JP2002168764A

JP2002168764A - 電気化学ｓｔｍ探針の製造方法

Info

Publication number: JP2002168764A
Application number: JP2000367564A
Authority: JP
Inventors: Manabu Omi; 学大海; Takashi Arawa; 隆新輪; Hidetaka Maeda; 英孝前田; Kenji Kato; 健二加藤; Yoko Shinohara; 陽子篠原; Yasuyuki Mitsuoka; 靖幸光岡; Susumu Ichihara; 進市原; Nobuyuki Kasama; 宣行笠間
Original assignee: Seiko Instruments Inc
Current assignee: Seiko Instruments Inc
Priority date: 2000-12-01
Filing date: 2000-12-01
Publication date: 2002-06-14

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明の課題は、簡便な方法で制御されたサ
イズの導電性露出部を有する電気化学ＳＴＭ探針の製造
方法を提供することである。【解決手段】導電性材料あるいは支持体材料の一部を
先鋭化してチップを作製し、前記チップの近傍に、前記
チップと略同じ高さを有するストッパーを作製し、前記
チップ全体を絶縁膜で被覆し、少なくとも前記チップお
よび前記ストッパーの少なくとも一部を覆い、前記絶縁
膜の材質よりも硬い材質から成る押し込み体を、前記チ
ップに向かう成分を有する力によって変位させることに
よって、前記チップ先端部分の絶縁膜のみを選択的に除
去する工程を含むことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、化学工業、金属
工業、電子工業分野等において、電気化学ＳＴＭを利用
して試料の観察、加工を行う際に使用する探針の製造方
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、電気化学ＳＴＭの探針を製造する
方法としては、白金もしくはタングステンの細線の一端
を電気化学的方法もしくは機械的な方法により尖鋭化
し、金属線全体を絶縁性を有する樹脂で被覆、その後、
最先端部分の樹脂を有機溶剤により除去する方法が一般
的に使用されていた。また、金属線全体を絶縁性材料で
被覆する方法としては、他にＣＶＤ法を使用して、窒化
シリコンや炭化シリコンの薄膜を最先端部分以外に選択
的に成膜することにより、探針を製造した例も報告され
ている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】電気化学ＳＴＭの探針
では、最先端部分の直径１μｍ以下の領域が露出して、
それ以外の部分が完全に絶縁性物質で被覆されている必
要がある。このため、これらの方法には以下のような問
題点が存在する。まず、第１の方法では、最先端部分の
樹脂を除去する際に、樹脂被覆の最先端部分のみを有機
溶剤に浸漬するか、有機溶剤を揮発させた雰囲気中に暴
露することにより、尖鋭化した金属線の最先端部位を露
出させている。このような方法では、最先端部分の直径
１μｍ以下の微小な領域のみの樹脂を選択的に除去する
には熟練を要し、なおかつ露出する最先端部位の面積を
一定に保つことは非常に困難である。加えて、金属線全
体を樹脂で被覆する方法も、ディップコーティング法が
一般的に用いられるため、最先端部分以外の部分の絶縁
成物質の厚みが厚くなってしまい、かつ均一な厚さとす
ることも困難である。

【０００４】次に、第２の方法では、電気化学ＳＴＭの
探針の材料として用いられる金属線の表面はシリコンウ
エハーのように平滑度が高くないため、ＣＶＤ法のよう
な薄膜形成方法では、金属線全体をピンホールなく被覆
するためには膜厚を非常に厚くする必要があり、膜の形
成に長時間を要するという問題がある。さらに最先端部
分のみを露出させるためには、最先端部分をあらかじめ
マスクした状態でＣＶＤ法により成膜を行うか、ＣＶＤ
法で成膜を行ったあと、最先端部分の薄膜のみを選択的
に除去しなければならず、いずれの場合も複雑な工程が
さらに必要となる。また、このような方法で形成した密
着性がそれほど高くないために、長時間使用している
と、最先端部分から絶縁被覆が剥がれてきてしまうとい
う問題がある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の問題に
鑑みてなされたものであり、微小な先端形状をもち、電
気的絶縁性を有する物質で最先端部以外を被覆された探
針を、電解質溶液中で試料に近接させて、試料表面の形
状測定や電気化学的情報の計測もしくは、電気化学的な
加工を行う電気化学ＳＴＭにおける前記探針の製造方法
において、導電性材料あるいは支持体材料の一部を先鋭
化してチップを作製する工程と、前記チップの近傍に配
置され、前記チップと略同じ高さを有するストッパーを
作製する工程と、前記チップ全体を絶縁膜で被覆する工
程と、少なくとも前記チップおよび前記ストッパーの少
なくとも一部を覆い、前記絶縁膜の材質よりも硬い材質
から成る押し込み体を、前記チップに向かう成分を有す
る力によって変位させることによって、前記チップ先端
部分の絶縁膜のみを選択的に除去する工程と、を含むこ
とを特徴とする電気化学ＳＴＭ探針の製造方法とした。

【０００６】したがって、前記チップと略同じ高さを有
するストッパーによって、前記平面の変位が制御される
ため、所定の力で平面を押すだけで簡単にチップ先端部
分の絶縁膜のみを除去する事ができる。また、真空中、
液中、大気中など様々な環境下で絶縁膜を除去すること
ができる。また、絶縁膜を除去する際に特別な制御装置
を必要としないため、装置を単純化する事ができる。ま
た、所定の力を与える時間を非常に短くすることが容易
であり、ＳＴＭ探針製造にかかる時間を短くすることが
できるため、製造コストを低くすることができる。

【０００７】また、前記チップと、前記ストッパーを同
時に形成することを特徴とする電気化学ＳＴＭ探針の製
造方法とした。

【０００８】したがって、前記チップおよび前記ストッ
パーの高さの差を制御でき、かつ、高さの差を非常に小
さくできるため、大きさが均一で、かつ、微小な先端形
状を持つＳＴＭ探針を簡単に作製する事ができ、ＳＴＭ
探針の製造歩留まりを向上させることが容易である。

【０００９】また、前記チップと、前記ストッパーを同
一基板上に複数個形成することを特徴とする電気化学Ｓ
ＴＭ探針の製造方法とした。

【００１０】したがって、前記チップおよび前記ストッ
パーに、一括で前記力を加えることによって、一度に複
数のＳＴＭ探針を製造することが可能であり、探針一つ
あたりの加工時間を非常に短くすることができ、結果と
してＳＴＭ探針の作製コストを低くすることができる。

【００１１】また、前記押し込み体が前記チップの材質
よりも柔らかい材質から成ることを特徴とする電気化学
ＳＴＭ探針の製造方法とした。

【００１２】したがって、前記押し込み体が前記絶縁膜
を除去するときに前記チップ先端は変形せず、結果とし
てチップ先端が突出した構造のＳＴＭ探針を作製するこ
とができる。

【００１３】また、前記押し込み体が、前記チップおよ
び前記ストッパーに接触する部分が略平面であることを
特徴とする電気化学ＳＴＭ探針の製造方法とした。

【００１４】したがって、前記押し込み量がチップ高さ
とストッパー高さの差にのみ依存して決まるため、一定
の形状の先端を持つＳＴＭ探針を安定して作製すること
ができる。

【００１５】また、前記押し込み体のうち前記チップ先
端の略上方に当たる部分に、前記力が作用するように、
前記力を作用させる位置を調整する方法を含むことを特
徴とする電気化学ＳＴＭ探針の製造方法とした。

【００１６】したがって、常にチップ先端に制御されて
力が作用するため、所望のサイズの露出部を持つ先端を
安定して作製することができる。

【００１７】また、前記力を作用させる位置を調整する
方法が、前記押し込み体に設けられた位置合わせマーク
を利用するものであることを特徴とする電気化学ＳＴＭ
探針の製造方法とした。

【００１８】したがって、力を作用させる位置を簡単に
決めることができ、ＳＴＭ探針の製造が低コストで行え
る。

【００１９】また、前記押し込み体が、光学的に透明な
材質から成ることを特徴とする電気化学ＳＴＭ探針の製
造方法とした。

【００２０】したがって、押し込み体に力を加えるとき
に、押し込み体の下方にあるチップの位置を確認するこ
とができ、常にチップ先端に同一の力が作用するため
に、一定サイズの露出部を持つ先端を安定して作製する
ことができる。

【００２１】また、押し込み体が多数あり、柔軟な構造
体によって互いに接続されていることを特徴とする電気
化学ＳＴＭ探針の製造方法とした。

【００２２】したがって、チップが形成されている基板
がたわんでいても、押し込み体がチップとストッパーに
密着した姿勢で力を加えられることができ、一定サイズ
の露出部を持つ先端を安定して作製することができる。

【００２３】また、前記押し込み体のうち、前記チップ
に対向する面に突起が形成されていることを特徴とする
電気化学ＳＴＭ探針の製造方法とした。

【００２４】したがって、前記チップと前記ストッパー
の高さに大きな差が有る場合でも、チップに押し込み体
が接触することができ、安定したサイズおよび形状の露
出部を持つ探針を作製することができる。さらに、基板
上の単位面積あたりに集積度を高くしてチップとストッ
パーを形成した場合でも、押し込み体の突起がチップ先
端に接触することができる。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の電気化学ＳＴＭ探
針の製造方法について、添付の図面を参照して詳細に説
明する。（実施の形態１）図１は本発明の実施の形態１に係る電
気化学ＳＴＭ探針の製造方法について説明した図であ
る。図１に示す、ワーク１０００は、基板４上に形成さ
れた導電層５、導電層５の上に形成された錘状のチップ
１および尾根状のストッパー２、チップ１、ストッパー
２および導電層５の上に形成された絶縁膜３からなる。
なお、ワーク１０００において、導電層５は、必ずしも
必要ではなく、その場合、絶縁膜３は、チップ１、スト
ッパー２および基板４上に形成される。また、絶縁膜３
は、チップ１にだけ堆積されていてもよい。

【００２６】チップ１の高さＨ１は、数ｍｍ以下であ
り、ストッパー２の高さＨ２は、数ｍｍ以下である。高
さＨ１と高さＨ２の差は、１０００ｎｍ以下である。チ
ップ１とストッパー２の間隔は、数ｍｍ以下である。ま
た、絶縁膜３の厚さは、絶縁膜３の材質によって異なる
が、数１０ｎｍから数１００ｎｍである。

【００２７】チップ１は金から成るが、他の導電性材質
たとえば白金やタングステンなどによって形成しても良
い。ストッパー２、導電層５はチップ１と同一材料で構
成されても良いし、別々の材料で構成されても良い。絶
縁膜３はエポキシから構成されているが、他の絶縁性材
質たとえばシリコーン、ガラスエポキシ、水ガラスなど
によって構成されても良い。これらの絶縁膜３はスピン
コートによって作製したが、スプレーあるいはローラー
コートを用いても良い。

【００２８】図２は、電気化学ＳＴＭ探針の製造方法に
おいて、チップ１上の絶縁膜３を塑性変形させている状
態を示した図である。図１で示したワーク１０００の上
に、チップ１および少なくともストッパー２の一部を覆
い、かつ、少なくともチップ１およびストッパー２側が
平面である板６を載せ、さらに板６の上には、押し込み
用具７を載せる。このとき、板６は透明なガラスを用い
た。板６を載せた後でも顕微鏡あるいは目視によってチ
ップ１の位置を確認することができる。本実施の形態に
おいては顕微鏡によって２方向からチップ１と押し込み
用具７の位置を確認し、押し込み用具７がチップ１の真
上に配置されるようにした。押し込み用具７にチップ１
の中心軸方向に力Ｆを加えることによって、板６がチッ
プ１に向かって移動する。チップ１と板６との接触面積
に比べて、ストッパー２と板６との接触面積は、数百〜
数万倍も大きい。したがって、与えられた力Ｆは、スト
ッパー２によって分散され、結果として板６の変位量は
小さくなる。板６の変位量が小さいため、絶縁膜３が受
ける塑性変形量は非常に小さい。また、チップ１および
ストッパー２は、非常に小さな弾性変形を受けるのみで
ある。力Fの加え方は、所定の重さのおもりを所定の距
離だけ持ち上げて、自由落下させる方法や、所定のバネ
定数のバネを押し込み用具７に取り付け、所定の距離だ
けバネを押し込む方法などがある。板６が、絶縁膜３よ
りも硬く、チップ１およびストッパー２よりも柔らかい
材料である場合、チップ１およびストッパー２が受ける
力は、板６によって吸収されるため、板６の変位量がよ
り小さくなり、絶縁膜３の塑性変形量を小さくすること
が容易となる。

【００２９】図３は、力Ｆを加えた後に、板６および押
し込み用具７を取り除いた状態を示した図である。絶縁
膜３の塑性変形量が非常に小さく、チップ１およびスト
ッパー２が弾性変形領域でのみ変位しているため、チッ
プ１の先端に露出部８が形成される。露出部８の大きさ
は、力Ｆの大きさを調整することによって数ｎｍから数
μｍ程度の大きさでよく制御される。なお、上記では、
押し込み用具7とワーク１０００の間に板６が挿入され
ていたが、板６を除去して直接押し込み用具７で押し込
むことによっても同様に露出部８を形成できる。

【００３０】図４は図１に示したワーク１０００を作製
する方法を示す。まず、ステップ１Ｓ１で、金属基板１
１に酸化ケイ素マスク１２をパターニングし、ドライエ
ッチングによって凹部１３を形成する。次にステップ２
Ｓ２において金属を蒸着する。金属膜１４は酸化ケイ素
マスク１２と、金属基板１１の上に堆積する。ステップ
３Ｓ３で、酸化ケイ素マスク１２をリフトオフする。最
後にステップ４Ｓ４で全体に対してスピンコート法によ
ってエポキシ絶縁膜３を塗布する。

【００３１】以上説明したように、本発明の電気化学Ｓ
ＴＭ探針の製造方法によれば、ストッパー２によって板
６の変位量を良好に制御することができ、かつ、板６の
変位量を非常に小さくできるため、大きさが均一で小さ
な露出部８をチップ１先端に容易に作製することができ
る。このようにして作製したチップ１はダイシングによ
って切り出され、支持体に接着されたあと配線を接続さ
れてＳＴＭ探針として機能するものになる。

【００３２】我々の実験では、手に持ったハンマーなど
で、押し込み用具７を叩くだけで直径１００ｎｍ以下の
露出部８を形成する事ができた。また、チップ１とスト
ッパー２の高さが良好に制御されるため、露出部８の作
製歩留まりが向上した。また、本発明の実施の形態１で
説明したワーク１０００は、フォトリソグラフィ工程に
よって作製可能なため、ウエハなどの大きな面積を有す
る試料に、複数個作製することが可能であり、力Ｆを一
定にすることによって複数個作製されたワーク１０００
それぞれに対して均一なサイズの露出部８を形成する事
ができる。また、力Ｆの大きさを変えることが非常に簡
単なため、複数個作製されたワーク１０００に対して個
別にサイズの異なる露出部８を形成する事が可能であ
る。また、単純に力Ｆを加えるだけで露出部８が形成さ
れるため、露出部作製にかかる時間は数秒から数１０秒
と非常に短い。また、本発明の実施の形態１によれば、
加工雰囲気を問わない。従って、大気中で加工する事が
可能でありすぐに光学顕微鏡などで加工状態を観察でき
る。また、走査型電子顕微鏡中で加工することによっ
て、光学顕微鏡よりも高い分解能で加工状態を観察する
ことも可能である。また、液体中で加工することによっ
て、液体がダンパーの役目をするため、より制御性の向
上した加工条件が得られる。

【００３３】また、ワーク１０００が複数個作製された
試料に対して、一括で力Ｆを加えることによって、サイ
ズのそろった露出部８を一度に複数個作製する事も可能
である。一括で加工する場合、ウエハ一枚あたりのワー
ク１０００の数にもよるが、露出部1個あたりの加工時
間は、数百ミリ秒以下と非常に短くなる。（実施の形態２）図５は本発明の実施の形態２に係るワ
ークの作製プロセスを示す。ステップ１Ｓ１１では、ボ
ロンなどの不純物ドーピングによって導電性を持たせた
シリコン基板１５の上に、酸化ケイ素マスク１６を形成
する。次に、Ｓ１２ではドライエッチングによってシリ
コンのチップ１７とストッパー１８を形成する。Ｓ１３
のステップではエポキシから成る絶縁膜３をスピンコー
トによって塗布した。このようにして作製されたワーク
に対し、実施の形態１で説明した方法によってチップ１
７の先端に微小な露出部を作製することによって、ＳＴ
Ｍ探針が製造される。（実施の形態３）図６に本発明の実施の形態３に係る方
法で作製したチップ先端形状を示す。実施の形態１との
違いは、板６の材質を、チップ１の材質と比較して硬い
ものにした場合と柔らかいものにした場合を実施した点
であり、その他の工程については実施の形態１と同一で
あるので説明を略す。図６（ａ）は板６の材質がチップ
１の材質よりも硬い場合に作製されるチップ先端形状、
図６（ｂ）は板６の材質がチップ１の材質よりも柔らか
い場合に作製されるチップの先端形状である。（ａ）で
はチップ先端が平坦になっていて、これを電気化学ＳＴ
Ｍの探針として利用した場合には、探針先端の導電性部
を加工対象物表面に非常に近接させることが可能であ
る。一方（ｂ）の場合は、チップ先端に突出部２１があ
る。これにより、突出部２１の先端でのみ加工されるこ
とになり、高解像度の加工が可能となる。このように、
板６の材質を変えることで、所望の形状のチップを簡単
に作製することができる。（実施の形態４）図７と図８は本発明の実施の形態４に
係る電気化学ＳＴＭ探針の製造方法を説明する図であ
る。図７は多数のチップ１とストッパー２が配列して形
成されたウェハの一部の上面図である。実施の形態１と
の違いは板６の代わりに図８に示す板２２を用いて露出
部を作製する点であり、その他については同一であるの
で説明を略す。図８に示す板２２は、図７に示すウェハ
とほぼ同じサイズである、ガラス板である。これにはあ
らかじめ、位置決め線２３が印刷されており、縦横線の
交点が図７のチップ１の先端の真上に配置される。この
板２２をウェハの上に載せ、押し込み用具（図示略）を
位置決め線２３の交点の上に載せて上から衝撃を与える
ことで、チップ１の先端に導電性露出部を作製する。

【００３４】これにより、押し込み用具の位置合わせが
容易になり、また、板２２として透明でない材質、たと
えば金属を用いたとしても正確にチップ１の先端に一定
のサイズの露出部を作製することができる。（実施の形態５）図９は本発明の実施の形態５に係る電
気化学ＳＴＭ探針の製造方法で使われる押し込み板付き
シート３４を示す。シート３４はポリエチレンから成る
薄いシート３５にガラスから成る板３６が接着されてい
る。板３６の大きさは本実施の形態においては２ｍｍ角
の正方形であるが、数百μｍから数ｃｍまでの適当なサ
イズであればよい。実施の形態１との違いは板６の代わ
りに押し込み板付きシート３４を用いる点である。この
押し込み板付きシートを、チップ１が形成されたウェハ
（図示略）の上に載せ、押し込み用具（図示略）を用い
てチップ１の先端に導電性露出部を作製する。ウェハは
図１に示すようにシリコン基板に二酸化ケイ素などを積
層しているために、完全な平面にはならず反りを持つ。
本実施の形態においては柔らかい構造を持つシートに板
を接着しているものを用いるため、ウェハの反りに沿っ
た形で押し込み板３６が配置でき、ウェハのどの場所に
おいても同一の力でチップ先端に圧力がかかる。これに
より極めて均一なサイズの導電性露出部が安定的に作製
できる。（実施の形態６）図１０は本発明の実施の形態６に係る
電気化学ＳＴＭ探針の製造方法において、チップ１上の
絶縁膜３を塑性変形させている状態を示した図である。
実施の形態１との違いは、板６に突起４１が形成されて
いる点であり、その他については同一であるので説明を
省略する。突起４１は数十ｎｍから数十μｍまでの適当
なサイズにして形成される。このようにすることで、隣
り合うストッパー２の距離が短い場合でも突起４１によ
ってチップ１先端に塑性変形を起こすことができる。こ
れによって一枚のウェハから、より多数のチップを集積
して形成することができる。また、シリコンのエッチン
グなどの別の方法によってチップとストッパーを形成
し、高さにμｍオーダーの大きな差がある場合でも、突
起４１の高さを調整することにより、安定した電気化学
ＳＴＭ探針の製造が可能である。

【００３５】

【発明の効果】チップ１とストッパー２の高さ、および
力Ｆを制御することによって、簡単にチップ先端部分の
絶縁膜のみを選択的に除去することができる。また、こ
の方法は、真空中、液中、大気中など様々な環境下で実
行することができる。絶縁膜を除去するための特別な制
御装置も不必要で、短時間に安価に大量のＳＴＭ探針を
作製することができる。本発明による方法で作製された
ＳＴＭ探針は、大きさが均一で、かつ微小な先端形状を
持つ。チップ先端に加えられる力Ｆは常に一定の大きさ
で、一定の方向から加えられるように装置を調整するこ
とが容易であり、一定形状の先端部を持つＳＴＭ探針を
安定的に大量生産することができる。また、複数個のチ
ップ１に対して一括して絶縁膜を除去することも容易で
あり、ＳＴＭ探針の作製コスト低減という効果も大き
い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１に係る電気化学ＳＴＭ探
針の製造方法について説明した図である。

【図２】電気化学ＳＴＭ探針の製造方法において、チッ
プ１上の絶縁膜３を塑性変形させている状態を示した図
である。

【図３】力Ｆを加えた後に、板６および押し込み用具７
を取り除いた状態を示した図である。

【図４】ワーク１０００を作製する方法を示す図であ
る。

【図５】本発明の実施の形態２に係るワークの作製プロ
セスを示す図である。

【図６】本発明の実施の形態３に係る方法で作製したチ
ップ先端形状を示す図である。

【図７】本発明の実施の形態４に係る電気化学ＳＴＭ探
針の製造方法を説明する図である。

【図８】本発明の実施の形態４に係る電気化学ＳＴＭ探
針の製造方法を説明する図である。

【図９】本発明の実施の形態５に係る電気化学ＳＴＭ探
針の製造方法で使われる押し込み板付きシート３４を示
す図である。

【図１０】本発明の実施の形態６に係る電気化学ＳＴＭ
探針の製造方法を説明する図である。

【符号の説明】

１チップ２ストッパー３絶縁膜４基板５導電層６板７押し込み用具８露出部１１金属基板１２酸化ケイ素マスク１３凹部１４金属膜１５シリコン基板１６酸化ケイ素マスク１７チップ１８ストッパー２１突出部２２板２３位置決め線３４押し込み板付きシート３５シート３６板４１突起１０００ワークＦ力Ｈ１チップ１の高さＨ２ストッパー２の高さＳ１〜Ｓ４ワーク１０００作製プロセスＳ１１〜Ｓ１３ワーク作製プロセス

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者前田英孝千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地株式会社エスアイアイ・アールディセンター内 (72)発明者加藤健二千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地株式会社エスアイアイ・アールディセンター内 (72)発明者篠原陽子千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地株式会社エスアイアイ・アールディセンター内 (72)発明者光岡靖幸千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地株式会社エスアイアイ・アールディセンター内 (72)発明者市原進千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地株式会社エスアイアイ・アールディセンター内 (72)発明者笠間宣行千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地株式会社エスアイアイ・アールディセンター内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】微小な先端形状をもち、電気的絶縁性を
有する物質で最先端部以外を被覆された探針を、電解質
溶液中で試料に近接させて、試料表面の形状測定や電気
化学的情報の計測もしくは、電気化学的な加工を行う電
気化学ＳＴＭにおける前記探針の製造方法において、導
電性材料あるいは支持体材料の一部を先鋭化してチップ
を作製する工程と、前記チップの近傍に配置され、前記
チップと略同じ高さを有するストッパーを作製する工程
と、前記チップ全体を絶縁膜で被覆する工程と、少なく
とも前記チップおよび前記ストッパーの少なくとも一部
を覆い、前記絶縁膜の材質よりも硬い材質から成る押し
込み体を、前記チップに向かう成分を有する力によって
変位させることによって、前記チップ先端部分の絶縁膜
のみを選択的に除去する工程と、を含むことを特徴とす
る電気化学ＳＴＭ探針の製造方法。
【請求項２】前記チップと、前記ストッパーを同時に
形成することを特徴とする請求項１に記載の電気化学Ｓ
ＴＭ探針の製造方法。
【請求項３】前記チップと、前記ストッパーを同一基
板上に複数個形成することを特徴とする請求項１あるい
は２に記載の電気化学ＳＴＭ探針の製造方法。
【請求項４】前記押し込み体が前記チップの材質より
も柔らかい材質から成ることを特徴とする請求項１から
３のいずれかに記載の電気化学ＳＴＭ探針の製造方法。
【請求項５】前記押し込み体が、前記チップおよび前
記ストッパーに接触する部分が略平面であることを特徴
とする請求項１から４のいずれかに記載の電気化学ＳＴ
Ｍ探針の製造方法。
【請求項６】前記押し込み体のうち前記チップ先端の
略上方に当たる部分に、前記力が作用するように、前記
力を作用させる位置を調整する方法を含むことを特徴と
する請求項１から５のいずれかに記載の電気化学ＳＴＭ
探針の製造方法。
【請求項７】前記力を作用させる位置を調整する方法
が、前記押し込み体に設けられた位置合わせマークを利
用するものであることを特徴とする請求項６に記載の電
気化学ＳＴＭ探針の製造方法。
【請求項８】前記押し込み体が、光学的に透明な材質
から成ることを特徴とする請求項１から７のいずれかに
記載の電気化学ＳＴＭ探針の製造方法。
【請求項９】前記押し込み体が多数あり、柔軟な構造
体によって互いに接続されていることを特徴とする請求
項１から８のいずれかに記載の電気化学ＳＴＭ探針の製
造方法。
【請求項１０】前記押し込み体のうち、前記チップに
対向する面に突起が形成されていることを特徴とする請
求項１から９のいずれかに記載の電気化学ＳＴＭ探針の
製造方法。