CN110419000A - 感光性硅氧烷树脂组合物、固化膜及触摸面板用构件 - Google Patents

感光性硅氧烷树脂组合物、固化膜及触摸面板用构件 Download PDF

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Abstract

本发明的课题是提供能够低温固化，保存稳定性和分辨率优异，能够抑制显影残渣，可以获得硬度高，耐化学品性、基板密合性优异的固化膜的感光性硅氧烷树脂组合物。本发明是一种感光性硅氧烷树脂组合物，其含有：(A)聚硅氧烷、(B)光自由基聚合引发剂、(C)多官能单体和(D)磷酸衍生物胺盐。

Description

感光性硅氧烷树脂组合物、固化膜及触摸面板用构件
技术领域
本发明涉及感光性硅氧烷树脂组合物、使用了该组合物的固化膜、叠层体及其制造方法以及触摸面板用构件。
背景技术
现在，智能手机、平板终端多数使用静电容量式触摸面板。静电容量式触摸面板的传感器基板一般结构是在玻璃上具有形成了ITO(Indium Tin Oxide，氧化铟锡)、金属(银、钼、铝等)图案的配线，在配线的交叉部具有绝缘膜、保护ITO和金属的保护膜。
触摸面板的方式大致区分为在覆盖玻璃与液晶面板之间形成触摸面板层的Out-cell型、在覆盖玻璃上直接形成触摸面板层的OGS(One Glass Solution)型、在液晶面板上形成触摸面板层的On-cell型、在液晶面板的内部形成触摸面板层的In-cell型。近年来，从与以往相比制造工艺能够简化考虑，On-cell型的开发盛行。在On-cell型中，由于在液晶面板上直接形成触摸面板层，因此需要在液晶的耐热温度以下的低温下形成配线、保护膜、绝缘膜。
以往，触摸面板的保护膜通过高硬度的无机系的SiO2、SiNx、感光性透明材料等形成的情况多，绝缘膜通过感光性透明材料形成的情况多。然而，SiO2、SiNx等无机系材料需要通过CVD(化学气相沉积，Chemial Vapor Deposition)进行高温制膜而形成，难以应用于On-cell型。因此，要求能够低温固化、硬度高、耐化学品性、基板密合性优异、能够图案加工的感光性透明材料。
作为感光性透明材料，提出了包含具有(甲基)丙烯酰基和酸基的聚合物、3官能以上的烯属不饱和化合物、光聚合引发剂、以及具有磷酸酯结构和烯属不饱和基的化合物的感光性树脂组合物(例如，参照专利文献1)，包含含有磷酸基等特定酸性基的多官能(甲基)丙烯酸酯单体、硅氧烷化合物、和光自由基聚合引发剂的能够碱显影的负型的光间隔物用感光性树脂组合物(例如，参照专利文献2)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2016-153834号公报
专利文献2：日本特开2011-203577号公报
发明内容
发明所要解决的课题
专利文献1所公开的树脂组合物具有硬度不充分的课题。此外，通过含有磷酸化合物，基板密合性提高，另一方面，具有因为磷酸化合物的强酸性而保存稳定性降低的课题。此外，专利文献2中，作为多官能(甲基)丙烯酸酯单体中的酸性基的盐，公开了与季铵离子等阳离子的盐，但因为这样的盐的高亲水性，具有分辨率降低、产生显影残渣等图案加工性降低和耐化学品性降低等课题。
因此，本发明的课题是提供能够低温固化、保存稳定性和分辨率优异，能够抑制显影残渣，可以获得硬度高、耐化学品性、基板密合性优异的固化膜的感光性硅氧烷树脂组合物。
用于解决课题的方法
本发明是一种感光性硅氧烷树脂组合物，其含有：(A)聚硅氧烷、(B)光自由基聚合引发剂、(C)多官能单体和(D)磷酸衍生物胺盐。
发明的效果
本发明的感光性硅氧烷树脂组合物能够低温固化，保存稳定性和分辨率优异，能够抑制显影残渣。根据本发明的感光性硅氧烷树脂组合物，可以获得硬度高、耐化学品性和基板密合性优异的固化膜。
具体实施方式
本发明的感光性硅氧烷树脂组合物含有(A)聚硅氧烷、(B)光自由基聚合引发剂、(C)多官能单体和(D)磷酸衍生物胺盐。通过含有(A)聚硅氧烷，从而通过加热而聚硅氧烷的热聚合(缩合)进行，交联密度提高，因此可以获得高硬度的固化膜。此外，通过含有(B)光自由基聚合引发剂和(C)多官能单体，从而通过因为光照射而由(B)光自由基聚合引发剂产生的自由基，(C)多官能单体的聚合进行，感光性硅氧烷树脂组合物的曝光部相对于碱水溶液不溶化，能够形成负型的图案。这样，通过将(A)聚硅氧烷的热聚合反应和(C)多官能单体的光自由基聚合反应组合，能够低温固化。进一步，通过含有(D)磷酸衍生物胺盐，使保存稳定性和分辨率提高，能够抑制显影残渣，可以使耐化学品性和基板密合性大幅提高。
(A)聚硅氧烷
(A)聚硅氧烷为有机硅烷的水解/脱水缩合物，在本发明中，优选具有(a1)自由基聚合性基和(a2)亲水性基。通过在聚硅氧烷中具有(a1)自由基聚合性基，可以使硬度和耐化学品性更加提高。由于曝光部与未曝光部的固化度的对比度易于形成，因此能够进一步提高分辨率，进一步抑制显影残渣。此外，通过在聚硅氧烷中具有(a2)亲水性基，可以使显影性进一步提高，进一步抑制显影残渣。
作为(a1)自由基聚合性基，可举出例如，乙烯基、α-甲基乙烯基、烯丙基、苯乙烯基、(甲基)丙烯酰基等。可以具有它们中的2种以上。其中，优选为苯乙烯基，可以使固化膜的硬度、耐化学品性、与MAM(钼/铝/钼的叠层膜)基板的密合性更加提高。(A)聚硅氧烷优选在全部重复中含有20～85摩尔％的具有苯乙烯基作为(a1)自由基聚合性基的重复单元。通过含有20摩尔％以上的具有苯乙烯基的重复单元，能够使固化膜的硬度、耐化学品性、与MAM基板的密合性更加提高。进一步优选含有40摩尔％以上的具有苯乙烯基的重复单元。另一方面，通过含有85摩尔％以下的具有苯乙烯基的重复单元，可以使分辨率更加提高。进一步优选含有70摩尔％以下的具有苯乙烯基的重复单元。具有苯乙烯基的有机硅烷单元的含有比率可以通过进行29Si-NMR测定，算出来源于具有苯乙烯基的有机硅烷单元的Si的积分值相对于来源于有机硅烷的Si整体的积分值的比例来求出。
作为(a2)亲水性基，可举出例如，羧基、羧酸酐基、磺酸基、酚性羟基、羟基酰亚胺基等。可以具有它们中的2种以上。它们之中，从进一步抑制显影残渣，使保存稳定性更加提高的观点考虑，优选为羧基、羧酸酐基，更优选为羧酸酐基。(a)聚硅氧烷优选在全部重复中含有5～20摩尔％的具有羧酸酐基作为(a2)亲水性基的重复单元。通过含有5摩尔％以上的具有羧酸酐基的重复单元，可以更加抑制显影残渣。另一方面，通过含有20摩尔％以下的具有羧酸酐基的重复单元，能够使分辨率更加提高。包含羧酸酐基的有机硅烷单元的含有比率可以通过进行29Si-NMR测定，算出来源于具有羧酸酐基的有机硅烷单元的Si的积分值相对于来源于有机硅烷的Si整体的积分值的比例来求出。
具有(a1)自由基聚合性基和(a2)亲水性基的聚硅氧烷，例如，可以通过将包含具有自由基聚合性基的有机硅烷化合物和具有亲水性基的有机硅烷化合物的多个有机硅烷化合物进行水解和脱水缩合来获得。可以将除具有自由基聚合性基的有机硅烷化合物和具有亲水性基的有机硅烷化合物以外的有机硅烷化合物与它们一起进行水解和脱水缩合。
作为具有自由基聚合性基的有机硅烷化合物，可举出例如，乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(甲氧基乙氧基)硅烷、乙烯基甲基二甲氧基硅烷、乙烯基甲基二乙氧基硅烷、乙烯基甲基二(甲氧基乙氧基)硅烷等具有乙烯基的有机硅烷化合物；烯丙基三甲氧基硅烷、烯丙基三乙氧基硅烷、烯丙基三(甲氧基乙氧基)硅烷、烯丙基甲基二甲氧基硅烷、烯丙基甲基二乙氧基硅烷、烯丙基甲基二(甲氧基乙氧基)硅烷等具有烯丙基的有机硅烷化合物；苯乙烯基三甲氧基硅烷、苯乙烯基三乙氧基硅烷、苯乙烯基三(甲氧基乙氧基)硅烷、苯乙烯基甲基二甲氧基硅烷、苯乙烯基甲基二乙氧基硅烷、苯乙烯基甲基二甲氧基硅烷、苯乙烯基甲基二(甲氧基乙氧基)硅烷等具有苯乙烯基的有机硅烷化合物；γ-丙烯酰基丙基三甲氧基硅烷、γ-丙烯酰基丙基三乙氧基硅烷、γ-丙烯酰基丙基三(甲氧基乙氧基)硅烷、γ-甲基丙烯酰基丙基三甲氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰基丙基三乙氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰基丙基三(甲氧基乙氧基)硅烷、γ-甲基丙烯酰基丙基甲基二甲氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰基丙基甲基二乙氧基硅烷、γ-丙烯酰基丙基甲基二甲氧基硅烷、γ-丙烯酰基丙基甲基二乙氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰基丙基(甲氧基乙氧基)硅烷等具有(甲基)丙烯酰基的有机硅烷化合物等。可以使用它们中的2种以上。它们之中，优选为具有苯乙烯基的有机硅烷化合物，更优选为苯乙烯基三甲氧基硅烷、苯乙烯基三乙氧基硅烷，进一步优选为苯乙烯基三甲氧基硅烷。
作为具有亲水性基的有机硅烷化合物，优选为具有羧酸基和/或羧酸酐基的有机硅烷化合物，更优选为具有羧酸酐基的有机硅烷化合物。
作为具有羧酸酐基的有机硅烷化合物，可举出例如，具有下述通式(3)～(5)中的任一者所示的结构的有机硅烷化合物等。可以使用它们中的2种以上。
在上述通式(3)～(5)中，R6～R8、R10～R12和R14～R16各自独立地表示碳原子数1～6的烷基、碳原子数1～6的烷氧基、苯基、苯氧基或碳原子数2～6的烷基羰氧基。优选为碳原子数1～6的烷氧基。
在上述通式(3)～(5)中，R9、R13和R17各自独立地表示单键、碳原子数1～10的2价链状脂肪族烃基、碳原子数3～16的2价环状脂肪族烃基、羰基、醚基、酰胺基、芳香族基或具有它们中的任一者的2价基团。优选为-C2H4-、-C3H6-、-C4H8-、-O-、-C3H6OCH2CH(OH)CH2O2C-、-CO-、-CO2-、-CONH-、具有以下结构的基团等。
在上述通式(3)～(5)中，h和k各自独立地表示0～3的整数。优选为0～2的整数。
作为具有通式(3)所示的结构的有机硅烷化合物，可举出例如，3-三甲氧基甲硅烷基丙基琥珀酸酐、3-三乙氧基甲硅烷基丙基琥珀酸酐、3-三苯氧基甲硅烷基丙基琥珀酸酐等。
作为具有通式(4)所示的结构的有机硅烷化合物，可举出例如，3-三甲氧基甲硅烷基丙基环己基二甲酸酐等。
作为具有通式(5)所示的结构的有机硅烷化合物，可举出例如，3-三甲氧基甲硅烷基丙基邻苯二甲酸酐等。
作为除具有自由基聚合性基的有机硅烷化合物和具有亲水性基的有机硅烷化合物以外的有机硅烷化合物，可举出例如，甲基三甲氧基硅烷、甲基三乙氧基硅烷、甲基三(甲氧基乙氧基)硅烷、甲基三丙氧基硅烷、甲基三异丙氧基硅烷、甲基三丁氧基硅烷、乙基三甲氧基硅烷、乙基三乙氧基硅烷、己基三甲氧基硅烷、十八烷基三甲氧基硅烷、十八烷基三乙氧基硅烷、3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-(N,N-缩水甘油基)氨基丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、γ-氨基丙基三甲氧基硅烷、γ-氨基丙基三乙氧基硅烷、N-β-(氨基乙基)-γ-氨基丙基三甲氧基硅烷、β-氰基乙基三乙氧基硅烷、环氧丙氧基甲基三甲氧基硅烷、环氧丙氧基甲基三乙氧基硅烷、α-环氧丙氧基乙基三甲氧基硅烷、α-环氧丙氧基乙基三乙氧基硅烷、β-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、β-环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基三丙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基三异丙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基三丁氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基三(甲氧基乙氧基)硅烷、α-环氧丙氧基丁基三甲氧基硅烷、α-环氧丙氧基丁基三乙氧基硅烷、β-环氧丙氧基丁基三甲氧基硅烷、β-环氧丙氧基丁基三乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丁基三甲氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丁基三乙氧基硅烷、σ-环氧丙氧基丁基三甲氧基硅烷、σ-环氧丙氧基丁基三乙氧基硅烷、(3,4-环氧环己基)甲基三甲氧基硅烷、(3,4-环氧环己基)甲基三乙氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三丙氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三丁氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三乙氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三苯氧基硅烷、3-(3,4-环氧环己基)丙基三甲氧基硅烷、3-(3,4-环氧环己基)丙基三乙氧基硅烷、4-(3,4-环氧环己基)丁基三甲氧基硅烷、4-(3,4-环氧环己基)丁基三乙氧基硅烷、二甲基二甲氧基硅烷、二甲基二乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基甲基二甲基二甲氧基硅烷、γ-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、γ-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、环氧丙氧基甲基二甲氧基硅烷、环氧丙氧基甲基甲基二乙氧基硅烷、α-环氧丙氧基乙基甲基二甲氧基硅烷、α-环氧丙氧基乙基甲基二乙氧基硅烷、β-环氧丙氧基乙基甲基二甲氧基硅烷、β-环氧丙氧基乙基甲基二乙氧基硅烷、α-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、α-环氧丙氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、β-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、β-环氧丙氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基甲基二丙氧基硅烷、β-环氧丙氧基丙基甲基二丁氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基甲基二(甲氧基乙氧基)硅烷、γ-环氧丙氧基丙基乙基二甲氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基乙基二乙氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二乙氧基硅烷、环己基甲基二甲氧基硅烷、十八烷基甲基二甲氧基硅烷、四甲氧基硅烷、四乙氧基硅烷等。可以使用它们中的2种以上。
从涂布特性的观点考虑，(A)聚硅氧烷的重均分子量(Mw)优选为1,000以上，更优选为2,000以上。另一方面，从显影性的观点考虑，(A)聚硅氧烷的Mw优选为50,000以下，更优选为20,000以下。这里，本发明中的所谓(A)聚硅氧烷的Mw，是指通过凝胶渗透色谱(GPC)测定的聚苯乙烯换算值。
在本发明的感光性硅氧烷树脂组合物中，(A)聚硅氧烷的含量可以根据所希望的膜厚、用途而任意设定，但在感光性硅氧烷树脂组合物中，一般为10～80重量％。此外，(A)聚硅氧烷的含量在感光性硅氧烷树脂组合物的固体成分中，优选为10重量％以上，更优选为30重量％以上。另一方面，(A)聚硅氧烷的含量在感光性硅氧烷树脂组合物的固体成分中，优选为70重量％以下。
(A)聚硅氧烷可以通过在将上述的有机硅烷化合物水解后，使该水解物在溶剂的存在下或无溶剂的条件下进行脱水缩合反应而获得。
水解中的各种条件可以考虑反应规模、反应容器的大小、形状等，根据适于作为目的的用途的物性来设定。作为各种条件，可举出例如，酸浓度、反应温度、反应时间等。
水解反应中，可以使用盐酸、乙酸、甲酸、硝酸、草酸、盐酸、硫酸、磷酸、多磷酸、多元羧酸、它们的酸酐、离子交换树脂等酸催化剂。它们之中，优选为包含甲酸、乙酸和/或磷酸的酸性水溶液。
在水解反应使用酸催化剂的情况下，从使水解更加迅速地进行的观点考虑，酸催化剂的添加量相对于水解反应所使用的全部烷氧基硅烷化合物100重量份，优选为0.05重量份以上，更优选为0.1重量份以上。另一方面，从适度地调整水解反应的进行的观点考虑，酸催化剂的添加量相对于全部烷氧基硅烷化合物100重量份，优选为20重量份以下，更优选为10重量份以下。这里，所谓全部烷氧基硅烷化合物量，是指包含烷氧基硅烷化合物、其水解物及其缩合物全部的量，以下相同。
水解反应可以在溶剂中进行。可以考虑感光性硅氧烷树脂组合物的稳定性、润湿性、挥发性等来适当选择溶剂。作为溶剂，可举出例如，甲醇、乙醇、丙醇、异丙醇、丁醇、异丁醇、叔丁醇、戊醇、4-甲基-2-戊醇、3-甲基-2-丁醇、3-甲基-3-甲氧基-1-丁醇、双丙酮醇等醇类；乙二醇、丙二醇等二醇类；乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚、丙二醇单丙基醚、丙二醇单丁基醚、丙二醇单-叔丁基醚、乙二醇二甲基醚、乙二醇二乙基醚、乙二醇二丁基醚、乙醚等醚类；甲基乙基酮、乙酰丙酮、甲基丙基酮、甲基丁基酮、甲基异丁基酮、二异丁基酮、环戊酮、2-庚酮等酮类；二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺等酰胺类；乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、乙酸异丁酯、乙二醇单乙基醚乙酸酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯等乙酸酯类；甲苯、二甲苯、己烷、环己烷等芳香族或脂肪族烃；γ-丁内酯、N-甲基-2-吡咯烷酮、二甲亚砜等。可以使用它们中的2种以上。
它们之中，从固化膜的透射率和耐裂性等的观点考虑，优选使用双丙酮醇、丙二醇单甲基醚、丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚、丙二醇单丙基醚、丙二醇单丁基醚、丙二醇单-叔丁基醚、γ-丁内酯等。
在通过水解反应而生成溶剂的情况下，也可以在无溶剂的条件下进行水解。也优选通过在水解反应结束后，进一步添加溶剂，调整为作为感光性硅氧烷树脂组合物合适的浓度。此外，也可以在水解后通过在加热和/或减压下将生成醇等的总量或一部分馏出、除去，然后添加适合的溶剂。
在水解反应使用溶剂的情况下，从抑制凝胶生成的观点考虑，溶剂的添加量相对于全部烷氧基硅烷化合物100重量份，优选为50重量份以上，更优选为80重量份以上。另一方面，从使水解更加迅速地进行的观点考虑，溶剂的添加量相对于全部烷氧基硅烷化合物100重量份，优选为500重量份以下，更优选为200重量份以下。
此外，作为水解反应所使用的水，优选为离子交换水。水的量可以任意设定，但相对于全部烷氧基硅烷化合物1摩尔，优选为1.0～4.0摩尔。
作为脱水缩合反应的方法，可举出例如，将通过有机硅烷化合物的水解反应而获得的硅烷醇化合物溶液直接加热的方法等。加热温度优选为50℃以上、溶剂的沸点以下，加热时间优选为1～100小时。此外，为了提高聚硅氧烷的聚合度，可以进行再加热或碱催化剂的添加。此外，根据目的，可以在水解后，将适量的生成醇等在加热和/或减压下馏出、除去，然后添加适合的溶剂。
从感光性聚硅氧烷树脂组合物的保存稳定性的观点考虑，优选在水解、脱水缩合后的聚硅氧烷溶液中不包含上述催化剂，根据需要可以进行催化剂的除去。作为催化剂除去方法，从操作的简便性和除去性的观点考虑，优选为水洗涤、采用离子交换树脂的处理等。所谓水洗涤，是将聚硅氧烷溶液用适当的疏水性溶剂稀释后，用水洗涤数次，将所得的有机层用蒸发器等浓缩的方法。所谓采用离子交换树脂的处理，是使聚硅氧烷溶液与适当的离子交换树脂接触的方法。
(B)光自由基聚合引发剂
(B)光自由基聚合引发剂只要是通过光(包含紫外线、电子射线)进行分解和/或反应，使自由基产生的物质就可以，可举出例如，2-甲基-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮、2-二甲基氨基-2-(4-甲基苄基)-1-(4-吗啉-4-基-苯基)-丁烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮-1等α-氨基烷基苯酮化合物；2,4,6-三甲基苯甲酰基苯基氧化膦、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦、双(2,6-二甲氧基苯甲酰基)-(2,4,4-三甲基戊基)-氧化膦等酰基氧化膦化合物；1-苯基-1,2-丙烷二酮-2-(O-乙氧基羰基)肟、1,2-辛烷二酮,1-[4-(苯硫基)-2-(O-苯甲酰肟)]、1-苯基-1,2-丁二酮-2-(O-甲氧基羰基)肟、1,3-二苯基丙烷三酮-2-(O-乙氧基羰基)肟、乙酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-,1-(O-乙酰肟)等肟酯化合物；苯偶酰二甲基缩酮等苯偶酰缩酮化合物；2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、1-(4-异丙基苯基)-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮、4-(2-羟基乙氧基)苯基-(2-羟基-2-丙基)酮、1-羟基环己基-苯基酮等α-羟基酮化合物；二苯甲酮、4,4-双(二甲基氨基)二苯甲酮、4,4-双(二乙基氨基)二苯甲酮、O-苯甲酰基苯甲酸甲酯、4-苯基二苯甲酮、4,4-二氯二苯甲酮、羟基二苯甲酮、4-苯甲酰基-4’-甲基-二苯硫醚、烷基化二苯甲酮、3,3’,4,4’-四(叔丁基过氧化羰基)二苯甲酮等二苯甲酮化合物；2,2-二乙氧基苯乙酮、2,3-二乙氧基苯乙酮、4-叔丁基二氯苯乙酮、苯亚甲基苯乙酮、4-叠氮基苯亚甲基苯乙酮等苯乙酮化合物；2-苯基-2-氧基乙酸甲酯等芳香族酮酯化合物；4-二甲基氨基苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸(2-乙基)己酯、4-二乙基氨基苯甲酸乙酯、2-苯甲酰基苯甲酸甲酯等苯甲酸酯化合物等。可以含有它们中的2种以上。
它们之中，从使曝光灵敏度和固化膜的硬度更加提高的观点考虑，优选为酰基氧化膦化合物、肟酯化合物。这些化合物由于在光照射和热固化时也作为酸参与硅氧烷的交联，因此能够使硬度更加提高。
从有效地进行自由基固化的观点考虑，本发明的感光性硅氧烷树脂组合物中的(B)光自由基聚合引发剂的含量在固体成分中，优选为0.01重量％以上，更优选为1重量％以上。另一方面，从抑制残留的(B)光自由基聚合引发剂的溶出等，使耐化学品性更加提高的观点考虑，(B)光自由基聚合引发剂的含量在固体成分中，优选为20重量％以下，更优选为10重量％以下。
(C)多官能单体
所谓(C)多官能单体，是指分子中具有2个以上烯属不饱和双键的化合物。如果考虑自由基聚合性的进行容易性，则(C)多官能单体优选具有(甲基)丙烯酰基。此外，从使图案加工中的灵敏度和固化膜的硬度更加提高的观点考虑，(C)多官能单体的双键当量优选为80g/mol以上。另一方面，从使图案加工中的分辨率更加提高的观点考虑，(C)多官能单体的双键当量优选为400g/mol以下。
作为(C)多官能单体，可举出例如，二甘醇二丙烯酸酯、三甘醇二丙烯酸酯、四甘醇二丙烯酸酯、二甘醇二甲基丙烯酸酯、三甘醇二甲基丙烯酸酯、四甘醇二甲基丙烯酸酯、三羟甲基丙烷二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷二甲基丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、1,3-丁二醇二丙烯酸酯、1,3-丁二醇二甲基丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、1,4-丁二醇二丙烯酸酯、1,4-丁二醇二甲基丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、1,9-壬二醇二甲基丙烯酸酯、1,10-癸二醇二甲基丙烯酸酯、二羟甲基-三环癸烷二丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、三季戊四醇七丙烯酸酯、三季戊四醇八丙烯酸酯、四季戊四醇九丙烯酸酯、四季戊四醇十丙烯酸酯、五季戊四醇十一丙烯酸酯、五季戊四醇十二丙烯酸酯、三季戊四醇七甲基丙烯酸酯、三季戊四醇八甲基丙烯酸酯、四季戊四醇九甲基丙烯酸酯、四季戊四醇十甲基丙烯酸酯、五季戊四醇十一甲基丙烯酸酯、五季戊四醇十二甲基丙烯酸酯、二羟甲基-三环癸烷二丙烯酸酯等。可以含有它们中的2种以上。它们之中，从更加抑制显影时的残渣的观点考虑，优选为季戊四醇丙烯酸酯。
从有效地进行自由基固化的观点考虑，本发明的感光性硅氧烷树脂组合物中的(C)多官能单体的含量在固体成分中，优选为1重量％以上。另一方面，从抑制自由基的过剩反应而使分辨率更加提高的观点考虑，(C)多官能单体的含量在固体成分中，优选为40重量％以下。
(D)磷酸衍生物胺盐
本发明中的所谓(D)磷酸衍生物胺盐，是指(d1)磷酸衍生物化合物与(d2)胺化合物的盐。在感光性硅氧烷树脂组合物中，其一部分可以解离。
作为(d1)磷酸衍生物化合物，可举出例如，亚磷酸、亚磷酸酯、膦酸、膦酸酯、次膦酸、次膦酸酯、磷酸酯等。可以使用它们中的2种以上。它们之中，优选为具有下述通式(1)所示的结构的磷酸衍生物化合物。具有下述通式(1)所示的结构的磷酸衍生物化合物由于具有自由基聚合性基和羟基，因此在使感光性硅氧烷树脂组合物通过热和/或光而固化时，磷酸衍生物胺盐被有效率地引入到(A)聚硅氧烷中，能够抑制渗出。此外，能够使耐化学品性和与MAM基板的密合性更加提高。
在上述通式(1)中，R1表示具有自由基聚合性基的1价有机基。作为具有自由基聚合性基的1价有机基，可举出例如，碳原子数1～10的烷基的氢的至少一部分被乙烯基、α-甲基乙烯基、烯丙基、苯乙烯基、(甲基)丙烯酰基等自由基聚合性基取代了的基团等。作为上述自由基聚合性基，优选为(甲基)丙烯酰基，上述烷基的碳原子数优选为1～6。
在上述通式(1)中，R2表示氢原子、碳原子数1～20的烷基或具有自由基聚合性基的1价有机基。作为具有自由基聚合性基的1价有机基，可举出在R1中例示的基团。其中，优选为碳原子数1～6的烷基、氢的至少一部分被(甲基)丙烯酰基取代了的碳原子数1～6的烷基。
作为具有上述通式(1)所示的结构的磷酸衍生物化合物，可举出例如，2-甲基丙烯酰氧基乙基酸式磷酸酯(商品名P-1M，共荣社化学(株)制)、2-丙烯酰氧基乙基酸式磷酸酯(商品名P-1A，共荣社化学(株)制)、氧化乙烯改性磷酸二甲基丙烯酸酯(商品名PM-21，日本化药(株)制)、含有磷酸的环氧甲基丙烯酸酯(商品名“ニューフロンティア”(注册商标)S-23A，第一工业制药(株)制)等磷酸(甲基)丙烯酸酯类；乙烯基膦酸(商品名VPA-90、VPA-100，BASF社制)等磷酸乙烯基化合物等。可以使用它们中的2种以上。
作为(d2)胺化合物，可举出例如，伯胺、仲胺、叔胺等。可以使用它们中的2种以上。它们之中，优选为具有下述通式(2)所示的结构的胺化合物。具有下述通式(2)所示的结构的胺化合物由于具有羟基，因此在使感光性硅氧烷树脂组合物通过热和/或光而固化时，磷酸衍生物胺盐被有效率地引入到(A)聚硅氧烷中，可以抑制渗出。此外，可以使耐化学品性和与MAM基板的密合性更加提高。
在上述通式(2)中，R3表示具有羟基的碳原子数1～20的1价有机基。作为1价有机基，可举出例如，烷基、酰基、芳基等，优选为碳原子数1～10的烷基、碳原子数2～6的酰基、碳原子数6～15的芳基。它们之中，优选为氢的至少一部分被羟基取代了的碳原子数1～6的烷基。
在上述通式(2)中，R4和R5各自独立地表示氢原子、碳原子数1～10的烷基或具有羟基的碳原子数1～20的1价有机基。作为具有羟基的碳原子数1～20的1价有机基，可举出在R3中例示的基团。它们之中，优选为氢原子、碳原子数1～6的烷基、氢的至少一部分被羟基取代了的碳原子数1～6的烷基。
作为具有上述通式(2)所示的结构的胺化合物，可举出例如，乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、丙醇胺、甲醇胺、二甲基乙醇胺、二乙基乙醇胺、二丁基乙醇胺、N-甲基乙醇胺、N-甲基二乙醇胺、N-乙基乙醇胺、N-乙基二乙醇胺、N-正丁基乙醇胺、N-正丁基二乙醇胺、N-叔丁基乙醇胺、N-叔丁基二乙醇胺等链烷醇胺。可以使用它们中的2种以上。
(D)磷酸衍生物胺盐可以通过(d1)磷酸衍生物化合物与(d2)胺化合物的反应而形成盐来获得。从使感光性硅氧烷树脂组合物的保存稳定性更加提高的观点考虑，形成盐所使用的(d2)胺化合物相对于(d1)磷酸衍生物化合物的重量比(d2/d1)优选为0.1/9.9以上，更优选为0.3/9.7以上。另一方面，从使感光性硅氧烷树脂组合物的保存稳定性更加提高的观点考虑，(d2/d1)优选为1/9以下，更优选为0.5/9.5以下。
本发明的感光性聚硅氧烷树脂组合物只要含有(D)磷酸衍生物胺盐即可，可以与上述的(A)聚硅氧烷、(B)光自由基聚合引发剂、(C)多官能单体等一起配合(D)磷酸衍生物胺盐，也可以在它们中配合(d1)磷酸衍生物化合物和(d2)胺化合物，在感光性聚硅氧烷组合物中形成(D)磷酸衍生物胺盐。从使感光性聚硅氧烷树脂组合物的保存稳定性更加提高的观点考虑，优选与上述的(A)聚硅氧烷、(B)光自由基聚合引发剂、(C)多官能单体等一起配合(D)磷酸衍生物胺盐。
(E)热自由基产生剂
本发明的感光性聚硅氧烷树脂组合物优选进一步含有热自由基产生剂。通过含有热自由基产生剂，通过加热而产生自由基，不饱和双键的交联被促进，因此可以使硬度更加提高。作为热自由基产生剂，可举出例如，2,2’-偶氮二[2-甲基-N-(2-羟基乙基)丙胺]、2,2’-偶氮二[2-甲基-N-(2-丙烯基)-2-甲基丙胺]、2,2’-偶氮二(N-丁基-2-甲基丙胺)、二甲基2,2’-偶氮二(异丁酸酯)、4,4’-偶氮二(4-氰基戊酸)、2,2’-偶氮二[2-(2-咪唑啉-2-基)丙烷]二盐酸盐、2,2’-偶氮二[2-(2-咪唑啉-2-基)丙烷]、2,2’-偶氮二(2-甲基丙脒)二盐酸盐、2,2’-偶氮二[N-(2-羧基乙基)2-甲基丙脒]n水合物等。可以含有它们中的2种以上。它们之中，从使固化膜的硬度更加提高的观点考虑，优选为二甲基2,2’-偶氮二(异丁酸酯)。
从更加有效地进行固化的观点考虑，本发明的感光性硅氧烷树脂组合物中的(E)热自由基产生剂的含量在固体成分中优选为0.5重量％以上。另一方面，从抑制着色而使透明性提高的观点考虑，(E)热自由基产生剂的含量在固体成分中，优选为5重量％以下。
本发明的感光性硅氧烷树脂组合物根据需要可以进一步含有固化剂、紫外线吸收剂、阻聚剂、溶剂、表面活性剂、溶解抑制剂、稳定剂、消泡剂等。
通过在本发明的感光性硅氧烷树脂组合物中含有固化剂，能够促进固化，可以使硬度更加提高。作为固化剂，可举出例如，含有氮的有机物、有机硅树脂固化剂、各种金属醇化物、各种金属螯合物、异氰酸酯化合物及其聚合物、羟甲基化三聚氰胺衍生物、羟甲基化脲衍生物等。可以含有它们中的2种以上。它们之中，从固化剂的稳定性、涂布膜的加工性等的观点考虑，优选使用金属螯合物、羟甲基化三聚氰胺衍生物、羟甲基化脲衍生物。
通过在本发明的感光性硅氧烷树脂组合物中含有紫外线吸收剂，可以使固化膜的耐光性提高，使分辨率更加提高。作为紫外线吸收剂，从抑制着色而使透明性提高的观点考虑，优选使用2-(2H苯并三唑-2-基)苯酚、2-(2H-苯并三唑-2-基)-4,6-叔戊基苯酚、2-(2H苯并三唑-2-基)-4-(1,1,3,3-四甲基丁基)苯酚、2(2H-苯并三唑-2-基)-6-十二烷基-4-甲基苯酚、2-(2’-羟基-5’-甲基丙烯酰氧基乙基苯基)-2H-苯并三唑等苯并三唑系化合物；2-羟基-4-甲氧基二苯甲酮等二苯甲酮系化合物；2-(4,6-二苯基-1,3,5三嗪-2-基)-5-[(己基)氧基]-苯酚等三嗪系化合物。
通过在本发明的感光性硅氧烷树脂组合物中含有阻聚剂，可以使分辨率更加提高。作为阻聚剂，可举出例如，二-叔丁基羟基甲苯、丁基羟基茴香醚、氢醌、4-甲氧基苯酚、1,4-苯醌、叔丁基儿茶酚。此外，作为市售的阻聚剂，可举出“IRGANOX”(注册商标)1010、“IRGANOX”1035、“IRGANOX”1076、“IRGANOX”1098、“IRGANOX”1135、“IRGANOX”1330、“IRGANOX”1726、“IRGANOX”1425、“IRGANOX”1520、“IRGANOX”245、“IRGANOX”259、“IRGANOX”3114、“IRGANOX”565、“IRGANOX”295(以上，商品名，BASFジャパン(株)制)等。可以含有它们中的2种以上。
通过在本发明的感光性硅氧烷树脂组合物中含有溶剂，可以容易地调整到适于涂布的粘度，使涂布膜的均匀性提高。优选将大气压下的沸点超过150℃且为250℃以下的溶剂、与大气压下的沸点为150℃以下的溶剂组合。通过含有沸点超过150℃且为250℃以下的溶剂，从而在涂布时溶剂适度挥发而涂膜的干燥进行，因此能够抑制涂布不均，使膜厚均匀性提高。进一步，通过含有大气压下的沸点为150℃以下的溶剂，可以抑制溶剂在后述的本发明的固化膜中的残存。从抑制溶剂在固化膜中的残存、使耐化学品性和密合性长期更加提高的观点考虑，优选含有溶剂整体的50重量％以上的大气压下的沸点为150℃以下的溶剂。
作为大气压下的沸点为150℃以下的溶剂，可举出例如，乙醇、异丙基醇、1-丙醇、1-丁醇、2-丁醇、异戊醇、乙二醇单甲基醚、乙二醇二甲基醚、乙二醇单乙基醚、乙酸甲氧基甲酯、丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚、丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单丙基醚、乙二醇单甲基醚乙酸酯、1-甲氧基丙基-2-乙酸酯、丙酮醇、乙酰丙酮、甲基异丁基酮、甲基乙基酮、甲基丙基酮、乳酸甲酯、甲苯、环戊酮、环己烷、正庚烷、苯、乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸异丁酯、乙酸丁酯、乙酸异戊酯、乙酸戊酯、3-羟基-3-甲基-2-丁酮、4-羟基-3-甲基-2-丁酮、5-羟基-2-戊酮。可以使用它们中的2种以上。
作为大气压下的沸点超过150℃且为250℃以下的溶剂，可举出例如，乙二醇二乙基醚、乙二醇单-正丁基醚、乙二醇单-叔丁基醚、丙二醇单正丁基醚、丙二醇单叔丁基醚、乙酸2-乙氧基乙酯、3-甲氧基-1-丁醇、3-甲氧基-3-甲基丁醇、3-甲氧基-3-甲基丁基乙酸酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯、丙二醇单甲基醚丙酸酯、双丙甘醇甲基醚、二异丁基酮、双丙酮醇、乳酸乙酯、乳酸丁酯、二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、γ-丁内酯、γ-戊内酯、δ-戊内酯、碳酸丙烯酯、N-甲基吡咯烷酮、环己酮、环庚酮、二甘醇单丁基醚、乙二醇二丁基醚。可以使用它们中的2种以上。
溶剂的含量可以根据涂布方法等而任意设定。例如，在通过旋转涂布进行膜形成的情况下，在感光性硅氧烷树脂组合物中，一般为50重量％以上且95重量％以下。
通过在本发明的感光性硅氧烷树脂组合物中含有表面活性剂，可以使涂布时的流动性提高。作为表面活性剂，可举出例如，“メガファック”(注册商标)F142D、F172、F173、F183、F445、F470、F475、F477(以上，商品名，大日本インキ化学工业(株)制)、NBX-15、FTX-218(以上，商品名，(株)ネオス制)等氟系表面活性剂；“BYK”(注册商标)-333、“BYK”-301、“BYK”-331、“BYK”-345、“BYK”-307(以上，商品名，ビックケミー·ジャパン(株)制)等有机硅系表面活性剂；聚氧化烯系表面活性剂；聚(甲基)丙烯酸酯系表面活性剂等。可以含有它们中的2种以上。
本发明的感光性硅氧烷树脂组合物的固体成分浓度可以根据涂布方法等而任意设定。例如，在如后述那样通过旋转涂布进行膜形成的情况下，一般使固体成分浓度为5重量％以上且50重量％以下。
接下来，对本发明的感光性硅氧烷树脂组合物的制造方法进行说明。通过将上述的(A)～(D)成分和根据需要的其它成分进行混合，可以获得本发明的感光性硅氧烷树脂组合物。更具体而言，可举出例如，将(B)光自由基聚合引发剂、(C)多官能单体、(D)磷酸酯胺盐和根据需要的其它添加剂加入到任意的溶剂，搅拌使其溶解后，加入(A)聚硅氧烷，进一步搅拌20分钟～3小时，将所得的溶液过滤的方法等。
接下来，对本发明的固化膜进行说明。本发明的固化膜由上述的本发明的感光性聚硅氧烷树脂组合物的固化物构成。固化膜的膜厚优选为0.1～15μm。此外，固化膜的膜厚1.5μm时的波长400nm的光的透射率优选为85％以上。另外，透射率可以通过在后述的固化膜的制造方法中，选择曝光量、热固化温度来调整到所希望的范围。
本发明的固化膜可以适合用于触摸面板用保护膜、各种硬涂层材、TFT用平坦化膜、滤色器用外涂层、防反射膜、钝化膜等各种保护膜、光学过滤器、触摸面板用绝缘膜、TFT用绝缘膜、滤色器用光间隔物等。它们之中，由于具有高耐化学品性、基板密合性，因此可以作为触摸面板用绝缘膜而适合使用。
本发明的固化膜例如可以通过将上述的本发明的感光性聚硅氧烷树脂组合物涂布成膜状，根据需要进行了图案加工后，使其固化而获得。优选将本发明的感光性硅氧烷树脂组合物涂布在基材上，进行了预烘烤后，通过曝光/显影而形成负型的图案，使其热固化。
作为在基材上涂布感光性硅氧烷树脂组合物的涂布方法，可举出例如，微凹版涂布、旋转涂布、浸渍涂布、帘流涂、辊涂布、喷射涂布、狭缝涂布等方法。作为预烘烤装置，可举出电热板、烘箱等加热装置。预烘烤温度优选为50～130℃，预烘烤时间优选为30秒～30分钟。预烘烤后的膜厚优选为0.1～15μm。
曝光可以经由所希望的掩模进行，也可以不经由掩模进行。作为曝光机，可举出例如，步进曝光机、镜像投影掩模曝光机(MPA)、平行光掩模曝光机(PLA)等。曝光强度优选为10～4000J/m2左右(波长365nm曝光量换算)。作为曝光光源，可举出i射线、g射线、h射线等紫外线、KrF(波长248nm)激光、ArF(波长193nm)激光等。
作为显影方法，可举出喷淋、浸渍、桨式等方法。浸渍于显影液的时间优选为5秒～10分钟。作为显影液，可举出例如，包含碱金属的氢氧化物、碳酸盐、磷酸盐、硅酸盐、硼酸盐等无机碱、2-二乙基氨基乙醇、单乙醇胺、二乙醇胺等胺类、四甲基氢氧化铵、胆碱等季铵盐的水溶液等碱性显影液。优选在显影后，用水冲洗，也可以接着在50～130℃的范围内进行干燥烘烤。
作为热固化所使用的加热装置，可举出电热板、烘箱等。热固化温度优选为80～150℃，热固化时间优选为15分钟～1小时左右。
接下来，对本发明的叠层体进行说明。本发明的叠层体在基材上具有上述的本发明的固化膜。
作为基材，可举出例如，钠钙玻璃、无碱玻璃等玻璃基板、由聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚醚砜、聚碳酸酯、聚酰亚胺等塑料形成的透明基材、在它们上具有电极或金属配线的基材等。
在具有电极或金属配线的基材中，作为形成电极或金属配线的材料，可举出例如，铟、锡、锌、铝、镓等金属的氧化物；钼、银、铜、铝、铬、钛等金属；CNT(碳纳米管，Carbon NanoTube)等。作为金属的氧化物，可举出例如，氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)、氧化铝锌(AZO)、氧化铟镓锌(IGZO)、氧化锌(ZnO)。它们之中，优选为具有含有钼的金属配线的基材。
本发明的叠层体例如可以通过依次包含将上述的本发明的感光性聚硅氧烷树脂组合物涂布在基材上的工序、和将涂布膜在80～150℃下进行加热的工序的制造方法来获得。另外，作为将感光性聚硅氧烷树脂组合物涂布在基材上的方法，可举出作为固化膜的制造方法而例示的方法等。此外，作为将涂布膜在80～150℃下进行加热的方法，可举出作为固化膜的制造方法而例示的方法等。通过使加热温度为80℃以上，能够使反应充分进行，使硬度、耐化学品性、基板密合性更加提高。另一方面，通过使加热温度为150℃以下，能够抑制过剩的反应和与此相伴的应力，使基板密合性更加提高。本发明的感光性硅氧烷树脂组合物能够低温固化，因此可以在150℃以下的温度下使其充分固化。
接下来，对本发明的触摸面板用构件进行说明。本发明的触摸面板用构件优选具有上述的叠层体和显示面板。进一步，上述叠层体中的固化膜优选为层间绝缘膜。
实施例
以下，举出实施例进一步具体地说明本发明，但本发明不限定于这些实施例。合成例和实施例所使用的化合物之中，关于使用缩略语的化合物，以下显示其内容。
PGMEA：丙二醇单甲基醚乙酸酯
PGME:丙二醇单甲基醚
TBC：4-叔丁基焦儿茶酚
P-1M：2-甲基丙烯酰氧基乙基酸式磷酸酯(共荣社化学(株)制)。
合成例1～6中的聚硅氧烷溶液和合成例7中的丙烯酸系树脂溶液的固体成分浓度通过以下方法求出。在铝杯中称取聚硅氧烷溶液或丙烯酸系树脂溶液1.5g，使用电热板在250℃下加热30分钟使液体成分蒸发。称量加热后的残留在铝杯中的固体成分的重量，由相对于加热前的重量的比例求出聚硅氧烷溶液或丙烯酸系树脂溶液的固体成分浓度。
合成例1～6中的聚硅氧烷和合成例7中的丙烯酸系树脂的重均分子量通过以下方法求出。使用GPC分析装置(HLC-8220；東ソー(株)制)，使用四氢呋喃作为流动相，基于“JISK7252-3(制定年月日＝2008/03/20)”进行GPC分析，测定了聚苯乙烯换算的重均分子量。
合成例1～6中的聚硅氧烷中的各有机硅烷单元的含有比率通过以下方法求出。将聚硅氧烷溶液注入到直径10mm的“テフロン”(注册商标)制NMR样品管进行29Si-NMR测定，由来源于特定的有机硅烷单元的Si的积分值相对于来源于有机硅烷的Si整体的积分值的比例，算出各有机硅烷单元的含有比率。以下显示29Si-NMR测定条件。
装置：核磁共振装置(JNM-GX270；日本电子(株)制)
测定法：门控去耦法
测定核频率：53.6693MHz(29Si核)
光谱宽度：20000Hz
脉冲宽度：12μs(45°脉冲)
脉冲重复时间：30.0秒
溶剂：丙酮-d6
基准物质：四甲基硅烷
测定温度：23℃
试样转速：0.0Hz。
合成例1聚硅氧烷(A-1)溶液
在500ml的三口烧瓶中，加入对苯乙烯基三甲氧基硅烷43.74g(0.195mol)、γ-丙烯酰基丙基三甲氧基硅烷14.06g(0.06mol)、3-三甲氧基甲硅烷基丙基琥珀酸酐11.80g(0.045mol)、TBC 0.173g、PGME 74.58g，一边在室温下搅拌，一边经30分钟添加在水17.01g中溶解了磷酸0.348g(相对于加入单体为0.50重量％)的磷酸水溶液。然后，将三口烧瓶浸渍于70℃的油浴而搅拌90分钟后，将油浴经30分钟升温直到115℃。在升温开始1小时后三口烧瓶的内温(溶液温度)达到100℃，从这开始加热搅拌2小时(内温为100～110℃)，获得了聚硅氧烷溶液。另外，在升温和加热搅拌中，以0.05升/分钟流通氮气。在反应中，作为副生成物的甲醇和水合计馏出36.90g。在所得的聚硅氧烷溶液中，以固体成分浓度成为40重量％的方式追加PGME，获得了聚硅氧烷(A-1)溶液。聚硅氧烷(A-1)的具有苯乙烯基的重复单元、具有丙烯酰基的重复单元、具有亲水性基的重复单元的摩尔比分别为65mol％、20mol％、15mol％。聚硅氧烷(A-1)的重均分子量为4,000。
合成例2聚硅氧烷(A-2)溶液
加入γ-丙烯酰基丙基三甲氧基硅烷24.60g(0.105mol)、苯基三甲氧基硅烷8.92g(0.045mol)、3-三甲氧基甲硅烷基丙基琥珀酸酐11.80g(0.045mol)、甲基三甲氧基硅烷14.30g(0.105mol)、TBC 0.0738g、PGME 59.61g，一边在室温下搅拌，一边经30分钟添加在水17.01g中溶解了磷酸0.317g(相对于加入单体为0.50重量％)的磷酸水溶液，除此以外，通过与合成例1同样的步骤，获得了聚硅氧烷溶液。在所得的聚硅氧烷溶液中，以固体成分浓度成为40重量％的方式追加PGME，获得了聚硅氧烷(A-2)溶液。聚硅氧烷(A-2)的具有丙烯酰基的重复单元、具有亲水性基的重复单元的摩尔比分别为35mol％、15mol％。聚硅氧烷(A-2)的重均分子量为2,500。
合成例3聚硅氧烷(A-3)溶液
加入对苯乙烯基三甲氧基硅烷13.46g(0.06mol)、γ-丙烯酰基丙基三甲氧基硅烷14.06g(0.06mol)、3-三甲氧基甲硅烷基丙基琥珀酸酐7.87g(0.03mol)、甲基三甲氧基硅烷20.43g(0.15mol)、TBC 0.114g、PGME53.49g，一边在室温下搅拌，一边添加在水16.74g中溶解了磷酸0.279g(相对于加入单体为0.50重量％)的磷酸，除此以外，通过与合成例1同样的步骤，获得了聚硅氧烷溶液。在所得的聚硅氧烷溶液中，以固体成分浓度成为40重量％的方式追加PGME，获得了聚硅氧烷(A-3)溶液。聚硅氧烷(A-3)的具有苯乙烯基的重复单元、具有丙烯酰基的重复单元、具有亲水性基的重复单元的摩尔比分别为20mol％、20mol％、10mol％。聚硅氧烷(A-3)的重均分子量为3,500。
合成例4聚硅氧烷(A-4)溶液
加入对苯乙烯基三甲氧基硅烷53.84g(0.24mol)、γ-丙烯酰基丙基三甲氧基硅烷7.03g(0.03mol)、3-三甲氧基甲硅烷基丙基琥珀酸酐7.87g(0.03mol)、TBC 0.114g、PGME72.87g，一边在室温下搅拌，一边添加在水16.74g中溶解了磷酸0.344g(相对于加入单体为0.50重量％)的磷酸，除此以外，通过与合成例1同样的步骤，获得了聚硅氧烷溶液。在所得的聚硅氧烷溶液中，以固体成分浓度成为40重量％的方式追加PGME，获得了聚硅氧烷(A-4)溶液。聚硅氧烷(A-4)的具有苯乙烯基的重复单元、具有丙烯酰基的重复单元、具有亲水性基的重复单元的摩尔比分别为80mol％、10mol％、10mol％。聚硅氧烷(A-4)的重均分子量为4,000。
合成例5聚硅氧烷(A-5)溶液的合成
加入3-三甲氧基甲硅烷基丙基琥珀酸酐7.87g(0.03mol)、甲基三甲氧基硅烷20.43g(0.15mol)、苯基三甲氧基硅烷17.85g(0.09mol)、3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷7.09g(0.03mol)、PGME 49.61g，一边在室温下搅拌，一边添加在水16.74g中溶解了磷酸0.266g(相对于加入单体为0.50重量％)的磷酸，除此以外，通过与合成例1同样的步骤，获得了聚硅氧烷溶液。在所得的聚硅氧烷溶液中，以固体成分浓度成为40重量％的方式追加PGME，获得了聚硅氧烷(A-5)溶液。聚硅氧烷(A-5)的具有亲水性基的重复单元的摩尔比为10mol％。聚硅氧烷(A-5)的重均分子量为3,000。
合成例6聚硅氧烷(A-6)溶液的合成
加入对苯乙烯基三甲氧基硅烷13.46g(0.06mol)、γ-丙烯酰基丙基三甲氧基硅烷14.06g(0.06mol)、甲基三甲氧基硅烷12.26g(0.09mol)、四(三甲氧基硅烷)13.68g(0.09mol)、TBC 0.0826g，PGME 51.56g，一边在室温下搅拌，一边添加在水17.82g中溶解了磷酸0.267g(相对于加入单体为0.50重量％)的磷酸，除此以外，通过与合成例1同样的步骤，获得了聚硅氧烷溶液。在所得的聚硅氧烷溶液中，以固体成分浓度成为40重量％的方式追加PGME，获得了聚硅氧烷(A-6)溶液。聚硅氧烷(A-6)的具有苯乙烯基的重复单元、具有丙烯酰基的重复单元的摩尔比分别为20mol％、20mol％。聚硅氧烷(A-6)的重均分子量为5,000。
合成例7丙烯酸系树脂(a)溶液的合成
在500ml的三口烧瓶中加入2,2’-偶氮二(异丁腈)3g、PGME 50g。然后，加入甲基丙烯酸30g、甲基丙烯酸苄酯35g、三环[5.2.1.02,6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯35g，在室温下搅拌片刻，将烧瓶内进行了氮气置换后，在70℃下加热搅拌5小时。接下来，在所得的溶液中添加甲基丙烯酸缩水甘油酯15g、二甲基苄基胺1g、对甲氧基苯酚0.2g、PGMEA 100g，在90℃下加热搅拌4小时，获得了丙烯酸系树脂(a)溶液。在所得的丙烯酸系树脂(a)溶液中以固体成分浓度成为40重量％的方式加入PGME。丙烯酸系树脂(a)的重均分子量为10,000。
将各合成例的原料比率示于表1中。
[表1]
(1)图案加工性
使用旋转涂布机(商品名1H-360S，ミカサ(株)制)将通过各实施例和比较例获得的感光性硅氧烷树脂组合物或感光性丙烯酸系树脂组合物旋转涂布在硅晶片上，使用电热板(商品名SCW-636，大日本スクリーン制造(株)制)，在100℃下预烘烤2分钟，制作出膜厚2.0μm的膜。
使用平行光掩模曝光机(商品名PLA-501F，キヤノン(株)制)以超高压水银灯作为光源，将制作的膜介由具有100μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm、10μm的各宽度的线&间隙图案的灰度掩模，以100μm的间隔进行了曝光。然后，使用自动显影装置(滝沢産業(株)制“AD-2000(商品名)”)，用0.045重量％氢氧化钾水溶液喷淋显影60秒，接着用水冲洗30秒。
在曝光、显影后，使将100μm宽度的线与间隙图案形成为1:1的宽度的曝光量为最佳曝光量，将最佳曝光量时的显影后的最小图案尺寸设为分辨率。此外，通过目视和将倍率调整到50～100倍的显微镜观察显影后的图案，根据未曝光部的溶解残留程度，通过以下基准评价了显影残渣。
5：通过目视未观察到残渣，在显微镜的观察中，连50μm以下的微细图案也观察不到残渣。
4：通过目视未观察到残渣，在显微镜观察中，在超过50μm的图案观察不到残渣，但在50μm以下的图案观察到残渣。
3：通过目视观察不到残渣，但在显微镜观察中，在超过50μm的图案观察到残渣。
2：通过目视在基板端部(厚膜部)观察到残渣。
1：通过目视在未曝光部整体观察到残渣。
(2)基板密合性
使用旋转涂布机(商品名1H-360S，ミカサ(株)制)将通过各实施例和比较例获得的感光性硅氧烷树脂组合物或感光性丙烯酸系树脂组合物旋转涂布在表面溅射了ITO或MAM的玻璃基板(以下，称为“ITO基板”或“MAM基板”)上，使用电热板(商品名SCW-636，大日本スクリーン制造(株)制)在100℃下预烘烤2分钟，制作出膜厚2.0μm的膜。
使用平行光掩模曝光机(商品名PLA-501F，キヤノン(株)制，以超高压水银灯作为光源将制作的膜进行曝光，使用烘箱(商品名IHPS-222，エスペック(株)制)，在空气中在120℃下固化1小时，制作出膜厚1.5μm的固化膜。
关于所得的固化膜，按照JIS“K5600-5-6(制定年月日＝1999/04/20)”评价了ITO基板或MAM基板与固化膜的粘接性(基板密合性)。即，在ITO基板或MAM基板上的固化膜表面，用割刀以达到玻璃板的底坯的方式，以1mm间隔划出正交的纵横各11条平行的直线，制作100个1mm×1mm的方格。在切割后的固化膜表面粘贴赛璐玢胶粘带(宽度＝18mm，粘着力＝3.7N/10mm)，用橡皮擦(JIS S6050合格品)擦拭使其密合，拿着带的一端，与板保持直角瞬间剥离，通过目视计数此时的方格的残存数。通过方格的剥离面积，通过以下基准评价粘接性，将4以上设为合格。
5：剥离面积＝0％
4：剥离面积＝1～4％
3：剥离面积＝5～14％
2：剥离面积＝15～34％
1：剥离面积＝35～64％
0：剥离面积＝65～100％。
(3)耐化学品性
在ITO基板和MAM基板上，与上述(2)记载的方法同样地操作而形成了膜厚1.5μm的固化膜。在作为抗蚀剂剥离液的N300中，在下述条件1～4的各条件下浸渍了固化膜后，按照JIS“K5600-5-6(制定年月日＝1999/04/20)”，与上述(2)所记载的方法同样地操作而评价了基板密合性。在方格的剥离面积为5％以下的情况下，判断为具有该条件下的耐化学品性。
条件1：50℃，2分钟
条件2：60℃，2分钟
条件3：70℃，2分钟
条件4：80℃，2分钟
以判断为具有耐化学品性的条件为基础，通过以下基准评价耐化学品性，将1以上设为合格。
4：在条件1、2、3、4下都具有耐化学品性
3：在条件1、2、3下具有耐化学品性
2：仅在条件1、2下具有耐化学品性
1：仅在条件1下具有耐化学品性
0：在任一条件下都没有耐化学品性。
(4)硬度
在ITO基板上形成了与上述(2)记载的方法同样地操作而获得的膜厚1.5μm的固化膜。关于所得的固化膜，按照JIS“K5600-5-4(制定年月日＝1999/04/20)”测定了铅笔硬度。
(5)保存稳定性
关于通过各实施例和比较例获得的感光性硅氧烷树脂组合物或感光性丙烯酸系树脂组合物，在调合结束后测定了粘度(保存前粘度)。此外，将通过各实施例和比较例获得的感光性硅氧烷树脂组合物或感光性丙烯酸系树脂组合物放入到密封容器，同样地测定了在23℃下保存7天后的粘度。由粘度变化率({|保存后粘度-保存前粘度|/保存前粘度}×100)通过以下基准评价了保存稳定性。
A：粘度变化率小于5％
B：粘度变化率为5％以上且小于10％
C：粘度变化率为10％以上。
实施例1
在黄色灯下，使作为(B)光自由基聚合引发剂的乙酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-,1-(O-乙酰肟)(“イルガキュア”(注册商标)OXE-02(商品名)，BASFジャパン(株)制)0.080g和双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦(“イルガキュア”(注册商标)-819(商品名)，BASFジャパン(株)制)0.160g、亚乙基双(氧乙烯基)双[3-(5-叔丁基-4-羟基-间甲苯基)丙酸酯](“イルガノックス”(注册商标)-245(商品名)，BASFジャパン(株)制)的PGME10重量％溶液0.120g、四(乙酰丙酮)锆(IV)(ZC-150(商品名)，マツモトファインケミカル(株)制)的PGME2重量％溶液3.998g、作为(C)多官能单体的季戊四醇丙烯酸酯(“ライトアクリレート”(注册商标)PE-3A(商品名)，共荣社化学(株)制)0.400g溶解于PGME1.667g与PGMEA 3.200g的混合溶剂，加入有机硅系表面活性剂(商品名“BYK”(注册商标)-333，ビックケミー·ジャパン(株)制)的PGME1重量％稀释溶液0.200g(相当于浓度100ppm)，进行了搅拌。然后，加入作为(A)聚硅氧烷的聚硅氧烷(A-1)溶液6.167g、作为(D)磷酸酯胺盐的预先使磷酸衍生物化合物(d1)P-1M和胺化合物(d2)单乙醇胺以(d2/d1)＝0.5/9.5的重量比例反应而获得的反应物的浓度20重量％的PGME溶液3.998g进行了搅拌。接着用0.45μm的过滤器进行过滤，获得了感光性硅氧烷树脂组合物(P-1)。关于所得的感光性硅氧烷树脂组合物(P-1)，通过上述方法，评价了图案加工性、基板密合性、耐化学品性、硬度、保存稳定性。
实施例2
代替聚硅氧烷(A-1)溶液而使用了聚硅氧烷(A-2)溶液6.167g，除此以外，与实施例1同样地进行，获得了感光性硅氧烷树脂组合物(P-2)。使用所得的感光性硅氧烷树脂组合物(P-2)，与实施例1同样地操作而进行了评价。
实施例3
代替聚硅氧烷(A-1)溶液而使用了聚硅氧烷(A-3)溶液6.167g，除此以外，与实施例1同样地进行，获得了感光性硅氧烷树脂组合物(P-3)。使用所得的感光性硅氧烷树脂组合物(P-3)，与实施例1同样地操作而进行了评价。
实施例4
代替聚硅氧烷(A-1)溶液而使用了聚硅氧烷(A-4)溶液6.167g，除此以外，与实施例1同样地进行，获得了感光性硅氧烷树脂组合物(P-4)。使用所得的感光性硅氧烷树脂组合物(P-4)，与实施例1同样地操作而进行了评价。
实施例5
代替聚硅氧烷(A-1)溶液而使用了聚硅氧烷(A-5)溶液6.167g，除此以外，与实施例1同样地进行，获得了感光性硅氧烷树脂组合物(P-5)。使用所得的感光性硅氧烷树脂组合物(P-5)，与实施例1同样地操作而进行了评价。
实施例6
代替聚硅氧烷(A-1)溶液而使用了聚硅氧烷(A-6)溶液6.167g，除此以外，与实施例1同样地进行，获得了感光性硅氧烷树脂组合物(P-6)。使用所得的感光性硅氧烷树脂组合物(P-6)，与实施例1同样地操作而进行了评价。
实施例7
代替磷酸衍生物化合物(d1)P-1M而使用了2-丙烯酰氧基乙基酸式磷酸酯(P-1A(商品名)，共荣社化学(株)制)，除此以外，与实施例1同样地进行，获得了感光性硅氧烷树脂组合物(P-7)。使用所得的感光性硅氧烷树脂组合物(P-7)，与实施例1同样地操作而进行了评价。
实施例8
代替胺化合物(d2)单乙醇胺而使用了三乙醇胺，除此以外，与实施例1同样地进行，获得了感光性硅氧烷树脂组合物(P-8)。使用所得的感光性硅氧烷树脂组合物(P-8)，与实施例1同样地操作而进行了评价。
实施例9
代替磷酸衍生物化合物(d1)P-1M而使用了磷酸二乙酯(ethyl acid phosphate，JP502(商品名)，城北化学工业(株)制)，除此以外，与实施例1同样地进行，获得了感光性硅氧烷树脂组合物(P-9)。使用所得的感光性硅氧烷树脂组合物(P-9)，与实施例1同样地操作而进行了评价。
实施例10
代替胺化合物(d2)单乙醇胺而使用了三乙胺，除此以外，与实施例1同样地进行，获得了感光性硅氧烷树脂组合物(P-10)。使用所得的感光性硅氧烷树脂组合物(P-10)，与实施例1同样地操作而进行了评价。
实施例11
使聚硅氧烷(A-1)溶液的量为7.166g，使磷酸衍生物化合物(d1)P-1M与胺化合物(d2)单乙醇胺的重量比例(d2/d1)＝0.5/9.5的反应物的PGME溶液的量为1.999g，使混合溶剂为PGME 2.667g和PGMEA 3.200g，除此以外，与实施例1同样地进行，获得了感光性硅氧烷树脂组合物(P-11)。使用所得的感光性硅氧烷树脂组合物(P-11)，与实施例1同样地操作而进行了评价。
实施例12
使聚硅氧烷(A-1)溶液的量为5.167g，使磷酸衍生物化合物(d1)P-1M与胺化合物(d2)单乙醇胺的重量比例(d2/d1)＝0.5/9.5的反应物的PGME溶液的量为5.997g，使混合溶剂为PGME 0.678g和PGMEA 3.200g，除此以外，与实施例1同样地进行，获得了感光性硅氧烷树脂组合物(P-12)。使用所得的感光性硅氧烷树脂组合物(P-12)，与实施例1同样地操作而进行了评价。
实施例13
代替使磷酸衍生物化合物(d1)P-1M与胺化合物(d2)单乙醇胺的重量比例(d2/d1)＝0.5/9.5的反应物的PGME溶液，而使用了预先使磷酸衍生物化合物(d1)P-1M与胺化合物(d2)单乙醇胺以(d2/d1)＝0.1/9.9的重量比例反应而获得的反应物的浓度20重量％的PGME溶液3.999g，除此以外，与实施例1同样地进行，获得了感光性硅氧烷树脂组合物(P-13)。使用所得的感光性硅氧烷树脂组合物(P-13)，与实施例1同样地操作而进行了评价。
实施例14
代替使磷酸衍生物化合物(d1)P-1M与胺化合物(d2)单乙醇胺的重量比例(d2/d1)＝0.5/9.5的反应物的PGME溶液，而使用了预先使磷酸衍生物化合物(d1)P-1M与胺化合物(d2)单乙醇胺以(d2/d1)＝1/9的重量比例反应而获得的反应物的浓度20重量％的PGME溶液3.999g，除此以外，与实施例1同样地进行，获得了感光性硅氧烷树脂组合物(P-14)。使用所得的感光性硅氧烷树脂组合物(P-14)，与实施例1同样地操作而进行了评价。
实施例15
使聚硅氧烷(A-1)溶液的量为5.967g，添加作为(E)热自由基产生剂的二甲基2,2’-偶氮二(异丁酸酯)0.080g，使混合溶剂为PGME 1.797g和PGMEA 3.200g，除此以外，与实施例1同样地进行，获得了感光性硅氧烷树脂组合物(P-15)。使用所得的感光性硅氧烷树脂组合物(P-15)，与实施例1同样地操作而进行了评价。
实施例16
代替聚硅氧烷(A-1)溶液而使用了聚硅氧烷(A-2)溶液，除此以外，与实施例15同样地进行，获得了感光性硅氧烷树脂组合物(P-16)。使用所得的感光性硅氧烷树脂组合物(P-16)，与实施例1同样地操作而进行了评价。
实施例17
代替聚硅氧烷(A-1)溶液而使用了聚硅氧烷(A-5)溶液，除此以外，与实施例15同样地进行，获得了感光性硅氧烷树脂组合物(P-17)。使用所得的感光性硅氧烷树脂组合物(P-17)，与实施例1同样地操作而进行了评价。
实施例18
代替聚硅氧烷(A-1)溶液而使用了聚硅氧烷(A-6)溶液，除此以外，与实施例15同样地进行，获得了感光性硅氧烷树脂组合物(P-18)。使用所得的感光性硅氧烷树脂组合物(P-18)，与实施例1同样地操作而进行了评价。
实施例19
使聚硅氧烷(A-1)溶液的量为5.967g，添加作为(E)热自由基产生剂的二甲基2,2’-偶氮二(异丁酸酯)0.080g，使混合溶剂为PGME 1.797g和PGMEA 3.200g，除此以外，与实施例9同样地进行，获得了感光性硅氧烷树脂组合物(P-19)。使用所得的感光性硅氧烷树脂组合物(P-19)，与实施例1同样地操作而进行了评价。
实施例20
使聚硅氧烷(A-1)溶液的量为5.967g，添加作为(E)热自由基产生剂的二甲基2,2’-偶氮二(异丁酸酯)0.080g，使混合溶剂为PGME 1.797g和PGMEA 3.200g，除此以外，与实施例10同样地进行，获得了感光性硅氧烷树脂组合物(P-20)。使用所得的感光性硅氧烷树脂组合物(P-20)，与实施例1同样地操作而进行了评价。
比较例1
使聚硅氧烷(A-1)溶液的量为8.166g，不添加(D)磷酸酯胺盐，使混合溶剂为PGME3.676g和PGMEA 3.200g，除此以外，与实施例1同样地进行，获得了感光性硅氧烷树脂组合物(P-21)。使用所得的感光性硅氧烷树脂组合物(P-21)，与实施例1同样地操作而进行了评价。
比较例2
不添加(D)磷酸酯胺盐，使磷酸衍生物化合物(d1)P-1M的PGME 20重量％溶液的量为3.999g，除此以外，与实施例1同样地进行，获得了感光性硅氧烷树脂组合物(P-22)。使用所得的感光性硅氧烷树脂组合物(P-22)，与实施例1同样地操作而进行了评价。
比较例3
作为胺化合物(d2)，代替单乙醇胺而使用了作为季铵阳离子的四乙基铵，除此以外，与实施例1同样地进行，获得了感光性硅氧烷树脂组合物(P-23)。使用所得的感光性硅氧烷树脂组合物(P-23)，与实施例1同样地操作而进行了评价。
比较例4
代替聚硅氧烷(A-1)溶液而使用了丙烯酸系树脂(a)溶液6.167g，除此以外，与实施例1同样地进行，获得了感光性丙烯酸系树脂组合物(P-24)。使用所得的感光性丙烯酸系树脂组合物(P-24)，与实施例1同样地操作而进行了评价。
将实施例1～20、比较例1～4的组成示于表2～4中，将评价结果示于表5中。
【表5】
产业可利用性
将本发明的感光性硅氧烷树脂组合物固化而获得的固化膜除了触摸面板的保护膜等各种硬涂层膜以外，适合用于触摸传感器用绝缘膜、液晶、有机EL显示器的TFT用平坦化膜、金属配线保护膜、绝缘膜、防反射膜、光学过滤器、滤色器用外涂层、柱材等。

Claims (14)

1.一种感光性硅氧烷树脂组合物，其含有：(A)聚硅氧烷、(B)光自由基聚合引发剂、(C)多官能单体和(D)磷酸衍生物胺盐。
2.根据权利要求1所述的感光性硅氧烷树脂组合物，所述(C)磷酸衍生物胺盐为具有下述通式(1)所示的结构的磷酸衍生物化合物与胺化合物的盐，
在所述通式(1)中，R1表示具有自由基聚合性基的1价有机基；R2表示氢原子、碳原子数1～20的烷基或具有自由基聚合性基的1价有机基。
3.根据权利要求2所述的感光性硅氧烷树脂组合物，所述胺化合物具有下述通式(2)所示的结构，
在所述通式(2)中，R3表示含有羟基的碳原子数1～20的1价有机基；R4和R5各自独立地表示氢原子、碳原子数1～20的烷基或具有羟基的碳原子数1～20的1价有机基。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的感光性硅氧烷树脂组合物，所述(A)聚硅氧烷至少具有(a1)自由基聚合性基和(a2)亲水性基。
5.根据权利要求4所述的感光性硅氧烷树脂组合物，所述(A)聚硅氧烷在全部重复单元中含有20～85摩尔％的具有苯乙烯基作为(a1)自由基聚合性基的重复单元。
6.根据权利要求4或5所述的感光性硅氧烷树脂组合物，所述(A)聚硅氧烷具有羧基和/或羧酸酐基作为(a2)亲水性基。
7.根据权利要求6所述的感光性硅氧烷树脂组合物，其还包含(E)热自由基产生剂。
8.一种固化膜，其由权利要求1～7中任一项所述的感光性硅氧烷树脂组合物的固化物构成。
9.一种叠层体，其在基材上具有权利要求8所述的固化膜。
10.根据权利要求9所述的叠层体，所述基材具有金属配线。
11.根据权利要求10所述的叠层体，所述金属配线含有钼、钛、铬、铜和/或银。
12.一种触摸面板用构件，其具有权利要求9～11中任一项所述的叠层体。
13.根据权利要求12所述的触摸面板用构件，所述叠层体中的固化膜为层间绝缘膜。
14.一种叠层体的制造方法，其依次包含下述工序：在基材上涂布权利要求1～7中任一项所述的感光性硅氧烷树脂组合物的工序、和将涂布膜在80～150℃下进行加热的工序。
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