JP5852445B2 - 高速走査プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Description
−一定高さモードにて。このモードでは、チップが表面に対して平行に動かされながら、トンネル電流がモニターされる。
−一定電流モードにて。このモードでは、トンネル電流が一定に維持されながら、チップが表面に亘って走査され、チップの振れが測定される。
−導電性部分および絶縁性部分は、プローブが試料表面上でセルフレベリングするのに適するように構成される。
−走査プローブ顕微鏡は、プローブが試料表面上でセルフレベリングするのを可能にする手段を含む。
−導電性部分および絶縁性部分の感知表面は、ほぼ同一の高さである。
−前記絶縁性部分は、導電性部分を少なくとも部分的に囲繞し、たとえば、導電性部分は、外側の絶縁性部分に包まれた、プローブの内側部分である。
−導電性部分はシリコンおよび白金シリサイドを含み、絶縁性部分は二酸化シリコンを含む。
−絶縁性部分は、トンネル電流が実質的に試料内に向かうことが確実にできるように適合(conformed)している。
−この方法は、プローブに作用すること、たとえば、試料表面に向かってプローブに力を加えることをさらに含む。
−この方法は、試料表面の上方でプローブを作動させることをさらに含む。
−この方法は、測定する前に、プローブを提供することをさらに含み、導電性部分はシリコンおよび白金シリサイドを含み、絶縁性部分は二酸化シリコンを含む。
−提供される走査プローブ顕微鏡のプローブの導電性部分および絶縁性部分の感知表面は、ほぼ同一の高さである。
−提供するステップで、提供されるデバイスは、突出している突起部を備え、この方法は、測定する前に、提供されるデバイスの導電性部分および絶縁性部分の感知表面がほぼ同一の高さになるまで試料表面上で前記突起部を研磨するステップをさらに含む。
−この方法は、測定されたトンネル電流を通して試料表面のトポグラフィの変動を捕らえることをさらに含む。
Claims (7)
- トンネル電流導電性プローブと、
前記プローブと試料との間のトンネル電流を、動作中に測定する電子回路とを備え、
前記プローブは、トンネル電流導電性部分と、トンネル電流絶縁性部分とを備え、
前記両部分は、前記導電性部分の感知表面と前記試料の表面との間の最小距離を前記試料の表面の少なくとも一部に接触する前記絶縁性部分の平坦な表面が決定するように、前記導電性部分の感知表面を囲繞する前記絶縁性部分の平坦な表面の面積が前記導電性部分の感知表面の面積よりも大きくなるように構成される、走査プローブ顕微鏡。 - 前記導電性部分の感知表面および前記絶縁性部分の平坦な表面がほぼ同一の高さである、請求項1に記載の走査プローブ顕微鏡。
- 前記導電性部分の感知表面は前記絶縁性部分の平坦な表面よりも窪んでいる、請求項1に記載の走査プローブ顕微鏡。
- 前記導電性部分がシリコンおよび白金シリサイドを含み、前記絶縁性部分が二酸化シリコンを含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の走査プローブ顕微鏡。
- 前記プローブは下底が上底よりも短い逆台形の断面を有し、前記導電性部分の感知表面および前記絶縁性部分の平坦な表面は前記逆台形の断面の下底に位置する、請求項1〜4のいずれか1項に記載の走査プローブ顕微鏡。
- トンネル電流導電性プローブと、
前記プローブと試料との間のトンネル電流を、動作中に測定する電子回路とを備え、
前記プローブは、トンネル電流導電性部分と、トンネル電流絶縁性部分とを備え、
前記両部分は、前記導電性部分の感知表面と前記試料の表面との間の最小距離を前記試料の表面の少なくとも一部に接触する前記絶縁性部分の平坦な表面が決定するように、前記導電性部分の感知表面を囲繞する前記絶縁性部分の平坦な表面の面積が前記導電性部分の感知表面の面積よりも大きくなるように構成される、走査プローブ顕微鏡に適用される方法であり、
前記走査プローブ顕微鏡内に前記試料を位置決めするステップと、
前記プローブと前記位置決めされた試料との間のトンネル電流を前記回路によって測定するステップと、
を含む走査プローブ方法。 - トンネル電流導電性部分と、
トンネル電流絶縁性部分とを備え、
前記両部分は、動作中に前記導電性部分の感知表面と走査プローブ顕微鏡法による分析対象の試料の表面との間の最小距離を前記試料の表面の少なくとも一部に接触する前記絶縁性部分の平坦な表面が決定するように、前記導電性部分の感知表面を囲繞する前記絶縁性部分の平坦な表面の面積が前記導電性部分の感知表面の面積よりも大きくなるように構成される、前記走査プローブ顕微鏡法用のプローブ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP09151749.0 | 2009-01-30 | ||
EP09151749 | 2009-01-30 | ||
PCT/IB2010/050186 WO2010086759A1 (en) | 2009-01-30 | 2010-01-15 | High-speed scanning probe microscope |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012516438A JP2012516438A (ja) | 2012-07-19 |
JP5852445B2 true JP5852445B2 (ja) | 2016-02-03 |
Family
ID=41694718
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011547012A Active JP5852445B2 (ja) | 2009-01-30 | 2010-01-15 | 高速走査プローブ顕微鏡 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8327461B2 (ja) |
EP (1) | EP2384442A1 (ja) |
JP (1) | JP5852445B2 (ja) |
CN (1) | CN102301245A (ja) |
WO (1) | WO2010086759A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10373799B2 (en) * | 2016-08-31 | 2019-08-06 | Fei Company | Probe landing detection |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01110204A (ja) | 1987-10-23 | 1989-04-26 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡用走査トンネル顕微鏡 |
US5059793A (en) | 1989-10-04 | 1991-10-22 | Olympus Optical Co., Ltd. | Scanning tunneling microscope having proper servo control function |
JP3118813B2 (ja) * | 1990-05-31 | 2000-12-18 | ソニー株式会社 | 走査型トンネル電子顕微鏡 |
DE69023347T2 (de) | 1990-12-21 | 1996-05-30 | Ibm | Integriertes Rastertunnelmikroskop mit pneumatischer und elektrostatischer Steuerung und Verfahren zum Herstellen desselben. |
JP3218414B2 (ja) | 1992-07-15 | 2001-10-15 | キヤノン株式会社 | 微小ティップ及びその製造方法、並びに該微小ティップを用いたプローブユニット及び情報処理装置 |
JPH08262042A (ja) * | 1995-03-20 | 1996-10-11 | Nikon Corp | 微小電極、プローブ及び微小電極の製造方法 |
JP3978818B2 (ja) * | 1997-08-08 | 2007-09-19 | ソニー株式会社 | 微小ヘッド素子の製造方法 |
JP2001102356A (ja) * | 1999-09-27 | 2001-04-13 | Jun Kikuchi | 表面平坦化処理方法および装置 |
JP2002168764A (ja) * | 2000-12-01 | 2002-06-14 | Seiko Instruments Inc | 電気化学stm探針の製造方法 |
JP2003050192A (ja) * | 2001-08-06 | 2003-02-21 | Mitsubishi Electric Corp | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2004264039A (ja) * | 2003-01-30 | 2004-09-24 | Hitachi Ltd | 走査プローブ顕微鏡及びcd・断面プロファイル計測方法並びに半導体デバイス製造方法 |
FR2862156B1 (fr) * | 2003-11-06 | 2007-01-05 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif d'enregistrement de donnees a micro-pointes conductrices et procede de fabrication d'un tel dispositif |
JP4360544B2 (ja) * | 2004-06-16 | 2009-11-11 | パイオニア株式会社 | プローブ、並びに記録装置、再生装置及び記録再生装置 |
CN100543448C (zh) * | 2005-02-05 | 2009-09-23 | 厦门大学 | 扫描隧道显微镜和扫描微电极联用测量系统及其测量技术 |
JP2007147347A (ja) * | 2005-11-25 | 2007-06-14 | Seiko Epson Corp | 探針、片持ち梁、走査型プローブ顕微鏡、及び走査型トンネル顕微鏡の測定方法 |
US8222796B2 (en) * | 2008-10-15 | 2012-07-17 | International Business Machines Corporation | Micro-electro-mechanical device with a piezoelectric actuator |
-
2010
- 2010-01-15 JP JP2011547012A patent/JP5852445B2/ja active Active
- 2010-01-15 EP EP10701929A patent/EP2384442A1/en not_active Withdrawn
- 2010-01-15 WO PCT/IB2010/050186 patent/WO2010086759A1/en active Application Filing
- 2010-01-15 CN CN2010800058661A patent/CN102301245A/zh active Pending
- 2010-01-15 US US13/146,355 patent/US8327461B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2010086759A1 (en) | 2010-08-05 |
CN102301245A (zh) | 2011-12-28 |
US20110289636A1 (en) | 2011-11-24 |
US8327461B2 (en) | 2012-12-04 |
JP2012516438A (ja) | 2012-07-19 |
EP2384442A1 (en) | 2011-11-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120803 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131010 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131022 |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140114 |
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RD12 | Notification of acceptance of power of sub attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7432 Effective date: 20140114 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20140114 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140422 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140729 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20140806 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20141010 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150816 |
|
RD14 | Notification of resignation of power of sub attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7434 Effective date: 20151113 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151204 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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