい。またスリット82は溶剤引込板81の上部及び下部に開口していてもよい。
3 塗布膜除去装置
4 載置台
5,50 膜除去補助部
51,56 助走ステージ
52,57 溶剤引込板
6 ノズル部
64 吸引口
Claims (10)
- 塗布膜が形成された角型の基板の縁部に溶剤を吹き付けて当該縁部の不要な塗布膜を除去する塗布膜除去装置において、
前記基板を水平に保持する基板保持部と、
基板の辺の縁部に向けて溶剤を供給する溶剤吐出口と、その基板に供給された溶剤及び溶解物を吸引して除去する吸引口とを含んだ塗布膜除去手段と、
溶剤が供給される基板の辺に近接すると共に当該辺に沿って設けられ、前記溶剤及び溶解物を、溶剤の表面張力により一旦引込む溶剤引込部材と、
前記基板の辺に沿って塗布膜を除去するために、前記塗布膜除去手段により溶剤の供給と溶剤及び溶解物の吸引とが行われているときに、当該塗布膜除去手段と基板保持部とを相対的に水平方向に移動させるための移動機構と、
を備えたことを特徴とする塗布膜除去装置。 - 溶剤が供給される辺と交わる基板の両辺に近接して夫々一辺が位置すると共に前記基板の溶剤が供給される辺の少なくとも延長線上まで延び、当該基板と同じ高さ位置に設けられた助走ステージを備えていることを特徴とする請求項1記載の塗布膜除去装置。
- 前記溶剤引込部材が助走ステージに接していることを特徴とする請求項2記載の塗布膜除去装置。
- 前記塗布膜除去手段に設けられた吸引口を第1の吸引口とすると、溶剤引込部材は、基板に供給された溶剤及び溶解物を吸引する第2の吸引口を備えていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一に記載の塗布膜除去装置。
- 溶剤引込部材の表面は、ステンレス及び/またはセラミックスにより構成されることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一に記載の塗布膜除去装置。
- 溶剤引込部材は、基板と同じ高さ位置に設けられた平板により構成されることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一に記載の塗布膜除去装置。
- 溶剤引込部材は、基板と同じ高さ位置に設けられ、溶剤が供給される基板の辺に向かうに従いその厚さが小さくなる板により構成されることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一に記載の塗布膜除去装置。
- 溶剤引込部材は、溶剤が供給される基板の辺に向かう突部を備えていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか一に記載の塗布膜除去装置。
- 塗布膜が形成された角型の基板の縁部に溶剤を吹き付けて当該縁部の不要な塗布膜を除去する塗布膜除去方法において、
前記基板を水平に保持する工程と、
溶剤を供給する溶剤吐出口と吸引口とを含んだ塗布膜除去手段により基板の辺の縁部に向けて溶剤を供給する工程と、
前記塗布膜除去手段によりその基板に供給された溶剤及び溶解物を吸引して除去する工程と、
溶剤が供給される基板の辺に近接すると共に当該辺に沿って設けられた溶剤引込部材により、前記溶剤及び溶解物を、溶剤の表面張力により一旦引込む工程と、
前記基板の辺に沿って塗布膜を除去するために、移動機構により塗布膜除去手段と基板保持部とを相対的に水平方向に移動させる工程と、
を備えたことを特徴とする塗布膜除去方法。 - 前記塗布膜除去手段に設けられた吸引口を第1の吸引口とすると、溶剤引込部材に設けられた第2の吸引口により基板に供給された溶剤及び溶解物の吸引を行う工程を含む請求項9記載の塗布膜除去方法。
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