JP2002212607A - 高融点合金の製造方法 - Google Patents
高融点合金の製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高融点金属元素を含有する合金の製造方法に
関し、特に耐熱材料やＨＤＤ用ターゲット材の合金を製
造するための高融点合金の製造方法を提供する。 【解決手段】 Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｒ（第１群）の１
種または２種以上を５０ａｔ％以上、およびＲｕ，Ｒ
ｈ，Ｐｄ，Ｏｓ，Ｉｒ，Ｐｔ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，
Ｎｂ，Ｔａ（第２群）の１種または２種以上を５０ａｔ
％以下、残部不可避的不純物からなる単体金属元素粉末
を混合し、１０００℃以上第１群元素の融点以下、４０
０ＭＰａ以上の条件下で粉末を固化成形し、合金化する
ことを特徴とする高融点合金の製造方法。
関し、特に耐熱材料やＨＤＤ用ターゲット材の合金を製
造するための高融点合金の製造方法を提供する。 【解決手段】 Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｒ（第１群）の１
種または２種以上を５０ａｔ％以上、およびＲｕ，Ｒ
ｈ，Ｐｄ，Ｏｓ，Ｉｒ，Ｐｔ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，
Ｎｂ，Ｔａ（第２群）の１種または２種以上を５０ａｔ
％以下、残部不可避的不純物からなる単体金属元素粉末
を混合し、１０００℃以上第１群元素の融点以下、４０
０ＭＰａ以上の条件下で粉末を固化成形し、合金化する
ことを特徴とする高融点合金の製造方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高融点金属元素を
含有する合金の製造方法に関し、特に耐熱材料やＨＤＤ
用ターゲット材の合金を製造するための高融点合金の製
造方法に関するものである。
含有する合金の製造方法に関し、特に耐熱材料やＨＤＤ
用ターゲット材の合金を製造するための高融点合金の製
造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、耐熱材料やＨＤＤ用ターゲット材
の新しい高融点金属元素を含有する合金が見出され、そ
の製造方法としては鋳造・圧延方法および一部粉末工法
が試みられている。しかし、その殆んどの融点が１６０
０℃以上と高いために従来の坩堝溶解では不可能であっ
た。そのため、従来の坩堝溶解によらない耐熱材料やタ
ーゲット材の製造方法として、単体元素粉末を混合し
て、従来のホットプレス法にて加圧焼結する方法が試み
られた。
の新しい高融点金属元素を含有する合金が見出され、そ
の製造方法としては鋳造・圧延方法および一部粉末工法
が試みられている。しかし、その殆んどの融点が１６０
０℃以上と高いために従来の坩堝溶解では不可能であっ
た。そのため、従来の坩堝溶解によらない耐熱材料やタ
ーゲット材の製造方法として、単体元素粉末を混合し
て、従来のホットプレス法にて加圧焼結する方法が試み
られた。
【０００３】しかしながら、この合金系は融点が高いた
めに、焼結温度も高いことから焼結し難く、また、焼結
しても合金化が起こらず、そのため原料粉末として用い
た単体元素として構成され、均一に単相化した状態を得
ることは出来なかった。一方、近年粉末の固化成形方法
として、工業的に汎用として用いられているＨＩＰ（熱
間静水圧プレス）法も試みられているが、これも十分に
合金化せず均一な単相を得ることが出来なかった。これ
を改善する方法としてＨＩＰ法で長時間高圧状態に保持
する方法もあるが、長時間のために工業的に適用するこ
とが不可能であるのが実状である。
めに、焼結温度も高いことから焼結し難く、また、焼結
しても合金化が起こらず、そのため原料粉末として用い
た単体元素として構成され、均一に単相化した状態を得
ることは出来なかった。一方、近年粉末の固化成形方法
として、工業的に汎用として用いられているＨＩＰ（熱
間静水圧プレス）法も試みられているが、これも十分に
合金化せず均一な単相を得ることが出来なかった。これ
を改善する方法としてＨＩＰ法で長時間高圧状態に保持
する方法もあるが、長時間のために工業的に適用するこ
とが不可能であるのが実状である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明者らは
この組成の均一な単一相が得られる製造方法について、
鋭意検討を行い、次のような問題点を解決するに至っ
た。すなわち、この合金組成の合金は溶解法では作製不
可能であるため、粉末の固化成形時に温度・圧力の何れ
かの条件を非常に高くすれば、合金化が起こることに着
目した。しかし、温度を高温側にすることは、上記の通
り、従来の方法では工業的には不可能であり、そこで、
発明者らは圧力を高圧側にすることで、構成元素の原子
の拡散が促進され、合金化を達成できるものと考えた。
しかし、この圧力を高圧にする方法としてＨＩＰ法があ
るが工業的には２００〜２５０ＭＰａ程度であり、これ
以上の高圧を達成することは現実的でないことが判明
し、さらに、発明者らはＨＩＰ法に替えて熱間押出法に
よって簡易に高圧が得られることを考え、この方法での
均一な単相を得ることを見出したものである。
この組成の均一な単一相が得られる製造方法について、
鋭意検討を行い、次のような問題点を解決するに至っ
た。すなわち、この合金組成の合金は溶解法では作製不
可能であるため、粉末の固化成形時に温度・圧力の何れ
かの条件を非常に高くすれば、合金化が起こることに着
目した。しかし、温度を高温側にすることは、上記の通
り、従来の方法では工業的には不可能であり、そこで、
発明者らは圧力を高圧側にすることで、構成元素の原子
の拡散が促進され、合金化を達成できるものと考えた。
しかし、この圧力を高圧にする方法としてＨＩＰ法があ
るが工業的には２００〜２５０ＭＰａ程度であり、これ
以上の高圧を達成することは現実的でないことが判明
し、さらに、発明者らはＨＩＰ法に替えて熱間押出法に
よって簡易に高圧が得られることを考え、この方法での
均一な単相を得ることを見出したものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】その発明の要旨とすると
ころは、 （１）Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｒ（第１群）の１種または
２種以上を５０ａｔ％以上、およびＲｕ，Ｒｈ，Ｐｄ，
Ｏｓ，Ｉｒ，Ｐｔ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ
（第２群）の１種または２種以上を５０ａｔ％以下、残
部不可避的不純物からなる単体金属元素粉末を混合し、
１０００℃以上第１群元素の融点以下、４００ＭＰａ以
上の条件下で粉末を固化成形し、合金化することを特徴
とする高融点合金の製造方法。
ころは、 （１）Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｒ（第１群）の１種または
２種以上を５０ａｔ％以上、およびＲｕ，Ｒｈ，Ｐｄ，
Ｏｓ，Ｉｒ，Ｐｔ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ
（第２群）の１種または２種以上を５０ａｔ％以下、残
部不可避的不純物からなる単体金属元素粉末を混合し、
１０００℃以上第１群元素の融点以下、４００ＭＰａ以
上の条件下で粉末を固化成形し、合金化することを特徴
とする高融点合金の製造方法。
【０００６】（２）Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｒ（第１群）
の１種または２種以上を５０ａｔ％以上、およびＲｕ，
Ｒｈ，Ｐｄ，Ｏｓ，Ｉｒ，Ｐｔ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，
Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ（第２群）の１種または２種以上を２０
〜５０ａｔ％、残部不可避的不純物からなり、第１群お
よび第２群の少なくとも一方が２種以上の合金粉末と他
方が単体金属元素粉末とを混合し、１０００℃以上第１
群元素または第１群元素の合金の融点以下、４００ＭＰ
ａ以上の条件下で粉末を固化成形し、合金化することを
特徴とする高融点合金の製造方法。
の１種または２種以上を５０ａｔ％以上、およびＲｕ，
Ｒｈ，Ｐｄ，Ｏｓ，Ｉｒ，Ｐｔ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，
Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ（第２群）の１種または２種以上を２０
〜５０ａｔ％、残部不可避的不純物からなり、第１群お
よび第２群の少なくとも一方が２種以上の合金粉末と他
方が単体金属元素粉末とを混合し、１０００℃以上第１
群元素または第１群元素の合金の融点以下、４００ＭＰ
ａ以上の条件下で粉末を固化成形し、合金化することを
特徴とする高融点合金の製造方法。
【０００７】（３）Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｒ（第１群）
の１種または２種以上を５０ａｔ％以上、およびＲｕ，
Ｒｈ，Ｐｄ，Ｏｓ，Ｉｒ，Ｐｔ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，
Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ（第２群）の１種または２種以上を第１
群が５０ａｔ％以上、第２群が２０〜５０ａｔ％、残部
不可避的不純物からなり、第１群および第２群の少なく
とも２種以上の合金粉末を混合し、１０００℃以上第１
群元素の合金の融点以下、４００ＭＰａ以上の条件下で
粉末を固化成形し、合金化することを特徴とする高融点
合金の製造方法。 （４）前記（１）〜（３）において、合金化した後の融
点が１６００℃以上であることを特徴とする高融点合金
の製造方法にある。
の１種または２種以上を５０ａｔ％以上、およびＲｕ，
Ｒｈ，Ｐｄ，Ｏｓ，Ｉｒ，Ｐｔ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，
Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ（第２群）の１種または２種以上を第１
群が５０ａｔ％以上、第２群が２０〜５０ａｔ％、残部
不可避的不純物からなり、第１群および第２群の少なく
とも２種以上の合金粉末を混合し、１０００℃以上第１
群元素の合金の融点以下、４００ＭＰａ以上の条件下で
粉末を固化成形し、合金化することを特徴とする高融点
合金の製造方法。 （４）前記（１）〜（３）において、合金化した後の融
点が１６００℃以上であることを特徴とする高融点合金
の製造方法にある。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明について詳細に説明
する。特に、近年においては、ターゲット材にはスパッ
タリングにより作製される薄膜の特性およびターゲット
の磁気特性が重要視され、ターゲット材の品質には組織
の微細・均一性も要求されている。そこで、特にＦｅ，
Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｒの第１群およびＲｕ，Ｒｈ，Ｐｄ，Ｏ
ｓ，Ｉｒ，Ｐｔ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａの
第２群の元素から構成されるターゲット材は融点が高
い。このような融点の高い２種以上の元素を含む高融点
合金を製造するに当たり、粒径５００μｍ以下、平均粒
径５０〜１５０μｍのより低融点側の元素の純金属粉末
と、粒径が１００μｍ以下、平均粒径１０〜５０μｍの
高融点の元素の純金属粉末を混合、キャニングし、より
低融点側の元素の融点以下の温度において、熱間押出機
によるアップセット法を用いて４００ＭＰａ以上の圧力
の条件下で粉末を固化成形し合金化するものである。
する。特に、近年においては、ターゲット材にはスパッ
タリングにより作製される薄膜の特性およびターゲット
の磁気特性が重要視され、ターゲット材の品質には組織
の微細・均一性も要求されている。そこで、特にＦｅ，
Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｒの第１群およびＲｕ，Ｒｈ，Ｐｄ，Ｏ
ｓ，Ｉｒ，Ｐｔ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａの
第２群の元素から構成されるターゲット材は融点が高
い。このような融点の高い２種以上の元素を含む高融点
合金を製造するに当たり、粒径５００μｍ以下、平均粒
径５０〜１５０μｍのより低融点側の元素の純金属粉末
と、粒径が１００μｍ以下、平均粒径１０〜５０μｍの
高融点の元素の純金属粉末を混合、キャニングし、より
低融点側の元素の融点以下の温度において、熱間押出機
によるアップセット法を用いて４００ＭＰａ以上の圧力
の条件下で粉末を固化成形し合金化するものである。
【０００９】このような合金を形成するための第１の発
明は、第１群元素の１種または２種以上を５０ａｔ％以
上、および第２群元素の１種または２種以上を５０ａｔ
％以下、残部不可避的不純物からなる単体金属元素粉末
とした。第１群元素の１種または２種以上を５０ａｔ％
未満、または、第２群元素の１種または２種以上を５０
ａｔ％を超えると、均一な合金相が得られにくいことか
ら、第１群を５０ａｔ％以上、第２群を５０ａｔ％以下
とした。
明は、第１群元素の１種または２種以上を５０ａｔ％以
上、および第２群元素の１種または２種以上を５０ａｔ
％以下、残部不可避的不純物からなる単体金属元素粉末
とした。第１群元素の１種または２種以上を５０ａｔ％
未満、または、第２群元素の１種または２種以上を５０
ａｔ％を超えると、均一な合金相が得られにくいことか
ら、第１群を５０ａｔ％以上、第２群を５０ａｔ％以下
とした。
【００１０】また、第２の発明は、第１群元素の１種ま
たは２種以上を５０ａｔ％以上、および第２群の元素の
１種または２種以上を２０〜５０ａｔ％残部不可避的不
純物からなり、第１群および第２群の少なくとも一方が
２種以上の合金粉末と他方が単体金属元素粉末とした。
第２群元素の１種または２種以上を２０〜５０ａｔ％と
したのは、この範囲を超えると均一な合金相が得られに
くいからである。さらに、第３の発明は、第１群の元素
の１種または２種以上を５０ａｔ％以上、および第２群
元素の１種または２種以上を第１群が５０ａｔ％以上、
第２群が２０〜５０ａｔ％、残部不可避的不純物からな
り、第１群および第２群の少なくとも２種以上の合金粉
末を用いることにある。
たは２種以上を５０ａｔ％以上、および第２群の元素の
１種または２種以上を２０〜５０ａｔ％残部不可避的不
純物からなり、第１群および第２群の少なくとも一方が
２種以上の合金粉末と他方が単体金属元素粉末とした。
第２群元素の１種または２種以上を２０〜５０ａｔ％と
したのは、この範囲を超えると均一な合金相が得られに
くいからである。さらに、第３の発明は、第１群の元素
の１種または２種以上を５０ａｔ％以上、および第２群
元素の１種または２種以上を第１群が５０ａｔ％以上、
第２群が２０〜５０ａｔ％、残部不可避的不純物からな
り、第１群および第２群の少なくとも２種以上の合金粉
末を用いることにある。
【００１１】これら単体金属元素粉末や合金粉末を混合
し、この粉末を金属製容器に充填後脱気封入してビレッ
トを作製し、１０００℃以上第１群元素の合金の融点以
下、または、第１群元素の合金の融点以下の温度で行う
理由は、粉末粒子が互いに焼結する１０００℃以上で、
液相が出ずに健全に固化成形を可能にするためである。
さらに、４００ＭＰａ以上とした理由は、４００ＭＰａ
未満では十分な合金化が得られないからである。４００
ＭＰａ以上の高圧条件を得るためには熱間押出機による
アップセット法が最適である。
し、この粉末を金属製容器に充填後脱気封入してビレッ
トを作製し、１０００℃以上第１群元素の合金の融点以
下、または、第１群元素の合金の融点以下の温度で行う
理由は、粉末粒子が互いに焼結する１０００℃以上で、
液相が出ずに健全に固化成形を可能にするためである。
さらに、４００ＭＰａ以上とした理由は、４００ＭＰａ
未満では十分な合金化が得られないからである。４００
ＭＰａ以上の高圧条件を得るためには熱間押出機による
アップセット法が最適である。
【００１２】
【実施例】以下、本発明について実施例によって具体的
に説明する。 （実施例１）平均粒径１００μｍ、最大粒径５００μｍ
の純Ｃｏ粉末７０ａｔ％と平均粒径２０μｍ、最大粒径
５０μｍの純Ｒｕ粉末３０ａｔ％を秤量配合し、混合機
で機械的に混合し、混合粉末を直径１６９ｍｍ、長さ１
００ｍｍのステンレス製容器に充填後脱気封入してビレ
ットを作製し、１２００℃、５００ＭＰａの条件下で粉
末を固化成形し、その後ステンレス製容器を除去し、ス
ライス・研磨加工し、ターゲット材を作製した。完成し
たターゲット材をＸ線回析および走査型分析電子顕微鏡
で分析した結果、純Ｒｕおよび純Ｃｏは残存せず合金化
していることを確認した。また、スパッタした結果良好
な膜特性が得られた。
に説明する。 （実施例１）平均粒径１００μｍ、最大粒径５００μｍ
の純Ｃｏ粉末７０ａｔ％と平均粒径２０μｍ、最大粒径
５０μｍの純Ｒｕ粉末３０ａｔ％を秤量配合し、混合機
で機械的に混合し、混合粉末を直径１６９ｍｍ、長さ１
００ｍｍのステンレス製容器に充填後脱気封入してビレ
ットを作製し、１２００℃、５００ＭＰａの条件下で粉
末を固化成形し、その後ステンレス製容器を除去し、ス
ライス・研磨加工し、ターゲット材を作製した。完成し
たターゲット材をＸ線回析および走査型分析電子顕微鏡
で分析した結果、純Ｒｕおよび純Ｃｏは残存せず合金化
していることを確認した。また、スパッタした結果良好
な膜特性が得られた。
【００１３】（実施例２）平均粒径１００μｍ、最大粒
径５００μｍの純Ｃｏ粉末６０ａｔ％と平均粒径２０μ
ｍ、最大粒径５０μｍの純Ｒｕ粉末４０ａｔ％を秤量配
合し、混合機で機械的に混合し、混合粉末を直径１６９
ｍｍ、長さ１００ｍｍのステンレス製容器に充填後脱気
封入してビレットを作製し、１２００℃、５５０ＭＰａ
の条件下で粉末を固化成形し、その後ステンレス製容器
を除去し、スライス・研磨加工し、ターゲット材を作製
した。完成したターゲット材をＸ線回析および走査型分
析電子顕微鏡で分析した結果、純Ｒｕおよび純Ｃｏは残
存せず合金化していることを確認した。また、スパッタ
した結果良好な膜特性が得られた。
径５００μｍの純Ｃｏ粉末６０ａｔ％と平均粒径２０μ
ｍ、最大粒径５０μｍの純Ｒｕ粉末４０ａｔ％を秤量配
合し、混合機で機械的に混合し、混合粉末を直径１６９
ｍｍ、長さ１００ｍｍのステンレス製容器に充填後脱気
封入してビレットを作製し、１２００℃、５５０ＭＰａ
の条件下で粉末を固化成形し、その後ステンレス製容器
を除去し、スライス・研磨加工し、ターゲット材を作製
した。完成したターゲット材をＸ線回析および走査型分
析電子顕微鏡で分析した結果、純Ｒｕおよび純Ｃｏは残
存せず合金化していることを確認した。また、スパッタ
した結果良好な膜特性が得られた。
【００１４】（実施例３）平均粒径８０μｍ、最大粒径
５００μｍの純Ｃｒ粉末８０ａｔ％と平均粒径２０μ
ｍ、最大粒径４０μｍの純Ｔｉ粉末２０ａｔ％を秤量配
合し、混合機で機械的に混合し、混合粉末を直径２０８
ｍｍ、長さ１００ｍｍのステンレス製容器に充填後脱気
封入してビレットを作製し、１２００℃、５００ＭＰａ
の条件下で粉末を固化成形し、その後ステンレス製容器
を除去し、スライス・研磨加工し、ターゲット材を作製
した。完成したターゲット材をＸ線回析および走査型分
析電子顕微鏡で分析した結果、純Ｃｒおよび純Ｔｉは残
存せず合金化していることを確認した。また、スパッタ
した結果良好な膜特性が得られた。
５００μｍの純Ｃｒ粉末８０ａｔ％と平均粒径２０μ
ｍ、最大粒径４０μｍの純Ｔｉ粉末２０ａｔ％を秤量配
合し、混合機で機械的に混合し、混合粉末を直径２０８
ｍｍ、長さ１００ｍｍのステンレス製容器に充填後脱気
封入してビレットを作製し、１２００℃、５００ＭＰａ
の条件下で粉末を固化成形し、その後ステンレス製容器
を除去し、スライス・研磨加工し、ターゲット材を作製
した。完成したターゲット材をＸ線回析および走査型分
析電子顕微鏡で分析した結果、純Ｃｒおよび純Ｔｉは残
存せず合金化していることを確認した。また、スパッタ
した結果良好な膜特性が得られた。
【００１５】（実施例４）Ｒｕ４０ａｔ％、Ｃｏ６０ａ
ｔ％になるように、平均粒径８０μｍ、最大粒径５００
μｍのＣｏ８０ａｔ％、Ｒｕ２０ａｔ％合金粉末と平均
粒径２０μｍ、最大粒径５０μｍの純Ｒｕ粉末を秤量配
合し、混合機で機械的に混合し、混合粉末を直径１６９
ｍｍ、長さ１００ｍｍのステンレス製容器に充填後脱気
封入してビレットを作製し、１２００℃、６００ＭＰａ
の条件下で粉末を固化成形し、その後ステンレス製容器
を除去し、スライス・研磨加工し、ターゲット材を作製
した。完成したターゲット材をＸ線回析および走査型分
析電子顕微鏡で分析した結果、純Ｒｕおよび純Ｃｏは残
存せず合金化していることを確認した。また、スパッタ
した結果良好な膜特性が得られた。
ｔ％になるように、平均粒径８０μｍ、最大粒径５００
μｍのＣｏ８０ａｔ％、Ｒｕ２０ａｔ％合金粉末と平均
粒径２０μｍ、最大粒径５０μｍの純Ｒｕ粉末を秤量配
合し、混合機で機械的に混合し、混合粉末を直径１６９
ｍｍ、長さ１００ｍｍのステンレス製容器に充填後脱気
封入してビレットを作製し、１２００℃、６００ＭＰａ
の条件下で粉末を固化成形し、その後ステンレス製容器
を除去し、スライス・研磨加工し、ターゲット材を作製
した。完成したターゲット材をＸ線回析および走査型分
析電子顕微鏡で分析した結果、純Ｒｕおよび純Ｃｏは残
存せず合金化していることを確認した。また、スパッタ
した結果良好な膜特性が得られた。
【００１６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明により、これ
までに製造できなかった高融点合金が製造可能となり、
特にスパッタリングターゲット材、その他耐熱材料とし
て適用可能な材料を提供することが出来る極めて優れた
効果を奏するものである。
までに製造できなかった高融点合金が製造可能となり、
特にスパッタリングターゲット材、その他耐熱材料とし
て適用可能な材料を提供することが出来る極めて優れた
効果を奏するものである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｃ２２Ｃ 33/02 Ｃ２２Ｃ 33/02 Ｂ 38/00 ３０４ 38/00 ３０４ // Ｃ２２Ｃ 16/00 16/00
Claims (4)
- 【請求項１】 Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｒ（第１群）の１
種または２種以上を５０ａｔ％以上、およびＲｕ，Ｒ
ｈ，Ｐｄ，Ｏｓ，Ｉｒ，Ｐｔ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，
Ｎｂ，Ｔａ（第２群）の１種または２種以上を５０ａｔ
％以下、残部不可避的不純物からなる単体金属元素粉末
を混合し、１０００℃以上第１群元素の融点以下、４０
０ＭＰａ以上の条件下で粉末を固化成形し、合金化する
ことを特徴とする高融点合金の製造方法。 - 【請求項２】 Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｒ（第１群）の１
種または２種以上を５０ａｔ％以上、およびＲｕ，Ｒ
ｈ，Ｐｄ，Ｏｓ，Ｉｒ，Ｐｔ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，
Ｎｂ，Ｔａ（第２群）の１種または２種以上を２０〜５
０ａｔ％、残部不可避的不純物からなり、第１群および
第２群の少なくとも一方が２種以上の合金粉末と他方が
単体金属元素粉末とを混合し、１０００℃以上第１群元
素または第１群元素の合金の融点以下、４００ＭＰａ以
上の条件下で粉末を固化成形し、合金化することを特徴
とする高融点合金の製造方法。 - 【請求項３】 Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｒ（第１群）の１
種または２種以上を５０ａｔ％以上、およびＲｕ，Ｒ
ｈ，Ｐｄ，Ｏｓ，Ｉｒ，Ｐｔ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，
Ｎｂ，Ｔａ（第２群）の１種または２種以上を第１群が
５０ａｔ％以上、第２群が２０〜５０ａｔ％、残部不可
避的不純物からなり、第１群および第２群の少なくとも
２種以上の合金粉末を混合し、１０００℃以上第１群元
素の合金の融点以下、４００ＭＰａ以上の条件下で粉末
を固化成形し、合金化することを特徴とする高融点合金
の製造方法。 - 【請求項４】 請求項１〜３において、合金化した後の
融点が１６００℃以上であることを特徴とする高融点合
金の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001011028A JP2002212607A (ja) | 2001-01-19 | 2001-01-19 | 高融点合金の製造方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007154248A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Sanyo Special Steel Co Ltd | 酸化物を含有したＣｏ基スパッタリングターゲット材の製造方法 |
| JP2011252227A (ja) * | 2010-05-06 | 2011-12-15 | Hitachi Metals Ltd | Ｃｒ−Ｔｉ合金ターゲット材 |
| JP2012211356A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-11-01 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | Ｒｕ−Ｐｄ系スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
| JP2015153779A (ja) * | 2014-02-10 | 2015-08-24 | 昭和電工株式会社 | 熱電素子、熱電モジュールおよび熱電素子の製造方法 |
-
2001
- 2001-01-19 JP JP2001011028A patent/JP2002212607A/ja active Pending
Cited By (5)
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