WO2018051397A1 - 液晶滴下装置及び液晶滴下方法 - Google Patents

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生志 山崎
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堺ディスプレイプロダクト株式会社
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
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Definitions

  • the cell assembly process is a process of assembling two glass substrates (for example, a TFT substrate and a color filter substrate) with a liquid crystal sandwiched therebetween. is there.
  • liquid crystal is dropped on one of the two glass substrates, a seal is applied on one of the two glass substrates, and both glass substrates are in a vacuum state. Paste after aligning.
  • Patent Document 1 discloses an electrophoretic display in which a cell of a first electrode substrate such as a TFT substrate used in a liquid crystal or the like is filled with electrophoretic ink, and the first electrode substrate and the second electrode substrate are bonded together. An apparatus manufacturing method is disclosed.
  • liquid crystal when liquid crystal is dropped on a glass substrate (for example, a color filter substrate), the liquid crystal after dropping is not sufficiently diffused due to the step shape of the laminated film on the glass substrate, and vacuum bubbles (cavities) may be generated. is there.
  • the moisture absorption of the alignment film applied to the glass substrate due to the influence of water vapor or the like in the atmosphere is increased, which may prevent the liquid crystal from diffusing and spread the liquid crystal in some cases.
  • vacuum bubbles are generated or the liquid crystal is unevenly diffused, the display quality of the flat panel display is degraded.
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a liquid crystal dropping device and a liquid crystal dropping method capable of suppressing the generation of vacuum bubbles.
  • a liquid crystal dropping device is a liquid crystal dropping device that discharges liquid crystal from a nozzle and drops the liquid crystal on a substrate.
  • the liquid crystal storing device stores the liquid crystal and the liquid crystal stored in the storing portion.
  • a heating unit for heating to a temperature exceeding the phase transition temperature of the liquid crystal, and a syringe unit for metering and filling the liquid crystal heated by the heating unit and discharging from the nozzle.
  • a liquid crystal dropping method is a liquid crystal dropping method in which liquid crystal is discharged from a nozzle and dropped onto a substrate, and the liquid crystal stored in a storage part is heated to a temperature exceeding the phase transition temperature of the liquid crystal. Heat, fill the heated liquid crystal with metering, and discharge from the nozzle.
  • the generation of vacuum bubbles can be suppressed.
  • FIG. 1 is an explanatory diagram showing a first example of the configuration of the liquid crystal dropping device 100 of the present embodiment.
  • the liquid crystal dropping device 100 includes a liquid crystal bottle 10 as a storage unit that stores liquid crystal, a heater box 20 as a heating unit, a three-way switching valve 30, a nozzle 40, a syringe unit 60, a linear actuator 70, and a liquid crystal bottle 10. And a three-way switching valve 30, a pipe 52 connecting the three-way switching valve 30 and the nozzle 40, a pipe 53 connecting the three-way switching valve 30 and the syringe unit 60, and the like.
  • the heater box 20 includes a heater 21 provided around the liquid crystal bottle 10 and a temperature sensor (not shown).
  • the heater box 20 heats the liquid crystal stored in the liquid crystal bottle 10 to a temperature exceeding the phase transition temperature of the liquid crystal to the liquid phase.
  • Each of the pipes 51, 52, and 53 has a heat retaining function.
  • the pipes 51, 52, and 53 may be covered with a heat insulating member, or a heat insulating tube may be used, and a double structure pipe having an air layer around the liquid crystal channel is used. May be.
  • the syringe unit 60 has a cylindrical syringe and a piston arranged inside the syringe.
  • a heat retaining member 61 is provided around the syringe.
  • a material having excellent heat retaining properties such as urethane can be used.
  • the syringe unit 60 measures and fills the liquid crystal heated by the heater box 20 and discharges it from the nozzle 40.
  • the three-way switching valve 30 In the liquid crystal suction (filling) operation state, the three-way switching valve 30 forms a flow path connecting the pipe 51 and the pipe 53, and the flow path to the pipe 52 is blocked.
  • the three-way switching valve 30 forms a flow path connecting the pipe 53 and the pipe 52 in the liquid crystal discharge operation state, and the flow path to the pipe 51 is blocked.
  • the phase transition temperature is a temperature at which the liquid crystal is liquefied, and is a phase transition temperature from the liquid crystal phase to the liquid phase.
  • the phase transition temperature means a phase transition temperature from a liquid crystal phase to a liquid phase.
  • position order the centers of gravity of the molecules are arranged in a certain order (referred to as position order), and the average orientation of the molecular long axes is aligned (referred to as orientation order).
  • orientation order the average orientation of the molecular long axes
  • both positional order and orientational order are lost. Since the phase transition temperature of the liquid crystal varies depending on the liquid crystal material, the heating temperature may be appropriately determined according to the liquid crystal material to be used.
  • liquid crystal dropping method using the liquid crystal dropping apparatus 100 of the present embodiment will be described.
  • the liquid crystal suction (filling) operation will be described.
  • the liquid crystal stored in the liquid crystal bottle 10 is heated by the heater box 20, and a temperature sensor (not shown) detects that the temperature of the liquid crystal exceeds the predetermined phase transition temperature. Moreover, it confirms with a pressure sensor (not shown) so that the pressure in the liquid crystal bottle 10 may become atmospheric pressure or a positive pressure.
  • the three-way switching valve 30 is set to the discharge operation state.
  • the pressure in the liquid crystal bottle 10 is set to a negative pressure (for example, a pressure lower than the atmospheric pressure by reducing pressure), and the liquid crystal suction (filling) operation is ended.
  • the liquid crystal ejection operation will be described.
  • the nozzle or the substrate is placed in a vertical direction and a horizontal direction (for example, the X direction and the Y direction) on a plane parallel to the surface of the substrate with the discharge port of the nozzle 40 facing the substrate. ), The discharge port of the nozzle 40 is sequentially moved to the dropping position on the substrate, and intermittent discharge is performed.
  • the liquid crystal is heated to a temperature exceeding the phase transition temperature of the liquid crystal, the viscosity of the liquid crystal is reduced and the fluidity of the liquid crystal dropped on the substrate is increased. Thereby, the diffusibility of the dropped liquid crystal is enhanced and uniform diffusion is possible, so that the generation of vacuum bubbles can be suppressed.
  • the viscosity of the liquid crystal is small when ejected from the nozzle 40, the droplet controllability when the liquid crystal is dropped is improved, and the liquid crystal can be dropped with a small diameter. Thereby, the dropping interval on the substrate can be narrowed.
  • the liquid crystal can be dripped with a small diameter, it is possible to suppress variations in the amount of liquid crystal dropped once, and the accuracy of the amount of dripping is improved. Further, the number of drops can be improved by improving the accuracy of the dropping amount, and the cost can be reduced.
  • the fluidity of the liquid crystal dropped onto the substrates increases, the degree of vacuum when the substrates are bonded together can be reduced, the tact time in the production process can be shortened, and the substrates can be bonded together. It is also possible to shorten the tact time of vacuum deaeration in the process before the matching.
  • the pipes 51 and 53 between the liquid crystal bottle 10 and the syringe unit 60 have a heat retaining function, it is possible to prevent the temperature of the liquid crystal from being lowered in the middle of the pipes 51 and 53.
  • the piping 53 and 52 between the syringe part 60 and the nozzle 40 has a heat retention function, it can prevent that the temperature of a liquid crystal falls in the middle of the piping 53 and 52. .
  • the syringe part 60 since the syringe part 60 is covered with the heat retention member 61, it can prevent that the temperature of a liquid crystal falls while the liquid crystal is temporarily stored by the syringe part 60. it can.
  • the heater box 20 heats the liquid crystal stored in the liquid crystal bottle 10 to a temperature exceeding the phase transition temperature of the liquid crystal.
  • the pipe 50 has a heat retaining function. Specifically, the pipe 50 may be covered with a heat insulating member, or a heat insulating tube may be used, or a double-structured pipe provided with an air layer around the liquid crystal flow path may be used.
  • the trip unit 80 is provided with a heat retaining member 81.
  • a material having excellent heat retaining properties such as urethane can be used.
  • the syringe unit 60 includes a cylindrical syringe and a piston disposed inside the syringe.
  • a heat retaining member 61 is provided around the syringe.
  • a material having excellent heat retaining properties such as urethane can be used.
  • the syringe unit 60 measures and fills the liquid crystal heated by the heater box 20 and discharges it from the nozzle 40.
  • liquid crystal dropping method using the liquid crystal dropping device 120 of the present embodiment will be described.
  • the liquid crystal stored in the liquid crystal bottle 10 is heated by the heater box 20, and a temperature sensor (not shown) detects that the temperature of the liquid crystal exceeds the predetermined phase transition temperature.
  • the rotary valve 90 is in a closed operation state.
  • the dispense controller 15 pressurizes the liquid crystal stored in the liquid crystal bottle 10 and supplies the liquid crystal to the trip unit 80.
  • the liquid crystal is heated to a temperature exceeding the phase transition temperature of the liquid crystal, so that the viscosity of the liquid crystal is reduced, and the liquid crystal dripped onto the substrate is reduced. Increases fluidity. Thereby, the diffusibility of the dropped liquid crystal is enhanced and uniform diffusion is possible, so that the generation of vacuum bubbles can be suppressed.
  • the fluidity of the liquid crystal dropped onto the substrates increases, the degree of vacuum when the substrates are bonded together can be reduced, the tact time in the production process can be shortened, and the substrates can be bonded together. It is also possible to shorten the tact time of vacuum deaeration in the process before the matching.
  • the configuration illustrated in FIGS. 1 and 3 has been described as an example of the liquid crystal dropping device, but the configuration of the liquid crystal dropping device is not limited to the configuration illustrated in FIGS. 1 and 3.
  • a liquid crystal dropping device is a liquid crystal dropping device that discharges liquid crystal from a nozzle and drops the liquid crystal on a substrate.
  • the liquid crystal storing device stores the liquid crystal and the liquid crystal stored in the storing portion.
  • a heating unit for heating to a temperature exceeding the phase transition temperature of the liquid crystal, and a syringe unit for metering and filling the liquid crystal heated by the heating unit and discharging from the nozzle.
  • a liquid crystal dropping method is a liquid crystal dropping method in which liquid crystal is discharged from a nozzle and dropped onto a substrate, and the liquid crystal stored in a storage part is heated to a temperature exceeding the phase transition temperature of the liquid crystal. Heat, fill the heated liquid crystal with metering, and discharge from the nozzle.

Abstract

本発明は、真空気泡の発生を抑制することができる液晶滴下装置及び液晶滴下方法を提供することを目的とする。。本発明の液晶滴下装置は、液晶を貯留する貯留部（１０）と、貯留部（１０）に貯留された液晶を、液晶の相転移温度を超える温度まで加熱する加熱部（２０）と、加熱部（２０）で加熱された液晶を計量充填し、ノズル（４０）から吐出するシリンジ部（６０）とを備える。

Description

液晶滴下装置及び液晶滴下方法
　本発明は、液晶滴下装置及び液晶滴下方法に関する。
　液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）のようなフラットパネルディスプレイの製造工程において、セル組立工程は、２枚のガラス基板（例えば、ＴＦＴ基板及びカラーフィルタ基板など）を、液晶を間に挟んだ状態で組み立てる工程である。この工程では、２枚のガラス基板のうちいずれか一方のガラス基板に液晶を滴下し、２枚のガラス基板のうちいずれか一方のガラス基板にシールを塗布して、真空状態で両方のガラス基板の位置合わせを行った後に貼り合わせる。
　特許文献１には、液晶等で使用されているＴＦＴ基板などの第一の電極基板のセルに電気泳動インクを充填し、第一の電極基板と第二の電極基板とを貼り合わせる電気泳動表示装置の製造方法が開示されている。
特開２０１２－１８１２３７号公報
　しかし、ガラス基板（例えば、カラーフィルタ基板）に液晶を滴下した場合、ガラス基板の積層膜段差形状に起因して、滴下後の液晶が十分に拡散されず真空気泡（空洞）が発生する場合がある。また、大気中の水蒸気等の影響によりガラス基板に塗布された配向膜の吸湿度合が大きくなり、液晶の拡散を妨げることになり液晶の広がりが不均一となる場合もある。このような真空気泡が発生し、あるいは液晶の拡散が不均一になると、フラットパネルディスプレイの表示品質が低下する。
　本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、真空気泡の発生を抑制することができる液晶滴下装置及び液晶滴下方法を提供することを目的とする。
　本発明の実施の形態に係る液晶滴下装置は、ノズルから液晶を吐出させて基板に滴下する液晶滴下装置であって、液晶を貯留する貯留部と、該貯留部に貯留された液晶を、該液晶の相転移温度を超える温度まで加熱する加熱部と、該加熱部で加熱された液晶を計量充填し、前記ノズルから吐出するシリンジ部とを備える。
　本発明の実施の形態に係る液晶滴下方法は、ノズルから液晶を吐出させて基板に滴下する液晶滴下方法であって、貯留部に貯留された液晶を、該液晶の相転移温度を超える温度まで加熱し、加熱された液晶を計量充填し、前記ノズルから吐出する。
　本発明によれば、真空気泡の発生を抑制することができる。
本実施の形態の液晶滴下装置の構成の第１実施例を示す説明図である。 本実施の形態の液晶滴下装置の液晶の温度と粘度との関係の一例を示す模式図である。 本実施の形態の液晶滴下装置の構成の第２実施例を示す説明図である。
　以下、本発明をその実施の形態を示す図面に基づいて説明する。図１は本実施の形態の液晶滴下装置１００の構成の第１実施例を示す説明図である。本実施の形態の液晶滴下装置１００は、液晶を貯留する貯留部としての液晶瓶１０、加熱部としてのヒータボックス２０、三方切替バルブ３０、ノズル４０、シリンジ部６０、リニアアクチュエータ７０、液晶瓶１０と三方切替バルブ３０との間を接続する配管５１、三方切替バルブ３０とノズル４０との間を接続する配管５２、および三方切替バルブ３０とシリンジ部６０との間を接続する配管５３などを備える。ヒータボックス２０は、液晶瓶１０に周設したヒータ２１、不図示の温度センサなどを有する。
　ヒータボックス２０は、液晶瓶１０に貯留された液晶を、当該液晶の液相への相転移温度を超える温度まで加熱する。配管５１、５２、５３それぞれは、保温機能を有する。具体的には、配管５１、５２、５３を保温部材で覆ってもよく、あるいは保温チューブを使用してもよく、液晶の流路の周囲に空気層を設けた二重構造の配管を使用してもよい。
　シリンジ部６０は、円筒状のシリンジおよびシリンジの内部に配置されたピストンを有する。また、シリンジには保温部材６１が周設されている。保温部材６１は、例えば、ウレタンなどの保温性に優れた材料を用いることができる。シリンジ部６０は、ヒータボックス２０で加熱された液晶を計量充填し、ノズル４０から吐出する。
　三方切替バルブ３０は、液晶の吸引（充填）動作状態では、配管５１と配管５３とを繋ぐ流路を形成し、配管５２への流路は遮断される。また、三方切替バルブ３０は、液晶の吐出動作状態では、配管５３と配管５２とを繋ぐ流路を形成し、配管５１への流路は遮断される。
　図２は本実施の形態の液晶滴下装置１００の液晶の温度と粘度との関係の一例を示す模式図である。図２において、横軸は温度を示し、縦軸は粘度を示す。図２に示すように、液晶の粘度は、相転移温度付近で上昇し、相転移温度を超える温度では、下降する傾向を有する。すなわち、液晶の相転移温度を超える温度まで当該液晶を加熱することによって、液晶の粘度を小さくすることができる。
　相転移温度は、液晶を液体化させる温度であり、液晶相から液相への相転移温度である。本明細では、特に注釈がない場合には、相転移温度は、液晶相から液相への相転移温度を意味するものとする。液晶が結晶状態では、分子の重心が一定の秩序で並んでおり（位置の秩序という）、かつ分子長軸の平均的な向きが揃っている（配向の秩序という）。相転移温度を超える温度では、位置の秩序も配向の秩序も共に失われる。液晶の相転移温度は、液晶材料によって異なるので、使用する液晶材料に応じて、適宜加熱温度を決定すればよい。
　次に、本実施の形態の液晶滴下装置１００による液晶滴下方法について説明する。まず、液晶の吸引（充填）動作について説明する。液晶瓶１０に貯留されている液晶をヒータボックス２０によって加熱し、液晶の温度が所定の相転移温度を超えた温度であることを不図示の温度センサで検出する。また、液晶瓶１０内の圧力が大気圧又は正圧になるよう圧力センサ（不図示）によって確認する。
　三方切替バルブ３０を吸引（充填）動作状態にする。そして、リニアアクチュエータ７０を駆動してシリンジ部６０のピストンを動かし、液晶を液晶瓶１０から吸引することによってシリンジ内に液晶を充填する。ピストンを動かすことによってシリンジ内が負圧となるので、液晶は液晶瓶１０からシリンジ内へ移動する。
　所要量の液晶がシリンジ内に充填されると、三方切替バルブ３０を吐出動作状態にする。このとき、液晶瓶１０内の圧力を負圧（例えば、減圧によって大気圧よりも低い圧力）にして液晶の吸引（充填）動作を終了する。
　次に、液晶の吐出動作について説明する。ノズル４０から液晶を吐出する場合、ノズル４０の吐出口を基板に対向配置した状態で、ノズル又は基板を、基板の表面に平行な面上で縦方向および横方向（例えば、Ｘ方向およびＹ方向）に移動させることにより、基板上の滴下位置にノズル４０の吐出口を順番に移動させ、間欠吐出を行う。
　すなわち、ノズル４０の吐出口が基板上の滴下位置に移動する都度、リニアアクチュエータ７０を駆動してシリンジ部６０のピストンを動かし、シリンジ内の液晶をノズル４０から吐出させる。
　上述のように、本実施の形態では、液晶の相転移温度を超える温度まで当該液晶を加熱するので、液晶の粘度が小さくなり、基板に滴下された液晶の流動性が大きくなる。これにより、滴下された液晶の拡散性が高められ、均一な拡散が可能となるため、真空気泡の発生を抑制することができる。
　また、ノズル４０から吐出する際に、液晶の粘度が小さいので、液晶を滴下する際の液滴制御性が向上し、小径の液晶滴下が可能になる。これにより、基板上での滴下間隔を狭ピッチ化することができる。また、小径の液晶滴下が可能になるので、液晶の１回の滴下量のばらつきを抑制することができ、滴下量の精度が向上する。また、滴下量の精度向上によって員数改善が可能となり、コストダウンも可能となる。
　また、基板に滴下された液晶の流動性が大きくなるので、基板同士を貼り合わせる際の真空の度合いを弱くすることができ、生産工程でのタクトタイムの短縮が可能となり、また基板同士を貼り合わせる前のプロセスでの真空脱気のタクトタイムを短縮することも可能となる。
　本実施の形態では、液晶瓶１０とシリンジ部６０との間の配管５１、５３は、保温機能を有するので、配管５１、５３の途中で液晶の温度が低下することを防止することができる。また、本実施の形態では、シリンジ部６０とノズル４０との間の配管５３、５２は、保温機能を有するので、配管５３、５２の途中で液晶の温度が低下することを防止することができる。
　また、本実施の形態では、シリンジ部６０は、保温部材６１で覆われているので、シリンジ部６０で液晶が一時的に貯留されている間に液晶の温度が低下することを防止することができる。
　図３は本実施の形態の液晶滴下装置１２０の構成の第２実施例を示す説明図である。本実施の形態の液晶滴下装置１２０は、液晶を貯留する貯留部としての液晶瓶１０、加熱部としてのヒータボックス２０、ディスペンスコントローラ１５、シリンジ部６０、リニアアクチュエータ７０、トリップユニット８０、ロータリーバルブ９０、液晶瓶１０とトリップユニット８０との間を接続する配管５０などを備える。なお、トリップユニット８０とシリンジ部６０とを纏めてシリンジ部と称することもできる。図１に示した第１実施例と同様に、ヒータボックス２０は、液晶瓶１０に周設したヒータ２１、不図示の温度センサなどを有する。
　ヒータボックス２０は、液晶瓶１０に貯留された液晶を、当該液晶の相転移温度を超える温度まで加熱する。配管５０は、保温機能を有する。具体的には、配管５０を保温部材で覆ってもよく、あるいは保温チューブを使用してもよく、液晶の流路の周囲に空気層を設けた二重構造の配管を使用してもよい。
　トリップユニット８０には保温部材８１が周設されている。保温部材８１は、例えば、ウレタンなどの保温性に優れた材料を用いることができる。また、シリンジ部６０は、円筒状のシリンジおよびシリンジの内部に配置されたピストンを有する。また、シリンジには保温部材６１が周設されている。保温部材６１は、例えば、ウレタンなどの保温性に優れた材料を用いることができる。シリンジ部６０は、ヒータボックス２０で加熱された液晶を計量充填し、ノズル４０から吐出する。
　ロータリーバルブ９０は、液晶の充填動作時には、トリップユニット８０とシリンジ部６０のシリンジとを繋ぐ流路を形成する（充填動作状態と称する）。また、ロータリーバルブ９０は、液晶の吐出動作時には、シリンジ部６０のシリンジとノズル４０とを繋ぐ流路を形成する（吐出動作状態と称する）。また、ロータリーバルブ９０は、トリップユニット８０とシリンジ部６０のシリンジとの間の流路、およびシリンジ部６０のシリンジとノズル４０との間の流路のいずれも形成しない状態（閉鎖動作状態と称する）にすることができる。
　次に、本実施の形態の液晶滴下装置１２０による液晶滴下方法について説明する。まず、液晶の充填動作について説明する。液晶瓶１０に貯留されている液晶をヒータボックス２０によって加熱し、液晶の温度が所定の相転移温度を超えた温度であることを不図示の温度センサで検出する。また、ロータリーバルブ９０は、閉鎖動作状態にしてある。ディスペンスコントローラ１５は、液晶瓶１０に貯留されている液晶を加圧して、液晶をトリップユニット８０へ供給する。
　次に、ロータリーバルブ９０を充填動作状態にする。リニアアクチュエータ７０を駆動してシリンジ部６０のピストンを動かし、液晶をトリップユニット８０から吸引することによってシリンジ内に液晶を充填する。ピストンを動かすことによってシリンジ内が負圧となるので、液晶はトリップユニット８０からシリンジ内へ移動する。
　次に、液晶の吐出動作について説明する。所要量の液晶がシリンジ内に充填されると、ロータリーバルブ９０を吐出動作状態にする。ノズル４０の吐出口が基板上の滴下位置に移動する都度、リニアアクチュエータ７０を駆動してシリンジ部６０のピストンを動かし、シリンジ内の液晶をノズル４０から吐出させる。
　本実施の形態の第２実施例においても、第１実施例と同様に、液晶の相転移温度を超える温度まで当該液晶を加熱するので、液晶の粘度が小さくなり、基板に滴下された液晶の流動性が大きくなる。これにより、滴下された液晶の拡散性が高められ、均一な拡散が可能となるため、真空気泡の発生を抑制することができる。
　また、ノズル４０から吐出する際に、液晶の粘度が小さいので、液晶を滴下する際の液滴制御性が向上し、小径の液晶滴下が可能になる。これにより、基板上での滴下間隔を狭ピッチ化することができる。また、小径の液晶滴下が可能になるので、液晶の１回の滴下量のばらつきを抑制することができ、滴下量の精度が向上する。また、滴下量の精度向上によって員数改善が可能となり、コストダウンも可能となる。
　また、基板に滴下された液晶の流動性が大きくなるので、基板同士を貼り合わせる際の真空の度合いを弱くすることができ、生産工程でのタクトタイムの短縮が可能となり、また基板同士を貼り合わせる前のプロセスでの真空脱気のタクトタイムを短縮することも可能となる。
　また、第２実施例では、液晶瓶１０とトリップユニット８０（シリンジ部６０）との間の配管５０は、保温機能を有するので、配管５０の途中で液晶の温度が低下することを防止することができる。また、第２実施例では、シリンジ部６０は、保温部材６１で覆われているので、シリンジ部６０で液晶が一時的に貯留されている間に液晶の温度が低下することを防止することができる。また、トリップユニット８０は、保温部材８１で覆われているので、トリップユニット８０で液晶が一時的に貯留されている間に液晶の温度が低下することを防止することができる。
　本実施の形態では、液晶滴下装置の例として、図１及び図３に例示した構成について説明したが、液晶滴下装置の構成は、図１及び図３に例示した構成に限定されない。
　本発明の実施の形態に係る液晶滴下装置は、ノズルから液晶を吐出させて基板に滴下する液晶滴下装置であって、液晶を貯留する貯留部と、該貯留部に貯留された液晶を、該液晶の相転移温度を超える温度まで加熱する加熱部と、該加熱部で加熱された液晶を計量充填し、前記ノズルから吐出するシリンジ部とを備える。
　本発明の実施の形態に係る液晶滴下方法は、ノズルから液晶を吐出させて基板に滴下する液晶滴下方法であって、貯留部に貯留された液晶を、該液晶の相転移温度を超える温度まで加熱し、加熱された液晶を計量充填し、前記ノズルから吐出する。
　加熱部は、貯留部に貯留された液晶を、当該液晶の相転移温度を超える温度まで加熱する。シリンジ部は、加熱部で加熱された液晶を計量充填し、ノズルから吐出する。液晶の相転移温度を超える温度まで当該液晶を加熱することによって、液晶の粘度を小さくすることができる。これにより、基板に滴下された液晶の流動性が大きくなり、滴下された液晶の拡散性が高められ、均一な拡散が可能となるため、真空気泡の発生を抑制することができる。
　本発明の実施の形態に係る液晶滴下装置は、前記貯留部と前記シリンジ部との間に設けられた第１配管を備え、該第１配管は、保温機能を有する。
　保温機能は、例えば、配管を保温部材で覆ってもよく、あるいは保温チューブを使用してもよく、液晶の流路の周囲に空気層を設けた二重構造の配管を使用してもよい。これにより、貯留部とシリンジ部との間の第１配管の途中で温度が低下することを防止することができる。
　本発明の実施の形態に係る液晶滴下装置は、前記シリンジ部と前記ノズルとの間に設けられた第２配管を備え、該第２配管は、保温機能を有する。
　保温機能は、例えば、配管を保温部材で覆ってもよく、あるいは保温チューブを使用してもよく、液晶の流路の周囲に空気層を設けた二重構造の配管を使用してもよい。これにより、シリンジ部とノズルとの間の第２配管の途中で温度が低下することを防止することができる。
　本発明の実施の形態に係る液晶滴下装置は、前記シリンジ部は、保温部材で覆われている。
　これにより、シリンジ部で液晶が一時的に貯留されている間に液晶の温度が低下することを防止することができる。
　１０　液晶瓶
　２０　ヒータボックス
　２１　ヒータ
　３０　三方切替バルブ
　４０　ノズル
　５０、５１、５２、５３　配管
　６０　シリンジ部
　６１、８１　保温部材
　７０　リニアアクチュエータ
　８０　トリップユニット
　９０　ロータリーバルブ

Claims (5)

  1. 　ノズルから液晶を吐出させて基板に滴下する液晶滴下装置であって、
    　液晶を貯留する貯留部と、
    　該貯留部に貯留された液晶を、該液晶の相転移温度を超える温度まで加熱する加熱部と、
    　該加熱部で加熱された液晶を計量充填し、前記ノズルから吐出するシリンジ部と
    　を備える液晶滴下装置。
  2. 　前記貯留部と前記シリンジ部との間に設けられた第１配管を備え、
    　該第１配管は、保温機能を有する請求項１に記載の液晶滴下装置。
  3. 　前記シリンジ部と前記ノズルとの間に設けられた第２配管を備え、
    　該第２配管は、保温機能を有する請求項１又は請求項２に記載の液晶滴下装置。
  4. 　前記シリンジ部は、保温部材で覆われている請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の液晶滴下装置。
  5. 　ノズルから液晶を吐出させて基板に滴下する液晶滴下方法であって、
    　貯留部に貯留された液晶を、該液晶の相転移温度を超える温度まで加熱し、
    　加熱された液晶を計量充填し、前記ノズルから吐出する液晶滴下方法。
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