JP2007121317A - 微小接触式プローバー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】金属製のプローブをやめ、原子間力顕微鏡等で使用されているマイクロファブリケーションプロセスによるシリコンをベース材料とした微小プローブを使用した。このプローブ(カンチレバー部)は複数個の被検体測定端子の同時測定用に、一つのカンチレバー上に複数個の接触子3を作成してある計測用カンチレバーc2と、またこのカンチレバーの両側に被検体測定端子面と接触子間のZ距離制御用に長めのカンチレバーc1を有する構造とした。
【選択図】図1
Description
図1、2、3、4、5、6、7、8に示すカンチレバー部の構成を説明する。図1、2は、カンチレバーの変位検出を外部のたとえば光てこ検出器を使用するカンチレバー部であり、図3は、カンチレバーの外形は図1と同様であるが、変位検出をカンチレバー内部に埋め込まれているピエゾ抵抗体[72]によって行う自己検知のカンチレバーを用いた別実施形態である。ピエゾ抵抗体[72]に一定の電流を流し、カンチレバーの変位による歪みをピエゾ抵抗の変化として捕らえ、ブリッジ回路により電流変化として検出している。図4は、3ヶ以上のカンチレバーを持つカンチレバー部の別実施形態である。両端に前記距離制御用のカンチレバーを有し中央部に複数個の計測用のカンチレバーがあり、それぞれの計測用カンチレバーには、複数個の接触子がある。
図9を用いて装置の主要部の構成を説明する。カンチレバーを試料に近接させる移動機構(Z粗動機構)[1]にXYZ走査スキャナー[2]が固定されその先端部にカンチレバーベース[70]が取り付けられている。また試料台[5]には被検体[6]を試料台接触子[4]で電気的に接続を取り、前記カンチレバー部に対向して配置している。図9でカンチレバー[c1],[c2]は、自己検知のカンチレバーとして描かれている。図9で示す計測用カンチレバー[c2]の変位信号は、プレアンプ[7]により増幅され、Zサーボ系[8]に入力される。その出力信号をZ走査コントローラー[11]により増幅され、結果としてXYZ走査スキャナー[2]のZ軸が伸縮し、計測用カンチレバーのたわみ量が一定になるように接触子[3]−測定端子間[6]の距離が制御される。一方図9で示すZ距離制御用カンチレバー[c1]からの信号は、同様にプレアンプ[7]により増幅されZ粗動コントローラーに[9]に入力され、Z粗動メカニズム[1]の制御信号として使われている。Z粗動メカニズムは、主に差動ねじ、縮小てこ等のメカ系で構成されmm程度を0.1〜0.05μm刻みで移動できる。ここで測定端子面上数mmから0.1〜0.3mmまでは、Z粗動メカ機構[1]で高速に送り、残り0.1〜0.3mm以下を低速で送るように制御する。
次に図1と図10のタイムチャートを使ってZ粗動の動作を説明する。最初カンチレバー部は、試料表面から数mm離れている。Z粗動系メカニズム[1]を高速で移動させ図1のようにZ距離制御用のカンチレバー[c1]が試料面と接触するとき[図10:t0]、Z距離制御用のカンチレバーは測定端子面から力を受けカンチレバーの変位信号が変化する。この信号をZ粗動コントローラー[9]に入力し、Z粗動系メカニズム[1]を低速送りに切り替える。この[図10:t0]の時点で計測用のカンチレバー[c2]は、およそhだけ試料面より浮いている。次に低速でおよそh>100〜300μm(h:Z距離制御用カンチレバーと計測用カンチレバーの被検体面からの高さの差)だけ押し込み計測用のカンチレバー[c2]を接触させる。[図10:t1]その後接触子を被検体測定端子面に△hだけ押し込む[図10:t2]。この時計測用カンチレバーは、測定端子面から力を受けカンチレバーの変位信号が変化する。押し付け力は、計測用カンチレバーのばね定数に△h(カンチレバー押し込み深さ)を乗じたものになり、この量は図9の☆印に示す押し付け力設定信号により制御できる。
ここでは、被検体をメモリーセルのように空間的に同様の形状が二次元的に配列したセルを前提に説明する。
2 XYZ微動スキャナー
3 プローブ(カンチレバー部)
4 試料台の接触子
5 試料台
6 被検体
7 プレアンプ
8 Zサーボ系
9 Z粗動コントローラー
10 XY走査コントローラー
11 Z走査コントローラー
12 外部電気回路
20 制御用コンピュータ
☆印 押し付け力設定信号
Claims (9)
- 電気試験用のプローブとして、導電性の接触子と片持ち梁(カンチレバー)を有し、同一あるいは、隣接するカンチレバーのたわみ信号より被検体面測定端子と接触子の押し込み力を制御し接触を確認し、つぎに接触子を通じて被検体の回路に電気信号を印加し、LSI回路の動作を確認する微小接触式プローバーにおいて、前記電気試験用のプローブとして複数個のカンチレバーを有し、また同一カンチレバー上に1ケ以上の接触子を隣りあって配置することを特徴とする微小接触式プローバー。
- 前記カンチレバー上の接触子は導電性とし、個々の接触子間は、絶縁し、個々の接触子の間隔を測定するセルのピッチと等間隔あるいは整数倍とすることを特徴とする請求項1記載の微小接触式プローバー
- 接触子の材質としてカーボンナノチーブを使用することを特徴とする請求項1記載の微小接触式プローバー。
- 接触子間の絶縁をSOI基板の酸化シリコン層によって行なうことを特徴とする請求項1記載の微小接触式プローバー。
- カンチレバーの接触子面と背面とが絶縁してあり、背面を金属膜でコーティングしてあることを特徴とする請求項1記載の微小接触式プローバー。
- シリコンあるいはシリコンナイトライドで作られた微小なカンチレバーに電気測定用の複数個の導電性接触子を有し、その接触子から配線により電気信号を取り出す計測用カンチレバーとその両側に被検体面との距離制御用のカンチレバーを有するプローブを持つ微小接触式プローバー。
- 前記計測用カンチレバーの側面あるいは、接触子の反対側に接触子と一定位置関係にある顕微鏡ガイド用のマークを有する請求項6記載の微小接触式プローバー。
- 前記プローブの微小位置制御用にXY方向に動作するピエゾスキャナーを有することを特徴とする請求項1または請求項6記載の微小接触式プローバー。
- 前記プローブの押し込み力制御用にZ方向に動作するピエゾスキャナーを有することを特徴とする請求項1または2記載の微小接触式プローバー。
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