JP2006174618A - 圧電アクチュエータ及び液体吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】振動板の上に、共通電極、圧電セラミック層をこの順に形成し、前記圧電セラミック層の表面に複数の駆動電極をマトリックス状に配列してなるとともに、該駆動電極と、前記共通電極の前記駆動電極に対向する対向部位と、前記駆動電極及び前記対向部位で挟持される前記圧電セラミック層の挟持領域と、で形成される変位領域の分極方向が、変位領域間に形成された非変位領域の分極方向と異なることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
2・・・基板
3・・・流路部材
4・・・共通電極
4a・・・共通電極の駆動電極に対向する対向部位
5・・・圧電セラミック層
5a・・・駆動電極及び対向部位で挟持される圧電セラミック層の挟持領域
6・・・駆動電極
7・・・変位素子
7a・・・変位領域
7b・・・非変位領域
Claims (6)
- 基板の上に、一対の電極で圧電体を挟持してなる変位素子をマトリックス状に配置せしめ、一対の電極に電圧を印加することによって前記変位素子を変位させる前記圧電アクチュエータであって、該変位素子の変位によって変形する変位領域間に非変位領域を設け、該非変位領域の圧電セラミック層の分極方向を前記変位領域の圧電セラミック層の分極方向と異なるように分極処理を施してなることを特徴とする圧電アクチュエータ。
- 振動基板の上に、共通電極、圧電セラミック層をこの順に形成し、さらに該圧電セラミック層の表面に複数の駆動電極を形成することによって、該駆動電極と、前記共通電極の前記駆動電極に対向する対向部位と、前記駆動電極及び前記対向部位で挟持される前記圧電セラミック層の挟持領域と、で形成される変位素子を、前記振動板の上に複数配設してなることを特徴とする請求項1記載の圧電アクチュエータ。
- 前記振動板が、圧電体層と内部電極層との積層体であることを特徴とする請求項1又は2記載の圧電アクチュエータ。
- 前記変位領域の分極方向と、前記非変位領域の分極方向とが、略反対であり、前記厚み方向と垂直な方向に対して、記変位領域が伸長する際に前記非変位領域が収縮し、前記変位領域が収縮する際に前記非変位領域が伸長することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
- 複数の液体加圧室と、該複数の液体加圧室にそれぞれ連通する液滴吐出孔と、前記液体加圧室に液体を供給するための液体流路とを具備する流路部材の上に、請求項1〜4のいずれかに記載の圧電アクチュエータを、前記液体加圧室の壁面の一部が前記圧電アクチュエータで形成されるように、且つ前記液体加圧室と前記駆動電極との位置が揃うように取り付け、前記圧電アクチュエータの変位領域が変位することによって前記液体加圧室の容積を増減させ、該液体加圧室に充填された液体を加圧し、前記液滴吐出孔から液滴を吐出させることを特徴とする液体吐出装置。
- 前記液体がインクであって、インクジェットヘッドとして用いられることを特徴とする請求項5記載の液体吐出装置。
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