JP5854308B2 - Cr−Ti合金ターゲット材 - Google Patents
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Description
しかし、Cr−Ti合金ターゲット材は機械的性質において脆く、割れが発生しやすいため、組織の改良が試みられている。例えば、Tiを5〜36原子%含有するCr−Ti合金ターゲット材において、抗折力を250N/mm2以上とすることで、スパッタリングの際の熱応力による破断やターゲット加工中のチッピングを防止可能であることが提案されている(特許文献1参照)。
しかしながら、本発明者が、粉末焼結法によるCr−Ti合金ターゲット材をスパッタリングしたところ、ターゲット材から多量のパーティクルと呼ばれる異物が発生する問題があることを確認した。そして、その主原因として、ターゲット材のスパッタ面にノジュールと呼ばれる突起物が多量に発生する現象を確認した。
本発明の目的は、上記課題を解決し、スパッタリング時にパーティクル発生を抑制可能なCr−Ti合金ターゲット材を提供することである。
すなわち本発明は、Tiを40〜60原子%含有し、残部Crおよび不可避的不純物からなるCr−Ti合金ターゲット材であって、スパッタ面のX線回折におけるCr相の(110)面の回折ピーク強度をA、TiCr2化合物相の(311)面の回折ピーク強度をBとするとき、相対強度比B/Aが10%以下であるCr−Ti合金ターゲット材である。
Ti含有量を上記の範囲に規定した理由は、薄膜の密着性が高く、下地層やシード層の一部とした際に、結晶性に優れた薄膜を形成でき、高い記録再生特性を備えた磁気記録媒体を製造できるためである。なお、この組成範囲においては、TiCr2相に起因したパーティクルの問題が顕在化しやすいため、本発明のTiCr2相を極微量に制御したターゲット材が極めて有効な解決手段となる。
焼結組織であるCr−Ti合金ターゲット材の組織中には、Cr相、Ti相、CrとTiとの拡散相としてTiCr2相が形成される。ターゲット材組織中に拡散相として形成されるTiCr2相を低減することは、ターゲット材の組織中に存在するCr相の最密充填面である(110)面とTiCr2相の(311)面とのX線回折ピーク強度の相対強度比をより小さくすることで評価可能である。
スパッタ面のX線回折におけるCr相の(110)面の回折ピーク強度をA、TiCr2相の(311)面の回折ピーク強度をBとするときの相対強度比を10%以下に定めた理由は、ノジュール化しやすいTiCr2相の存在比率をスパッタリング時に問題にならない範囲まで低減するためである。なお、TiCr2相がノジュール化する原因は、金属間化合物であるため純Cr相や純Ti相よりも原子間の結合力が強く、スパッタ率が低いためと考えられる。相対強度比B/Aは好ましくは5%以下であり、さらに好ましくは3%以下である。
不可避的不純物として含まれる酸素は、典型的にはターゲット組織中に酸化物として存在し、この酸化物は絶縁体であるため、異常放電の基点になりやすい。そのため、異常放電の発生を抑制するため酸素含有量は800質量ppm以下に低減することが好ましい。
また、不可避的不純物として含まれるFeも、異常放電の基点になりやすいため、200質量ppm以下まで低減することが好ましい。
特に、焼結温度を950℃以下とすることで、Cr相とTi相の界面に生成されるTiCr2相の厚さを極限まで低減することができる。この際、加圧圧力を20MPa以上とすることで焼結密度の低下を伴うことなく健全な焼結体が得られる。なお、十分な焼結密度を得るためには焼結温度は750℃以上であることが望ましい。
また、予め酸素を低減した粉末を用いることでターゲット材の酸素含有量を低減することができるため、例えば、高純度電解Cr粉砕粉末を、水素雰囲気中で還元熱処理を施したものを使用することが好ましい。Cr粉末の粒径を325メッシュ以上とすることは比表面積が大きく酸素含有量が高い微細な粉末を除去するためにも望ましい。
上記で準備した粉末を、Cr−50Ti(原子%)となるように粉末を混合し、軟鋼製のカプセルに充填し脱気封止した後、温度950℃、圧力120MPa、保持時間1時間の条件で熱間静水圧プレス(HIP)によって加圧焼結し、焼結体を作製した。得られた各焼結体を直径180mm×厚さ10mmに機械加工してCr−Ti合金ターゲット材を作製した。
また、従来例として粉末焼結法により製造された市販のCr−50Ti(原子%)のターゲット材も準備した。
なお、得られた各ターゲット材に関して、酸素含有量を不活性ガス融解赤外線吸収法により、Fe含有量を誘導結合プラズマ発行分光分析法により分析した。また、上記の各ターゲット材をアルキメデス法により測定した密度からの相対密度を算出し、以上の分析、測定結果を表1に示す。
具体的な測定例として、図1に本発明例2のCr−Ti合金ターゲット材の光学顕微鏡像を示し、図2に本発明例2のX線回折法による各回折ピークを同定した結果を示す。図1において、白色部は金属Cr相、黒色部は金属Ti相であり、焼結による金属間拡散により金属Cr相と金属Ti相の境界部にTiCr2化合物相がわずかに形成されたことがわかる。
なお、得られた各ターゲット材に関して評価をした結果を表2に示す。
また、本発明例5〜本発明例12のCr−Ti合金ターゲット材を用いて同様のスパッタリングを行なったところ、問題となるパーティクルの発生が確認されず、本発明の有効性が確認できた。
Claims (1)
- Tiを40〜60原子%含有し、残部Crおよび不可避的不純物からなるCr−Ti合金ターゲット材であって、前記不可避的不純物のうち酸素を327質量ppm以上800質量ppm以下、Feを200質量ppm以下含有し、スパッタ面のX線回折におけるCr相の(110)面の回折ピーク強度をA、TiCr2化合物相の(311)面の回折ピーク強度をBとするとき、相対強度比B/Aが1.5%以下であることを特徴とするCr−Ti合金ターゲット材。
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