JP2007144801A - 液体吐出装置の駆動方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電アクチュエータ7の任意の圧電変形領域8に、圧電セラミック層6の分極時に印加された電界と逆極性の駆動電圧−VH1を印加して、前記圧電変形領域8を、厚み方向に撓み変形させて、対応する液滴吐出部4の、加圧室2の容積を変化させることによって、連通するノズル3を通して液滴を吐出させる。
【選択図】図1
Description
(A) 液体が充てんされる加圧室と、前記加圧室に連通し、加圧室内の液体を、液滴として吐出させるためのノズルとを有する液滴吐出部を、面方向に複数個、配列させて形成した基板と、
(B) 前記基板の、複数個の加圧室を覆う大きさを有すると共に、厚み方向に一定の電界を印加しながら分極処理された、少なくとも1層の圧電セラミック層を含み、前記基板に積層された板状の圧電アクチュエータと、
を備えると共に、前記圧電アクチュエータが、個々の加圧室に対応して配設され、個別に電圧が印加されることによって、個別に、厚み方向に撓み変形する複数の圧電変形領域と、前記圧電変形領域を囲む拘束領域とに区画された液体吐出装置の、前記圧電アクチュエータの任意の圧電変形領域に、圧電セラミック層の分極時に印加された電界と逆極性の駆動電圧を印加して、前記圧電変形領域を、厚み方向に撓み変形させて、振動させることで、対応する液滴吐出部の、加圧室の容積を変化させて、前記加圧室内の液滴を、連通するノズルを通して、液滴として吐出させることを特徴とする液体吐出装置の駆動方法である。
IC=I(002)/(I(002)+I(200)) (1)
によって求められる、セラミック材料のC軸配向度ICが、駆動後に、駆動前の初期状態の1〜1.1倍の範囲内を維持する請求項1記載の液体吐出装置の駆動方法である。
請求項4記載の発明は、待機時には、駆動電圧をオフにして、圧電変形領域の撓み変形を解除した状態を維持することで、加圧室の容積を一定に維持しておき、液滴の吐出時には、前記圧電変形領域に、
(1) 圧電セラミック層の分極時に印加された電界と逆極性の駆動電圧を印加して、前記圧電セラミック層を、面方向に伸長させることで、圧電変形領域を、加圧室の方向と反対方向に撓み変形させて、対応する液滴吐出部の、加圧室の容積を増加させた後、
(2) 再び駆動電圧をオフにして、圧電変形領域の撓み変形を解除させて、加圧室の容積を減少させて待機状態に戻す、
駆動電圧波形を印加して、前記圧電変形領域を、厚み方向に振動させることで、前記加圧室内の液体を、連通するノズルを通して、液滴として吐出させる請求項1記載の液体吐出装置の駆動方法である。
(i) 厚み方向に、圧電セラミック層の分極時に印加された電界と逆極性の電圧が印加されることで面方向に伸長する、圧電変形領域に対応した活性領域と、拘束領域に対応した非活性領域とに区画された1層の圧電セラミック層と、
(ii) 前記圧電セラミック層の、加圧室側の面に積層されて、前記活性領域の、面方向の伸長によって厚み方向に撓み変形する振動板と、
を備えており、前記圧電セラミック層の活性領域に駆動電圧を印加して面方向に伸長させることで、前記圧電アクチュエータの圧電変形領域を、加圧室の方向と反対方向に撓み変形させる請求項1〜4のいずれかに記載の液体吐出装置の駆動方法である。
(I) 厚み方向に、圧電セラミック層の分極時に印加された電界と逆極性の電圧が印加されることで面方向に伸長する、圧電変形領域に対応した活性領域と、拘束領域に対応した非活性領域とに区画された第1の圧電セラミック層と、
(II) 前記第1の圧電セラミック層の、加圧室側の面に積層されて、厚み方向に電圧が印加されることで、面方向に収縮する第2の圧電セラミック層と、
を備えており、前記第1の圧電セラミック層の活性領域に駆動電圧波形を印加して面方向に伸長させるのと同期させて、前記第2の圧電セラミック層を面方向に収縮させることで、前記圧電アクチュエータの圧電変形領域を、加圧室の方向と反対方向に撓み変形させる請求項1〜4のいずれかに記載の液体吐出装置の駆動方法である。
IC=I(002)/(I(002)+I(200)) (1)
によって求められる、セラミック材料の結晶状態を示すC軸配向度ICを、駆動後に、駆動前の初期状態の、1〜1.1倍の範囲内に維持することができる。
図2、図3を参照して、この例の液体吐出装置1は、先に説明したように、インクが充てんされる加圧室2と、前記加圧室2に連通し、加圧室2内のインクを、インク滴として吐出させるためのノズル3とを有する複数の液滴吐出部4を、面方向に配列させて形成した基板5と、前記基板5の、複数の加圧室2を覆う大きさを有する1層の圧電セラミック層6を含み、前記基板5上に積層された、板状の圧電アクチュエータ7とを備えている。
また、図の例の圧電アクチュエータ7は、圧電セラミック層6の、両図において上面に、加圧室2ごとに個別に形成されて、圧電変形領域8を区画する個別電極10と、前記圧電セラミック層6の下面に、順に積層された、共に、複数の加圧室2を覆う大きさを有する、共通電極11と振動板12とを備えた、いわゆるユニモルフ型の構成を有している。
本発明の駆動方法では、制御手段14からの制御信号によって、駆動回路13を駆動させて、任意の個別電極10と、共通電極11との間に、前記分極方向と逆方向(図1において(−)方向)の電圧が印加されて、両電極10、11間に挟まれた、圧電変形領域8に対応する活性領域15が、図3に横向きの白矢印で示すように、層の面方向に伸長される。
そうすると、加圧室2の容積が一定量だけ増加するため、ノズル3内のインクメニスカスは、その容積の増加分だけ、前記加圧室2の方向に引き込まれる。その際の、ノズル3内でのインクの体積速度は、図1のt1とt2との間の部分に示すように、一旦、(−)側に大きくなった後、徐々に小さくなって、やがて0に近づく。これは、太線の実線で示す、インクの体積速度の固有振動周期T1の、ほぼ半周期分に相当する。
そうすると、ノズル3内のインクは、インクメニスカスが、加圧室2の側に最も大きく引き込まれた状態(t2の時点の、体積速度が0の状態)から、逆に、ノズル3の先端方向へ戻ろうとしているところに、圧電変形領域8の撓み変形を解除させて、加圧室2の容積を減少させることによって、前記加圧室2から押し出されたインクの圧力が加わることになるため、ノズル3の先端側の方向へ加速されて、前記ノズル3の外方へ大きく突出する。その際の、ノズル3内でのインクの体積速度は、図1のt2とt3との間の部分に示すように、一旦、(+)側に大きくなった後、徐々に小さくなって、やがて0に近づく。これにより、先に説明したインク柱が形成される。
そうすると、インクが、ノズル3の外方へ最も大きく突出した状態(t3の時点の、体積速度が0の状態)から、逆に、加圧室2の方向へ戻ろうとしているところに、圧電変形領域8を加圧室2の方向と反対方向に撓み変形させて、加圧室2の容積を再び増加させたことによる、マイナスの圧力が加わることによって、ノズル3の外方へ伸び切ったインク柱が切り離されて、1滴目のインク滴が生成される。
そうすると、先の、t2からt3の間でのインクの挙動と同じメカニズムによって、インクが、再び、ノズルの外方へ大きく突出して、インク柱が形成される。その際の、ノズル3内でのインクの体積速度は、図1のt4とt5との間の部分に示すように、一旦、(+)側に大きくなった後、徐々に小さくなって、やがて0に近づく。
IC=I(002)/(I(002)+I(200)) (1)
によって求められる、セラミック材料の結晶状態を示すC軸配向度ICが、駆動後に、駆動前の初期状態の1〜1.1倍の範囲内となるように、維持することができる。
圧電アクチュエータ7は、個々の加圧室2に対応して配設され、個別に電圧が印加されることによって、個別に、厚み方向に撓み変形する複数の圧電変形領域8と、前記圧電変形領域8を囲んで配設され、前記基板5に固定されることで変形が抑制された拘束領域9とに区画されている。
前記駆動方法によれば、第2の圧電セラミック層17の非活性領域20には、活性領域19の、面方向への収縮時に、引張応力が加えられる。しかし、前記収縮時に、非活性領域20には、活性領域19に印加しているのと同じ、分極方向と同方向の電圧が印加されることから、前記非活性領域20が、引張方向にクリープ変形することが防止される。そのため、前記非活性領域20がクリープ変形して、撓み変形を解除した静止状態の圧電変形領域8が、十分に、まっすぐに伸びきるのを妨げるおそれがない。
次に、ノズル3でのインクの体積速度が限りなく0に近づいたt2の時点で、駆動電圧VP1を放電(VP1=0)して、活性領域15の、面方向の伸長を解除させると共に、駆動電圧VP2を放電(VP2=0)して、活性領域19の、面方向の収縮を解除させることによって、圧電変形領域8の撓み変形を解除させる。
そうすると、先の、t2からt3の間でのインクの挙動と同じメカニズムによって、インクが、再び、ノズルの外方へ大きく突出して、インク柱が形成される。その際の、ノズル3内でのインクの体積速度は、図4のt4とt5との間の部分に示すように、一旦、(+)側に大きくなった後、徐々に小さくなって、やがて0に近づく。
IC=I(002)/(I(002)+I(200)) (1)
によって求められる、セラミック材料の結晶状態を示すC軸配向度ICが、駆動後に、駆動前の初期状態の1〜1.1倍の範囲内となるように、その結晶状態を維持することができる。
(圧電アクチュエータの作製)
粒径0.5〜3.0μmのチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電セラミック粉体に対して、アクリル系樹脂エマルションと、純水とを配合し、平均粒径10mmのナイロンボールと共に、ボールミルを用いて30時間、混合してスラリーを調製した。次に、前記スラリーを用いて、引き上げ法によって、厚み30μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム上に、圧電セラミック層6、振動板12のもとになる、厚み35〜37μmのグリーンシートを形成した。
厚み100μmのステンレス箔を、金型プレスを用いて打ち抜き加工して、長さ2mm×幅0.18mmの加圧室2が、前記個別電極10の形成ピッチに合わせて、90個ずつ2列に配列された第1基板を作製した。また、厚み100μmのステンレス箔を、同じく金型プレスを用いて打ち抜き加工して、インクジェットプリンタのインク補給部から、各加圧室にインクを供給するための共通供給路と、加圧室2とノズル3とを繋ぐ流路とが、加圧室2の配列に対応させて配列された第2基板を作製した。さらに、厚み40μmのステンレス箔をエッチング加工して、ノズル3が、加圧室2の配列に対応させて配列された第3基板を作製した。
実施例で製造した液体吐出装置1の、圧電アクチュエータ7の圧電変形領域8に、本発明のうち、引き打ち式の駆動方法における電圧のモデルとしての、周波数100Hz、振幅0〜−20Vの三角波、または、従来の、引き打ち式の駆動方法における電圧のモデルとしての、周波数100Hz、振幅0〜+20Vの三角波を印加して、10×108サイクル駆動させた後、装置から圧電セラミック層6を取り出し、個別電極10を除去して露出させた活性領域15と非活性領域16の表面に、直径100μmの円形X線ビームをスポット照射して、ブラッグ角2θ=43〜46°の間のX線回折スペクトルを測定した。
その結果、従来の、引き打ち式の駆動方法で駆動させた際には、活性領域15のC軸配向度ICが、初期値の1.5倍、非活性領域16のC軸配向度ICが、初期値の0.7倍と、いずれも、初期値に対して大きく変化しており、結晶状態が変化していることが判った。これに対し、本発明の、引き打ち式の駆動方法で駆動させた際には、活性領域15のC軸配向度ICが、初期値の1.07倍、非活性領域16のC軸配向度ICが、初期値の1.05倍であってほとんど変化しておらず、初期の結晶状態が維持されていることが確認された。
1 液体吐出装置
2 加圧室
3 ノズル
4 液滴吐出部
5 基板
6 (第1の)圧電セラミック層
7 圧電アクチュエータ
8 圧電変形領域
9 拘束領域
12 振動板
15 活性領域
16 非活性領域
17 第2の圧電セラミック層
Claims (6)
- (A) 液体が充てんされる加圧室と、前記加圧室に連通し、加圧室内の液体を、液滴として吐出させるためのノズルとを有する液滴吐出部を、面方向に複数個、配列させて形成した基板と、
(B) 前記基板の、複数個の加圧室を覆う大きさを有すると共に、厚み方向に一定の電界を印加しながら分極処理された、少なくとも1層の圧電セラミック層を含み、前記基板に積層された板状の圧電アクチュエータと、
を備えると共に、前記圧電アクチュエータが、個々の加圧室に対応して配設され、個別に電圧が印加されることによって、個別に、厚み方向に撓み変形する複数の圧電変形領域と、前記圧電変形領域を囲む拘束領域とに区画された液体吐出装置の、前記圧電アクチュエータの任意の圧電変形領域に、圧電セラミック層の分極時に印加された電界と逆極性の駆動電圧を印加して、前記圧電変形領域を、厚み方向に撓み変形させて、振動させることで、対応する液滴吐出部の、加圧室の容積を変化させて、前記加圧室内の液滴を、連通するノズルを通して、液滴として吐出させることを特徴とする液体吐出装置の駆動方法。 - 圧電セラミック層は、PZT系の圧電セラミック材料によって形成されていると共に、圧電変形領域に対応した活性領域と、拘束領域に対応した非活性領域とに区画されており、前記両領域は、共に、X線回折スペクトルのうち[200]面の回折ピークの強度I(200)と、[002]面の回折ピークの強度I(002)とから、式(1):
IC=I(002)/(I(002)+I(200)) (1)
によって求められる、セラミック材料のC軸配向度ICが、駆動後に、駆動前の初期状態の1〜1.1倍の範囲内を維持する請求項1記載の液体吐出装置の駆動方法。 - 圧電アクチュエータの圧電変形領域に、前記駆動電圧を印加して駆動させる際の、電界の強さE(kV/cm)を、圧電セラミック層の抗電界の強さEc(kV/cm)の0.9倍以下に設定する請求項1記載の液体吐出装置の駆動方法。
- 待機時には、駆動電圧をオフにして、圧電変形領域の撓み変形を解除した状態を維持することで、加圧室の容積を一定に維持しておき、液滴の吐出時には、前記圧電変形領域に、
(1) 圧電セラミック層の分極時に印加された電界と逆極性の駆動電圧を印加して、前記圧電セラミック層を、面方向に伸長させることで、圧電変形領域を、加圧室の方向と反対方向に撓み変形させて、対応する液滴吐出部の、加圧室の容積を増加させた後、
(2) 再び駆動電圧をオフにして、圧電変形領域の撓み変形を解除させて、加圧室の容積を減少させて待機状態に戻す、
駆動電圧波形を印加して、前記圧電変形領域を、厚み方向に振動させることで、前記加圧室内の液体を、連通するノズルを通して、液滴として吐出させる請求項1記載の液体吐出装置の駆動方法。 - 圧電アクチュエータは、
(i) 厚み方向に、圧電セラミック層の分極時に印加された電界と逆極性の電圧が印加されることで面方向に伸長する、圧電変形領域に対応した活性領域と、拘束領域に対応した非活性領域とに区画された1層の圧電セラミック層と、
(ii) 前記圧電セラミック層の、加圧室側の面に積層されて、前記活性領域の、面方向の伸長によって厚み方向に撓み変形する振動板と、
を備えており、前記圧電セラミック層の活性領域に駆動電圧を印加して面方向に伸長させることで、前記圧電アクチュエータの圧電変形領域を、加圧室の方向と反対方向に撓み変形させる請求項1〜4のいずれかに記載の液体吐出装置の駆動方法。 - 圧電アクチュエータは、
(I) 厚み方向に、圧電セラミック層の分極時に印加された電界と逆極性の電圧が印加されることで面方向に伸長する、圧電変形領域に対応した活性領域と、拘束領域に対応した非活性領域とに区画された第1の圧電セラミック層と、
(II) 前記第1の圧電セラミック層の、加圧室側の面に積層されて、厚み方向に電圧が印加されることで、面方向に収縮する第2の圧電セラミック層と、
を備えており、前記第1の圧電セラミック層の活性領域に駆動電圧波形を印加して面方向に伸長させるのと同期させて、前記第2の圧電セラミック層を面方向に収縮させることで、前記圧電アクチュエータの圧電変形領域を、加圧室の方向と反対方向に撓み変形させる請求項1〜4のいずれかに記載の液体吐出装置の駆動方法。
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JP2003165212A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-10 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッド |
JP2005035295A (ja) * | 2003-06-30 | 2005-02-10 | Kyocera Corp | 圧電インクジェットヘッドの駆動方法 |
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- 2005-11-28 JP JP2005342621A patent/JP2007144801A/ja active Pending
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