JP4721090B2 - Mo系ターゲット材の製造方法 - Google Patents
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Description
例えば、Crを1〜5wt%含有したMo−Cr合金スパッタリングターゲットが開示されている(例えば、特許文献1参照)。また、Wを20〜70原子%含有したMo−Wターゲットが開示されている(例えば、特許文献2参照)。さらに、Nbおよび/またはVを2〜50原子%含有したMo合金が開示されている(例えば、特許文献3参照)。
また、好ましくは、スパッタ面の面積が1m2以上であるターゲット材を得るMo系ターゲット材の製造方法である。
以下に本発明を詳細に説明する。
また、本発明のMo合金が遷移金属元素を含むものとしたのは、スパッタリングにより成膜された膜の特性として、純Moに対して耐食性を向上させるためである。遷移金属元素を0.1〜50原子%含むものと限定したのは、0.1原子%を下回る場合は純Moに対する耐食性の効果が十分に実現されないためであり、50原子%より高くなるとMo本来の性質を失うためである。なお、本発明における遷移金属元素としては、元素周期律表におけるIVa族、Va族およびVIa族の元素が、特にMoの耐食性を向上させる効果を有するため望ましい。
本発明のMo系ターゲット材の特徴は、前述の通り、焼結ターゲット材全域に亘って相対密度を98%以上として相対密度のバラツキを低減した点にある。本発明のターゲット材に含まれる遷移金属元素の原料粉末は、粒径、形状および比重といった粉末性状がMo原料粉末と異なるため、単純にMo原料粉末と遷移金属元素の原料粉末を混合しても均一な分散状態を得ることは困難である。
平均粒径d50=6μmなるMo原料粉末、添加する遷移金属元素として平均粒径100μmのCr、Nbおよび平均粒径6.5μmのWの原料粉末を準備した。表1に示すMo合金を作製するため、Mo原料粉末と所定の遷移金属元素の原料粉末をV型混合機で10分間混合した。得られた混合粉末を冷間静水圧プレス(CIP)を用い265MPaで圧縮成形した圧粉体を作製した。この圧粉体をジョークラッシャーおよびディスクミルを使用して粉砕して造粒粉末を作製した。造粒粉末の粒径はディスクミルの歯間隔および分級機で制御し1mm以下とした。その造粒粉末を再度V型混合機で10分間混合した後、内径寸法で厚さ100mm×幅1250mm×高さ1450mmなる軟鋼製加圧容器に充填した。充填方法はこの加圧容器を厚さ100mm×幅1250mmが供給口になるよう振動装置上に設置し造粒粉末を直接充填した。充填密度はいずれも各Mo合金比重に対する相対密度で58〜59%であった。
Claims (2)
- 元素周期律表におけるIVa族、Va族およびVIa族の遷移金属元素を0.1〜50原子%含むMo合金の全長が1m以上の焼結ターゲット材の製造方法であって、Mo原料粉末と遷移金属元素の原料粉末とを混合後、冷間静水圧プレスによる圧縮成型処理により圧密体を作製し、該圧密体を再粉砕した造粒粉末とし、該造粒粉末を最大粒径5mm以下に制御し加圧容器に充填して加圧焼結法により焼結し、スパッタ面に引くことができる最長の直線を全長として、該全長を50mm間隔で、アルキメデス法によって測定した相対密度が全域で98%以上となり、かつ該全長を50mm間隔で測定した遷移金属元素の含有量比率のバラツキが20%以下であるターゲット材を得ることを特徴とするMo系ターゲット材の製造方法。
- スパッタ面の面積が1m2以上であるターゲット材を得ることを特徴とする請求項1に記載のMo系ターゲット材の製造方法。
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