KR101818068B1

KR101818068B1 - 약액 도포 방법 및 이를 이용한 약액 도포 장치

Info

Publication number: KR101818068B1
Application number: KR1020120013848A
Authority: KR
Inventors: 조강일; 이경일
Original assignee: 주식회사 케이씨텍
Priority date: 2012-02-10
Filing date: 2012-02-10
Publication date: 2018-01-12
Also published as: KR20130092237A

Abstract

본 발명은 화소에 대응하는 셀(cell) 마다 전극이 배열된 피처리 기판의 표면에 제1약액과 제2약액을 적층 형태로 도포하는 약액 도포 방법 및 이를 이용한 약액 도포 장치에 관한 것으로, 상기 피처리 기판의 표면에 상기 제1약액을 도포하는 제1약액 도포단계와; 상기 셀에서의 상기 전극을 향하는 방향으로 경사지게 상기 제2약액을 도포하는 제2약액 도포단계를; 포함하여 구성되어, 제2약액 보다 먼저 도포된 제1약액이 자체의 표면 장력이나 피처리 기판의 소수성 성질에 의해 구형 또는 타원형으로 뭉쳐있더라도, 제2약액을 셀 내의 전극의 위치를 향하는 방향으로 경사지게 도포함에 따라, 제2약액에 의해 셀 내에 위치하고 있던 제1약액이 전극이 위치한 쪽으로 밀려 이동하면서, 제1약액이 셀 내의 전극에 신뢰성있게 접촉할 수 있는 약액 도포 방법 및 약액 도포 장치를 제공한다.

Description

약액 도포 방법 및 이를 이용한 약액 도포 장치 {SUBSTRATE COATING METHOD AND SLIT COATER APPARATUS USING SAME}

본 발명은 약액 도포 방법 및 약액 도포 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 디스플레이 패널의 제작에 사용되는 피처리 기판에 대하여 화소마다 위치한 전극과 도포되는 약액의 접촉을 신뢰성있게 구현할 수 있으면서, 제1약액과 제2약액을 적층 형태로 도포함에 따라 보다 우수한 시야각을 확보할 수 있도록 하는 약액 도포 방법 및 약액 도포 장치에 관한 것이다.

LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 플랫 패널 디스플레이를 제조하는 공정은 유리 등을 원소재로 하여 전극이 각 화소마다 형성되어 있는 피처리 기판(또는 Thin Film Transistor)의 표면에 액정 등의 약액을 약액 도포 장치에서 도포하고, 이 피처리 기판을 합착 장치로 이동시킨 후, 피처리 기판과 형광체가 도포된 합착 기판을 합착시키는 공정을 거쳐 이루어진다.

즉, 피처리 기판은 그 표면에는 다수의 셀이 구비되고, 셀마다 전극이 배열되어, 전극에 인가되는 전원에 따라 약액이 반응하여 디스플레이 화면을 표시하게 된다.

종래의 약액 도포 장치는 피처리 기판의 표면에 한 종류의 약액을 도포하도록 구성된다. 도1은 종래의 기판 코터 장치를 개략적으로 도시한 도면이다. 도1에 도시된 바와 같이, 종래의 기판 코터 장치는 피처리 기판(G)을 기판척(10) 상에 거치시킨 상태에서, 슬릿 노즐(20)로 공급되어 피처리 기판(G)의 폭에 대응하는 토출구를 구비한 슬릿 노즐(20)이 이송 기구(25)에 의해 20y로 표시된 방향으로 이동하면서, 펌프(30)로부터 약액을 공급받아 피처리 기판(G)의 표면에 도포한다.

여기서, 기판척(10)은 유리 기판(G)을 안착시키기 위해 통상 유리 기판보다 큰 직사각형 형상으로 형성되고, 상부에는 진공 흡착을 위하여 진공 펌프와 연통된 다수개의 진공홀(미도시)이 형성되어 있다. 상기와 같이 구성된 기판 코터 장치(1)는 슬릿 노즐(20)을 피처리 기판(G)에 대하여 상대이동시키면서 약액(55)을 피처리 기판(G)의 표면에 도포하도록 구성된다.

이와 같이 종래의 약액 도포 장치(1)에 의해 약액(55)이 피처리 기판(G)에 도포되면, 피처리 기판(G)의 화소에 대응하는 셀(cell)의 바닥면이 대체로 소수성 성질을 가지므로, 약액(55)은 자체의 표면 장력과 피처리 기판(G)의 소수성 표면에 의해 구형이나 타원형으로 뭉치는 현상이 야기된다. 이로 인하여, 피처리 기판(G)의 각 셀에 배열된 전극에 약액(55)이 접촉하지 않는 셀이 존재하게 되어, 화소 불량을 야기하였다.

따라서, 종래에는 디스플레이 패널에 사용되는 약액의 종류가 낮은 표면 장력을 갖는 친수성 약액에 국한되어, 우수한 화질을 구현하는 약액을 디스플레이 패널에 사용하는 것에 제한되는 한계가 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위한 것으로, 피처리 기판에 대하여 전극에 인가되는 전원의 세기에 따라 투과되는 빛의 양을 조절하는 제1약액과 균일한 시야각 확보에 보조하는 제2약액을 적층 형태로 도포하여 우수한 화질의 디스플레이 패널을 제작하는 데 사용될 수 있는 약액 도포 방법 및 약액 도포 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

즉, 본 발명은 도포되는 약액의 표면 장력이 높고 피처리 기판의 표면이 소수성 성질이 강하더라도, 디스플레이 패널의 제작에 사용되는 피처리 기판에 대하여 화소마다 위치한 전극에 도포되는 약액이 신뢰성있게 모두 접촉할 수 있도록 함으로써, 다양한 약액의 사용이 가능해지면서 우수한 화질을 구현할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.

그리고, 본 발명은 피처리 기판에 먼저 도포되는 제1약액에 추가하여 제2약액을 적층 도포함으로써, 제1약액이 각 화소 셀의 전극에 접촉하도록 하고 전극에 접촉한 상태를 유지시켜 보다 균일한 시야각을 확보하면서 화소 불량을 방지하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 화소에 대응하는 셀(cell) 마다 전극이 배열된 피처리 기판의 표면에 제1약액과 제2약액을 적층 형태로 도포하는 약액 도포 방법으로서, 상기 피처리 기판의 표면에 상기 제1약액을 도포하는 제1약액 도포단계와; 상기 셀에서 상기 전극이 위치한 곳을 향하여 상기 제2약액을 도포하는 제2약액 도포단계를; 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 약액 도포 방법을 제공한다.

이는, 제2약액 보다 먼저 도포된 제1약액이 자체의 표면 장력에 의하여 또는/그리고 피처리 기판의 소수성 성질에 의해 구형 또는 타원형으로 뭉쳐있어서, 먼저 도포된 제1약액이 화소마다 배열된 전극에 접촉하지 않을 수 있지만, 위상차를 억제하여 시야 균일성을 확보할 수 있는 제2약액을 셀 내의 전극의 위치를 향하는 방향으로 경사지게 도포함에 따라, 제2약액에 의해 셀 내에 위치하고 있던 제1약액이 전극이 위치한 쪽으로 밀려 이동하면서, 제1약액이 셀 내의 전극에 신뢰성있게 접촉할 수 있도록 하기 위함이다.

상기 제1약액 도포단계와 상기 제2약액 도포단계는 동시에 행해질 수도 있다. 즉, 슬릿 노즐에 제1약액을 도포하는 제1토출구와 제2약액을 도포하는 제2토출구가 함께 형성되어, 하나의 슬릿 노즐을 이동시키는 것에 의해 상기 도포 방법을 구현할 수 있다. 이 경우에는, 제1약액이 표면 장력 등에 의해 구형이나 타원형으로 뭉치기 이전에 제2약액이 도포되므로, 제1약액을 전극과 접촉시키는 공정을 보다 효율적으로 행할 수 있다.

이 경우에는, 슬릿 노즐이 피처리 기판의 상측에서 1회만 이동하더라도 피처리 기판의 표면에는 2겹의 약액층이 도포되므로, 보다 빠른 시간 내에 서로 다른 성질의 약액을 2겹으로 피처리 기판에 도포할 수 있으며, 약액층의 사이에 이물질이 삽입되어 도포 품질이 저하될 염려가 없는 잇점이 있다.

본 발명의 다른 실시 형태에 따르면, 상기 제2약액 도포단계는 상기 제1약액 도포단계가 완료된 이후에 행해질 수도 있다. 제1약액 도포단계가 먼저 완료되면, 제1약액은 표면 장력이나 피처리 기판의 소수성 성질에 의해 구형 또는 타원형으로 뭉친 상태이어서 각 셀의 전극에 접촉하지 않을 수도 있지만, 그 다음에 도포되는 제2약액에 의해 제1약액이 전극이 위치한 쪽으로 이동하여 제1약액이 전극에 보다 확실히 접촉할 수 있게 된다.

한편, 상기 제1약액은 3~30㎛의 도포 두께로 도포되고, 상기 제2약액은 500㎛~5000㎛의 도포 두께로 도포된다. 이와 같이, 제1약액은 전극에 의해 반응하여 색상을 표시할 수 있는 얇은 두께로 도포되고, 제2약액은 시야 균일도를 보다 크게 향상시키면서 제1약액을 충분히 큰 힘으로 눌러 제1약액이 셀 내에 분포된 상태로 위치 고정되도록 두꺼운 두께로 도포되는 것이 바람직하다.

이 때, 제2약액이 토출되는 제2토출구의 토출 경사도(θ)는 중력 방향인 연직면에 대하여 대략 30도~80도의 범위로 유지된다. 토출 경사도(θ)가 30도보다 낮은 경우에는 제2약액의 토출압에 의해 먼저 도포된 제1약액의 이동이 너무 빠르게 이루어져 불안정해지며, 토출 경사도(θ)가 80도보다 큰 경우에는 제1약액을 밀어내는 효과가 낮아지기 때문이다.

한편, 발명의 다른 분야에 따르면, 본 발명은, 화소에 대응하는 셀(cell) 마다 전극이 배열된 피처리 기판의 표면에 제1약액과 제2약액을 적층 형태로 도포하는 약액 도포 장치로서, 상기 피처리 기판을 거치하는 기판 스테이지와; 상기 피처리 기판에 대하여 상대 이동하면서 상기 피처리 기판의 표면에 상기 제1약액을 제1토출구를 통해 도포하는 제1슬릿 노즐과; 상기 피처리 기판에 대하여 상대 이동하면서 상기 피처리 기판의 표면에 상기 제2약액을 제2토출구를 통해 도포하되, 상기 피처리 기판의 상기 셀에서의 상기 전극을 향하는 방향으로 상기 제2약액을 경사지게 도포하는 제2슬릿 노즐을; 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치를 제공한다.

그리고, 본 발명은, 화소에 대응하는 셀(cell) 마다 전극이 배열된 피처리 기판의 표면에 제1약액과 제2약액을 적층 형태로 도포하는 약액 도포 장치로서, 상기 피처리 기판을 거치하는 기판 스테이지와; 상기 피처리 기판에 대하여 상대 이동하면서 상기 피처리 기판의 표면에 상기 제1약액을 도포하는 제1토출구와, 상기 제1토출구에 후행하여 상기 셀 내에서의 상기 전극이 위치한 방향으로 상기 제2약액을 경사지게 도포하는 제2토출구를 구비한 슬릿 노즐을; 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치를 제공한다.

이 때, 상기 제1약액은 상기 제2약액보다 더 얇은 두께로 도포됨으로서, 제2약액의 토출에 의해 전극을 향해 보다 쉽게 이동하며, 동시에 제2약액에 눌려 그 상태가 지속적으로 유지된다.

한편, 상기 제1약액과 상기 제2약액은 서로 혼합되지 않은 성질을 갖는 약액으로 선택되는데, 제1약액은 각 셀의 전극에 인가되는 전원의 세기에 따라 투과되는 빛의 양을 조절하여 색상을 표시하는 데 기여하는 약액 중 하나로 선택되고, 제2약액은 다양한 성질을 갖는 약액 중 어느 것이든지 선택될 수 있다. 바람직하게는, 제2약액은 위상차를 억제하여 균일한 시야각을 확보할 수 있는 물이나 에틸렌 계열의 약액 등이 사용될 수 있다.

이에 의하여, 피처리 기판에 2겹으로 도포되는 제1약액과 제2약액의 경계면에서 약간의 혼합이 일시적으로 생기더라도, 제1약액과 제2약액이 스스로 분리되어 명확한 경계면을 형성하며, 동시에 제1약액 상에 적층되는 제2약액에 의해 디스플레이 패널을 바라보는 방향에 따른 시야 균일도를 향상시킬 수 있게 된다. 제1약액과 제2약액은 소수성 액체와 불투수성 액체 등의 조합으로 이루어질 수 있는데, 예를 들어, 상기 제1약액은 오일이고, 상기 제2약액은 에틸렌 글리콜 계열의 약액이나 물로 선택될 수 있다.

한편, 본 발명은 피처리 기판의 표면에 제1약액이 도포된 상태에서 제2약액을 도포하는 노즐로서, 상기 피처리 기판에 대하여 상대 이동하면서, 연직면에 대하여 경사진 방향을 유지하면서 상기 제2약액을 상기 피처리 기판의 표면에 토출하는 제2토출구를 구비한 노즐을 제공한다.

본 특허청구범위 및 명세서에 기재된 "셀 내에서 전극이 위치한 곳을 향하여 상기 제2약액을 도포"라는 기재 및 이와 유사한 기재는 '화소에 대응하는 셀 내에서 전극이 셀 내에서 전방에 위치하도록 배열되면 제2약액이 전방을 향하여 토출되어 도포'된다는 것이고, '화소에 대응하는 셀 내에서 전극이 셀 내에서 중앙에 위치하도록 배열되면 제2약액이 수직 방향으로 토출되어 도포'된다는 것이며, '화소에 대응하는 셀 내에서 전극이 후방에 위치하도록 배열되면 제2약액이 후방을 향하여 토출되어 도포'한다는 것을 의미한다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은, 이는, 제2약액 보다 먼저 도포된 제1약액이 자체의 표면 장력에 의하여 또는/그리고 피처리 기판의 소수성 성질에 의해 구형 또는 타원형으로 뭉쳐있어서, 먼저 도포된 제1약액이 화소마다 배열된 전극에 접촉하지 않을 수 있지만, 제2약액을 셀 내의 전극의 위치를 향하는 방향으로 경사지게 도포함에 따라, 제2약액에 의해 셀 내에 위치하고 있던 제1약액이 전극이 위치한 쪽으로 밀려 이동하면서, 제1약액이 셀 내의 전극에 신뢰성있게 접촉하도록 하고 제1약액이 전극과 접촉한 상태를 안정되게 유지할 수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있다.

이를 통해, 본 발명은 도포되는 약액의 표면 장력이 높고 피처리 기판의 표면이 소수성 성질이 강하더라도, 디스플레이 패널의 제작에 사용되는 피처리 기판에 대하여 화소마다 위치한 전극에 도포되는 약액이 신뢰성있게 모두 접촉할 수 있도록 함으로써, 표면 장력이 높은 약액을 제1약액으로 사용하더라도 모든 화소에서 빠짐없이 전극과 제1약액이 접촉된 상태로 디스플레이 패널의 제작이 가능해지므로, 화소 불량률을 현저히 낮춘 우수한 화질의 디스플레이 패널을 제작할 수 있게 되는 유리한 효과를 얻을 수 있다.

이 때, 본 발명은 제2약액을 균일한 시야각 확보에 보조하는 성질을 갖는 약액으로 도포함으로써, 어느 방향에서 바라보더라도 균일한 시야 특성을 구현할 수 있는 잇점이 얻어진다.

한편, 또한, 본 발명은 슬릿 노즐이 피처리 기판의 상측을 1번 이동하면서 2겹의 약액층이 동시에 도포할 수도 있는 데, 이에 의해 약액층의 사이에 이물질이 삽입되어 도포 품질이 저하될 염려를 낮출 수 있고, 보다 빠른 시간 내에 서로 다른 성질의 약액을 2겹으로 피처리 기판에 도포할 수 있는 장점이 있다.

그리고, 본 발명은 제1약액에 비하여 제2약액을 보다 두껍게 도포함으로써, 제1약액이 전극에 접촉한 상태를 유지시킬 뿐만 아니라, 하방으로 가하는 제2약액의 자중에 의해 제1약액이 표면 장력에도 불구하고 각 셀에 균일하게 퍼지게 되어, 전극에 대해 보다 안정적으로 반응할 수 있도록 하는 장점도 얻을 수 있다.

도1은 종래의 일반적인 약액 도포 장치의 구성을 도시한 개략 사시도
도2는 본 발명의 제1실시예에 따른 약액 도포 장치의 구성을 도시한 개략 사시도
도3은 도2의 정면도
도4a 내지 도4d는 도2의 약액 도포 장치를 이용하여 피처리 기판에 제1약액과 제2약액을 적층 형태로 도포하는 구성을 순차적으로 도시한 도면

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 약액 도포 장치(100)를 상술한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.

도2는 본 발명의 제1실시예에 따른 약액 도포 장치의 구성을 도시한 개략 사시도, 도3은 도2의 정면도, 도4a 내지 도4d는 도2의 약액 도포 장치를 이용하여 피처리 기판에 제1약액과 제2약액을 적층 형태로 도포하는 구성을 순차적으로 도시한 도면이다.

도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 약액 도포 장치(100)는, 피처리 기판(G)을 다수의 흡입공으로 흡착하여 견고하게 요동없이 고정시키는 기판 스테이지(110)와, 기판 스테이지(110)에 고정된 피처리 기판(G)의 표면에 서로 다른 성질의 2종류 약액(551, 552; 55)을 2겹으로 도포하는 약액 도포부(120)와, 약액 도포부(120)에 각각 제1약액(551)과 제2약액(552)을 공급하는 약액 공급 펌프(130, 130')로 구성된다.

상기 기판 스테이지(10)는 표면에 다수의 흡기공이 형성되어 흡입압이 작용함으로써 피처리 기판(G)을 견고하게 위치고정한다. 한편, 도면에는 기판 스테이지(10)에 피처리 기판(G)이 위치 고정되고 슬릿 노즐(100)이 이동하는 구성을 예로 들었지만, 기판 스테이지(10)의 피처리 기판(G)이 위치 이동하고 슬릿 노즐(100)이 위치 고정되도록 구성될 수도 있다.

상기 약액 도포부(120)는 도2에 도시된 바와 같이 제1약액(551)을 도포하는 제1슬릿 노즐(121')과, 피처리 기판(G)의 표면에 도포된 제1약액(551)에 적층된 형태로 제2약액(552)을 도포하는 제2슬릿노즐(121)로 구성된다. 그리고, 각각의 슬릿 노즐(121', 121)은 도3에 도시된 바와 같이 피처리 기판(G)의 폭에 대응하는 길이의 슬릿 형태의 토출구가 형성되어 약액(55)을 도포하며, 크로스헤드(122)에 고정된다. 그리고, 슬릿 노즐(121', 121)은 크로스헤드(122)의 양측을 고정하는 한 쌍의 슬라이더(123)가 기판 스테이지(110)의 종방향을 따라 배열된 안내 레일(125)을 따라 이동하는 것에 의해 피처리 기판(G)에 대해 상대 이동한다. 도면에는 약액 도포부(120)가 이동하고 피처리 기판(G)이 고정된 경우를 예로 들었지만, 약액 도포부(120)가 고정되고 피처리 기판(G)이 이동하도록 구성될 수도 있다.

제1슬릿노즐(121')은 제1약액펌프(130')로부터 제1약액(551)을 공급받아 피처리 기판(G)의 표면에 제1약액(551)을 도포한다. 도4a에는 제1슬릿노즐(121')에 의해 제1약액(551)이 제1토출구(2211')로부터 수직한 방향으로 토출되면서 피처리 기판(G)에 도포되는 구성이 예시되어 있으나, 제1약액(551)은 전방 또는 후방으로 경사진 방향으로 토출되어 피처리 기판(G)의 표면에 도포될 수도 있다.

제2슬릿노즐(121)은 제2약액펌프(130)로부터 제2약액(552)을 공급받아 피처리 기판(G)의 표면에 제2약액(551)을 수직면(99)으로부터 토출 경사도(θ)만큼 경사지게 도포한다.

보다 구체적으로는, 도4d에 도시된 바와 같이 피처리 기판(G)에는 격벽(83)에 의해 구획된 다수의 셀(80s)이 화소에 대응하여 형성되어 있고, 이 셀(80s)마다 전극(81)이 형성되어 있어서, 제1약액(551)이 전극(81)과 접촉한 상태로 도포되어 디스플레이 패널이 제작되면, 전극(81)에 인가되는 전원의 세기에 따라 기판에 투과되는 빛의 양을 조절하여 화상을 표시하는 역할을 한다. 따라서, 제1약액(551)이 전극(81)과 신뢰성있게 접촉한 상태로 유지되어야 한다.

따라서, 제2슬릿 노즐(121)은 제2약액(552)을 토출할 때에, 셀(80s)에서 전극(81)이 위치한 곳을 향하여 제2약액(552)을 토출하여 도포한다. 이는, 피처리 기판(G)의 격벽(83) 및 전극(81)이 포토리소그래피 공정에 의해 형성되므로, 전극(81)은 셀(80s) 내부의 일정한 곳(예컨대, 전방 또는 후방)에 위치하므로 가능하다.

예를 들어, 전극(81)이 셀(80s) 내에서 후방에 치우쳐 위치한 경우에는 제2약액(552)은 후방을 향하는 방향으로 토출됨으로써, 먼저 토출된 제1약액(551)을 제2약액(552)의 토출압에 의해 후방으로 밀어내어, 제1약액(551)이 셀(80s)의 전방에 위치한 전극(81)과 보다 확실하게 접촉하도록 유도한다. 유사하게, 전극(81)이 셀(80s) 내에서 전방에 치우쳐 위치한 경우에는 제2약액(552)은 전방을 향하는 방향으로 토출되어, 먼저 토출된 제1약액(551)을 제2약액(552)의 토출압에 의해 전방으로 밀어내어, 제1약액(551)이 셀(80s)의 전방에 위치한 전극(81)과 보다 확실하게 접촉하도록 한다. 이와 같이, 전극(81)이 셀(80s)의 일측에 치우쳐 위치한 경우에 제2약액(552)이 전극(81)이 위치한 일측을 향하여 도포되는 때에는 30도~80도의 토출 경사도(θ) 만큼 경사지게 도포되는 것이 바람직하다.

그리고, 전극(81)이 셀(80s) 내에서 중앙에 치우쳐 위치한 경우에는 제2약액(552)은 수직 방향으로 토출되어, 먼저 토출된 제1약액(551)을 제2약액(552)의 토출압으로 눌러 퍼지게 함으로써, 제1약액(551)이 셀(80s)의 중앙에 위치한 전극(81)과 보다 확실하게 접촉하도록 한다.

이 때, 상기 제1약액(551)은 3~30㎛의 얇은 도포 두께(55d1)로 도포되고, 제2약액(552)은 제1약액(551)에 비하여 훨씬 두꺼운 500㎛~5000㎛의 도포 두께(55d2)로 도포된다. 이와 같이, 제2약액(552)이 제1약액에 비하여 훨씬 두꺼운 두께(55d2)로 도포됨에 따라, 제1약액(551)이 셀(80s) 내에서 치우친 상태로 전극(81)에 접촉 상태로 있더라도, 서서히 셀(80s)의 바닥면(82)에 퍼지면서 셀(80s) 내에서 균일하게 분포하게 된다.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명의 제1실시예에 따른 약액 도포 장치(100)를 이용한 약액 도포 방법을 상술한다.

단계 1: 먼저, 피처리 기판(G)을 기판 스테이지(110)에 거치시킨다.

단계 2: 그리고 나서, 도4a에 도시된 바와 같이, 제1슬릿노즐(121')을 이동시키면서 제1약액(551)을 피처리 기판(G)의 표면에 도포한다. 피처리 기판(G)의 표면에 도포된 제1약액(551)은 셀(80s)의 표면 전체를 덮도록 도포되지만, 피처리 기판(G)의 표면의 소수성 성질에 의해 그리고 제1약액(551)의 표면 장력에 의해 도면부호 551d로 표시된 방향으로 오그라져 구형이나 타원형을 형성하게 된다.

따라서, 제1약액(551)이 구형으로 오그라진 상태에서 각 셀(80s)에 위치한 전극(81)에 접촉하지 못한 상태가 될 수도 있다.

단계 3: 그리고 나서, 도4b에 도시된 바와 같이, 제2슬릿노즐(121)은 피처리 기판(G)에 대해 상대이동하면서 피처리 기판의 셀(80s)에서 전극(81)이 차지하고 있는 곳을 향하여 제2약액(552)을 후방을 향해 경사(θ)지게 두꺼운 두께(55d2)로 도포한다. 이에 따라, 피처리 기판(G)에 도포되는 제2약액(552)은 552x로 표시된 경사진 방향으로 후방을 향해 도포되면서, 피처리 기판(G)에 안착되어 있는 뭉친 형태의 구형 제1약액(551)을 전극(81)을 향해 후방으로 미는 힘(551d)으로 작용한다.

이에 따라, 제1약액(551)만 피처리 기판(G)에 도포된 상태에서는 제1약액(551)이 전극(81)에 접촉한 상태가 아니더라도, 제2약액(552)이 도포되면서 가하는 힘으로 제1약액(551)이 전극(81)이 위치한 쪽으로 밀려 이동함에 따라, 제1약액(551)은 전극(81)에 접촉한 상태가 된다.

단계 4: 단계 3이 행해진 이후에 소정의 시간이 경과하면, 도4d에 도시된 바와 같이, 제1약액(551)에 비하여 훨씬 두껍게 도포된 제2약액(552)이 제1약액(551)을 하방(552v)으로 누르는 힘으로 작용하여, 단계 3에서 각 셀(80s)의 일측(전극이 위치한 쪽)으로 몰려있던 제1약액(551)은 셀(80s) 내에 균일하게 분포된 상태가 된다.

상기와 같이 구성된 본 발명의 제1실시예에 따른 약액 도포 방법은 제1약액으로 사용되는 약액의 성질에 관계없이, 제1약액이 전극과 비접촉 상태로 도포됨에 따라 일부 화소에 불량이 생기는 것을 확실하게 방지할 수 있는 잇점이 있다. 또한, 제1약액을 전극이 위치한 곳으로 밀어주는 제2약액을 위상차를 줄여주어 시야 균일성을 향상시키는 약액을 적용함으로써, 완성된 디스플레이 패널의 화질을 보다 향상시킬 수 있는 유리한 효과도 얻을 수 있다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 특허청구 범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다. 예를 들어, 본 발명의 실시예를 도시한 도면에는 제2슬릿노즐(121)은 정상적인 자세를 유지하면서 제2약액이 토출되는 제2토출구의 끝단이 연직면에 대해 경사도를 유지한 상태로 제2약액을 토출하는 구성을 예로 들었지만, 본 발명의 다른 실시형태에 따르면 제2슬릿노즐의 연직 방향으로 제2약액을 토출하되, 제2슬릿노즐이 경사진 형태로 피처리 기판에 상대 이동함으로써 동일한 작용 효과를 구현할 수도 있다.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **
100, 200: 약액 도포 장치 110: 기판 스테이지
120,220: 약액 도포부 121': 제1슬릿노즐
121: 제2슬릿노즐 221: 슬릿 노즐
130: 약액 공급 펌프 551: 제1약액
552: 제2약액 G: 피처리 기판

Claims

격벽에 의해 구획된 다수의 셀(cell)이 화소에 대응하여 형성되고, 상기 셀 마다 전극이 배열된 디스플레이 장치 제작용 피처리 기판의 표면에 제1약액과 제2약액을 적층 형태로 도포하는 약액 도포 방법으로서,
상기 격벽으로 구획된 상기 셀의 표면에 상기 제1약액을 도포하는 제1약액 도포단계와;
상기 셀에서 상기 전극이 위치한 곳을 향하여 상기 제2약액을 토출하여 상기 제2약액에 의하여 상기 셀에 먼저 도포되어 있던 상기 제1약액이 상기 전극으로 밀려 이동하게 도포하는 제2약액 도포단계를;
포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 약액 도포 방법.
제 1항에 있어서,
상기 제1약액은 3~30㎛의 도포 두께로 도포되고, 상기 제2약액은 500㎛~5000㎛의 도포 두께로 도포되는 것을 특징으로 하는 약액 도포 방법.
제 2항에 있어서,
상기 전극이 상기 셀의 일측에 치우쳐 위치한 경우에는, 상기 제2약액은 상기 일측을 향하여 30도~80도의 토출 경사도(θ)로 경사지게 도포되는 것을 특징으로 하는 약액 도포 방법.
제 2항에 있어서,
상기 전극이 상기 셀의 중앙에 위치한 경우에는, 상기 제2약액은 수직 방향으로 토출되는 것을 특징으로 하는 약액 도포 방법.
제 1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1약액 도포단계와 상기 제2약액 도포단계는 동시에 행해지는 것을 특징으로 하는 약액 도포 방법.
제 1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제2약액 도포단계는 상기 제1약액 도포단계가 완료된 이후에 행하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 방법.
격벽에 의해 구획된 다수의 셀(cell)이 화소에 대응하여 형성되고, 상기 셀 마다 전극이 배열된 디스플레이 장치 제작용 피처리 기판의 표면에 제1약액과 제2약액을 적층 형태로 도포하는 약액 도포 장치로서,
상기 피처리 기판을 거치하는 기판 스테이지와;
상기 피처리 기판에 대하여 상대 이동하면서, 상기 격벽으로 구획된 상기 피처리 기판의 상기 셀의 표면에 상기 제1약액을 제1토출구를 통해 도포하는 제1슬릿 노즐과;
상기 피처리 기판에 대하여 상대 이동하면서 상기 피처리 기판의 표면에 상기 제2약액을 제2토출구를 통해 도포하되, 상기 피처리 기판의 셀 내에서 전극을 향하는 방향으로 상기 제2약액을 토출하여, 토출된 상기 제2약액에 의하여 상기 셀에 먼저 도포되어 있던 상기 제1약액이 상기 전극으로 밀려 이동하게 하는 제2슬릿 노즐을;
포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
제 7항에 있어서,
상기 제2약액은 상기 제1약액보다 더 두꺼운 두께로 도포되는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
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