JP2007119744A5 - - Google Patents

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本発明は、上記課題を解決するため、主として次の構成を有する。すなわち、(a)少なくとも一般式(1)で表されるフッ素含有シラン化合物および一般式(2)で表されるエポキシ基含有シラン化合物を共重合成分とするフッ素含有シロキサンポリマーを含有することを特徴とする熱硬化性樹脂組成物である。
Si(OR4−m (1)
(ただし、Rはフッ素数3〜17のフルオロアルキル基を表す。Rはメチル基、エチル基またはイソプロピル基を表し、それぞれ同一でも異なっていても良い。mは1または2を表す。mが2のとき、Rはそれぞれ同一でも異なっていても良い。)
Si(OR4−n (2)
(ただし、Rはアルキル基の水素原子の一部がエポキシ基またはグリシドキシ基で置換された置換体を表す。Rはメチル基、エチル基またはイソプロピル基を表し、それぞれ同一でも異なっていても良い。nは1または2を表す。nが2のとき、Rはそれぞれ同一でも異なっていても良い。)
本発明に用いられる(a)フッ素含有シロキサンポリマーに下記一般式(2)で表されるエポキシ基含有シラン化合物を導入することにより、ポリマー内に水酸基を導入し、硬化膜を形成した場合、膜上へのレジストの塗布性を良好にする。該エポキシ基含有シラン化合物を用いることにより、フッ素原子を多く含む低屈折率の硬化膜においても、フッ素の有する撥水性を抑制し、“はじき”などの塗布異常を防ぐことができる。
Si(OR4−n (2)
ただし、Rはアルキル基の水素原子の一部がエポキシ基またはグリシドキシ基で置換された置換体を表す。Rはメチル基、エチル基またはイソプロピル基を表し、それぞれ同一でも異なっていても良い。nは1または2を表す。nが2のとき、Rはそれぞれ同一でも異なっていても良い。
実施例3
メチルトリエトキシシラン106.98g(0.6モル)、ヘプタデカフルオロデシルトリメトキシシラン113.62g(0.2モル)、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、44.06g(0.2モル)をプロピレングリコールモノプロピルエーテル(沸点150℃)338.07gに溶解し、これに、水57.60g、リン酸1.32gを撹拌しながら加えた。得られた溶液をバス温105℃で2時間加熱し、内温を90℃まで上げて、主として副生するメタノールからなる成分を留出せしめた。次いでバス温140℃で2.0時間加熱し、内温を118℃まで上げて、主として水とプロピレングリコールモノプロピルエーテルからなる成分を留出せしめた後、室温まで冷却し、固形分濃度24.3重量%のポリマー溶液Cを得た。
実施例7
実施例2で得られた固形分濃度30.9重量%のポリマー溶液Bから80.9gはかり取り、プロピレングリコールモノブチルエーテル19.1gを混合し、光酸発生剤 TPS−109(みどり化学(株)製)0.75gと、n−ブチロニトリル(東京化成工業(株)製)1.25g、増感剤9,10−ジプロポキシアントラセン(東京化成工業(株)製)0.5gを添加し、室温にて2時間撹拌、熱硬化性樹脂組成物B1を得た。得られた熱硬化性樹脂組成物B1を用いて、前記のように感光特性について評価した。また、樹脂膜を160℃で10分間熱処理して低屈折率透明硬化膜を作製し、屈折率、耐薬品性、透明性、平坦化性、表面ぬれ性、耐熱性について評価を行った。

Claims (1)

  1. (a)少なくとも一般式(1)で表されるフッ素含有シラン化合物および一般式(2)で表されるエポキシ基含有シラン化合物を共重合成分とするフッ素含有シロキサンポリマーを含有することを特徴とする熱硬化性樹脂組成物。
    Si(OR4−m (1)
    (ただし、Rはフッ素数3〜17のフルオロアルキル基を表す。Rはメチル基、エチル基またはイソプロピル基を表し、それぞれ同一でも異なっていても良い。mは1または2を表す。mが2のとき、Rはそれぞれ同一でも異なっていても良い。)
    Si(OR4−n (2)
    (ただし、Rは水素原子の一部がエポキシ基またはグリシドキシ基で置換されたアルキル基を表す。Rはメチル基、エチル基またはイソプロピル基を表し、それぞれ、同一でも異なっていても良い。nは1または2を表す。nが2のとき、Rはそれぞれ同一でも異なっていても良い。)
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