JP2007148062A - 着色感光性樹脂組成物 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(A)着色剤、(B)バインダー樹脂、(C)光重合性化合物、(D)光重合開始剤、および、(E)溶剤を含有し、(C)光重合性化合物が2,2,2−トリスアクリロイロキシメチルエチルフタル酸を必須成分とすることを特徴とする着色感光性樹脂組成物。前記記載の着色感光性樹脂組成物を用いて形成されたパターン。前記記載のパターンを含むカラーフィルタ。
【選択図】なし
Description
C.I.ピグメントオレンジ13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65、71、73などのオレンジ色の顔料;
C.I.ピグメントレッド9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、209、215、216、224、242、254、255、264、265などの赤色顔料;
C.I.ピグメントブルー15、15:3、15:4、15:6、60などの青色顔料;
C.I.ピグメントバイオレット1、19、23、29、32、36、38などのバイオレット色顔料;
C.I.ピグメントグリーン7、36などの緑色顔料;
C.I.ピグメントブラウン23、25などのブラウン色顔料;
C.I.ピグメントブラック1、7などの黒色顔料などが挙げられる。中でも、C.I.ピグメントイエロー138、139、150、C.I.ピグメントレッド177、209、254、C.I.ピグメントレッドバイオレット23、C.I.ピグメントブルー15:3、15:6およびC.I.ピグメントグリーン7、36からなる群から選ばれる少なくとも一種の顔料を含有していることが好ましい。
染料としては、油溶性染料、酸性染料、酸性染料のアミン塩や酸性染料のスルホンアミド誘導体などが挙げられる。
前記の染料としては、例えば、C.I.ソルベントイエロー4(以下、C.I.ソルベントイエローの記載を省略し、番号のみの記載とする。他の染料種および色相についても同様に省略して記載する。)、14、15、23、24、38、62、63、68、82、94、98、99、162、C.I.ソルベントレッド45、49、C.I.ソルベントオレンジ2、7、11、15、26、56、C.I.ソルベントブルー35、37、59、67などが挙げられる。またC.I.アシッド染料としてC.I.アシッドイエロー17、29、40、76、C.I.アシッドレッド91、92、97、114、138、151、C.I.アシッドオレンジ51、63、C.I.アシッドブルー80、83、90、C.I.アシッドグリーン9、16、25、27などの染料が例示される。
D−(SO3-)m{(CnH2n+1)2N+H2}m (ii)
D−(SO3-)m{(CnH2n+1)3N+H}m (iii)
D−(SO3-)m{(CnH2n+1)4N+}m (iv)
D−(SO3-)m(CeH2e+1OCfH2fN+H3)m (v)
D−(SO3-)m{(CnH2n+1)(PhCH2)2N+H}m (vi)
D−(SO3-)m{(CnH2n+1)Py+}m (vii)
D−[{SO2NH(CnH2n+1)}p][(SO3L)q] (viii)
D−[{SO2NH(CeH2e+1OCfH2f)}p][(SO3L)q](ix)
mは、1以上20以下の整数を表す。
nは、1以上20以下の整数を表す。
eおよびfは、それぞれ独立に、1以上10以下の整数を表す。
Phは、フェニル基を表す。
Pyは、窒素原子でCnH2n+1につながるピリジン環残基またはメチルピリジン環残基を表す。
pは、1以上8以下の整数を表す。
qは、0以上8以下の整数を表す。
Lは、水素原子または一価の陽イオンを表す。]
mは、好ましくは1以上10以下の整数、より好ましくは1以上8以下の整数を表す。
nは、好ましくは1以上10以下の整数、より好ましくは1以上8以下の整数を表す。
eおよびfは、それぞれ独立に、好ましくは1以上8以下の整数、より好ましくは1以上6以下の整数を表す。
Pyは、好ましくはメチルピリジン環残基を表す。
pは、好ましくは1以上6以下の整数、より好ましくは1以上5以下の整数を表す。
qは、好ましくは0以上6以下の整数、より好ましくは0以上5以下の整数を表す。
Lにおける一価の陽イオンとしては、例えば、リチウムイオン、ナトリウムイオン、カリウムイオン、(C2H5)3HN+などの4級アンモニウムイオンなどが挙げられ、好ましくはナトリウムイオンが挙げられる。
前記のアルキル基、アルケニル基、アリール基およびアラルキル基は、無置換でも、置換基を有していてもよい。
R31〜R34は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜4のアルキル基を表す。]
イソプロピル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、2−エチルブチル基、2−エチルペンチル基、2−エチルヘキシル基、2−エチルヘプチル基、2−エチルオクチル基、2−エチルノニル基、2−エチルデシル基などの分岐状アルキル基;
シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基などの環状アルキル基が挙げられる。
なお、前記のアルキル基は、酸素原子をエーテル結合の形で含んでもよい。前記の酸素原子をエーテル結合の形で含むアルキル基としては、メトキシメチレン基、メトキシエチレン基、エトキシエチレン基、ブトキシエチレン基、ブトキシブチレン基などが挙げられる。
R30としては、好ましくはメチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、イソプロピル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、2−エチルブチル基、2−エチルペンチル基、2−エチルヘキシル基、2−エチルヘプチル基、2−エチルオクチル基が挙げられ、より好ましくはイソプロピル基、tert−ブチル基、2−エチルブチル基、2−エチルペンチル基、2−エチルヘキシル基が挙げられる。
R31〜R34として、水素原子、メチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、イソプロピル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子などが挙げられ、好ましくは水素原子、メチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、イソプロピル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、フッ素原子、塩素原子が挙げられる。
青色画素を形成するには、例えば、好ましくは式(16)の染料、C.I.アシッドブルー90およびC.I.ソルベントブルー67の組合せが選択できる。
緑色画素を形成するには、例えば、好ましくはC.I.ソルベントブルー67、C.I.アシッドグリーン9、C.I.アシッドグリーン16、C.I.ソルベントイエロー82およびC.I.ソルベントイエロー162の組合せが選択できる。
赤、青および緑の染料の組合せは上記の組合せに限られるものではなく、目的とする画素の分光スペクトルに合わせて適宜で各染料を組合せることができる。
(G)光重合開始助剤としては、アミン系化合物、アルコキシアントラセン系化合物、チオキサントン系化合物などが挙げられる。
前記のアミン系化合物としては、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸2−ジメチルアミノエチル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(エチルメチルアミノ)ベンゾフェノンなどが挙げられ、中でも4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。
前記の溶剤は、それぞれ単独でも2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
これらの界面活性剤は、単独でも2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
2−ヒドロキシ−4−オクチルオキシベンゾフェノンなどのベンゾフェノン系;
2,4−ジ−tert−ブチルフェニル−3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシベンゾエートなどのベンゾエート系;
2−(4,6−ジフェニル−1,3,5−トリアジン−2−イル)−5−ヘキシルオキシフェノールなどのトリアジン系などが挙げられる。
前記の有機アミン化合物としては、例えば、n―プロピルアミン、イソプロピルアミン、n−ブチルアミン、イソブチルアミン、sec−ブチルアミン、tert−ブチルアミン、n−ペンチルアミン、n−ヘキシルアミン、n−ヘプチルアミン、n−オクチルアミン、n−ノニルアミン、n−デシルアミン、n−ウンデシルアミン、n−ドデシルアミンなどのモノアルキルアミン類;
シクロヘキシルアミン、2−メチルシクロヘキシルアミン、3−メチルシクロヘキシルアミン、4−メチルシクロヘキシルアミンなどのモノシクロアルキルアミン類;
メチルエチルアミン、ジエチルアミン、メチルn−プロピルアミン、エチルn−プロピルアミン、ジn−プロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ジn−ブチルアミン、ジイソブチルアミン、ジsec−ブチルアミン、ジtert−ブチルアミン、ジn−ペンチルアミン、ジn−ヘキシルアミンなどのジアルキルアミン類;
メチルシクロヘキシルアミン、エチルシクロヘキシルアミンなどのモノアルキルモノシクロアルキルアミン類;
ジシクロヘキシルアミンなどのジシクロアルキルアミン類;
ジメチルエチルアミン、メチルジエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチルn−プロピルアミン、ジエチルn−プロピルアミン、メチルジn−プロピルアミン、エチルジn−プロピルアミン、トリn−プロピルアミン、トリイソプロピルアミン、トリn−ブチルアミン、トリイソブチルアミン、トリsec−ブチルアミン、トリtert−ブチルアミン、トリn−ペンチルアミン、トリn−ヘキシルアミンなどのトリアルキルアミン類;
ジメチルシクロヘキシルアミン、ジエチルシクロヘキシルアミンなどのジアルキルモノシクロアルキルアミン類;
メチルジシクロヘキシルアミン、エチルジシクロヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミンなどのモノアルキルジシクロアルキルアミン類;
2−アミノエタノール、3−アミノ−1−プロパノール、1−アミノ−2−プロパノール、4−アミノ−1−ブタノール、5−アミノ−1−ペンタノール、6−アミノ−1−ヘキサノールなどのモノアルカノールアミン類;
4−アミノ−1−シクロヘキサノールなどのモノシクロアルカノールアミン類;
ジエタノールアミン、ジn−プロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、ジn−ブタノールアミン、ジi−ブタノールアミン、ジn−ペンタノールアミン、ジn−ヘキサノールアミンなどのジアルカノールアミン類;
ジ(4−シクロヘキサノール)アミンなどのジシクロアルカノールアミン類;
トリエタノールアミン、トリn−プロパノールアミン、トリイソプロパノールアミン、トリn−ブタノールアミン、トリイソブタノールアミン、トリn−ペンタノールアミン、トリn−ヘキサノールアミンなどのトリアルカノールアミン類;
トリ(4−シクロヘキサノール)アミンなどのトリシクロアルカノールアミン類;
3−アミノ−1,2−プロパンジオール、2−アミノ−1,3−プロパンジオール、4−アミノ−1,2−ブタンジオール、4−アミノ−1,3−ブタンジオール、3−ジメチルアミノ−1,2−プロパンジオール、3−ジエチルアミノ−1,2−プロパンジオール、2−ジメチルアミノ−1,3−プロパンジオール、2−ジエチルアミノ−1,3−プロパンジオールなどのアミノアルカンジオール類;
4−アミノ−1,2−シクロヘキサンジオール、4−アミノ−1,3−シクロヘキサンジオールなどのアミノシクロアルカンジオール類;
1−アミノシクロペンタノンメタノール、4−アミノシクロペンタノンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカノンメタノール類;
1−アミノシクロヘキサノンメタノール、4−アミノシクロヘキサノンメタノール、4−ジメチルアミノシクロペンタンメタノール、4−ジエチルアミノシクロペンタンメタノール、4−ジメチルアミノシクロヘキサンメタノール、4−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカンメタノール類;
β−アラニン、2−アミノ酪酸、3−アミノ酪酸、4−アミノ酪酸、2−アミノイソ酢酸、3−アミノイソ酢酸、2−アミノ吉草酸、5−アミノ吉草酸、6−アミノカプロン酸、1−アミノシクロプロパンカルボン酸、1−アミノシクロヘキサンカルボン酸、4−アミノシクロヘキサンカルボン酸などのアミノカルボン酸類;
アニリン、o−メチルアニリン、m−メチルアニリン、p−メチルアニリン、p−エチルアニリン、p−n−プロピルアニリン、p−イソプロピルアニリン、p−n−ブチルアニリン、p−tert−ブチルアニリン、1−ナフチルアミン、2−ナフチルアミン、N,N−ジメチルアニリン、N,N−ジエチルアニリン、p−メチル−N,N−ジメチルアニリンなどの芳香族アミン類;
o−アミノベンジルアルコール、m−アミノベンジルアルコール、p−アミノベンジルアルコール、p−ジメチルアミノベンジルアルコール、p−ジエチルアミノベンジルアルコールなどのアミノベンジルアルコール類;
o−アミノフェノール、m−アミノフェノール、p−アミノフェノール、p−ジメチルアミノフェノール、p−ジエチルアミノフェノールなどのアミノフェノール類;
m−アミノ安息香酸、p−アミノ安息香酸、p−ジメチルアミノ安息香酸、p−ジエチルアミノ安息香酸などのアミノ安息香酸類などが挙げられる。
こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸などの脂肪族多価カルボン酸類;
ヘキサヒドロフタル酸、3,4−ジメチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸、ヘキサヒドロテレフタル酸、1,2,4−シクロペンタントリカルボン酸、1,2,4−シクロヘキサントリカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸などの脂環族多価カルボン酸類などが挙げられる。
無水イタコン酸、無水こはく酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、無水マレイン酸、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物などの脂肪族多価カルボン酸無水物類;
無水ヘキサヒドロフタル酸、3,4−ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、1,2,4−シクロペンタントリカルボン酸無水物、1,2,4−シクロヘキサントリカルボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、無水ハイミック酸、無水ナジン酸などの脂環族多価カルボン酸無水物類;
エチレングリコールビストリメリテイト酸、グリセリントリストリメリテイト無水物などのエステル基含有カルボン酸無水物類などが挙げられる。
基板としては、特に限定されないが、ガラス板、プラスチックス板、アルミ板、撮像素子用シリコンウエハ等の電子部品の基板、さらには透明樹脂板、樹脂フィルム、ブラウン管表示面、撮像感の受光面、CCD、BBD、CID、BASIS等の固体撮像素子が形成されたウエハー、薄膜半導体を用いた密着型イメージセンサ、液晶ディスプレイ面、カラー電子写真用感光体、エレクトロクロミィー(EC)表示装置の基板等が挙げられる。また、基板にカラーフィルタ層との接着性を向上させるために高密着処理を施すことが好ましい。具体的には、基板上に予めシランカップリング剤等で薄く塗布した後に着色感光性樹脂組成物のパターンを形成するか、あるいは予め着色感光性樹脂組成物中にシランカップリング剤を含有させてもよい。
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよびガス導入管を備えた1Lのフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート333gが導入された。その後、窒素ガスがガス導入管を通ってフラスコ内に導入されて、フラスコ内雰囲気が窒素ガスに置換された。その後、フラスコ内の溶液が100℃に昇温された後、ジシクロペンタニルメタクリレート(FA−513M;日立化成(株)製)22.0g(0.10モル)、ベンジルメタクリレート70.5g(0.40モル)、メタクリル酸43.0g(0.5モル)、アゾビスイソブチロニトリル3.6gおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート164gからなる混合物が、滴下ロートを用いて2時間かけてフラスコに滴下され、滴下完了後さらに100℃で5時間撹拌が続けられた。
得られた樹脂B1のポリスチレン換算重量平均分子量は9,000であった。
装置;HLC-8120GPC(東ソー(株)製)
カラム;TSK−GELG2000HXL
カラム温度;40℃
溶媒;THF
流速;1.0ml/min
被検液固形分濃度;0.001〜0.01質量%
注入量;50μl
検出器;RI
校正用標準物質;TSK STANDARD POLYSTYRENE F−40、F−4、F−1、A−2500、A−500(東ソー(株)製)
(A−1)着色剤:C.I.ピグメントブルー15:6
(A−2)着色剤:C.I.ピグメントバイオレット23
(B−1)樹脂B1(固形分38.5質量%のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液)
(C−1)光重合性化合物:DPHA(日本化薬製)
(C−2)光重合性化合物:2,2,2−トリスアクリロイロキシメチルエチルフタル酸(新中村化学製)
(C−3)光重合性化合物:2,2,2−トリスアクリロイロキシメチルエチルコハク酸(新中村化学製)
(D−1)光重合開始剤:2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−ピペロニル−1,3,5−トリアジン
(D−2)光重合開始剤:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン
(G−1)光重合開始助剤:4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
(E−1)溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
(E−2)溶剤:3−エトキシプロピオン酸エチル
(F−1)メガファックF475(大日本インキ化学工業(株)製)
〔着色感光性樹脂組成物1の調製〕
(A−1) 4.968質量部
(A−2) 1.242質量部
アクリル系分散剤 2.174質量部
(B−1) 16.569質量部
(C−2) 2.126質量部
(D−1) 0.425質量部
(D−2) 0.510質量部
(G−1) 0.170質量部
(E−1) 63.610質量部
(E−2) 8.200質量部
(F−1) 0.005質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物1を得た。
次にガラス(#1737;コーニング)上に、スミレジストPR−1300Y−PG(住友化学(株)製)をスピンコートし、100℃で1分間加熱して揮発成分を除去し、膜厚0.5μmの樹脂層を形成した。次いで、このガラスを230℃で15分間加熱して樹脂層を硬化させ、平坦化被膜付き支持体を形成した。この支持体上に、上記で得た着色感光性樹脂組成物(赤色)をスピンコート法で塗布した後、100℃3分間で揮発成分を揮発させて着色感光性樹脂組成物膜を形成した。冷却後、この着色感光性樹脂組成物膜にフォトマスクを介してi線〔波長365nm〕を照射して露光した。i線の光源には超高圧水銀ランプを用い、平行光としてから照射した。照射光量は150mJ/cm2とした。フォトマスクとしては、線幅3μm、4μm、5μm、6μm、7μm、8μm、9μm、10μm、20μm、30μm、40μm、50μmおよび100μmの線状の色画素を形成するためのフォトマスクを用いた。次いで露光後のガラス基板〔表面には着色感光性樹脂組成物膜が形成されている。〕を23℃の現像液(CIS DEVELOPER;ENF Thchnology(株)製)に80秒間浸漬して現像し、純水で洗浄し、ラインアンドスペースパターンをパターンニングしたガラス基板を得た。
上記で得た基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)は99.9%であった。
また、シリコンウエハ上に、スミレジストPR−1300Y−PG(住友化学(株)製)をスピンコートし、100℃で1分間加熱して揮発成分を除去し、膜厚0.5μmの樹脂層を形成した。次いで、このシリコンウエハを230℃で15分間加熱して樹脂層を硬化させ、平坦化被膜付き支持体を形成した。この支持体上に、先に得られた着色感光性樹脂組成物1がスピンコート法により塗布され、100℃で1分間加熱することにより揮発成分が除去されて着色感光性樹脂組成物層が形成された。次いで得られた着色感光性樹脂組成物層に、露光機(Nikon NSR i9C;ニコン(株)製)を用いてマスクパターン(2μmの正方ピクセルが市松模様に形成されている。)を介してi線の照射が、20〜310msecにわたり、10msec間隔で30箇所に段階で行われたのち、露光された支持体ごとが、現像液(CIS DEVELOPER;ENF Thchnology(株)製)中に23℃で60秒間浸漬されて、現像が行われた。現像後、水洗し、乾燥後、支持体上に、線幅2.0μmで厚みが0.7μmの市松模様状のパターンで形成された画素を有するカラーフィルタを得た。
パターンの断面を走査型電子顕微鏡(S−4500;(株)日立製作所製)で観察したところ、現像溶解部に残渣の付着がなく、密着性良好なパターンが得られた。
〔着色感光性樹脂組成物2の調製〕
実施例1の(C−2)を(C−3)に変更する以外は、実施例1と同様に混合して着色感光性樹脂組成物2を得た。
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物3に変更する以外は実施例1と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)を測定した結果、98.8%であった。
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物3に変更する以外は実施例1と同様にして、パターンの断面を走査型電子顕微鏡で観察したところ、パターンに一部剥離が見られ、現像溶解部に残渣の付着がみられた。
比較例2
実施例1の(C−2)を(C−1)に変更する以外は、実施例1と同様に混合して着色感光性樹脂組成物3を得た。
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物3に変更する以外は実施例1と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)を測定した結果、98%であった。
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物3に変更する以外は実施例1と同様にして、パターンの断面を走査型電子顕微鏡で観察したところ、パターンの密着性は良好であるが、現像溶解部に残渣の付着がみられた。
Claims (4)
- (A)着色剤、(B)バインダー樹脂、(C)光重合性化合物、(D)光重合開始剤、および、(E)溶剤を含有し、(C)光重合性化合物が2,2,2−トリスアクリロイロキシメチルエチルフタル酸を必須成分とすることを特徴とする着色感光性樹脂組成物。
- 請求項1に記載の着色感光性樹脂組成物を用いて形成されたパターン。
- 請求項2に記載のパターンを含むカラーフィルタ。
- 請求項3に記載されたカラーフィルタを具備するイメージセンサ。
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