JP2007113032A - Ruスパッタリング用ターゲット材 - Google Patents
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Abstract
【課題】 スパッタリングの際に要求される、高い成膜速度を実現すると同時に、形成される薄膜の膜厚分布をも均質に形成することができるRuスパッタリング用ターゲット材を提供することを課題とする。
【解決手段】 金属組織が等軸晶からなり、かつスパッタ面が(002)面配向であるRuスパッタリング用ターゲット材である。また、好ましくは、酸素含有量が50重量ppm以下である上記のRuスパッタリング用ターゲット材である。
【選択図】 図3
Description
例えば、半導体メモリーでは強誘電体メモリーのキャパシター用電極膜にRuが用いられている。また、最近では不揮発性メモリーの研究開発が盛んであり、その一つにMRAM(Magnetic Random Access Memory)がある。MRAMはMTJ(Magnetic Tunnel Junction)素子の磁化状態による抵抗変化を利用して情報の記録再生を行う素子で、磁性層、絶縁層、中間層などからなる多層膜で、中間層にRuが用いられている。他方、外部記憶装置であるハードディスクも高密度記録化が進み、最近、高密度記録が可能な垂直記録方式が実用化された。垂直記録方式の記録媒体は下地層、中間層、記録層から構成される多層膜で、中間層にRuが用いられている。
以上のようにRu膜は半導体メモリーや外部記憶装置において不可欠な層であり、今後益々応用範囲の拡大が見込まれる。
他方、ターゲット材の改良により成膜速度の高速化を図る試みもなされている。具体的には、ターゲット材のスパッタ面の結晶方位を結晶の最密面に配向させることにより成膜速度を向上させることが可能であることが知られている。
また、高純度アルミニウムターゲットにおいて、スパッタ面を最密面である(111)面が面積の50%以上となるよう調整したターゲット材で高い成膜速度が得られることが開示されている(例えば、特許文献2参照。)。
好ましくは、酸素含有量が50質量ppm以下であり、スパッタ面が(002)面配向であるRuスパッタリング用ターゲット材である。
また、本発明のターゲット材においてスパッタ面の結晶方位を(002)面配向と規定した理由は六方最密構造をとるRuにおいて(002)面は最密面であり、この面をスパッタ面とすることにより高い成膜速度が得られるためである。
R(002)
=100×I(002)/IJCPDS(002)/Σ{I(hkl)/IJCPDS(hkl)}(%)
但し(hkl):(100)(002)(101)(102)(110)(103)
さらに、成膜速度を向上させるためには、相対強度比R(002)が50%以上であることが望ましい。
本発明のターゲットの製造に際しては、荷重と加熱を以下のように制御することが好ましい。
(1)粉末とパンチとの接触を安定させるため、加圧圧力は最大を下回る範囲で加圧する。
(2)通電を開始し、最高温度まで加熱する。
(3)加圧圧力を最大まで上昇させ、所定の時間保持する。
(4)通電を止め、焼結を終了する。
上述のように加圧圧力を二段階で変化させる理由は、焼結初期段階では加圧圧力を抑えることで敢えて緻密化を抑制し、完全緻密化の妨げとなる粉末表面に吸着している水分や吸着ガス分を十分に蒸発させ、次いで加圧圧力を最大まで上昇させることにより緻密化が可能になるためである。また、後述する(002)面配向を効率的に導入することが可能になるためである。
尚、酸素含有量の測定方法としては、高い精度で測定可能な不活性ガス燃焼赤外線吸収法が好適である。
で表される反応は、Ruの酸化反応に比べて酸化物の生成自由エネルギーが低いため、Ruの酸化物がCによって還元され、酸素含有量が低減されることによる。
また、予め酸素含有量が低い粉末を用いることで、さらに低減することが可能である。例えば、市販のRu原料粉末を水素雰囲気で熱処理を施し酸化物を還元した粉末や、真空中で熱処理を施し揮発性酸化物を除去した粉末を用いることが出来る。特に、本出願人が特開2001−20065号に開示した熱プラズマ中に粉末を導入する方法で得られる低酸素かつ高純度な球状Ru粉末を用いると、さらに酸素含有量を低減することが出来る。
比較例として、上記と同様に熱プラズマに粉末を導入して得られた酸素含有量72質量ppm、純度99.99%の球状Ru粉末を熱間静水圧プレス装置により1350℃、150MPa、3時間保持して焼結体とした後、機械加工を施し、外径180mm、厚さ4mmのスパッタリング用ターゲット材を得た。
これらより、本発明によるターゲット材のスパッタ面(通電焼結時の加圧面)は(002)面の回折強度が高く、(002)面の相対強度R(002)は50%以上に達しており、強い(002)面配向がターゲット中心部、外周部ともに実現されていることが判る。一方、比較例として用意した熱間静水圧プレスにより焼結したターゲット材は特定方位への明瞭な配向は認められず、ほぼランダム配向である。
2.シリンダー
3.パンチ
4.真空チャンバー
5.電極
6.焼結体
Claims (2)
- 金属組織が等軸晶からなり、かつスパッタ面が(002)面配向であることを特徴とするRuスパッタリング用ターゲット材。
- 酸素含有量が50質量ppm以下であることを特徴とする請求項1に記載のRuスパッタリング用ターゲット材。
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- 2005-10-18 JP JP2005303134A patent/JP2007113032A/ja active Pending
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