JP2000141647A - インクジェット記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧電アクチュエータ１０を有するインクジェ
ットヘッド１を備えたインクジェット記録装置に対し
て、簡単な回路構成で容易にインク滴の吐出量を可変に
して、低コストで多階調印刷を行えるようにする。 【解決手段】 圧電アクチュエータ１０を、２つの圧電
素子１１，１２からなるバイモルフ型とし、その２つの
圧電素子１１，１２に互いに独立して電圧を印加するこ
とが可能なように第１及び第２の電極１４，１５をスイ
ッチＳＷ１，ＳＷ２をそれぞれ介してアクチュエータ駆
動用電源９と接続し、コントローラ２０の制御部２１
が、圧電素子１１，１２のうちの１つ又は両方を選択し
て該選択された圧電素子のみに電圧を印加させるように
構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電圧の印加により
圧力室の容積が減少するように変形してノズルからイン
ク滴を記録紙に対して吐出させる圧電アクチュエータを
有するインクジェットヘッドを備えたインクジェット記
録装置に関する技術分野に属する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、この種のインクジェット記録装
置のインクジェットヘッドにおける圧電アクチュエータ
は、例えば特開平６−２３４２１８号公報に示されてい
るように、圧力室に臨設された振動板と、この振動板を
振動させる圧電素子とを備えている。この振動板は、通
常、電極を兼ねており、圧電素子の振動板とは反対側に
もう１つの電極が設けられ、これら両電極間に電圧が印
可されることで、圧電アクチュエータの幅方向（圧電素
子の幅方向）中央部が圧力室側に突出するように変形し
（たわみ）、このことにより、圧力室の容積が減少して
ノズルからインク滴を記録紙に対して吐出させるように
なっている。

【０００３】また、例えば特公昭５３−１２１３８号公
報に示されているように、２つの圧電素子が圧電アクチ
ュエータの厚み方向（圧電素子の厚み方向）に積層され
た所謂バイモルフ型の圧電アクチュエータが知られてお
り、このものは、常に２つの圧電素子に同時に同じ電圧
を印可して一方の圧電素子を横方向に収縮させる一方、
他方の圧電素子を横方向に伸張させることにより、圧電
アクチュエータがその厚み方向にたわむように構成され
ている。尚、このバイモルフ型の圧電アクチュエータに
対し、圧電素子が１つのものはユニモルフ型といわれて
いる。

【０００４】一方、近年、例えば特開平１０−８１０１
２号公報に示されているように、同じノズルから吐出量
が互いに異なる複数のインク滴を吐出させるようにした
インクジェット記録装置が提案されており、この記録装
置では、複数種類の駆動パルスを有する駆動信号を発生
させ、この駆動信号のいずれか１種類又は複数種類の駆
動パルスを、上記ユニモルフ型の圧電アクチュエータに
選択的に印加して該圧電アクチュエータを作動させるよ
うにしている。このようにすることで、同じノズルから
吐出量が互いに異なるインク滴を吐出させるようにする
ことができ、記録紙上に記録されるドットの径を可変に
制御して多階調印刷を行うことができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記提案例
（特開平１０−８１０１２号公報）のようにユニモルフ
型の圧電アクチュエータを用いて多階調印刷を行うよう
にすると、インク滴の吐出量に応じて圧電素子に印可す
る電圧パルス波形を可変に構成する必要があり、しか
も、その電圧パルス波形が複雑になる。このため、回路
構成が複雑となってコストアップを招くという問題があ
る。特に電圧を可変に構成する場合には回路の多大なコ
ストアップを招いてしまう。

【０００６】一方、バイモルフ型の圧電アクチュエータ
を用いて多階調印刷を行うことが考えられるが、従来の
ように常に２つの圧電素子に同時に同じ電圧を印可する
構成では、上記ユニモルフ型と同様に、インク滴の吐出
量に応じて電圧やパルス波形を複雑に制御しなければな
らず、回路コストがアップすることに変わりはない。

【０００７】本発明は斯かる点に鑑みてなされたもので
あり、その目的とするところは、圧電アクチュエータを
有するインクジェットヘッドを備えたインクジェット記
録装置に対して、簡単な回路構成で容易にインク滴の吐
出量を可変にして、低コストで多階調印刷を行えるよう
にすることにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明では、圧電アクチュエータを複数の圧電
素子で構成し、その複数の圧電素子に互いに独立して電
圧を印加することが可能な電圧印加手段と、複数の圧電
素子のうちの１つ又は複数に対して選択的に電圧印加手
段により電圧を印加させる制御手段とを備えるようにし
た。

【０００９】具体的には、請求項１の発明では、インク
を収容する圧力室と、該圧力室に連通するノズルと、厚
み方向の一端面が上記圧力室に臨設しかつ電圧の印加に
より圧力室の容積が減少するように変形して上記ノズル
からインク滴を記録紙に対して吐出させる圧電アクチュ
エータとを有するインクジェットヘッドを備えたインク
ジェット記録装置を対象とする。

【００１０】そして、上記圧電アクチュエータは、少な
くとも該圧電アクチュエータの厚み方向に複数の圧電素
子が電極を介して積層されてなり、上記圧電アクチュエ
ータの複数の圧電素子に互いに独立して電圧を印加する
ことが可能なように構成された電圧印加手段と、上記複
数の圧電素子のうちの１つ又は複数を選択して該選択さ
れた圧電素子のみに上記電圧印加手段により電圧を印加
させる制御手段とを備えているものとする。

【００１１】上記の構成により、選択した圧電素子によ
って圧電アクチュエータの変形量（たわみ量）を異なら
せることができ、インク滴の吐出量を可変にすることが
できる。このため、インク滴の吐出量に応じて電圧やパ
ルス波形を複雑に変える必要はなく、電圧を印可させる
圧電素子を選択するだけで済む。また、複数の圧電素子
に電圧を印可することでユニモルフ型よりもたわみ量を
大きくすることができ、逆に、ユニモルフ型と同じたわ
み量を得ようとする場合には、印可する電圧を低くする
ことができる。よって、低コストで多階調印刷を行うこ
とができる。

【００１２】請求項２の発明では、請求項１の発明にお
いて、電圧印加手段は、複数の圧電素子に互いに同じ定
電圧を印加することが可能なように構成されているもの
とする。このことにより、回路構成をより一層簡略化し
つつ、多階調印刷を行うことができる。

【００１３】請求項３の発明では、請求項１の発明にお
いて、圧電アクチュエータの厚み方向中央軸と厚み方向
の中立軸とが略一致しているものとする。

【００１４】このことで、圧電アクチュエータの効率を
高めることができ、比較的低い電圧で大きなたわみ量を
容易に得ることができる。一方、圧電素子の厚みや材料
を互いに等しくする等すれば、容易に圧電アクチュエー
タの厚み方向中央軸と厚み方向の中立軸とを略一致させ
ることができる。

【００１５】請求項４の発明では、請求項１の発明にお
いて、圧電アクチュエータの厚み方向中央軸と厚み方向
の中立軸とが互いに異なるものとする。こうすれば、請
求項３の発明よりも多くの階調数が容易に得られる。

【００１６】請求項５の発明では、請求項１、２、３又
は４の発明において、制御手段は、複数の圧電素子を選
択したときに、該選択した圧電素子毎に電圧印加開始の
タイミングを互いに異ならせるように構成されているも
のとする。

【００１７】この発明により、複数の圧電素子を選択し
たときには、選択した圧電素子が１つの場合よりもイン
ク滴の吐出量は大きくなるが、その際、印加開始のタイ
ミングをずらすので、そのタイミングが同時であるとき
よりも圧電アクチュエータが緩やかに変形して吐出速度
が遅くなる。この結果、選択した圧電素子が１つの場合
と吐出速度を略同じに設定することができ、インク滴の
吐出量に関係なく吐出速度を略一定にすることができ
る。よって、インク滴の着弾位置精度を向上させること
ができる。

【００１８】請求項６の発明では、請求項１、２、３又
は４の発明において、制御手段は、複数の圧電素子を選
択したときに、該選択した圧電素子毎に電圧印加終了の
タイミングを互いに異ならせるように構成されているも
のとする。

【００１９】このことで、圧電アクチュエータが元の状
態に復帰する動作速度が遅くなるので、ノズルから圧力
室内に空気が吸い込まれ難くなり、圧力室に気泡が発生
するのを抑制することができる。よって、次に吐出させ
るインク滴の吐出量をより安定化させることができる。

【００２０】請求項７の発明では、請求項１の発明にお
いて、圧電アクチュエータは、第１及び第２の２つの圧
電素子と、該２つの圧電素子の間に介在された共通電極
と、上記第１の圧電素子の該共通電極と反対側に設けら
れた第１の電極と、上記第２の圧電素子の上記共通電極
と反対側に設けられた第２の電極とを有し、上記第１の
電極における第１の圧電素子との接触面積が上記第２の
電極における第２の圧電素子との接触面積よりも小さく
設定されているものとする。

【００２１】このことにより、第１及び第２の圧電素子
の厚み及び圧電定数が互いに同じでありかつ互いに同じ
定電圧を印加するようにしても、第１及び第２の圧電素
子にそれぞれ単独に電圧を印加させる場合と、両方に電
圧を印可させる場合とでインク滴の吐出量を互いに変え
ることができ、４階調（白色を含む）が得られる。

【００２２】請求項８の発明では、請求項７の発明にお
いて、インクジェットヘッドの圧電アクチュエータとノ
ズルとは、圧力室を挟んで互いに対向するように配設さ
れ、少なくとも第１の電極は、上記ノズルの中心軸線上
から離れた位置に設けられているものとする。

【００２３】このようにすることで、第１の圧電素子に
おけるノズルの中心軸線上の部位には電界が生じず、こ
の部位が元の状態に復帰する速度が遅くなる。この結
果、請求項６の発明と同様に、ノズルから圧力室内への
空気の吸い込み現象が生じ難くなる。

【００２４】請求項９の発明では、請求項１の発明にお
いて、圧電素子の間に介在された電極のうちの１つが、
インクジェットヘッドの圧力室を形成する圧力室形成部
材に取付固定されているものとする。

【００２５】このことで、圧力室形成部材に取付固定さ
れた電極の厚みを他の電極よりも大きくすることで、そ
の強度を確保することができ、圧電アクチュエータを安
定して保持することができる。また、その取付固定され
た電極の厚み方向中央軸と圧電アクチュエータの厚み方
向の中立軸とを略一致させるようにすれば、圧電アクチ
ュエータの効率をより一層高めることができる。

【００２６】請求項１０の発明では、請求項１の発明に
おいて、インクジェットヘッドと記録紙を挟んで対向す
るように配設された対向電極と、上記インクジェットヘ
ッドの圧力室内のインクと上記対向電極との間に電圧を
印加する電源とを備えているものとする。

【００２７】このことにより、インクジェットヘッドと
対向電極との間に静電界がかけられると共に、インクに
電荷が誘起されるので、ノズルから吐出したインク滴は
静電界により加速されながら記録紙に向かって飛翔す
る。このとき、インク滴の吐出量が小さいほどより大き
く加速され、吐出速度（初速度）が小さくても記録紙に
着弾するまでの間の平均速度を速くすることができる。
よって、通常は吐出量が大きいほど吐出速度が速くなる
が、平均速度は吐出量に関係なく一定に近づけることが
でき、インク滴の着弾位置精度を向上させることができ
る。

【００２８】請求項１１の発明では、請求項１の発明に
おいて、圧電アクチュエータの厚みが５μｍ以下に設定
されているものとする。この発明により、圧電素子及び
電極の積層構成が、スパッタ等の工法で精度良くかつ容
易に得られる。

【００２９】

【発明の実施の形態】（実施形態１）図１は、本発明の
実施形態１に係るインクジェット記録装置を示し、この
インクジェット記録装置は、後述の如くインク滴を記録
紙４１に吐出するインクジェットヘッド１を備えてい
る。このインクジェットヘッド１はキャリッジ１８に支
持固定されている。このキャリッジ１８には、図１では
図示を省略するキャリッジモータ２８（図６参照）が設
けられ、このキャリッジモータ２８により上記インクジ
ェットヘッド１及びキャリッジ１８が主走査方向（図１
及び図２に示すＸ方向）に延びるキャリッジ軸１９にガ
イドされてその方向に往復動するようになっている。

【００３０】上記記録紙４１は、図１では図示を省略す
る搬送モータ２６（図６参照）によって回転駆動される
２つの搬送ローラ４２に挟まれていて、この搬送モータ
２６及び各搬送ローラ４２により上記主走査方向と垂直
な副走査方向（図１及び図２に示すＹ方向）に搬送され
るようになっている。

【００３１】上記インクジェットヘッド１は、図２〜図
４に示すように、インクを収容する圧力室４と、該圧力
室４にそれぞれ連通するノズル２と、上記圧力室４を挟
んで該ノズル２と互いに対向するように配設され、厚み
方向の一端面が上記圧力室４に臨設しかつ電圧の印加に
より圧力室４の容積が減少するように変形して上記ノズ
ル２からインク滴を上記記録紙４１に対してそれぞれ吐
出させる圧電アクチュエータ１０とを有している。

【００３２】上記圧力室４は、図２に示すように、イン
クジェットヘッド１の内部に上記主走査方向に延びるよ
うに長溝状に形成されていて、上記副走査方向に互いに
所定間隔をあけて配設されている。この圧力室４の一端
部（図２では右側の端部）には、上記ノズル２がインク
ジェットヘッド１の下面において上記副走査方向に互い
に所定間隔をあけて開口するように設けられている。

【００３３】上記圧力室４の他端部（図２では左側の端
部）にはインク供給路５の一端部がそれぞれ接続され、
この各インク供給路５の他端部は、上記副走査方向に延
びるように設けられたインク供給室３に接続されてい
る。

【００３４】また、上記インクジェットヘッド１は、図
３及び図４に示すように、上記ノズル２が形成されたノ
ズルプレート６と、上記圧力室４及びインク供給路５を
区画形成する区画壁７と、上記アクチュエータ１０とが
順に積層されて構成されている。このノズルプレート６
は、例えば、厚さが１０〜７５μｍであるポリイミド、
ケイ素、クロム、ニッケル、ステンレス、セラミック
ス、樹脂等の薄板からなり、区画壁７は、例えば、最上
部に設けられた厚さが５０〜５００μｍであるステンレ
ス、ケイ素、セラミックス、感光性ガラス等からなる圧
力室形成部材７ａと、トータル厚さが５０〜５００μｍ
である４枚のステンレス、ケイ素、ポリイミド、感光性
ガラス、セラミックス、樹脂等の薄板からなるインク流
路形成部材７ｂとが積層されてなっている。

【００３５】上記圧電アクチュエータ１０は、所謂バイ
モルフ型であって、該圧電アクチュエータ１０の厚み方
向に第１及び第２の圧電素子１１，１２が共通電極１３
を介して積層されてなっている。この第１の圧電素子１
１の上側（共通電極１３と反対側）には第１の電極１４
が、また第２の圧電素子１２の下側（共通電極１３と反
対側）には第２の電極１５がそれぞれ設けられている。
この第２の電極１５は、上記区画壁７の圧力室形成部材
７ａの上面に取付固定されている。上記共通電極１３並
びに第１及び第２の電極１４，１５は全て、例えば厚さ
０．０１〜１μｍの白金板からなっている。

【００３６】上記第１及び第２の圧電素子１１，１２
は、結晶構造が互いに同じＰＺＴ（ジルコル酸チタン酸
鉛）からなっていて、圧電定数は互いに同じに設定され
ているが、厚み及び幅が互いに異なるように形成されて
いる。つまり、第１の圧電素子１１の厚みの方が第２の
圧電素子１２よりも薄く設定され、第１の圧電素子１１
の幅の方が第２の圧電素子１２よりも小さく設定されて
いる。但し、両圧電素子１１，１２の厚みは共に、厚さ
が０．１〜２０μｍ（好ましくは０．５〜５μｍ）に設
定されている。尚、第１の圧電素子１１の幅は圧力室４
の幅よりも小さく設定されていると共に、第１の電極１
４の幅は第１の圧電素子１１と同じに、また共通電極１
３及び第２の電極１５は第２の圧電素子１２と同じにそ
れぞれ設定されている。

【００３７】上記第２の電極１５の下面（区画壁７の圧
力室形成部材７ａへの取付部を除く部分）には、ポリイ
ミド等からなる厚さ０．０５〜０．５μｍの保護層１６
が形成され、この保護層１６により第２の電極１５がイ
ンクにより腐食するのを防止するようにしている。した
がって、圧電アクチュエータ１０は、ここでは、第１及
び第２の圧電素子１１，１２と、共通電極１３と、第１
及び第２の電極１４，１５と、保護層１６とからなって
いて、変形して圧力室４の容積を減少させるもののこと
をいう。そして、この圧電アクチュエータ１０全体の厚
み（上記保護層１６を含む）は５μｍ以下であることが
望ましく、このようにすることで、スパッタ等の工法で
精度良くかつ容易に積層することができる。

【００３８】上記第１及び第２の圧電素子１１，１２は
共に、図５に示すように、上側がマイナスでかつ下側が
プラスとなるように分極され、その分極方向は、図５に
実線の矢印で示すように、上から下向きとなっている。
そして、後述の如く共通電極１３と第１及び第２の電極
１４，１５との間に、該共通電極１３がプラスとなるよ
うに電圧が印可されると、図５に点線の矢印で示すよう
に、電界Ｅが互いに逆方向に生じ、第１の圧電素子１１
は幅方向（副走査方向）に収縮する一方、第２の圧電素
子１２は幅方向に伸張するようになっている。このこと
で、圧電アクチュエータ１０は、その幅方向の略中央部
が圧力室４側に突出するように変形し（たわみ）、上記
圧力室４を収縮させてノズル２からインク滴を吐出させ
るようになっている。また、共通電極１３と第１及び第
２の電極１４，１５のいずれか一方とに電圧を印可して
も、圧電アクチュエータ１０は、その幅方向の略中央部
が圧力室４側に突出するように変形するが、その厚み方
向の変形量（たわみ量）は、共通電極１３と第１及び第
２の電極１４，１５とに電圧をそれぞれ印可したときよ
りも小さくなる。さらに、上記たわみ量は、共通電極１
３と第１の電極１４とに電圧を印可したときの方が共通
電極１３と第２の電極１５とに電圧を印可したときより
も小さくなる。一方、電圧の印加を停止すれば、圧電ア
クチュエータ１０が元の状態に復帰し、圧力室４が膨張
して該圧力室４にインク供給室３からインク供給路５を
経てインクが充填されるようになっている。そして、上
述の如く第１及び第２の圧電素子１１，１２の厚みが互
いに異なっているために、圧電アクチュエータ１０の厚
み方向中央軸と厚み方向の中立軸とは互いに異なってい
る。

【００３９】上記共通電極１３は、定電圧を発生するア
クチュエータ駆動用電源９のプラス端子と接続され、第
１及び第２の電極１４，１５は、アクチュエータ駆動用
電源９の接地されたマイナス端子と第１及び第２のスイ
ッチＳＷ１，ＳＷ２を介してそれぞれ接続されている。
この第１及び第２のスイッチＳＷ１，ＳＷ２は、後述の
如く互いに独立にＯＮ、ＯＦＦされるようになってい
て、その両方がＯＮされれば、上記第１及び第２の圧電
素子１１，１２の両方に互いに同じ定電圧を印加するこ
とが可能なように構成されている。また、いずれか一方
のみがＯＮされれば、ＯＮされた側の圧電素子のみに定
電圧を印加することができるようになっている。すなわ
ち、アクチュエータ駆動用電源９並びに第１及び第２の
スイッチＳＷ１，ＳＷ２は、圧電アクチュエータ１０の
両圧電素子１１，１２に互いに独立して電圧を印加する
ことが可能な電圧印加手段を構成している。上記第１及
び第２のスイッチＳＷ１，ＳＷ２は共に、例えばトラン
ジスタ等からなっていて、このインクジェット記録装置
の駆動制御を行うコントローラ２０におけるＣＰＵから
なる制御部２１に接続されている。

【００４０】上記コントローラ２０は、図６に示すよう
に、上記制御部２１の他に、各種データ処理のためのル
ーチン等を記憶したＲＯＭ２２と、各種データの記憶等
を行うＲＡＭ２３と、上記搬送モータ２６及びキャリッ
ジモータ２８をそれぞれ駆動制御するためのドライバ回
路２５，２７及びモータ制御回路２４と、画像データを
受信するデータ受信回路２９とを備えている。そして、
上記制御部２１は、上記データ受信回路２９が受信した
画像データに基づいてＯＮさせるスイッチを選択し、そ
の選択したスイッチのみに信号を送るようになってい
る。このことで、上記制御部２１は、第１及び第２の圧
電素子１１，１２のうちの１つ又は両方を選択して該選
択された圧電素子のみにアクチュエータ駆動用電源９並
びに第１及び第２のスイッチＳＷ１，ＳＷ２により電圧
を印加させる制御手段が構成されている。尚、第１及び
第２のスイッチＳＷ１，ＳＷ２の両方を選択してＯＮさ
せるときに、両スイッチＳＷ１，ＳＷ２のＯＮさせるタ
イミングは互いに同じに設定され、両スイッチのＯＮさ
せた後のＯＦＦさせるタイミングも互いに同じに設定さ
れている。

【００４１】以上の構成からなるインクジェット記録装
置の動作について説明する。先ず、データ受信回路２９
が画像データを受信すると、制御部２１がＲＯＭ２２に
記憶された処理ルーチンに基づいて、モータ制御回路２
４及びドライバ回路２５，２７を介して搬送モータ２６
及びキャリッジモータ２８をそれぞれ制御する。

【００４２】そして、上記制御部２１は、上記データ受
信回路２９が受信した画像データに基づいてＯＮさせる
スイッチを選択する。第１のスイッチＳＷ１のみがＯＮ
されると、上述したように圧電アクチュエータ１０のた
わみ量が最も小さいので、吐出量が最も小さい小インク
滴がノズル２から吐出され、記録紙４１上に径が最も小
さい小ドットが記録される。また、第２のスイッチＳＷ
２のみがＯＮされると、吐出量が小インク滴よりも大き
い中インク滴が吐出され、記録紙４１上に径が小ドット
よりも大きい中ドットが記録される。さらに、第１及び
第２のスイッチＳＷ１，ＳＷ２の両方がＯＮされると、
吐出量が最も大きい大インク滴が吐出され、記録紙４１
上に径が最も大きい大ドットが記録される。このこと
で、全く記録されない場合（ドットがない白色の場合）
を含めて４つの階調値が得られる。

【００４３】上記ＯＮされていたスイッチは所定時間
（インク滴の吐出量との関係で各スイッチＳＷ１，ＳＷ
２毎に予め決められており、両スイッチＳＷ１，ＳＷ２
をＯＮさせるときには互いに同じ時間に設定されてい
る）後にＯＦＦされる。すると、圧電アクチュエータ１
０は元の状態に復帰して圧力室４にはインク供給室３か
らインク供給路５を経てインクが充填される。そして、
次の記録場所において、上記と同様にして第１及び第２
のスイッチＳＷ１，ＳＷ２の選択を行い、小ドット、中
ドット又は大ドットを記録する。

【００４４】したがって、上記実施形態１では、１つの
アクチュエータ駆動用電源９と第１及び第２のスイッチ
ＳＷ１，ＳＷ２とからなる簡単な回路構成で多階調印刷
を行うことができる。しかも、インク滴の吐出量に応じ
てアクチュエータ駆動用電源９の電圧を変えたり、複雑
な電圧パルス波形を生成したりする必要はなく、回路を
極めて低コストにすることができる。

【００４５】尚、上記実施形態１では、第１及び第２の
圧電素子１１，１２の厚みを互いに異ならせたが、厚み
を同じにして、材料等を互いに異ならせることにより圧
電アクチュエータ１０の厚み方向中央軸と厚み方向の中
立軸とを互いに異ならせるようにしてもよい。

【００４６】また、上記実施形態１では、第１及び第２
の圧電素子１１，１２の圧電定数を互いに同じにした
が、材料や結晶構造等を互いに異ならせることにより圧
電定数を互いに異ならせるようにしてもよい。

【００４７】さらに、上記実施形態１では、第１及び第
２の圧電素子１１，１２の幅を互いに異ならせたが、例
えば図７に示すように、第２の電極１５の下側に、ステ
ンレス、ケイ素、クロム等からなる振動板１７を設け、
この振動板１７を圧力室形成部材７ａの上面に取付固定
すると共に、第２の圧電素子１２の幅を第１の圧電素子
１１と略同じになるように小さくしてもよい。

【００４８】（実施形態２）図８は本発明の実施形態２
を示し（尚、以下の実施形態２〜４では、図３と同じ部
分については同じ符号を付してその詳細な説明は省略す
る）、第１及び第２の圧電素子１１，１２の厚みを互い
に同じに設定したものである。

【００４９】すなわち、この実施形態２では、圧電アク
チュエータ１０の厚み方向中央軸（共通電極１３の厚み
方向中央軸と同じ）と厚み方向の中立軸とが略一致する
ようになされている。そして、上記実施形態１と同様
に、第１及び第２の圧電素子１１，１２の圧電定数も互
いに同じに設定されている。このため、第１のスイッチ
ＳＷ１のみをＯＮさせたときと、第２のスイッチＳＷ２
のみをＯＮさせたときとで圧電アクチュエータ１０のた
わみ量は同じとなり、第１及び第２のスイッチＳＷ１，
ＳＷ２のいずれかをＯＮさせたときの小インク滴と、第
１及び第２のスイッチＳＷ１，ＳＷ２の両方をＯＮさせ
たときの大インク滴との２種類のインク滴がノズル２か
ら吐出されることになる。

【００５０】また、この実施形態２では、第１及び第２
のスイッチＳＷ１，ＳＷ２の両方を選択してＯＮさせる
ときに、圧電素子１１，１２毎に電圧印加開始のタイミ
ング及び電圧印加終了のタイミングを互いに異ならせる
ようにしている。つまり、図９に示すように、制御部２
１は、第２のスイッチＳＷ２を先にＯＮさせ、その後、
第２のスイッチＳＷ２のみをＯＮさせたときに得られる
たわみ量と略同じになったとときに（予め時間で設定し
ておく）、第１のスイッチＳＷ１をＯＮさせるようにな
っている。そして、第１のスイッチＳＷ１をＯＮさせて
から所定時間経過後に、先ず第２のスイッチＳＷ２をＯ
ＦＦさせ、その後、第２のスイッチＳＷ２のみをＯＮさ
せたときに得られるたわみ量と略同じになったとときに
（予め時間で設定しておく）、第１のスイッチＳＷ１を
ＯＦＦさせるようになっている。

【００５１】したがって、上記実施形態２では、３階調
になって実施形態１よりも階調数は減ることになるが、
圧電アクチュエータ１０の厚み方向中央軸と厚み方向の
中立軸とが略一致しているので、圧電アクチュエータ１
０の効率を高めることができ、上記実施形態１と同じ電
圧を印加すれば、実施形態１のものよりも大きなたわみ
量を容易に得ることができる。

【００５２】また、第１及び第２のスイッチＳＷ１，Ｓ
Ｗ２をＯＮさせるタイミングを互いにずらすことで、圧
電アクチュエータ１０は、第１及び第２のスイッチＳＷ
１，ＳＷ２を同時にＯＮさせたときよりも緩やかに変形
して吐出速度が遅くなる。この結果、大インク滴の吐出
速度を、小インク滴の吐出速度に近づけることができ、
各インク滴の着弾位置精度を向上させることができる。

【００５３】さらに、第１及び第２のスイッチＳＷ１，
ＳＷ２をＯＦＦさせるタイミングを互いにずらすこと
で、圧電アクチュエータ１０は、第１及び第２のスイッ
チＳＷ１，ＳＷ２を同時にＯＦＦさせたときよりも緩や
かに元の状態に復帰する。この結果、ノズル２から圧力
室４内に空気が吸い込まれ難くなり、圧力室４に気泡が
発生するのを抑制することができる。

【００５４】尚、上記実施形態２では、第２のスイッチ
ＳＷ２をＯＦＦさせた後、第１のスイッチＳＷ１をＯＦ
Ｆさせたが、図１０に示すように、第１のスイッチＳＷ
１をＯＦＦさせた後、第２のスイッチＳＷ２をＯＦＦさ
せるようにしても、圧電アクチュエータ１０の復帰の仕
方は上記実施形態２と全く同じとなる。また、第１のス
イッチＳＷ１を先にＯＮさせてから第２のスイッチＳＷ
２をＯＮさせるようにしてもよい。

【００５５】さらに、上記実施形態２では、第２の電極
１５の下面に、上記実施形態１のような保護層１６を形
成していないが、圧電アクチュエータ１０の厚み方向中
央軸と厚み方向の中立軸とを略一致させることができれ
ば、保護層１６を形成した方が望ましい。

【００５６】加えて、上記実施形態２のように圧電素子
１１，１２毎に電圧印加開始のタイミング及び電圧印加
終了のタイミングを互いに異ならせることは、上記実施
形態１のように圧電素子１１，１２の厚みが互いに異な
る場合でも適用することができる。

【００５７】さらにまた、上記実施形態１，２では、圧
電アクチュエータ１０を２つの圧電素子１１，１２から
なるものとしたが、３つ以上の圧電素子を圧電アクチュ
エータ１０の厚み方向に電極を介して積層するようにし
てもよい。この場合、圧電アクチュエータ１０の厚み方
向両端部にも電極をそれぞれ設け、その一方の電極を全
ての圧電素子の共通電極とすればよい。

【００５８】（実施形態３）図１１は本発明の実施形態
３を示し、共通電極１３を区画壁７の圧力室形成部材７
ａ上面に取付固定したものである。

【００５９】すなわち、この実施形態３では、共通電極
１３は、その厚みが第１及び第２の電極１４，１５より
も大きい０．５〜１０μｍ（好ましくは１〜２μｍ）の
クロム、ステンレス、ニッケル等の薄板からなってい
て、ユニモルフ型圧電アクチュエータの振動板と同様で
ある。また、第１及び第２の圧電素子１１，１２の厚み
及び圧電定数は、上記実施形態２と同様に、互いに同じ
に設定されている。さらに、第２の電極１５と第２の圧
電素子１２とが圧力室４内に入り込んでおり、第２の電
極１５の下面には上記実施形態１と同様の保護層１６が
形成されている。そして、共通電極１３の厚み方向中央
軸（圧電アクチュエータ１０の厚み方向中央軸と一致）
と圧電アクチュエータ１０の厚み方向の中立軸とが略一
致するようになされている。

【００６０】したがって、上記実施形態３では、区画壁
７の圧力室形成部材７ａ上面に取付固定された共通電極
１３の厚み方向中央軸が圧電アクチュエータ１０の厚み
方向の中立軸となるので、圧電アクチュエータ１０の効
率をより一層高めることができる。また、共通電極１３
の厚みを他の電極１４，１５よりも大きくすることで、
その強度を確保して圧電アクチュエータ１０を安定保持
することができる。

【００６１】尚、この実施形態３においても圧電アクチ
ュエータ１０を３つ以上の圧電素子で構成することがで
き、この場合、共通電極１３の厚み方向中央軸と圧電ア
クチュエータ１０の厚み方向の中立軸とを略一致させる
には、圧電素子の数を偶数にし、区画壁７の圧力室形成
部材７ａ上面に取付固定する電極の上側及び下側にそれ
ぞれ同じ数の圧電素子を配設するようにすればよい。

【００６２】（実施形態４）図１２は本発明の実施形態
４を示し、第１の電極１４における第１の圧電素子１１
との接触面積を第２の電極１５における第２の圧電素子
１２との接触面積よりも小さく設定したものである。

【００６３】すなわち、この実施形態４では、上記実施
形態２と同様に、第１及び第２の圧電素子１１，１２の
厚み及び圧電定数が互いに同じに設定されているが、第
１の電極１４の長さが第２の電極１５の約半分に設定さ
れている（幅及び厚みは互いに同じ）。そして、第１の
電極１４は、ノズル２の中心軸線上から最も離れた位置
に設けられている。

【００６４】したがって、上記実施形態４では、第１及
び第２の圧電素子１１，１２の形状及び圧電定数を互い
に同じに設定しかつ互いに同じ定電圧を印加するように
しても、第１のスイッチＳＷ１のみがＯＮされたとき
と、第２のスイッチＳＷ２のみがＯＮされたときとでイ
ンク滴の吐出量を異ならせることができ、上記実施形態
１と同様に４階調が得られる。

【００６５】また、第１の電極１４がノズル２の中心軸
線上から離れた位置に設けられているので、第１の圧電
素子１１におけるノズル２の中心軸線上の部位には電界
が生じず、この部位が元の状態に復帰する速度が遅くな
る。この結果、ノズル２から圧力室４内への空気の吸い
込み現象が生じ難くなる。

【００６６】尚、上記実施形態４では、第１の電極１４
の長さを第２の電極１５の約半分に設定したが、どの程
度小さくするかは吐出量との関係で決まり、第２の電極
１５よりも小さければいくらでもよい。そして、第１の
電極１４の幅を第２の電極１５よりも小さくするように
してもよい。

【００６７】また、第２の電極１５の長さを、第１の電
極１４よりも大きくかつ圧電素子１１，１２よりも小さ
くなるようにしてもよく、この場合、第２の電極１５も
ノズル２の中心軸線上から離れた位置に設けるようにし
てもよい。そして、逆に、第２の電極１５の長さが第１
の電極１４よりも小さくなるようにしてもよい。

【００６８】さらに、上記実施形態４では、第１及び第
２の圧電素子１１，１２の厚み及び圧電定数を互いに同
じに設定したが、厚みや圧電定数を互いに異ならせるよ
うにしてもよい。

【００６９】（実施形態５）図１３は本発明の実施形態
５を示し（尚、図１と同じ部分については同じ符号を付
してその詳細な説明は省略する）、インクジェットヘッ
ド１のノズル２から吐出されたインク滴を静電界により
加速するようにしたものである。

【００７０】すなわち、この実施形態５では、インクジ
ェットヘッド１と記録紙４１を挟んで対向するように対
向電極４７が配設され、インクジェットヘッド１の圧力
室４内のインクとその対向電極４７との間に電圧を印加
する静電界生成用電源４８が設けられている。この静電
界生成用電源４８のプラス側端子は接地された状態でイ
ンクジェットヘッド１の区画壁７のインク流路形成部材
７ｂに接続されている一方、マイナス側端子は上記対向
電極４７に接続され、このことで、対向電極４７には例
えば−４ｋＶ程度の高電圧が印加されるように構成され
ている。

【００７１】したがって、この実施形態５では、インク
ジェットヘッド１と対向電極４７との間に静電界がかけ
られると共に、インクに正電荷が誘起されるので、ノズ
ル２から吐出したインク滴は静電界により加速されなが
ら記録紙４１に向かって飛翔する。このとき、インク滴
の吐出量が小さいほどより大きく加速され、吐出速度
（初速度）が小さくても記録紙４１に着弾するまでの間
の平均速度を速くすることができる。よって、通常は吐
出量が大きいほど吐出速度は速くなるが、静電界により
平均速度は吐出量に関係なく一定に近づけることがで
き、インク滴の着弾位置精度を向上させることができ
る。

【００７２】

【実施例】次に、具体的に実施した実施例について説明
する。先ず、図１４及び図１５（上記実施形態と同じ符
号を使用）に示すように、上記実施形態２と同様のイン
クジェットヘッド１を作製した（実施例１）。すなわ
ち、この実施例１のものは、第１及び第２の圧電素子１
１，１２の厚み及び圧電定数が互いに同じであり、圧電
アクチュエータ１０の厚み方向中央軸と厚み方向の中立
軸とが略一致している。尚、上記各圧電素子１１，１２
の圧電定数は１００ｐＣ／Ｎである。

【００７３】そして、アクチュエータ駆動用電源９の電
圧を１５Ｖとし、第１及び第２のスイッチＳＷ１，ＳＷ
２のいずれか一方又は両方をＯＮさせたときの圧電アク
チュエータ１０のたわみ量、ノズル２から吐出されたイ
ンク滴の吐出量、及びその吐出速度を調べた。このと
き、第１及び第２のスイッチＳＷ１，ＳＷ２のいずれか
一方をＯＮさせたときには、図１６に示すように、１０
μｓ後にＯＦＦさせた。一方、両スイッチＳＷ１，ＳＷ
２をＯＮさせたときには、図１７に示すように、電圧印
加開始のタイミング及び電圧印加終了のタイミングを互
いに異ならせるようにした。

【００７４】上記実施例１の試験の結果を表１に示す
（尚、たわみ量については図１６及び図１７にも記載し
ている）。このことより、第１のスイッチＳＷ１のみを
ＯＮさせたときと、第２のスイッチＳＷ２のみをＯＮさ
せたときとで、たわみ量及び吐出量が同じとなるので、
３階調が得られると共に、吐出量に関係なく吐出速度を
一定にできることが判る。尚、ユニモルフ型では、吐出
量を２倍にするために電圧を単純に２倍に上げると、吐
出速度も２倍になってしまう。

【００７５】

【表１】

【００７６】続いて、図１８に示すように、第１及び第
２の圧電素子１１，１２の厚みを互いに異ならせたもの
を作製した（実施例２）。すなわち、この実施例２のも
のでは、圧電アクチュエータ１０の厚み方向中央軸と厚
み方向の中立軸とが互いに異なっている。そして、上記
実施例１と同様の試験を行った。この結果を表２に示
す。このことで、第１のスイッチＳＷ１のみをＯＮさせ
たときと、第２のスイッチＳＷ２のみをＯＮさせたとき
とで、たわみ量及び吐出量が異なるので、４階調が得ら
れることが判る。

【００７７】

【表２】

【００７８】次いで、図１９に示すように、第１及び第
２の圧電素子１１，１２を上記実施例１と同じにすると
共に、第１の電極１４の長さを共通電極１３及び第２の
電極１５の半分にしたものを作製した（実施例３）。
尚、第１の電極１４を、上記実施形態４のようにノズル
２の中心軸線上から最も離れた位置に設けた。そして、
上記実施例１，２と同様の試験を行った。この場合も、
表３に示すように、４階調が得られることが判る。

【００７９】

【表３】

【００８０】尚、上記実施例１〜３において、両スイッ
チＳＷ１，ＳＷ２をＯＮさせたときのたわみ量及び吐出
量は、実施例１のものが最も大きく、アクチュエータの
効率が最も高いことが判る。

【００８１】次に、上記実施形態５と同様のインクジェ
ットヘッド１を作製し（実施例４）、静電界生成用電源
４８の電圧を４ｋＶに設定すると共に、インクジェット
ヘッド１と対向電極４７との距離を２ｍｍとした。この
とき、吐出速度（初速度）が６ｍ／ｓである小インク滴
と吐出速度（初速度）が１２ｍ／ｓである大インク滴と
をノズル２から吐出させるようにし、その小インク滴及
び大インク滴の記録紙４１に着弾するまでの間の平均速
度が静電界によりどのように変化するかを調べた。

【００８２】上記実施例４の試験の結果を図２０に示
す。このことより、静電界により小インク滴が大インク
滴よりも大きく加速され、平均速度を吐出量に関係なく
一定に近づけられることが判る。

【００８３】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よると、複数の圧電素子が電極を介して積層されてなる
圧電アクチュエータを有するインクジェットヘッドを備
えたインクジェット記録装置として、この圧電アクチュ
エータの複数の圧電素子に互いに独立して電圧を印加す
ることが可能なように構成された電圧印加手段と、上記
複数の圧電素子のうちの１つ又は複数を選択して該選択
された圧電素子のみに上記電圧印加手段により電圧を印
加させる制御手段とを備えたことにより、回路コストを
低減しつつ、多階調印刷を行うことができる。

【００８４】請求項２の発明によると、電圧印加手段
を、複数の圧電素子に互いに同じ定電圧を印加すること
が可能なように構成したことにより、回路構成のさらな
る簡略化を図ることができる。

【００８５】請求項３の発明によると、圧電アクチュエ
ータの厚み方向中央軸と厚み方向の中立軸とを略一致さ
せたことにより、圧電アクチュエータの効率を高めて、
比較的低い電圧で大きなたわみ量が容易に得られる。

【００８６】請求項４の発明によると、圧電アクチュエ
ータの厚み方向中央軸と厚み方向の中立軸とを互いに異
ならせたことにより、請求項３の発明よりも多くの階調
数が容易に得られる。

【００８７】請求項５の発明によると、制御手段を、複
数の圧電素子を選択したときに、該選択した圧電素子毎
に電圧印加開始のタイミングを互いに異ならせるように
構成したことにより、インク滴の吐出量に関係なく吐出
速度を略一定にすることができ、インク滴の着弾位置精
度の向上化を図ることができる。

【００８８】請求項６の発明によると、制御手段を、複
数の圧電素子を選択したときに、該選択した圧電素子毎
に電圧印加終了のタイミングを互いに異ならせるように
構成したことにより、ノズルから圧力室内に空気が吸い
込まれて圧力室に気泡が発生するのを抑制することがで
きる。

【００８９】請求項７の発明によると、第１の電極にお
ける第１の圧電素子との接触面積を第２の電極における
第２の圧電素子との接触面積よりも小さく設定したこと
により、第１及び第２の圧電素子の厚み及び圧電定数が
互いに同じでありかつ互いに同じ定電圧を印加するよう
にしても、４階調が得られる。

【００９０】請求項８の発明によると、インクジェット
ヘッドの圧電アクチュエータとノズルとを、圧力室を挟
んで互いに対向するように配設し、少なくとも第１の電
極を、上記ノズルの中心軸線上から離れた位置に設けた
ことにより、ノズルから圧力室内への空気の吸い込み現
象を生じ難くして、インク滴を安定して吐出させること
ができる。

【００９１】請求項９の発明によると、圧電素子の間に
介在された電極のうちの１つを、インクジェットヘッド
の圧力室を形成する圧力室形成部材に取付固定したこと
により、圧電アクチュエータを安定保持することができ
ると共に、圧力室形成部材に取付固定された電極の厚み
方向中央軸と圧電アクチュエータの厚み方向の中立軸と
を略一致させることで、圧電アクチュエータの効率のさ
らなる向上化を図ることができる。

【００９２】請求項１０の発明によると、インクジェッ
トヘッドと記録紙を挟んで対向するように配設された対
向電極と、インクジェットヘッドの圧力室内のインクと
上記対向電極との間に電圧を印加する電源とを備えたこ
とにより、インク滴が吐出されてから記録紙に着弾する
までの間の平均速度を吐出量に関係なく一定に近づける
ことができ、インク滴の着弾位置精度の向上化を図るこ
とができる。

【００９３】請求項１１の発明によると、圧電アクチュ
エータの厚みを５μｍ以下に設定したことにより、圧電
素子及び電極の積層構成が精度良くかつ容易に得られ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態１に係るインクジェット記録
装置を示す概略斜視図である。

【図２】インクジェットヘッドの部分下面図である。

【図３】図２のIII−III線断面図である。

【図４】図２のIV−IV線断面図である。

【図５】電圧印加手段の構成を示す概略図である。

【図６】コントローラの構成を示すブロック図である。

【図７】圧電アクチュエータの変形例を示す図４相当図
である。

【図８】実施形態２を示す図３相当図である。

【図９】第１及び第２のスイッチのＯＮ、ＯＦＦタイミ
ングと圧電アクチュエータのたわみ量との関係を示すグ
ラフである。

【図１０】第１及び第２のスイッチのＯＦＦタイミング
を実施形態２とは異ならせた例を示す図９相当グラフで
ある。

【図１１】実施形態３を示す図３相当図である。

【図１２】実施形態４を示す図３相当図である。

【図１３】実施形態５を示す図１相当図である。

【図１４】実施例１〜４のインクジェットヘッドの寸法
を示す図４相当の拡大図である。

【図１５】実施例１の圧電アクチュエータの寸法を示す
長さ方向に沿って切断した断面図である。

【図１６】第１及び第２のスイッチのいずれか一方をＯ
Ｎさせる場合において、そのスイッチのＯＮ、ＯＦＦタ
イミングと圧電アクチュエータのたわみ量との関係を示
すグラフである。

【図１７】第１及び第２のスイッチの両方をＯＮさせる
場合における図１６相当グラフである。

【図１８】実施例２を示す図１５相当図である。

【図１９】実施例３を示す図１５相当図である。

【図２０】実施例４において小インク滴及び大インク滴
の静電界による平均速度の変化を示すグラフである。

【符号の説明】

１ インクジェットヘッド ２ ノズル ４ 圧力室 ７ 区画壁 ７ａ 圧力室形成部材 ９ アクチュエータ駆動用電源（電圧印加手段） １０ 圧電アクチュエータ １１ 第１の圧電素子 １２ 第２の圧電素子 １３ 共通電極 １４ 第１の電極 １５ 第２の電極 ２１ 制御部（制御手段） ４１ 記録紙 ４７ 対向電極 ４８ 静電界生成用電源 ＳＷ１ 第１のスイッチ（電圧印加手段） ＳＷ２ 第２のスイッチ（電圧印加手段）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 曽我美 淳 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 立川 雅一郎 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 2C057 AF30 AF39 AF42 AG44 AG48 AM03 AM18 AR16 BA04 BA14 CA01

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクを収容する圧力室と、該圧力室に
   連通するノズルと、厚み方向の一端面が上記圧力室に臨
   設しかつ電圧の印加により圧力室の容積が減少するよう
   に変形して上記ノズルからインク滴を記録紙に対して吐
   出させる圧電アクチュエータとを有するインクジェット
   ヘッドを備えたインクジェット記録装置であって、 上記圧電アクチュエータは、少なくとも該圧電アクチュ
   エータの厚み方向に複数の圧電素子が電極を介して積層
   されてなり、 上記圧電アクチュエータの複数の圧電素子に互いに独立
   して電圧を印加することが可能なように構成された電圧
   印加手段と、 上記複数の圧電素子のうちの１つ又は複数を選択して該
   選択された圧電素子のみに上記電圧印加手段により電圧
   を印加させる制御手段とを備えていることを特徴とする
   インクジェット記録装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載のインクジェット記録装置
   において、 電圧印加手段は、複数の圧電素子に互いに同じ定電圧を
   印加することが可能なように構成されていることを特徴
   とするインクジェット記録装置。
3. 【請求項３】 請求項１記載のインクジェット記録装置
   において、 圧電アクチュエータの厚み方向中央軸と厚み方向の中立
   軸とが略一致していることを特徴とするインクジェット
   記録装置。
4. 【請求項４】 請求項１記載のインクジェット記録装置
   において、 圧電アクチュエータの厚み方向中央軸と厚み方向の中立
   軸とが互いに異なることを特徴とするインクジェット記
   録装置。
5. 【請求項５】 請求項１、２、３又は４記載のインクジ
   ェット記録装置において、 制御手段は、複数の圧電素子を選択したときに、該選択
   した圧電素子毎に電圧印加開始のタイミングを互いに異
   ならせるように構成されていることを特徴とするインク
   ジェット記録装置。
6. 【請求項６】 請求項１、２、３又は４記載のインクジ
   ェット記録装置において、 制御手段は、複数の圧電素子を選択したときに、該選択
   した圧電素子毎に電圧印加終了のタイミングを互いに異
   ならせるように構成されていることを特徴とするインク
   ジェット記録装置。
7. 【請求項７】 請求項１記載のインクジェット記録装置
   において、 圧電アクチュエータは、第１及び第２の２つの圧電素子
   と、該２つの圧電素子の間に介在された共通電極と、上
   記第１の圧電素子の該共通電極と反対側に設けられた第
   １の電極と、上記第２の圧電素子の上記共通電極と反対
   側に設けられた第２の電極とを有し、 上記第１の電極における第１の圧電素子との接触面積が
   上記第２の電極における第２の圧電素子との接触面積よ
   りも小さく設定されていることを特徴とするインクジェ
   ット記録装置。
8. 【請求項８】 請求項７記載のインクジェット記録装置
   において、 インクジェットヘッドの圧電アクチュエータとノズルと
   は、圧力室を挟んで互いに対向するように配設され、 少なくとも第１の電極は、上記ノズルの中心軸線上から
   離れた位置に設けられていることを特徴とするインクジ
   ェット記録装置。
9. 【請求項９】 請求項１記載のインクジェット記録装置
   において、 圧電素子の間に介在された電極のうちの１つが、インク
   ジェットヘッドの圧力室を形成する圧力室形成部材に取
   付固定されていることを特徴とするインクジェット記録
   装置。
10. 【請求項１０】 請求項１記載のインクジェット記録装
    置において、 インクジェットヘッドと記録紙を挟んで対向するように
    配設された対向電極と、 上記インクジェットヘッドの圧力室内のインクと上記対
    向電極との間に電圧を印加する電源とを備えていること
    を特徴とするインクジェット記録装置。
11. 【請求項１１】 請求項１記載のインクジェット記録装
    置において、 圧電アクチュエータの厚みが５μｍ以下に設定されてい
    ることを特徴とするインクジェット記録装置。